基板處理線及基板處理方法
【專利摘要】本發(fā)明涉及基板處理線及基板處理方法，所述基板處理線包括具備支撐基板并沿基板搬送方向搬送該基板的搬送帶的多個(gè)處理裝置。其中一處理裝置具備作為所述搬送帶的可動搬送帶，該可動搬送帶在與所述基板搬送方向正交的正交方向上移動自如。所述一處理裝置及與該一處理裝置相鄰的另一處理裝置中設(shè)置有檢測基板位置的一位置檢測部及另一位置檢測部。控制可動搬送帶的移動的控制部根據(jù)從所述一位置檢測部及所述另一位置檢測部這兩者的檢測結(jié)果判斷在所述一處理裝置的所述可動搬送帶與所述另一處理裝置的所述搬送帶之間交接所述基板的基板交接動作的執(zhí)行狀況的結(jié)果，來控制所述可動搬送帶的移動。由此，抑制可動搬送帶在不適當(dāng)?shù)臅r(shí)期的移動。
【專利說明】基板處理線及基板處理方法
【技術(shù)領(lǐng)域】
[0001]本發(fā)明涉及以下的基板處理技術(shù):排列設(shè)置多臺具備支撐基板并搬送該基板的搬送帶的處理裝置，在相鄰的處理裝置的所述搬送帶間交接基板，并且在各處理裝置中對基板進(jìn)行處理。
【背景技術(shù)】
[0002]日本專利公開公報(bào)特開2010-087136號(專利文獻(xiàn))中公開了一種基板處理線(該專利文獻(xiàn)的元件安裝線)，該基板處理線中，基板投入機(jī)和元件安裝機(jī)依次沿基板搬送方向排列，執(zhí)行基板投入機(jī)與元件安裝機(jī)之間的基板交接和對基板的處理。具體而言，基板投入機(jī)進(jìn)行向位于基板搬送方向下游側(cè)的元件安裝機(jī)投入基板的處理，元件安裝機(jī)進(jìn)行對從基板搬送方向上游側(cè)投入的基板安裝元件的處理。而且，基板投入機(jī)及元件安裝機(jī)等各處理裝置具備通過搬送帶沿基板搬送方向搬送基板的結(jié)構(gòu)。因此，在相鄰的處理裝置各自的搬送帶之間執(zhí)行基板的交接，并在這些處理裝置間執(zhí)行基板的搬送。
[0003]上述處理裝置中，通過采用使用在與基板搬送方向正交的正交方向上移動自如的可動搬送帶來進(jìn)行基板的支撐及搬送的結(jié)構(gòu)，從而能夠?qū)崿F(xiàn)處理裝置通用性的提高。但是，在排列有多個(gè)處理裝置的基板處理線中，在利用具備可動搬送帶的處理裝置時(shí)，存在如下問題。即，可動搬送帶的移動不能在任意時(shí)期進(jìn)行。當(dāng)在可動搬送帶與其他搬送帶之間進(jìn)行基板的交接時(shí)，如果不慎移動可動搬送帶，有可能無法由這些搬送帶來可靠地支撐基板。因此，要求判斷這些搬送帶間的基板交接執(zhí)行狀況，以抑制可動搬送帶的在不適當(dāng)?shù)臅r(shí)期的移動。

【發(fā)明內(nèi)容】

[0004]本發(fā)明的目的在于在包含相互鄰接的處理裝置的基板處理線中抑制可動搬送帶在不適當(dāng)?shù)臅r(shí)期的移動，所述相互鄰接的處理裝置的至少一者具備可動搬送帶。
[0005]實(shí)現(xiàn)該目的的本發(fā)明的一方面所涉及的基板處理線包括:多個(gè)處理裝置，分別具備支撐基板并沿基板搬送方向搬送該基板的搬送帶，該多個(gè)處理裝置沿所述基板搬送方向排列設(shè)置，在該多個(gè)處理裝置的所述搬送帶之間交接所述基板，該多個(gè)處理裝置中的各處理裝置對所述基板進(jìn)行處理；驅(qū)動部，沿與所述基板搬送方向正交的正交方向驅(qū)動所述多個(gè)處理裝置中的一處理裝置所具備的作為所述搬送帶的可動搬送帶，該可動搬送帶在所述正交方向上移動自如；控制部，控制基于所述驅(qū)動部的所述可動搬送帶的移動；一位置檢測部，檢測所述一處理裝置的所述可動搬送帶所支撐的所述基板在所述基板搬送方向上的位置；另一位置檢測部，檢測所述多個(gè)處理裝置中的與所述一處理裝置相鄰的另一處理裝置的所述搬送帶所支撐的所述基板在所述基板搬送方向上的位置；其中，所述控制部根據(jù)從所述一位置檢測部及所述另一位置檢測部這兩者的檢測結(jié)果判斷在所述一處理裝置的所述可動搬送帶與所述另一處理裝置的所述搬送帶之間交接所述基板的基板交接動作的執(zhí)行狀況的結(jié)果，來控制基于所述驅(qū)動部的所述可動搬送帶的移動。[0006]本發(fā)明的另一方面所涉及的基板處理方法，將具備支撐基板并沿基板搬送方法搬送該基板的搬送帶的處理裝置沿所述基板搬送方向排列設(shè)置多個(gè)，在該多個(gè)處理裝置的所述搬送帶之間交接所述基板并在所述各處理裝置中對所述基板進(jìn)行處理，所述基板處理方法包括如下步驟:檢測所述多個(gè)處理裝置中的一處理裝置所具備的作為所述搬送帶的可動搬送帶所支撐的所述基板在所述基板搬送方向上的位置，以作為一位置檢測結(jié)果的步驟，所述可動搬送帶在與所述基板搬送方向正交的正交方向上移動自如；檢測所述多個(gè)處理裝置中的與所述一處理裝置相鄰的另一處理裝置的所述搬送帶所支撐的所述基板在所述基板搬送方向上的位置，以作為另一位置檢測結(jié)果的步驟；根據(jù)從所述一位置檢測結(jié)果及所述另一位置檢測結(jié)果這兩者判斷在所述一處理裝置的所述可動搬送帶與所述另一處理裝置的所述搬送帶之間交接所述基板的基板交接動作的執(zhí)行狀況的結(jié)果，來控制所述可動搬送帶的移動的步驟。
[0007]根據(jù)上述發(fā)明，能夠抑制可動搬送帶在不適當(dāng)?shù)臅r(shí)期的移動。
【專利附圖】

【附圖說明】
[0008]圖1是示意性地表示本發(fā)明的第一實(shí)施方式所涉及的基板處理線的一例的圖。
[0009]圖2是表示在第一實(shí)施方式中上游側(cè)的基板處理裝置所執(zhí)行的基板搬出處理的一例的流程圖。
[0010]圖3是表示在第一實(shí)施方式中下游側(cè)的基板處理裝置所執(zhí)行的基板搬入處理的一例的流程圖。
[0011]圖4是示意性地表示按照圖2及圖3的流程圖執(zhí)行的具體動作的一例的動作圖。
[0012]圖5是表示圖4中例示的動作的時(shí)間經(jīng)過的時(shí)序圖。
[0013]圖6是示意性地表示基板交接動作的各執(zhí)行狀況的一例的圖。
[0014]圖7是示意性地表示本發(fā)明的第二實(shí)施方式所涉及的基板處理線的一例的圖。
