一種晶盒倉儲柜擱架的配置方法
【專利摘要】本發(fā)明公開了一種晶盒倉儲柜擱架的配置方法，包括以下步驟：步驟S1、檢測單元獲取晶盒類型，檢測單元將信號反饋至控制單元；步驟S2、控制單元判斷倉儲柜擱架上同類型的晶盒位是否已存滿；步驟S3、控制單元控制機(jī)械手取放晶盒，如同類型的晶盒位未存滿，則機(jī)械手將晶盒配置到同類型的晶盒位上；如同類型的晶盒位已存滿，則機(jī)械手將晶盒配置到倉儲柜擱架上其他已預(yù)設(shè)優(yōu)先級的晶盒位上，配置晶盒順序按晶盒位的優(yōu)先級的順序排列。本發(fā)明通過檢測單元獲取晶盒類型，同時控制單元判斷同類型的晶盒位是否已存滿，通過機(jī)械手可將晶盒配置到其他已預(yù)設(shè)優(yōu)先級的晶盒位上，提高了倉儲柜擱架的利用率，使倉儲柜擱架的使用更加靈活。
【專利說明】一種晶盒倉儲柜擱架的配置方法
【技術(shù)領(lǐng)域】
[0001]本發(fā)明涉及半導(dǎo)體【技術(shù)領(lǐng)域】，特別涉及半導(dǎo)體晶盒倉儲柜擱架的配置方法。
【背景技術(shù)】
[0002]由于集成電路的發(fā)展速度快，晶圓廠建設(shè)成本高，同時半導(dǎo)體制造設(shè)備價格昂貴，所以晶盒廠對半導(dǎo)體設(shè)備的有效利用率的要求也不斷提高，其中，半導(dǎo)體設(shè)備包括立式氧化爐、低溫退火爐、高溫退火爐等批處理設(shè)備，而半導(dǎo)體晶圓被放在FOUP(晶圓傳送盒，簡稱晶盒)中，每個FOUP能夠攜帶25個300毫米直徑的晶圓。
[0003]現(xiàn)有倉儲柜擱架一般設(shè)有16個晶盒位，每個晶盒位配置一晶盒，晶盒及晶盒位通常包括4種類型，分別為Product、Dummy、Extra Dummy和Monitor。通常倉儲柜擱架的16個晶盒位對應(yīng)配置的晶盒位的類型為:8個Product+Ι個Dummy+5個Extra Dummy+2個Monitor,即4種類型晶盒位,共16個晶盒位。
[0004]如圖1所示，圖1為現(xiàn)有晶盒倉儲柜擱架的配置方法步驟流程圖?，F(xiàn)有技術(shù)中，將晶盒配置在倉儲柜擱架上的步驟為:步驟S1、檢測單元獲取晶盒類型，檢測單元將信號反饋至控制單元；其中，晶盒包括4種類型，即Product、Dummy、Extra Dummy和Monitor中的任意一種；步驟S2，所述控制單元判斷倉儲柜擱架上同類型的晶盒位是否已存滿；步驟S3，所述控制單元發(fā)出命令控制機(jī)械手取放晶盒，如同類型的晶盒位空置，則機(jī)械手將該晶盒配置在該倉儲柜擱架上的相應(yīng)同類型的晶盒位上，如同類型的晶盒位存滿，該倉儲柜將不能再存放該類型的晶盒。
[0005]但現(xiàn)有晶盒倉儲柜擱架的配置方法存在一定缺陷，例如:當(dāng)晶盒其中一種類型在該倉儲柜擱架上相應(yīng)類型的晶盒位已經(jīng)存儲滿時，則該倉儲柜將不能再存放該類型的晶盒，即便該倉儲柜擱架上其他類型的晶盒位處于空置狀態(tài)，因此，倉儲柜擱架的利用率未能得到充分利用，提供一種晶盒倉儲柜擱架的配置方法稱為本領(lǐng)域技術(shù)人員亟待解決的問題。

【發(fā)明內(nèi)容】

[0006]本發(fā)明所要解決的技術(shù)是提供一種晶盒倉儲柜擱架的配置方法，提高了倉儲柜擱架的利用率，使倉儲柜擱架的使用更加靈活。
