本技術(shù)涉及化學(xué)藥劑輸送,特別涉及一種化學(xué)藥劑輸送設(shè)備。
背景技術(shù):
1、目前,在半導(dǎo)體芯片、載板、光伏電子元件等行業(yè)領(lǐng)域中,其生產(chǎn)車間中會用到多種的化學(xué)藥劑,一般都采用化學(xué)藥劑輸送設(shè)備實現(xiàn)運輸化學(xué)藥劑,并且,為了方便對設(shè)備內(nèi)的藥劑樣品進行實驗測試,現(xiàn)有的化學(xué)藥劑輸送設(shè)備通常布置有取樣裝置,取樣裝置可以取出設(shè)備內(nèi)的藥劑樣品,在實際的生產(chǎn)車間中,通常具有多臺化學(xué)藥劑輸送設(shè)備,由于目前的化學(xué)藥劑輸送設(shè)備不具有防呆功能,工作人員多次取樣后,容易混淆藥劑,造成實驗測試錯誤。
技術(shù)實現(xiàn)思路
1、本實用新型的目的在于至少解決現(xiàn)有技術(shù)中存在的技術(shù)問題之一。為此,本實用新型提供一種化學(xué)藥劑輸送設(shè)備,可以起到防呆保護作用,降低拿錯藥劑的概率,保證工作人員可以正確取樣,保證實驗測試結(jié)果正確。
2、根據(jù)本實用新型實施例的化學(xué)藥劑輸送設(shè)備,包括:柜體;輸藥系統(tǒng),設(shè)于所述柜體內(nèi),所述輸藥系統(tǒng)包括儲存罐、動力元件和輸藥管路,所述輸藥管路與所述儲存罐連接,所述動力元件用于將所述儲存罐內(nèi)的藥劑抽出至所述輸藥管路;取樣系統(tǒng),包括取樣裝置,所述取樣裝置與所述輸藥管路連接,所述取樣裝置用于抽取所述輸藥管路內(nèi)的藥劑;掃碼防呆系統(tǒng),包括掃碼槍和控制裝置,所述控制裝置能夠獲取所述掃碼槍掃取的二維碼,所述控制裝置與所述取樣裝置電連接,所述控制裝置配置為:根據(jù)所述掃碼槍掃取的二維碼,控制所述取樣裝置打開或關(guān)閉。
3、根據(jù)本實用新型實施例的化學(xué)藥劑輸送設(shè)備,至少具有如下有益效果:通過設(shè)置掃碼防呆系統(tǒng),工作人員每次取出藥劑樣品時都需要提供二維碼給掃碼槍掃取,具體地,一個二維碼可以對應(yīng)一種藥劑,工作人員提供的二維碼與輸藥系統(tǒng)的藥劑所對應(yīng)的二維碼匹配正確后,取樣裝置才可打開,實現(xiàn)取出輸藥管路內(nèi)的藥劑,如果上述的二維碼匹配不正確,取樣裝置則關(guān)閉,無法取出輸藥管路內(nèi)的藥劑,起到防呆保護作用,保證工作人員可以正確取樣,降低拿錯藥劑的概率,保證實驗測試結(jié)果正確。
4、根據(jù)本實用新型的一些實施例,所述化學(xué)藥劑輸送設(shè)備包括沖洗系統(tǒng),所述沖洗系統(tǒng)包括輸水管路、控制閥和取水槍,所述輸水管路用于輸送清水,所述取水槍與所述輸水管路,所述輸水管路與所述輸藥管路連接,所述控制閥設(shè)于所述輸水管路,以控制所述輸水管路與所述輸藥管路連通或斷開。
5、根據(jù)本實用新型的一些實施例,所述沖洗系統(tǒng)包括輸?shù)獨夤苈泛偷獨鈽?,所述輸?shù)獨夤苈酚糜谳斔偷獨?,所述氮氣槍與所述輸?shù)獨夤苈愤B接。
6、根據(jù)本實用新型的一些實施例,所述輸藥系統(tǒng)包括過濾器和壓力傳感器,所述過濾器設(shè)于所述輸藥管路,所述化學(xué)藥劑輸送設(shè)備包括自控系統(tǒng),所述自控系統(tǒng)包括報警裝置,所述壓力傳感器與所述報警裝置電連接,所述壓力傳感器用于檢測所述過濾器的輸入端與所述過濾器的輸出端之間的壓力差。
7、根據(jù)本實用新型的一些實施例,所述動力元件與所述過濾器之間設(shè)有阻尼器,所述阻尼器用于降低所述輸藥管路內(nèi)的藥劑的壓力。
8、根據(jù)本實用新型的一些實施例,所述柜體設(shè)有排氣口,所述排氣口用于與廢棄處理裝置連接,所述柜體設(shè)有負(fù)壓傳感器,所述負(fù)壓傳感器用于檢測所述柜體內(nèi)的負(fù)壓,所述化學(xué)藥劑輸送設(shè)備包括自控系統(tǒng),所述自控系統(tǒng)包括報警裝置,所述負(fù)壓傳感器與所述報警裝置電連接。
9、根據(jù)本實用新型的一些實施例,所述化學(xué)藥劑輸送設(shè)備包括泄漏檢測系統(tǒng),所述泄漏檢測系統(tǒng)包括檢漏裝置,所述柜體的底部設(shè)有積水槽,所述檢漏裝置用于檢測所述積水槽內(nèi)的液體,所述化學(xué)藥劑輸送設(shè)備包括自控系統(tǒng),所述自控系統(tǒng)包括報警裝置,所述檢漏裝置與所述報警裝置電連接。