[0015]圖8是表示在第二實(shí)施方式中上游側(cè)的基板處理裝置所執(zhí)行的基板搬出處理的一例的流程圖。
[0016]圖9是表示在第二實(shí)施方式中下游側(cè)的基板處理裝置所執(zhí)行的基板搬入處理的一例的流程圖。
[0017]圖10是示意性地表示按照圖8及圖9的流程圖執(zhí)行的具體動作的一例的動作圖。
[0018]圖11是表示圖10中例示的動作的時(shí)間經(jīng)過的時(shí)序圖。
【具體實(shí)施方式】
[0019]<第一實(shí)施方式>
[0020]圖1是示意性地表示本發(fā)明的第一實(shí)施方式所涉及的基板處理線的一例的圖。在該圖及以下所示的圖中，將適當(dāng)示出設(shè)基板搬送方向?yàn)閄軸方向、與X軸方向正交的正交方向?yàn)閅軸方向的XY正交坐標(biāo)軸。該基板處理線I將多臺(兩臺)基板處理裝置2、3(多個(gè)處理裝置)依次沿基板搬送方向X排列(排列設(shè)置)，沿基板搬送方向X搬送基板A (圖4)，并且在基板處理裝置2、3各自中對基板A進(jìn)行指定的處理。
[0021]在基板處理線I中設(shè)置在基板搬送方向X的上游側(cè)的基板處理裝置2 (另一處理裝置，也就是第二處理裝置)是將兩臺搬送臺10沿Y軸方向排列，從而排列設(shè)置有兩條基板搬送路徑的所謂雙路式處理裝置。各搬送臺10包含沿Y軸方向排列的兩條搬送帶100。各搬送帶100從下方支撐基板A并沿基板搬送方向X搬送基板A。因此，搬送臺10通過使構(gòu)成自身的兩條搬送帶100工作，從而沿基板搬送方向X搬送基板A。在基板搬送方向X的上游側(cè)的基板處理裝置2的壁面，相對于兩臺搬送臺10，分別開設(shè)有基板A的搬入口 20i。在基板搬送方向X的下游側(cè)的基板處理裝置2的壁面，相對于兩臺搬送臺，分別開設(shè)有基板A的搬出口 20ο。
[0022]從搬入口 20i搬入基板處理裝置2內(nèi)的基板A相對于構(gòu)成搬送臺10的兩條搬送帶100沿Y軸方向架設(shè)，由搬送臺10予以支撐。這樣搬入的基板A由搬送臺10沿基板搬送方向X搬送，并在作業(yè)位置Pa處停止以接受指定的處理。當(dāng)在作業(yè)位置Pa處完成對基板A的處理時(shí)，搬送臺10從作業(yè)位置Pa沿基板搬送方向X搬送基板A，朝向設(shè)置在基板搬送方向X的下游側(cè)的基板處理裝置3 ( —處理裝置，也就是第一處理裝置)搬出。
[0023]如上所述，該基板處理裝置2具備兩臺搬送臺10。因此，對于被定位在兩臺搬送臺10各自的作業(yè)位置Pa處的基板A，能夠并行地執(zhí)行指定的處理。作為基板處理裝置2所執(zhí)行的處理的具體內(nèi)容，可列舉焊料糊劑往基板A上的印刷、電子元件往基板A上的安裝等。例如，當(dāng)如日本專利公開公報(bào)特開2011-151222號中公開的雙路式印刷裝置般構(gòu)成基板處理裝置2時(shí)，能夠在兩處作業(yè)位置Pa分別對基板A執(zhí)行印刷處理?；蛘撸?dāng)如日本專利公開公報(bào)特開2011-142241號中公開的雙路式元件安裝裝置般構(gòu)成基板處理裝置2時(shí)，能夠在兩處作業(yè)位置Pa分別對基板A執(zhí)行元件安裝處理。另外，無須在兩處作業(yè)位置Pa都進(jìn)行同種處理，例如，也可以在一方的作業(yè)位置Pa執(zhí)行印刷處理，并且在另一方的作業(yè)位置Pa執(zhí)行元件安裝處理。
[0024]此處，詳細(xì)說明基板處理裝置2中所設(shè)的搬送臺10的詳細(xì)結(jié)構(gòu)。另外，由于兩臺搬送臺IO(IOa)均具備同樣的結(jié)構(gòu)，因此，此處基本上對一臺搬送臺10進(jìn)行說明?；逄幚硌b置2中所設(shè)的搬送臺10以改變在Y軸方向(正交方向)上的寬度的方式構(gòu)成。S卩，構(gòu)成搬送臺10的兩條搬送帶100中的一條(Y軸方向外側(cè))的搬送帶IOOd是接受來自驅(qū)動機(jī)構(gòu)21的驅(qū)動力而向Y軸方向移動的可動搬送帶100d。因此，通過利用驅(qū)動機(jī)構(gòu)21來向Y軸方向移動可動搬送帶100d，能夠使兩條搬送帶100d、100的間隔在Y軸方向上發(fā)生變化，從而能夠變更搬送臺10在Y軸方向上的寬度(臺寬度變更動作)。由此，在Y軸方向上，能夠根據(jù)基板A的寬度來適當(dāng)調(diào)整搬送臺10的寬度。另外，作為使可動搬送帶IOOd移動的驅(qū)動機(jī)構(gòu)21的具體結(jié)構(gòu)，能夠使用以往已知的各種驅(qū)動機(jī)構(gòu)。
[0025]在構(gòu)成搬送臺10的兩條搬送帶100中的一者處，沿基板搬送方向X隔開間隔排列的三個(gè)基板傳感器Sa1、Sam、Sao以從上方與該一者相向的方式設(shè)置。這些基板傳感器Sa1、Sam,Sao為光學(xué)式傳感器?；鍌鞲衅鱏ai是設(shè)置在搬送帶100的基板搬送方向X的上游端的傳感器，位于基板A的搬入口 20i附近?；鍌鞲衅鱏am設(shè)置在基板搬送方向X上的搬送帶100的中央稍下游側(cè)?；鍌鞲衅鱏ao (另一位置檢測部，也就是第二位置檢測部)是設(shè)置在搬送帶100的基板搬送方向X的下游端的傳感器，位于基板A的搬出口 20i附近。這些基板傳感器Sa1、Sam、Sao各自檢測存在于正下方的基板A，若存在基板A則輸出“0N”，若不存在基板A則輸出“OFF”。因此，能夠根據(jù)基板傳感器Sa1、Sam、Sao的輸出信號Is來掌握由搬送臺IOa所支撐的基板A在基板搬送方向X上的位置。
[0026]基板處理裝置2除了上述機(jī)械結(jié)構(gòu)以外，作為電氣結(jié)構(gòu)，還具備控制電路27 (通信控制部的一部分)及輸入輸出電路29 (通信控制部的一部分)?？刂齐娐?7包含中央處理器(Central Processing Unit, CPU)及存儲器，統(tǒng)一控制由基板處理裝置2所執(zhí)行的動作。具體而言，控制電路27控制搬送臺10在基板搬送方向X上對基板A的搬送，或者將驅(qū)動控制信號Id給予驅(qū)動機(jī)構(gòu)21以調(diào)整可動搬送帶IOOd在Y軸方向上的位置。輸入輸出電路29是與外部收發(fā)已轉(zhuǎn)換成能夠作為傳輸信號來傳輸?shù)男盘柕碾娐?，具體而言，在與基板處理裝置3的輸入輸出電路39 ( 一處理裝置的通信控制部的一部分)之間進(jìn)行傳輸信號的通信。