[0007]本發(fā)明提供的一種晶盒倉儲柜擱架的配置方法，倉儲柜擱架上設(shè)有固定數(shù)量的不同類型的晶盒位，包括以下步驟:
[0008]步驟S1、檢測單元獲取晶盒類型，檢測單元將信號反饋至控制單元；
[0009]步驟S2、所述控制單元判斷倉儲柜擱架上同類型的晶盒位是否已存滿；
[0010]步驟S3、所述控制單元發(fā)出命令控制機(jī)械手取放晶盒，如同類型的晶盒位未存滿，則機(jī)械手將晶盒配置到同類型的晶盒位上；如同類型的晶盒位已存滿，則機(jī)械手將晶盒配置到倉儲柜擱架上其他已預(yù)設(shè)優(yōu)先級的晶盒位上，配置晶盒順序按晶盒位的優(yōu)先級的順序排列，直至將待置晶盒配置完畢。[0011]優(yōu)選的，若倉儲柜擱架上的晶盒被運(yùn)出，則所述控制單元將該晶盒位恢復(fù)到默認(rèn)配置的類型。
[0012]優(yōu)選的，所述控制單元對倉儲柜擱架上同類型的晶盒位進(jìn)行編號，所述編號由小到大排序。
[0013]優(yōu)選的，所述機(jī)械手配置晶盒按晶盒位由小到大的編號順序配置。
[0014]優(yōu)選的，步驟S3中，如同類型的晶盒位已存滿，晶盒需配置到其他已預(yù)設(shè)優(yōu)先級的晶盒位上時，則先改變待配置的晶盒位的類型，使待配置的晶盒位類型和晶盒類型保持一致，然后將晶盒配置到倉儲柜擱架上。
[0015]優(yōu)選的，當(dāng)倉儲柜擱架上的晶盒位全部存滿時，提示所述機(jī)械手不再進(jìn)行晶盒運(yùn)送。
[0016]優(yōu)選的，所述倉儲柜擱架上設(shè)有16個晶盒位。
[0017]優(yōu)選的，所述晶盒和晶盒位均設(shè)有4種不同類型。其中，所述晶盒和晶盒位的4種類型包括 Product、Dummy、Extra Dummy 和 Monitor。
[0018]與現(xiàn)有技術(shù)相比，本發(fā)明提供的晶盒倉儲柜擱架的配置方法，通過檢測單元獲取晶盒類型，同時控制單元判斷同類型的晶盒位是否已存滿，通過機(jī)械手可將晶盒配置到其他已預(yù)設(shè)優(yōu)先級的晶盒位上，提高了倉儲柜擱架的利用率，使倉儲柜擱架的使用更加靈活。
【專利附圖】

【附圖說明】
[0019]為了更清楚地說明本發(fā)明實施例中的技術(shù)方案，下面將對實施例中所需要使用的附圖作簡單地介紹，顯而易見地，下面描述中的附圖僅僅是本發(fā)明的一些實施例，對于本領(lǐng)域普通技術(shù)人員來講，在不付出創(chuàng)造性勞動的前提下，還可以根據(jù)這些附圖獲得其他的附圖。
[0020]圖1為現(xiàn)有晶盒倉儲柜擱架的配置方法步驟流程圖；
[0021]圖2為本發(fā)明提供的晶盒倉儲柜擱架的配置方法步驟流程圖。
【具體實施方式】
[0022]為使本發(fā)明的目的、技術(shù)方案和優(yōu)點(diǎn)更加清楚，下面將結(jié)合附圖對本發(fā)明的實施方式作進(jìn)一步地詳細(xì)描述。本領(lǐng)域技術(shù)人員可由本說明書所揭露的內(nèi)容輕易地了解本發(fā)明的其他優(yōu)點(diǎn)與功效。本發(fā)明還可以通過另外不同的【具體實施方式】加以實施或應(yīng)用，本說明書中的各項細(xì)節(jié)也可以基于不同觀點(diǎn)與應(yīng)用，在沒有背離本發(fā)明的精神下進(jìn)行各種修飾或改變。
