基板位置偏移檢測(cè)及校正裝置和基板搬運(yùn)系統(tǒng)的制作方法
【技術(shù)領(lǐng)域】
[0001]本發(fā)明涉及顯示裝置制備技術(shù)領(lǐng)域，特別是涉及一種基板位置偏移檢測(cè)及校正裝置和基板搬運(yùn)系統(tǒng)。
【背景技術(shù)】
[0002]在基板類產(chǎn)品，如玻璃、液晶面板、半導(dǎo)體晶圓等的生產(chǎn)過程中，基板通常被放置在用于生產(chǎn)設(shè)備操作的容器中，按照不同生產(chǎn)工序的要求，基板會(huì)在不同的生產(chǎn)設(shè)備之間進(jìn)行轉(zhuǎn)運(yùn)，這種轉(zhuǎn)運(yùn)工作通常是由搬運(yùn)系統(tǒng)來完成的。
[0003]在生產(chǎn)和運(yùn)輸過程中，因?yàn)樵O(shè)備振動(dòng)或操作不當(dāng)?shù)仍?，基板在容器中可能?huì)出現(xiàn)不同程度的位置偏移，這樣采用搬運(yùn)系統(tǒng)將基板從容器內(nèi)移出時(shí)，基板在搬運(yùn)系統(tǒng)的末端執(zhí)行器上的位置會(huì)發(fā)生偏移，如果不及時(shí)校正，會(huì)造成產(chǎn)品質(zhì)量不良甚至基板或設(shè)備損壞等嚴(yán)重后果。
[0004]但是，現(xiàn)有技術(shù)中的基板搬運(yùn)系統(tǒng)在搬運(yùn)過程中，無法實(shí)現(xiàn)實(shí)時(shí)檢測(cè)并校正，需要將基板拾取后才能判斷其是否有偏移，若有偏移，需要調(diào)整末端執(zhí)行器的移動(dòng)量，重新抓取基板，校正過程較麻煩，大大降低了搬運(yùn)效率和生產(chǎn)效率。

【發(fā)明內(nèi)容】

[0005]本發(fā)明的目的是提供一種基板位置偏移檢測(cè)及校正裝置和基板搬運(yùn)系統(tǒng)，用以提高搬運(yùn)效率和生產(chǎn)效率。
[0006]為達(dá)到上述目的，本發(fā)明提供了如下技術(shù)方案:
[0007]本發(fā)明提供了一種基板位置偏移檢測(cè)及校正裝置，包括:
[0008]設(shè)置于搬運(yùn)系統(tǒng)的末端執(zhí)行器上的第一非接觸式傳感器和第二非接觸式傳感器，當(dāng)末端執(zhí)行器按照預(yù)設(shè)的第一移動(dòng)指令向待搬運(yùn)基板移動(dòng)且未與待搬運(yùn)基板接觸時(shí)，所述第一非接觸式傳感器和第二非接觸式傳感器用于實(shí)時(shí)采集待搬運(yùn)基板的第一邊緣的信息，其中:第一非接觸式傳感器和第二非接觸式傳感器與機(jī)器人本體之間的距離相等，所述第一非接觸式傳感器和所述第二非接觸式傳感器之間具有設(shè)定距離；
[0009]控制器，用于當(dāng)?shù)谝环墙佑|式傳感器和第二非接觸式傳感器均檢測(cè)到待搬運(yùn)基板的第一邊緣的信息時(shí)，控制所述末端執(zhí)行器停止運(yùn)動(dòng)，并判斷所述第一非接觸式傳感器和第二非接觸式傳感器是否同時(shí)采集到第一邊緣的信息，若所述第一非接觸式傳感器和第二非接觸式傳感器非同時(shí)采集到第一邊緣的信息時(shí)，根據(jù)所述第一非接觸式傳感器和所述第二非接觸式傳感器分別檢測(cè)到所述第一邊緣后反饋的信號(hào)的時(shí)間差、以及預(yù)設(shè)的末端執(zhí)行器的移動(dòng)速度、所述第一非接觸式傳感器和所述第二非接觸式傳感器之間的設(shè)定距離，得到所述待搬運(yùn)基板的第一邊緣與所述第一非接觸式傳感器和第二非接觸式傳感器的連線之間的夾角值，并根據(jù)所述夾角值控制所述基板搬運(yùn)系統(tǒng)的機(jī)器人本體繞其軸線旋轉(zhuǎn)。