[0027]本實(shí)施方式中，在基板處理裝置2、3各自的輸入輸出電路29、39之間，交換基板傳感器的輸出信號Is。輸出信號Is從基板傳感器經(jīng)由線纜Cs被送往控制電路27?？刂齐娐?7將輸出信號Is轉(zhuǎn)換成傳輸信號，并經(jīng)由輸入輸出電路29將所述傳輸信號輸出至基板處理裝置3。這樣的結(jié)構(gòu)中，不論是否將來自基板傳感器的輸出信號Is送到基板處理裝置3，作為線纜Cs，只要從基板傳感器將輸出信號Is輸出到控制電路27即可，因此無須將線纜Cs繞設(shè)到基板處理裝置3。其結(jié)果，線纜Cs的繞設(shè)變得容易。
[0028]在基板處理線I中設(shè)置在基板搬送方向X的下游側(cè)的基板處理裝置3沿基板搬送方向X串聯(lián)排列有兩臺搬送臺10(10b、10c)。各搬送臺10包含沿Y軸方向排列的兩條搬送帶100(支撐臺)。通過使這些搬送帶100工作，從而支撐并沿基板搬送方向X搬送基板A。在基板搬送方向X的上游側(cè)的基板處理裝置3的壁面，與基板處理裝置2的兩個(gè)搬出口20ο分別相向地開設(shè)有基板A的搬入口 30i。在基板搬送方向X的下游側(cè)的基板處理裝置3的壁面，開設(shè)有一個(gè)基板A的搬出口 30ο。
[0029]從基板處理裝置2經(jīng)由搬入口 30i搬入基板處理裝置3內(nèi)的基板A相對構(gòu)成上游側(cè)的搬送臺IOb的兩條搬送帶100沿Y軸方向架設(shè)，由搬送臺IOb予以支撐。這樣搬入的基板A由搬送臺IOb沿基板搬送方向X搬送，并在作業(yè)位置Pb處接受指定的處理。當(dāng)作業(yè)位置Pb處的基板A完成處理時(shí)，搬送臺IOb從作業(yè)位置Pb沿基板搬送方向X搬送基板A，以交接給下游側(cè)的搬送臺10c。
[0030]這樣交接的基板A相對于構(gòu)成下游側(cè)的搬送臺IOc的兩條搬送帶100沿Y軸方向架設(shè)，由搬送臺IOc予以支撐。并且，基板A由搬送臺IOc沿基板搬送方向X搬送，并在作業(yè)位置Pc處接受指定的處理。當(dāng)作業(yè)位置Pc處的基板A完成處理時(shí)，搬送臺IOc從作業(yè)位置Pc沿基板搬送方向X搬送基板A，并從搬出口 30ο搬出。
[0031]如上所述，該基板處理裝置3具備兩臺搬送臺10。因此，對于被定位在兩臺搬送臺10各自的作業(yè)位置Pb、Pc的基板A，能夠并行地執(zhí)行指定的處理。本例中，基板處理裝置3在作業(yè)位置Pb、Pc分別對基板A執(zhí)行元件安裝處理。
[0032]此處，詳細(xì)說明基板處理裝置3中所設(shè)的搬送臺10的詳細(xì)結(jié)構(gòu)。另外，由于兩臺搬送臺10均具備同樣的結(jié)構(gòu)，因此，此處基本上對一臺搬送臺10進(jìn)行說明。基板處理裝置3中所設(shè)的搬送臺10以改變在Y軸方向(正交方向)上的寬度的方式構(gòu)成。即，構(gòu)成搬送臺10的兩條搬送帶100均是接受來自驅(qū)動機(jī)構(gòu)31的驅(qū)動力而向Y軸方向移動的可動搬送帶100d。因此,通過利用驅(qū)動機(jī)構(gòu)31來向Y軸方向移動可動搬送帶IOOd,能夠使兩條搬送帶100d、IOOd的間隔在Y軸方向上發(fā)生變化，從而能夠變更搬送臺10在Y軸方向上的寬度(臺寬度變更動作)。由此，在Y軸方向上，能夠根據(jù)基板A的寬度來恰當(dāng)調(diào)整搬送臺10的寬度。而且，通過利用驅(qū)動機(jī)構(gòu)31使兩條可動搬送帶100在保持彼此的間隔的狀態(tài)下向Y軸方向移動，從而能夠使搬送臺10在保持其寬度的狀態(tài)下向Y軸方向移動(臺移動動作)。另外，作為使可動搬送帶IOOd移動的驅(qū)動機(jī)構(gòu)31的具體結(jié)構(gòu)，能夠使用以往已知的各種驅(qū)動機(jī)構(gòu)。
[0033]在構(gòu)成上游側(cè)的搬送臺IOb的兩條搬送帶100中的一者處，沿基板搬送方向X隔開間隔排列的三個(gè)基板傳感器Sb1、Sbm、Sbo以從上方與該一者相向的方式設(shè)置。這些基板傳感器Sb1、Sbm、Sbo為光學(xué)式傳感器?；鍌鞲衅鱏bi ( 一位置檢測部,也就是第一位置檢測部)是設(shè)置在搬送帶100的基板搬送方向X的上游端的傳感器，位于基板A的搬入口 30i附近?；鍌鞲衅鱏bm設(shè)置在基板搬送方向X上的搬送帶100的中央稍下游側(cè)?；鍌鞲衅鱏bo是設(shè)置在搬送帶100的基板搬送方向X的下游端的傳感器，位于下游側(cè)的搬送臺IOc附近。這些基板傳感器Sb1、Sbm、Sbo各自檢測存在于正下方的基板A，若存在基板A，則輸出“0N”，若不存在基板A，則輸出“OFF”。因此，能夠根據(jù)基板傳感器Sb1、Sbm、Sbo的輸出信號Is來掌握由搬送臺IOb所支撐的基板A在基板搬送方向X上的位置。
[0034]而且，在構(gòu)成下游側(cè)的搬送臺IOc的兩條搬送帶100中的一者處，沿基板搬送方向X隔開間隔排列的三個(gè)基板傳感器Sc1、scm、sc0以從上方與該一者相向的方式設(shè)置。這些基板傳感器SC1、SCm、SC0為光學(xué)式傳感器?；鍌鞲衅鱏ci是設(shè)置在搬送帶100的基板搬送方向X的上游端的傳感器，位于上游側(cè)的搬送臺IOb附近?；鍌鞲衅鱏cm設(shè)置在基板搬送方向X上的搬送帶100的中央稍下游側(cè)?；鍌鞲衅鱏c。是設(shè)置在搬送帶100的基板搬送方向X的下游端的傳感器，位于基板A的搬出口 30ο附近。這些基板傳感器Sc1、Scm、Sco各自檢測存在于正下方的基板A，若存在基板A，則輸出“0N”，若不存在基板A，則輸出“OFF”。因此，能夠根據(jù)基板傳感器Sc1、Scm、Sco的輸出信號Is來掌握由搬送臺IOc所支撐的基板A在基板搬送方向X上的位置。