[0023]圖2為本發(fā)明提供的晶盒倉儲柜擱架的配置方法步驟流程圖。
[0024]如圖2所示，本【具體實施方式】提供一種晶盒倉儲柜擱架的配置方法，倉儲柜擱架上設(shè)有固定數(shù)量的不同類型的晶盒位，包括以下步驟:
[0025]步驟S1、檢測單元獲取晶盒類型，檢測單元將信號反饋至控制單元；
[0026]步驟S2、控制單元判斷倉儲柜擱架上同類型的晶盒位是否已存滿；
[0027]步驟S3、控制單元發(fā)出命令控制機(jī)械手取放晶盒，如同類型的晶盒位未存滿，則機(jī)械手將晶盒配置到同類型的晶盒位上；如同類型的晶盒位已存滿，則機(jī)械手將晶盒配置到倉儲柜擱架上其他已預(yù)設(shè)優(yōu)先級的晶盒位上，配置晶盒順序按晶盒位的優(yōu)先級的順序排列，直至將待置晶盒配置完畢。
[0028]作為本發(fā)明一實施例，若倉儲柜擱架上的晶盒被運(yùn)出，則控制單元將該晶盒位恢復(fù)到默認(rèn)配置的類型。當(dāng)機(jī)械手將晶盒配置在所述倉儲柜擱架上后，應(yīng)使晶盒的類型與晶盒位的類型保持一致，尤其是如同類型的晶盒位已存滿，晶盒需配置到其他已預(yù)設(shè)優(yōu)先級的晶盒位上時，則先改變待配置的晶盒位的類型，使待配置的晶盒位類型和晶盒類型保持一致，然后將晶盒配置到倉儲柜擱架上。當(dāng)倉儲柜擱架上的晶盒位全部存滿時，可提示機(jī)械手不再進(jìn)行晶盒運(yùn)送。
[0029]本發(fā)明所提供的實施例中，倉儲柜擱架上設(shè)有16個晶盒位，晶盒和晶盒位設(shè)有4種不同類型。其中，所述晶盒和晶盒位的4種類型包括Product、Dummy、Extra Dummy和Monitor。
[0030]本實施例中，控制單元可對倉儲柜擱架上的同類型的晶盒位進(jìn)行編號，所述編號由小到大排序，即晶盒位編號由小到大:shelfl, shelf2,..., shelfl6。較佳的,機(jī)械手配置同類型的晶盒，按倉儲柜擱架上同類型晶盒位的編號由小到大的順序配置。
[0031]本實施例中，如圖2所示，首先，檢測單元獲取晶盒類型，檢測單元將信號反饋至控制單元；其次，控制單元判斷倉儲柜擱架上同類型的晶盒位是否已存滿；最后，所述控制單元同時控制機(jī)械手取放晶盒，如同類型的晶盒位未存滿，則將晶盒配置到該同類型的晶盒位上；較佳的，機(jī)械手配置同類型的晶盒按同類型晶盒位編號由小到大的順序配置，即按晶盒位編號為:shelfl, shelf2,..., shelf 16 ;如同類型的晶盒位已存滿,則機(jī)械手將晶盒配置到倉儲柜擱架上其他已預(yù)設(shè)優(yōu)先級的晶盒位上，配置晶盒順序按晶盒位的優(yōu)先級順序排列，直至將待置晶盒配置完畢。
[0032]本實施例中，晶盒位包括4種類型，可預(yù)設(shè)優(yōu)先級，包括第一優(yōu)先級、第二優(yōu)先級及第三優(yōu)先級，當(dāng)同類型的晶盒位已存滿時，則將晶盒配置到倉儲柜擱架上第一優(yōu)先級的晶盒位上，當(dāng)?shù)谝粌?yōu)先級的晶盒置滿時，所述機(jī)械手將晶盒配置到第二優(yōu)先級的晶盒位上，依次類推，直至將待置晶盒配置完畢。值得說明的是，同類型的同一優(yōu)先級中晶盒位的編號可以由小到大配置，配置晶盒按照晶盒位的編號由小到大的順序排列。