[0010]本發(fā)明提供的基板位置偏移檢測(cè)及校正裝置，在搬運(yùn)基板前就可以預(yù)先檢測(cè)到基板是否有偏移，并可以在搬運(yùn)過程中校正偏移量，具體的:當(dāng)?shù)谝环墙佑|式傳感器和第二非接觸式傳感器均檢測(cè)到待搬運(yùn)基板的第一邊緣的信息時(shí)，控制所述末端執(zhí)行器停止運(yùn)動(dòng)，并判斷所述第一非接觸式傳感器和第二非接觸式傳感器是否同時(shí)采集到第一邊緣的信息，若所述第一非接觸式傳感器和第二非接觸式傳感器非同時(shí)采集到第一邊緣的信息時(shí)，根據(jù)所述第一非接觸式傳感器和所述第二非接觸式傳感器分別檢測(cè)到所述第一邊緣后反饋的信號(hào)的時(shí)間差、以及預(yù)設(shè)的末端執(zhí)行器的移動(dòng)速度、所述第一非接觸式傳感器和所述第二非接觸式傳感器之間的設(shè)定距離，得到所述待搬運(yùn)基板的第一邊緣與所述第一非接觸式傳感器和第二非接觸式傳感器的連線之間的夾角值，并根據(jù)所述夾角值控制所述基板搬運(yùn)系統(tǒng)的機(jī)器人本體繞其軸線旋轉(zhuǎn)。
[0011]可見，本發(fā)明提供的基板位置偏移檢測(cè)及校正裝置，可以實(shí)時(shí)檢測(cè)和校正基板的位置，提高基板的搬運(yùn)效率和生產(chǎn)效率。
[0012]在一些可選的實(shí)施方式中，上述基板位置偏移檢測(cè)及校正裝置還包括:報(bào)警裝置，
[0013]所述控制器用于當(dāng)所述夾角值大于預(yù)先設(shè)定的角度參考值時(shí)，輸出告警信號(hào)和/或控制所述搬運(yùn)系統(tǒng)停止工作；
[0014]所述報(bào)警裝置根據(jù)所述告警信號(hào)產(chǎn)生告警。
[0015]在一些可選的實(shí)施方式中，所述控制器還用于:
[0016]根據(jù)所述夾角值控制所述基板搬運(yùn)系統(tǒng)的機(jī)器人本體繞其軸線旋轉(zhuǎn)后，控制所述末端執(zhí)行器繼續(xù)向待搬運(yùn)基板移動(dòng)，當(dāng)?shù)谝环墙佑|式傳感器和第二非接觸式傳感器同時(shí)檢測(cè)到待搬運(yùn)基板的第一邊緣的信息時(shí)，控制所述末端執(zhí)行器再次停止運(yùn)動(dòng)，并拾取所述待搬運(yùn)基板，且控制所述機(jī)器人本體帶動(dòng)其上的待搬運(yùn)基板繞其軸線旋轉(zhuǎn)至初始角度。
[0017]在一些可選的實(shí)施方式中，所述控制器還用于:
[0018]當(dāng)?shù)谝痪嚯x大于第二距離時(shí)，根據(jù)所述第一距離和所述第二距離的差值調(diào)整預(yù)設(shè)的第二移動(dòng)指令，并根據(jù)調(diào)整后的第二移動(dòng)指令控制所述末端執(zhí)行器帶動(dòng)其上的待搬運(yùn)基板向所述機(jī)器人本體移動(dòng)；