[0035]基板處理裝置3除了上述機(jī)械結(jié)構(gòu)以外，作為電氣結(jié)構(gòu)，還具備控制電路37 (通信控制部的一部分)及輸入輸出電路39 (通信控制部的一部分)?？刂齐娐?7包含CPU及存儲器，統(tǒng)一控制由基板處理裝置3所執(zhí)行的動作。具體而言，控制電路37控制搬送臺10在基板搬送方向X上對基板A的搬送，或者將驅(qū)動控制信號Id給予驅(qū)動機(jī)構(gòu)31以調(diào)整可動搬送帶IOOd在Y軸方向上的位置。輸入輸出電路39是與外部收發(fā)已轉(zhuǎn)換成能夠作為傳輸信號來傳輸?shù)男盘柕碾娐?，具體而言，在與基板處理裝置2的輸入輸出電路29之間進(jìn)行傳輸信號的通信。
[0036]本實(shí)施方式中，在基板處理裝置2、3各自的輸入輸出電路29、39之間，交換基板傳感器的輸出信號Is。輸出信號Is從基板傳感器經(jīng)由線纜Cs被送往控制電路37。控制電路37將輸出信號Is轉(zhuǎn)換成傳輸信號，并經(jīng)由輸入輸出電路39將所述傳輸信號輸出至基板處理裝置3。這樣的結(jié)構(gòu)中，不論是否將來自基板傳感器的輸出信號Is送到基板處理裝置2，作為線纜Cs，只要從基板傳感器將輸出信號Is輸出到控制電路37即可，因此無須將線纜Cs繞設(shè)到基板處理裝置2。其結(jié)果，線纜Cs的繞設(shè)變得容易。
[0037]在沿基板搬送方向X串聯(lián)排列有基板處理裝置2、3的基板處理線I中，執(zhí)行從基板處理裝置2的搬送臺IOa將基板A交接給基板處理裝置3的搬送臺IOb的基板交接動作。該基板交接動作是伴隨下游側(cè)的基板處理裝置3搬入上游側(cè)的基板處理裝置2所搬出的基板A的動作而執(zhí)行。因此，下面詳述基板A的搬出處理及搬入處理和伴隨于此而被執(zhí)行的基板交接動作。[0038]圖2是表示在第一實(shí)施方式中上游側(cè)的基板處理裝置2所執(zhí)行的基板搬出處理的一例的流程圖。圖3是表示在第一實(shí)施方式中下游側(cè)的基板處理裝置3所執(zhí)行的基板搬入處理的一例的流程圖。另外，在第一實(shí)施方式中的以下的說明中，適當(dāng)?shù)貙⑸嫌蝹?cè)的基板處理裝置2稱作上游裝置2，將下游側(cè)的基板處理裝置3稱作下游裝置3。
[0039]首先，利用圖2說明搬出基板A的上游裝置2的動作。另外，圖2的流程是在上游裝置2的控制電路27的控制下執(zhí)行。當(dāng)借助上游裝置2的基板搬出的流程開始時(shí)，在步驟SlOl中，判定是否能夠從上游裝置2搬出基板A。換言之，控制電路27確認(rèn)下游裝置3的搬送臺IOb是否處于接納基板A的狀態(tài)。具體而言，確認(rèn)如下搬出條件:
[0040]?下游裝置3的搬送臺IOb上不存在基板A ；
[0041]?相對于上游裝置2中支撐作為搬出對象的基板A的搬送臺10a，在沿基板搬送方向X串聯(lián)排列的位置處，存在下游裝置3的搬送臺10b。
[0042]控制電路27在不滿足上述搬出條件而不能搬出基板時(shí)(步驟SlOl中為“否”時(shí))，等待基板搬出。另一方面，控制電路27在滿足上述搬出條件而能夠搬出基板時(shí)(步驟SlOl中為“是”時(shí))，使處理前進(jìn)至步驟S102。
[0043]步驟S102中，載置(支撐)有作為搬出對象的基板A的搬送臺IOa的各搬送帶100工作，基板A沿基板搬送方向X受到搬送，并從上游裝置2搬出。繼而，步驟S103中，確認(rèn)載置有作為搬出對象的基板A的搬送臺IOa的基板傳感器Sao發(fā)出的輸出信號Is是否為“OFF”。若確認(rèn)基板A已通過基板傳感器Sao的正下方，基板傳感器Sao的輸出信號Is為“OFF” (步驟S103中判斷為“是”時(shí))，使處理前進(jìn)至步驟S104。步驟S104中，確認(rèn)從基板傳感器Sao的輸出信號Is變成“OFF”開始是否已經(jīng)過了指定時(shí)間。若確認(rèn)經(jīng)過了指定時(shí)間(步驟S104中判斷為“是”時(shí))，結(jié)束上游裝置2對基板搬出的流程。
[0044]繼而，利用圖3說明搬入基板A的下游裝置3的動作。另外，圖3的流程是在下游裝置3的控制電路37的控制下執(zhí)行。當(dāng)借助下游裝置3的基板搬入的流程開始時(shí)，在步驟S201中，判斷下游裝置3中是否能夠搬入基板A。具體而言，確認(rèn)要求下游裝置3的搬送臺IOb上不存在基板A的搬入條件?？刂齐娐?7在不滿足上述搬入條件而不能搬入基板時(shí)(步驟S201中為“否”時(shí))，等待搬入基板。另一方面，控制電路37在滿足上述搬入條件而能夠搬入基板時(shí)(步驟S201中為“是”時(shí))，使處理前進(jìn)至步驟S202。
[0045]步驟S202中，確認(rèn)上游裝置2的搬出口 20ο附近的兩基板傳感器Sao、下游裝置3的搬送臺IOb的上下游端的基板傳感器Sb1、Sbo及下游裝置3的搬送臺IOc的上游端的基板傳感器Sci的輸出信號Is全部為“OFF”。這是確認(rèn)基板A并非處于橫跨接納基板A的搬送臺IOb與相鄰的搬送臺IOa或搬送臺IOc之間的狀態(tài)中。具體而言，通過確認(rèn)基板傳感器Sao、Sbi這兩者為“OFF”，從而確認(rèn)不存在橫跨搬送臺IOb與搬送臺IOa之間的基板A。而且，通過確認(rèn)基板傳感器Sbo、Sci這兩者為“OFF”，從而確認(rèn)不存在橫跨搬送臺IOb與搬送臺IOc之間的基板A。
[0046]步驟S202中，若無法確認(rèn)基板傳感器Sao、Sb1、Sbo、Sci全部為“OFF” (步驟S202中為“否”時(shí))，控制電路37判斷為基板A的交接動作正在執(zhí)行。并且，控制電路37使處理前進(jìn)至步驟S203，經(jīng)由省略圖示的用戶接口輸出錯(cuò)誤顯示，停止基板A的搬入，結(jié)束圖3的流程(禁止可動搬送帶IOOd的移動)。另一方面，步驟S202中，若確認(rèn)了基板傳感器Sao、Sb1、Sbo、Sci全部為“OFF” (步驟S202中為“是”時(shí))，則前進(jìn)至步驟S204，判斷可動搬送帶IOOd的移動的必要性。
[0047]具體而言，對于搬送臺10b，判斷臺寬度調(diào)整動作及臺移動動作的必要性。為了向下游裝置3搬入基板A，要求以下的接受條件:
[0048]?搬送臺IOb的寬度相對于搬來的基板A的寬度為恰當(dāng)；