[0033]本發(fā)明提供的晶盒倉儲柜擱架的配置方法，通過檢測單元獲取晶盒類型，同時控制單元判斷同類型的晶盒位是否已存滿，通過機(jī)械手可將晶盒配置到其他已預(yù)設(shè)優(yōu)先級的晶盒位上，提高了倉儲柜擱架的利用率，使倉儲柜擱架的使用更加靈活。
[0034]上述說明示出并描述了本發(fā)明的若干優(yōu)選實施例，但如前所述，應(yīng)當(dāng)理解本發(fā)明并非局限于本文所披露的形式，不應(yīng)看作是對其他實施例的排除，而可用于各種其他組合、修改和環(huán)境，并能夠在本文所述發(fā)明構(gòu)想范圍內(nèi)，通過上述教導(dǎo)或相關(guān)領(lǐng)域的技術(shù)或知識進(jìn)行改動。而本領(lǐng)域人員所進(jìn)行的改動和變化不脫離本發(fā)明的精神和范圍，則都應(yīng)在本發(fā)明所附權(quán)利要求的保護(hù)范圍內(nèi)。
【權(quán)利要求】
1.一種晶盒倉儲柜擱架的配置方法，倉儲柜擱架上設(shè)有固定數(shù)量的不同類型的晶盒位，其特征在于，包括以下步驟: 步驟S1、檢測單元獲取晶盒類型，檢測單元將信號反饋至控制單元； 步驟S2、所述控制單元判斷倉儲柜擱架上同類型的晶盒位是否已存滿； 步驟S3、所述控制單元發(fā)出命令控制機(jī)械手取放晶盒，如同類型的晶盒位未存滿，則機(jī)械手將晶盒配置到同類型的晶盒位上；如同類型的晶盒位已存滿，則機(jī)械手將晶盒配置到倉儲柜擱架上其他已預(yù)設(shè)優(yōu)先級的晶盒位上，配置晶盒順序按晶盒位的優(yōu)先級的順序排列，直至將待置晶盒配置完畢。
2.根據(jù)權(quán)利要求1所述的晶盒倉儲柜擱架的配置方法，其特征在于，若倉儲柜擱架上的晶盒被運(yùn)出，則所述控制單元將該晶盒位恢復(fù)到默認(rèn)配置的類型。
3.根據(jù)權(quán)利要求1所述的晶盒倉儲柜擱架的配置方法，其特征在于，所述控制單元對倉儲柜擱架上同類型的晶盒位進(jìn)行編號，所述編號由小到大排序。
4.根據(jù)權(quán)利要求3所述的晶盒倉儲柜擱架的配置方法，其特征在于，所述機(jī)械手配置晶盒按晶盒位由小到大的編號順序配置。
5.根據(jù)權(quán)利要求1?4任一所述的晶盒倉儲柜擱架的配置方法，其特征在于，步驟S3中，如同類型的晶盒位已存滿，晶盒需配置到其他已預(yù)設(shè)優(yōu)先級的晶盒位上時，則先改變待配置的晶盒位的類型，使待配置的晶盒位類型和晶盒類型保持一致，然后將晶盒配置到倉儲柜擱架上。
6.根據(jù)權(quán)利要求1?4任一所述的晶盒倉儲柜擱架的配置方法，其特征在于，當(dāng)倉儲柜擱架上的晶盒位全部存滿時，提示所述機(jī)械手不再進(jìn)行晶盒運(yùn)送。
7.根據(jù)權(quán)利要求6所述的晶盒倉儲柜擱架的配置方法，其特征在于，所述倉儲柜擱架上設(shè)有16個晶盒位。
8.根據(jù)權(quán)利要求7所述的晶盒倉儲柜擱架的配置方法，其特征在于，所述晶盒和晶盒位均設(shè)有4種不同類型。
【文檔編號】B65G1/137GK103979245SQ201410200319
【公開日】2014年8月13日 申請日期:2014年5月13日 優(yōu)先權(quán)日:2014年5月13日
【發(fā)明者】鐘結(jié)實, 劉建濤, 黃揚(yáng)君, 張立超 申請人:北京七星華創(chuàng)電子股份有限公司