[0019]當(dāng)?shù)谝痪嚯x小于第二距離時(shí)，根據(jù)所述第一距離和所述第二距離的差值調(diào)整預(yù)設(shè)的第二移動(dòng)指令，并根據(jù)調(diào)整后的第二移動(dòng)指令控制所述末端執(zhí)行器帶動(dòng)其上的待搬運(yùn)基板向所述機(jī)器人本體移動(dòng)，或根據(jù)所述第一距離和第二距離的差值控制所述末端執(zhí)行器移動(dòng)至預(yù)設(shè)停止位置，并根據(jù)預(yù)設(shè)的第二移動(dòng)指令控制所述末端執(zhí)行器帶動(dòng)其上的待搬運(yùn)基板向所述機(jī)器人本體移動(dòng)，其中:所述第一距離為所述機(jī)器人本體帶動(dòng)其上的待搬運(yùn)基板繞其軸線旋轉(zhuǎn)至初始角度后、所述末端執(zhí)行器的實(shí)際停止位置與所述機(jī)器人本體之間的距離，所述第二距離為所述末端執(zhí)行器的預(yù)設(shè)停止位置與所述機(jī)器人本體之間的距離，所述預(yù)設(shè)停止位置為末端執(zhí)行器按照所述預(yù)設(shè)的第一移動(dòng)指令移動(dòng)后的停止位置。
[0020]在一些可選的實(shí)施方式中，所述控制器還用于:
[0021]若所述第一非接觸式傳感器和第二非接觸式傳感器為同時(shí)采集到第一邊緣的信息時(shí)，拾取所述待搬運(yùn)基板。
[0022]在一些可選的實(shí)施方式中，所述控制器還用于:
[0023]所述控制器還用于:
[0024]當(dāng)?shù)谌嚯x大于第二距離時(shí)，根據(jù)所述第三距離和所述第二距離的差值調(diào)整預(yù)設(shè)的第二移動(dòng)指令，并根據(jù)調(diào)整后的第二移動(dòng)指令控制所述末端執(zhí)行器帶動(dòng)其上的待搬運(yùn)基板向所述機(jī)器人本體移動(dòng)；
[0025]當(dāng)?shù)谌嚯x小于第二距離時(shí)，根據(jù)所述第三距離和第二距離的差值調(diào)整預(yù)設(shè)的第二移動(dòng)指令，并根據(jù)調(diào)整后的第二移動(dòng)指令控制所述末端執(zhí)行器帶動(dòng)其上的待搬運(yùn)基板向所述機(jī)器人本體移動(dòng)，或根據(jù)所述第三距離和第二距離的差值控制所述末端執(zhí)行器移動(dòng)至預(yù)設(shè)停止位置，并根據(jù)預(yù)設(shè)的第二移動(dòng)指令控制所述末端執(zhí)行器帶動(dòng)其上的待搬運(yùn)基板向所述機(jī)器人本體移動(dòng)，其中:所述第三距離為所述第一非接觸傳感器和所述第二非接觸傳感器同時(shí)采集到第一邊緣的信息時(shí)、末端執(zhí)行器的實(shí)際停止位置與所述機(jī)器人本體之間的距離，所述第二距離為所述末端執(zhí)行器的預(yù)設(shè)停止位置與所述機(jī)器人本體之間的距離，所述預(yù)設(shè)停止位置為末端執(zhí)行器按照所述預(yù)設(shè)的第一移動(dòng)指令移動(dòng)后的停止位置。
[0026]在一些可選的實(shí)施方式中，上述基板位置偏移檢測(cè)及校正裝置還包括:
[0027]設(shè)置于所述機(jī)器人本體上的第三非接觸式傳感器，當(dāng)所述末端執(zhí)行器帶動(dòng)其上的待搬運(yùn)基板向所述機(jī)器人本體移動(dòng)時(shí)，所述第三非接觸式傳感器檢測(cè)所述待搬運(yùn)基板的第二邊緣與所述第三非接觸式傳感器的中點(diǎn)之間的第二距離信息，其中:所述第一邊緣和所述第二邊緣垂直設(shè)置；