[0049]?在取得被搬來的基板A的交接位置存在搬送臺10b。
[0050]即，若不滿足前一個(gè)接受條件，則臺寬度調(diào)整動作成為必要，若不滿足后一個(gè)接受條件，則臺移動動作成為必要。換言之，后一個(gè)接受條件要求:相對于支撐作為搬出對象的基板A的搬送臺10a，在沿基板搬送方向X串聯(lián)排列的交接位置Pr (圖4)，存在下游裝置3的搬送臺10b。步驟S204中，基于對是否滿足接受條件進(jìn)行判斷的結(jié)果，判斷是否需要臺寬度調(diào)整動作或臺移動動作，決定是否使可動搬送帶IOOd移動。
[0051]為了更具體地說明步驟S204以后的流程，以下并用圖4及圖5進(jìn)行說明。圖4是示意性地表示按照圖2及圖3的流程圖執(zhí)行的具體動作的一例的動作圖。圖4中，例示了上游裝置2的兩臺搬送臺IOa中的、圖1及圖4中上側(cè)的搬送臺IOa搬出作為對象的基板A的情況。圖5是表示圖4中例示的動作的時(shí)間經(jīng)過的時(shí)序圖,表示基板傳感器Sam、Sao、Sb1、Sbm的輸出信號Is及搬送臺IOb的位置的時(shí)間變化。另外，圖5的基板傳感器Sam、Sao設(shè)置在搬出作為對象的基板A的搬送臺IOa上(即，圖1、圖4中上側(cè)的搬送臺IOa)。
[0052]如上所述，步驟S204中，判斷是否滿足上述接受條件。若不滿足接受條件，則處理前進(jìn)至步驟S205，若滿足接受條件，則處理前進(jìn)至步驟S206。圖4中，例示了在步驟S204中未滿足接受條件的情況。即，圖4的“動作MlI” 一欄所示的例子中，在上游裝置2中，基板A被載置于搬送臺IOa的中央，在下游裝置3中，搬送臺IOb位于處理位置Pp (即未位于交接位置Pr)，不滿足接受條件。因此，步驟S204中，至少判斷為需要臺移動動作，以使搬送臺IOb移動到交接位置Pr。而且，若搬送臺IOb的寬度相對于基板A的寬度不適當(dāng)，則判斷為還需要臺寬度調(diào)整動作。
[0053]在緊跟著的步驟S205中，驅(qū)動搬送臺IOb的可動搬送帶100d，執(zhí)行在步驟S204中判斷為有必要的動作。其結(jié)果，搬送臺IOb耗費(fèi)時(shí)刻UO~til從處理位置Pp沿Y軸方向移動到交接位置PH圖4的“動作M12”、圖5)。這樣，通過執(zhí)行步驟S205的動作，從而滿足接受條件，前進(jìn)至步驟S206。
[0054]步驟S206中，上游裝置2搬出基板A，并且下游裝置3搬入基板A。伴隨該動作，基板A從上游裝置2的搬送臺IOa移動到下游裝置3的搬送臺10b。具體而言，如圖4所示，基板A經(jīng)由橫跨搬送臺IOa與搬送臺IOb上的狀態(tài)(動作M13)，轉(zhuǎn)移到搬送臺IOb上(動作 M14)。
[0055]對應(yīng)于這樣的基板A的移動，各基板傳感器產(chǎn)生反應(yīng)。即，由于基板A通過搬送臺IOaUOb的邊界，因此夾著該邊界設(shè)置的基板傳感器Sao、Sbi各自暫時(shí)變成“ON”。具體而言，在時(shí)刻tl2~tl5的期間，基板搬送方向X的上游側(cè)的基板傳感器Sao變成“0N”。而且，在比時(shí)刻tl2~tl5稍晚的時(shí)刻tl3~tl6的期間，基板搬送方向X的下游側(cè)的基板傳感器Sbi變成“ON” (tl2 < tl3 < tl5 < tl6)。由于從上游裝置2的搬送臺IOa搬出基板A，因此相對于搬送臺IOa的大致中央而設(shè)的基板傳感器Sam在時(shí)刻tl4由“0N”變成“0FF”(tl3 < tl4 < tl5)。另一方面，由于向下游裝置3的搬送臺IOb搬入基板A，因此相對于搬送臺IOb的大致中央而設(shè)的基板傳感器Sbm在時(shí)刻tl7由“OFF”變成“ON”。[0056]在緊跟著步驟S206的步驟S207、S208中，確認(rèn)各基板傳感器的狀態(tài)。即，步驟S207中，控制電路37檢測基板傳感器Sbm已變成“0N”的情況，判斷為基板A向搬送臺IOb的搬入已完成，使搬送臺IOb的搬送帶100停止。而且，步驟S208中，確認(rèn)基板傳感器Sao、Sb1、Sbo, Sci是否全部為“OFF”。若基板傳感器Sao、Sb1、Sbo、Sci中的任一者為“0N”，則控制電路37使處理前進(jìn)至步驟S203，經(jīng)由省略圖示的用戶接口輸出錯(cuò)誤顯示，結(jié)束圖3的流程。
[0057]另一方面，在步驟S208中，若確認(rèn)基板傳感器Sao、Sb1、Sbo、Sci全部為“OFF”，則處理前進(jìn)至步驟S209。步驟S209中，對于搬送臺10b，使可動搬送帶IOOd移動，判斷臺寬度調(diào)整動作或臺移動動作的必要性。并且，若無必要(步驟S209中為“否”時(shí))，則控制電路37結(jié)束圖3的流程圖，另一方面，若有必要(步驟S209中為“是”時(shí))，則前進(jìn)至步驟S210，執(zhí)行被判斷為有必要的動作。
[0058]此處，由于基板傳感器Sbm變成“0N”，因此判明在搬送臺IOb上載置有基板A。因此，若對搬送臺IOb執(zhí)行臺寬度調(diào)整動作，則存在搬送臺IOb對基板A的支撐變得不穩(wěn)定的危險(xiǎn)，因此禁止臺寬度調(diào)整動作。即，控制電路37在判斷為由可動搬送帶IOOd支撐基板A (可動搬送帶IOOd對基板A的支撐狀態(tài)的判斷)時(shí)，禁止所述臺寬度調(diào)整動作。
[0059]另一方面，由于基板傳感器Sb1、Sbo為“OFF”且基板傳感器Sbm為“0N”，因此判明在基板搬送方向X上，基板A收在搬送臺IOb的內(nèi)側(cè)。即，判明基板A處于被收容在兩個(gè)可動搬送帶IOOd在基板搬送方向X上的長度范圍內(nèi)的狀態(tài)。因此，對于不改變搬送臺IOb的寬度的臺移動動作，能夠無問題地執(zhí)行。尤其，在圖4的“動作M14”的時(shí)間，搬送臺IOb處于交接位置Pr。因此，為了在作業(yè)位置Pb處對基板A進(jìn)行處理，必須使搬送臺IOb移動到處理位置Pp。因此，對搬送臺IOb執(zhí)行臺移動動作，搬送臺IOb耗費(fèi)時(shí)刻tl8?tl9從交接位置Pr沿Y軸方向移動到處理位置Pp (動作M15)。