10、根據(jù)本實用新型的一些實施例,所述輸藥系統(tǒng)包括流量計,所述流量計設(shè)于所述輸藥管路。
11、根據(jù)本實用新型的一些實施例,所述動力元件包括第一動力泵和第二動力泵,所述儲存罐包括第一罐體和第二罐體,所述輸藥管路包括第一段管路和第二段管路,所述第一段管路的輸入端與所述第一罐體連接,所述第一段管路的輸出端與所述第二罐體連接,所述第一動力泵設(shè)于所述第一段管路,以將所述第一罐體內(nèi)的藥劑抽取至所述第二罐體內(nèi),所述第二段管路的輸入端與所述第二罐體連接,所述第二動力泵設(shè)于所述第二段管路,以將所述第二罐體內(nèi)的藥劑抽取至所述第二段管路外。
12、根據(jù)本實用新型的一些實施例,所述柜體采用聚丙烯材料制成。
13、本實用新型的附加方面和優(yōu)點將在下面的描述中部分給出,部分將從下面的描述中變得明顯,或通過本實用新型的實踐了解到。
1.化學(xué)藥劑輸送設(shè)備,其特征在于,包括:
2.根據(jù)權(quán)利要求1所述的化學(xué)藥劑輸送設(shè)備,其特征在于,所述化學(xué)藥劑輸送設(shè)備包括沖洗系統(tǒng),所述沖洗系統(tǒng)包括輸水管路、控制閥和取水槍,所述輸水管路用于輸送清水,所述取水槍與所述輸水管路,所述輸水管路與所述輸藥管路連接,所述控制閥設(shè)于所述輸水管路,以控制所述輸水管路與所述輸藥管路連通或斷開。
3.根據(jù)權(quán)利要求2所述的化學(xué)藥劑輸送設(shè)備,其特征在于,所述沖洗系統(tǒng)包括輸?shù)獨夤苈泛偷獨鈽專鲚數(shù)獨夤苈酚糜谳斔偷獨?,所述氮氣槍與所述輸?shù)獨夤苈愤B接。
4.根據(jù)權(quán)利要求1所述的化學(xué)藥劑輸送設(shè)備,其特征在于,所述輸藥系統(tǒng)包括過濾器和壓力傳感器,所述過濾器設(shè)于所述輸藥管路,所述化學(xué)藥劑輸送設(shè)備包括自控系統(tǒng),所述自控系統(tǒng)包括報警裝置,所述壓力傳感器與所述報警裝置電連接,所述壓力傳感器用于檢測所述過濾器的輸入端與所述過濾器的輸出端之間的壓力差。
5.根據(jù)權(quán)利要求4所述的化學(xué)藥劑輸送設(shè)備,其特征在于,所述動力元件與所述過濾器之間設(shè)有阻尼器,所述阻尼器用于降低所述輸藥管路內(nèi)的藥劑的壓力。
6.根據(jù)權(quán)利要求1所述的化學(xué)藥劑輸送設(shè)備,其特征在于,所述柜體設(shè)有排氣口,所述排氣口用于與廢棄處理裝置連接,所述柜體設(shè)有負(fù)壓傳感器,所述負(fù)壓傳感器用于檢測所述柜體內(nèi)的負(fù)壓,所述化學(xué)藥劑輸送設(shè)備包括自控系統(tǒng),所述自控系統(tǒng)包括報警裝置,所述負(fù)壓傳感器與所述報警裝置電連接。
7.根據(jù)權(quán)利要求1所述的化學(xué)藥劑輸送設(shè)備,其特征在于,所述化學(xué)藥劑輸送設(shè)備包括泄漏檢測系統(tǒng),所述泄漏檢測系統(tǒng)包括檢漏裝置,所述柜體的底部設(shè)有積水槽,所述檢漏裝置用于檢測所述積水槽內(nèi)的液體,所述化學(xué)藥劑輸送設(shè)備包括自控系統(tǒng),所述自控系統(tǒng)包括報警裝置,所述檢漏裝置與所述報警裝置電連接。
8.根據(jù)權(quán)利要求1所述的化學(xué)藥劑輸送設(shè)備,其特征在于,所述輸藥系統(tǒng)包括流量計,所述流量計設(shè)于所述輸藥管路。
9.根據(jù)權(quán)利要求1所述的化學(xué)藥劑輸送設(shè)備,其特征在于,所述動力元件包括第一動力泵和第二動力泵,所述儲存罐包括第一罐體和第二罐體,所述輸藥管路包括第一段管路和第二段管路,所述第一段管路的輸入端與所述第一罐體連接,所述第一段管路的輸出端與所述第二罐體連接,所述第一動力泵設(shè)于所述第一段管路,以將所述第一罐體內(nèi)的藥劑抽取至所述第二罐體內(nèi),所述第二段管路的輸入端與所述第二罐體連接,所述第二動力泵設(shè)于所述第二段管路,以將所述第二罐體內(nèi)的藥劑抽取至所述第二段管路外。
10.根據(jù)權(quán)利要求1所述的化學(xué)藥劑輸送設(shè)備,其特征在于,所述柜體采用聚丙烯材料制成。