[0028]所述控制器還用于根據(jù)所述第二距離信息調(diào)整預(yù)先設(shè)定的、用于控制所述末端執(zhí)行器沿水平軸的延伸方向移動(dòng)的距離的第三移動(dòng)指令。
[0029]在一些可選的實(shí)施方式中，所述第一非接觸式傳感器和所述第二非接觸式傳感器均為光電開關(guān)傳感器。
[0030]在一些可選的實(shí)施方式中，所述第三非接觸式傳感器為激光測(cè)長(zhǎng)傳感器。
[0031]本發(fā)明還提供了一種基板搬運(yùn)系統(tǒng)，包括:水平軸，位于所述水平軸上、且可沿所述水平軸延伸方向移動(dòng)的機(jī)器人本體，與所述機(jī)器人本體連接、用于拾取待搬運(yùn)基板的末端執(zhí)行器，所述末端執(zhí)行器可伸縮，所述機(jī)器人本體可旋轉(zhuǎn)、且其旋轉(zhuǎn)軸的延伸方向垂直于所述末端執(zhí)行器伸縮方向以及所述水平軸的延伸方向；還包括:上述任一項(xiàng)所述的基板位置偏移檢測(cè)及校正裝置，可以提高搬運(yùn)效率和生產(chǎn)效率。
【附圖說明】
[0032]圖1為本發(fā)明實(shí)施例提供的搬運(yùn)系統(tǒng)結(jié)構(gòu)示意圖；
[0033]圖2a?2d為基板的偏移不意圖；
[0034]圖3為本發(fā)明實(shí)施例提供的基板位置偏移檢測(cè)及校正方法的流程圖；
[0035]圖4為本發(fā)明實(shí)施例提供的基板位置檢測(cè)和校正方法另一種流程圖。
[0036]附圖標(biāo)記:
[0037]1-待搬運(yùn)基板11-第一邊緣
[0038]12-第二邊緣21-第一非接觸式傳感器
[0039]22-第二非接觸式傳感器23-第三非接觸式傳感器
[0040]3-連線4-水平軸
[0041]5-機(jī)器人本體6-末端執(zhí)行器
[0042]7-控制器8-報(bào)警裝置
[0043]9-預(yù)設(shè)位置線
【具體實(shí)施方式】
[0044]下面將結(jié)合本發(fā)明實(shí)施例中的附圖，對(duì)本發(fā)明實(shí)施例中的技術(shù)方案進(jìn)行清楚、完整地描述，顯然，所描述的實(shí)施例僅僅是本發(fā)明一部分實(shí)施例，而不是全部的實(shí)施例?；诒景l(fā)明中的實(shí)施例，本領(lǐng)域普通技術(shù)人員在沒有做出創(chuàng)造性勞動(dòng)前提下所獲得的所有其他實(shí)施例，都屬于本發(fā)明專利保護(hù)的范圍。
[0045]需要說明的是:下述提到的預(yù)設(shè)的第一移動(dòng)指令、第二移動(dòng)指令和第三移動(dòng)指令為:操作人員在基板被移動(dòng)前，輸送給基板搬運(yùn)系統(tǒng)的控制指令，其中預(yù)先設(shè)定的第一移動(dòng)指令用于控制末端執(zhí)行器向待搬運(yùn)基板移動(dòng)的距離，預(yù)先設(shè)定的第二移動(dòng)指令用于控制末端執(zhí)行器帶動(dòng)其上的待搬運(yùn)基板向機(jī)器人本體移動(dòng)的距離，預(yù)先設(shè)定的第三移動(dòng)指令用于控制末端執(zhí)行器沿水平軸的延伸方向移動(dòng)的距離。
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