[0060]這樣，伴隨基板A的搬出及搬入，執(zhí)行從搬送臺IOa將基板A交接給搬送臺IOb的基板交接動作。該基板交接動作的執(zhí)行狀況主要能夠根據(jù)基板傳感器Sao、Sbi的輸出信號Is來判斷。此處，利用圖6說明基板交接動作的執(zhí)行狀況與基板傳感器的檢測動作的關(guān)系。另外，圖6是示意性地表示基板交接動作的各執(zhí)行狀況的一例的圖。
[0061]該圖的“執(zhí)行狀況1”，表示基板搬送方向X中基板A的下游端與搬送臺IOa的下游端一致的、基板交接動作的開始時(shí)間。當(dāng)從該執(zhí)行狀況I開始沿基板搬送方向X搬送基板A時(shí)，在基板搬送方向X上，基板A的下游端在被相對于搬送臺10a、10b的邊界而位于上游側(cè)的基板傳感器Sao檢測到之后，到達(dá)搬送臺IOb (執(zhí)行狀況2)。隨后不久，基板A—邊跨著搬送臺10a、10b —邊沿基板搬送方向X受到搬送，基板A被基板傳感器Sao、Sbi這兩者檢測到(執(zhí)行狀況3)。繼而，基板搬送方向X上，基板A的上游端通過了基板傳感器Sao之后，到達(dá)搬送臺IOa的下游端(執(zhí)行狀況4)。基板A被進(jìn)一步受到搬送，在基板搬送方向X上，基板A的上游端到達(dá)搬送臺IOb的上游端的時(shí)間，基板交接動作結(jié)束(執(zhí)行狀況5)。而且，如上所述，在基板A的搬送及搬出過程中，基板A相比圖6的“執(zhí)行狀況5”的狀況進(jìn)一步受到搬送，在基板搬送方向X上，基板A的上游端通過基板傳感器Sbi。這樣，在基板交接動作的開始及結(jié)束的附近，基板A的端部通過基板傳感器Sao、Sbi (執(zhí)行狀況1、5)，因此能夠根據(jù)基板傳感器Sao、Sbi的輸出信號Is來判斷基板交接動作的執(zhí)行狀況。
[0062]如以上所說明的，本實(shí)施方式中，根據(jù)由基板傳感器Sao、Sbi ( 一位置檢測部及另一位置檢測部)對基板A在基板搬送方向X上的位置進(jìn)行檢測的結(jié)果，來判斷在上游裝置2的搬送臺IOa與下游裝置3的搬送臺IOb之間執(zhí)行的基板交接動作的執(zhí)行狀況。尤其，鑒于基板交接動作要由上游裝置2與下游裝置3的搬送臺10a、10b協(xié)同執(zhí)行的情況，由設(shè)在上游裝置2的搬送臺IOa側(cè)與下游裝置3的搬送臺IOb側(cè)這兩側(cè)的基板傳感器Sao、Sbi來檢測基板A的位置。因此，能夠根據(jù)基板A的位置檢測結(jié)果準(zhǔn)確地判斷基板交接動作的執(zhí)行狀況。并且，基于這樣判斷的執(zhí)行狀況(步驟S202、S208的判斷結(jié)果)，控制構(gòu)成下游裝置3的搬送臺IOb的可動搬送帶IOOd在Y軸方向上的移動(步驟S204、S205、S208、S209)。因此，例如，不會因基板A逼近或橫跨搬送臺10a、10b的邊界之類的狀況導(dǎo)致可動搬送帶IOOd不慎移動，抑制可動搬送帶IOOd在不適當(dāng)時(shí)期的移動。
[0063]而且，本實(shí)施方式中，還有以下優(yōu)點(diǎn):即使在因基板A的翹曲或基板A的切口(狹縫、凹槽)，導(dǎo)致無法從基板傳感器Sao、Sbi中的一者獲得恰當(dāng)?shù)幕鍣z測結(jié)果的情況下，也能夠判斷上游裝置2與下游裝置3之間的基板交接動作的執(zhí)行狀況。即，存在如下情況:因基板A存在翹曲導(dǎo)致基板傳感器Sao、Sbi中一者的檢測區(qū)域偏離基板A，或者因基板A存在切口導(dǎo)致切口覆蓋基板傳感器Sao、Sbi中一者的檢測區(qū)域，從而無法從基板傳感器Sao、Sbi中的一者獲得恰當(dāng)?shù)幕鍣z測結(jié)果。對此，本實(shí)施方式中，由執(zhí)行基板交接動作的上游裝置2及下游裝置3各自執(zhí)行借助基板傳感器Sao、Sbi的基板檢測，因此即使無法從一方的基板傳感器獲得恰當(dāng)?shù)幕鍣z測結(jié)果，也能夠根據(jù)另一方的基板傳感器的基板檢測結(jié)果來掌握基板交接動作的執(zhí)行狀況。其結(jié)果，即使存在基板A的翹曲或切口的情況下，也能夠抑制可動搬送帶在不適當(dāng)時(shí)期的移動。
[0064]尤其，第一實(shí)施方式中，在步驟S202或步驟S208中確認(rèn)基板傳感器Sao、Sbi這兩者為“0FF”，然后使可動搬送帶IOOd移動(步驟S205、S210)。因此，在判斷為基板交接動作正在執(zhí)行的情況下，禁止可動搬送帶IOOd的移動。由此，切實(shí)地抑制可動搬送帶IOOd在基板交接動作執(zhí)行過程中的時(shí)期內(nèi)的移動。
[0065]另外，還存在如下情況:盡管基板交接動作并不正在執(zhí)行，但根據(jù)搬送臺IOb對基板A的支撐狀態(tài)，移動構(gòu)成搬送臺IOb的可動搬送帶IOOd并不恰當(dāng)。因此，本實(shí)施方式中，也基于對搬送臺IOb對基板A的支撐狀態(tài)進(jìn)行判斷的結(jié)果來控制構(gòu)成搬送臺IOb的可動搬送帶的移動。
[0066]具體而言，若判斷由搬送臺IOb支撐著基板A，則至少禁止臺寬度變更動作。即，若在由搬送臺IOb支撐著基板A的情況下執(zhí)行臺寬度變更動作,貝U搬送臺IOb對基板A的支撐會變得不穩(wěn)定。因此，禁止臺寬度變更動作為宜。
[0067]而且，若判斷為基板A在基板搬送方向X上被收在搬送臺IOb (可動搬送帶IOOdl、100d2)的內(nèi)側(cè)，即，基板A被收容在搬送臺IOb在基板搬送方向X上的長度范圍內(nèi)，且基板交接動作并不正在執(zhí)行，則允許臺移動動作。即，在基板A在基板搬送方向X上被收在搬送臺IOb內(nèi)側(cè)的情況下，即使進(jìn)行臺移動動作，搬送臺IOb對基板A的支撐也不會變得不穩(wěn)定。因此，通過以基板交接動作并不正在執(zhí)行為條件來允許臺移動動作，從而能夠抑制臺移動動作的頻發(fā)，能夠順暢地進(jìn)行基板處理。
[0068]另外，若在基板A從搬送臺IOb(可動搬送帶100dl、100d2)突出到基板搬送方向X的下游側(cè)的情況(例如基板A橫跨搬送臺IObUOc上的情況)，即在基板A未被收容在搬送臺IOb在基板搬送方向X上的長度范圍內(nèi)的狀態(tài)中，執(zhí)行臺寬度變更動作或臺移動動作，則搬送臺IOb對基板A的支撐會變得不穩(wěn)定。對此，本實(shí)施方式中，在判斷為基板傳感器Sbo、Sci為“ON”且這樣的基板A的突出未發(fā)生的情況下，禁止臺寬度變更動作及臺移動動作這兩者(步驟S202、S208)。由此，抑制搬送臺IOb對基板A的支撐變得不穩(wěn)定的情況。
[0069]<第二實(shí)施方式>
[0070]圖7是示意性地表示本發(fā)明的第二實(shí)施方式所涉及的基板處理線的一例的圖。第二實(shí)施方式的基板處理線I與第一實(shí)施方式的基板處理線I的不同之處在于，基板處理裝置2、3的排列相對于第一實(shí)施方式的排列而反轉(zhuǎn)。因此，基板處理裝置2、3各自的詳細(xì)結(jié)構(gòu)與在第一實(shí)施方式中上述的內(nèi)容相同，此處適當(dāng)省略說明。
[0071]第二實(shí)施方式的基板處理線I將兩臺基板處理裝置3、2依次沿基板搬送方向X排列，沿基板搬送方向X搬送基板A，并且在基板處理裝置3、2各自中對基板A進(jìn)行處理。這樣的基板處理線I中，執(zhí)行從基板處理裝置3的搬送臺IOb向基板處理裝置2的搬送臺IOa交接基板A的基板交接動作。該基板交接動作是伴隨下游側(cè)的基板處理裝置2搬入上游側(cè)的基板處理裝置3所搬出的基板A的動作而執(zhí)行。因此，以下詳述基板A的搬出處理及搬入處理與伴隨于此執(zhí)行的基板交接動作。
[0072]圖8表示在第二實(shí)施方式中上游側(cè)的基板處理裝置3所執(zhí)行的基板搬出處理的一例的流程圖。圖9是表示在第二實(shí)施方式中下游側(cè)的基板處理裝置2所執(zhí)行的基板搬入處理的一例的流程圖。另外，在第二實(shí)施方式中的以下的說明中，適當(dāng)?shù)貙⑸嫌蝹?cè)的基板處理裝置3稱作上游裝置3，將下游側(cè)的基板處理裝置2稱作下游裝置2。
[0073]首先，利用圖8說明搬出基板A的上游裝置3的動作。另外，圖8的流程是在上游裝置3的控制電路37的控制下執(zhí)行。當(dāng)借助上游裝置3的基板搬出的流程開始時(shí)，在步驟S301中，判定是否能夠從上游裝置3搬出基板A。換言之，控制電路37確認(rèn)下游裝置2中成為基板A的搬出目的地的搬送臺IOa是否處于接納基板A的狀態(tài)。具體而言，確認(rèn)如下搬出條件:
[0074]?下游裝置2的成為基板A的搬出目的地的搬送臺IOa上不存在基板A ；
[0075]?相對于下游裝置2中接納作為搬出對象的基板A的搬送臺10a，在沿基板搬送方向X串聯(lián)排列的位置，存在上游裝置3的搬送臺10b。
[0076]控制電路37在不滿足上述搬出條件而不能搬出基板時(shí)(步驟S301中為“否”時(shí))，等待基板搬出。另一方面，控制電路37在滿足上述搬出條件而能夠搬出基板時(shí)(步驟S301中為“是”時(shí))，使處理前進(jìn)至步驟S302。
[0077]步驟S302中，確認(rèn)下游裝置2的搬入口 20ο附近的兩基板傳感器Sao、上游裝置3的搬送臺IOb的上下游端的基板傳感器Sb1、Sbo及上游裝置3的搬送臺IOc的下游端的基板傳感器Sci的輸出信號Is全部為“OFF”。這是確認(rèn)基板A并非處于橫跨搬出基板A的搬送臺IOb與相鄰的搬送臺IOa或搬送臺IOc之間的狀態(tài)中。具體而言，通過確認(rèn)基板傳感器Sao、Sbi這兩者為“OFF”，從而確認(rèn)不存在橫跨搬送臺IOa與搬送臺IOb之間的基板A。而且，通過確認(rèn)基板傳感器Sbo、Sci這兩者為“OFF”，從而確認(rèn)不存在橫跨搬送臺IOa與搬送臺IOc之間的基板A。
[0078]步驟S302中，若無法確認(rèn)基板傳感器Sao、Sb1、Sbo、Sci全部為“OFF” (步驟S302中為“否”時(shí))，控制電路37判斷為基板A的交接動作正在執(zhí)行。并且，控制電路37使處理前進(jìn)至步驟S303，經(jīng)由省略圖示的用戶接口輸出錯(cuò)誤顯示，停止基板A的搬入，結(jié)束圖8的流程(禁止可動搬送帶IOOd的移動)。另一方面，步驟S302中，若確認(rèn)了基板傳感器Sao、Sb1、Sbo、Sci全部為“OFF” (步驟S302中為“是”時(shí))，則前進(jìn)至步驟S304，判斷可動搬送帶IOOd的移動的必要性。
[0079]具體而言，對于搬送臺10b，判斷臺移動動作的必要性。即，為了將基板A搬入下游裝置2，要求在向搬送臺IOa交接基板A的交接位置存在搬送臺IOb (交接條件)。換言之，要求:相對于下游裝置2中取得基板A的搬送臺10a，在沿基板搬送方向X串聯(lián)排列的交接位置PH圖10)，存在上游裝置3的搬送臺10b。步驟S304中，基于對是否滿足該交接條件進(jìn)行判斷的結(jié)果，判斷是否需要臺移動動作，決定是否使可動搬送帶IOOd移動。
[0080]為了更具體地說明步驟S304以后的流程，以下并用圖10及圖11進(jìn)行說明。圖10是示意性地表示按照圖8及圖9的流程圖執(zhí)行的具體動作的一例的動作圖。圖10中,例示了對下游裝置2的兩臺搬送臺IOa中的、圖7及圖10中上側(cè)的搬送臺IOb搬出作為對象的基板A的情況。圖11是表示圖10中例示的動作的時(shí)間經(jīng)過的時(shí)序圖，表示基板傳感器Sbm、Sb1、Sao、Sam的輸出信號Is及搬送臺IOb的位置的時(shí)間變化。另外，圖11的基板傳感器Sam、Sao設(shè)置在搬出作為對象的基板A的搬送臺IOa上(S卩，圖7、圖10中上側(cè)的搬送臺IOa) ο
[0081]如上所述，步驟S304中，判斷是否滿足上述交接條件。若不滿足交接條件，則處理前進(jìn)至步驟S305，若滿足交接條件，則處理前進(jìn)至步驟S306。圖10中，例示了在步驟S304中未滿足交接條件的情況。即，圖10的“動作M21”一欄所示的例子中，在上游裝置3中，搬送臺IOb位于處理位置Pp (即未位于交接位置Pr)，不滿足交接條件。因此，步驟S304中，為了使搬送臺IOb移動到交接位置Pr，判斷為需要臺移動動作。
[0082]在緊跟著的步驟S305中，驅(qū)動搬送臺IOb的可動搬送帶100d，執(zhí)行臺移動動作。其結(jié)果，搬送臺IOb耗費(fèi)時(shí)刻t20?t21從處理位置Pp沿Y軸方向移動到交接位置Pr (圖10的“動作M22”、圖11)。這樣，通過執(zhí)行步驟S305的動作，從而滿足接受條件，前進(jìn)至步驟 S306。
[0083]步驟S306中，上游裝置3搬出基板A，并且下游裝置2搬入基板A。伴隨該動作，基板A從上游裝置3的搬送臺IOb移動到下游裝置2的搬送臺10a。具體而言，如圖10所示，基板A經(jīng)由橫跨搬送臺IOb與搬送臺IOa上的狀態(tài)(動作M23)，轉(zhuǎn)移到搬送臺IOa上(動作M24)。
[0084]對應(yīng)于這樣的基板A的移動，各基板傳感器產(chǎn)生反應(yīng)。S卩，由于基板A通過搬送臺10b、10a的邊界，因此夾著該邊界設(shè)置的基板傳感器Sb1、Sao各自暫時(shí)變成“ON”。具體而言，在時(shí)刻t22?t25的期間，基板搬送方向X的上游側(cè)的基板傳感器Sbi變成“0N”。而且，在比時(shí)刻t22?t25稍晚的時(shí)刻t23?t26的期間，基板搬送方向X的下游側(cè)的基板傳感器Sao變成“ON” (t22 < t23 < t25 < t26)。由于從上游裝置3的搬送臺IOb搬出基板A，因此相對于搬送臺IOb的大致中央而設(shè)的基板傳感器Sbm在時(shí)刻t24由“0N”變成“0FF”(t23 < t24 < t25)。另一方面，由于向下游裝置2的搬送臺IOa搬入基板A，因此相對于搬送臺IOa的大致中央而設(shè)的基板傳感器Sam在時(shí)刻t27由“OFF”變成“0N”。
[0085]在緊跟著步驟S306的步驟S307、S308中，確認(rèn)各基板傳感器的狀態(tài)。即，步驟S307中，控制電路37檢測基板傳感器Sam已變成“0N”的情況，判斷為基板A向搬送臺IOa的搬入已完成，使搬送臺IOa的搬送帶100停止。而且，步驟S308中，確認(rèn)基板傳感器Sao、Sb1、Sbo、Sci是否全部為“OFF”。并且，若基板傳感器Sao、Sb1、Sbo、Sci中的任一者為“0N”，則控制電路37使處理前進(jìn)至步驟S303，經(jīng)由省略圖示的用戶接口輸出錯(cuò)誤顯示，結(jié)束圖8的流程。
[0086]另一方面，在步驟S308中，若確認(rèn)基板傳感器Sao、Sb1、Sbo、Sci全部為“OFF”，則處理前進(jìn)至步驟S309。步驟S309中，對于搬送臺10b，使可動搬送帶IOOd移動，判斷臺寬度調(diào)整動作或臺移動動作的必要性。并且，若無必要(步驟S309中為“否”時(shí))，則控制電路37結(jié)束圖8的流程圖，另一方面，若有必要(步驟S309中為“是”時(shí))，則前進(jìn)至步驟S310，執(zhí)行被判斷為有必要的動作。圖10所示的例子中，搬送臺IOb耗費(fèi)時(shí)刻t28?t29從交接位置Pr沿Y軸方向移動到處理位置Pp (動作M25)。
[0087]繼而，利用圖9說明搬入基板A的下游裝置2的動作。另外，圖9的流程是在下游裝置2的控制電路27的控制下執(zhí)行。當(dāng)借助下游裝置2的基板搬入的流程開始時(shí)，在步驟S401中，判斷是否能夠從上游裝置3搬入基板A。具體而言，確認(rèn)要求下游裝置2中成為基板A的搬入目的地的搬送臺IOa上不存在基板A的搬入條件?？刂齐娐?7在不滿足上述搬入條件而不能搬入基板時(shí)(步驟S401中為“否”時(shí))，等待搬入基板。另一方面，控制電路27在滿足上述搬入條件而能夠搬入基板時(shí)(步驟S401中為“是”時(shí))，使處理前進(jìn)至步驟 S402。
[0088]步驟S402中，成為搬入目的地的搬送臺IOa的各搬送帶100工作，接納從上游裝置3沿基板搬送方向X搬來的基板A。繼而，步驟S403中，確認(rèn)搬入了基板A的搬送臺IOa的基板傳感器Sam是否變成了“0N”。若確認(rèn)變成了“0N”，則借助下游裝置2的基板搬入的
流程結(jié)束。
[0089]如以上所說明的，第二實(shí)施方式中，根據(jù)由基板傳感器Sb1、Sao對基板A在基板搬送方向X上的位置進(jìn)行檢測的結(jié)果，來判斷在上游裝置3的搬送臺IOb與下游裝置2的搬送臺IOa之間執(zhí)行的基板交接動作的執(zhí)行狀況。尤其，鑒于基板交接動作要由上游裝置3與下游裝置2的搬送臺10b、10a協(xié)同執(zhí)行的情況，由設(shè)在上游裝置3的搬送臺IOb側(cè)與下游裝置2的搬送臺IOa側(cè)這兩側(cè)的基板傳感器Sb1、Sao來檢測基板A的位置。因此，能夠根據(jù)基板A的位置檢測結(jié)果準(zhǔn)確地判斷基板交接動作的執(zhí)行狀況。并且，基于這樣判斷的執(zhí)行狀況(步驟S302、S308的判斷結(jié)果)，控制構(gòu)成上游裝置3的搬送臺IOb的可動搬送帶IOOd在Y軸方向上的移動(步驟S304、S305、S308、S309)。因此，例如，不會因基板A逼近或橫跨搬送臺10b、10a的邊界之類的狀況導(dǎo)致可動搬送帶IOOd不慎移動，抑制可動搬送帶IOOd在不適當(dāng)時(shí)期的移動。
[0090]而且，本實(shí)施方式還有以下優(yōu)點(diǎn):即使在因基板A的翹曲或基板A的切口(狹縫、凹槽)，導(dǎo)致無法從基板傳感器Sb1、Sao中的一者獲得恰當(dāng)?shù)幕鍣z測結(jié)果的情況下，也能夠判斷上游裝置3與下游裝置2之間的基板交接動作的執(zhí)行狀況。即，存在如下情況:因基板A存在翹曲導(dǎo)致基板傳感器Sb1、Sao中一者的檢測區(qū)域偏離基板A，或者因基板A存在切口導(dǎo)致切口覆蓋基板傳感器Sb1、Sao中一者的檢測區(qū)域，從而無法從基板傳感器Sb1、Sao中的一者獲得恰當(dāng)?shù)幕鍣z測結(jié)果。對此，本實(shí)施方式中，由執(zhí)行基板交接動作的上游裝置3及下游裝置2各自執(zhí)行借助基板傳感器Sb1、Sao的基板檢測，因此即使無法從一方的基板傳感器獲得恰當(dāng)?shù)幕鍣z測結(jié)果，也能夠根據(jù)另一方的基板傳感器的基板檢測結(jié)果來掌握基板交接動作的執(zhí)行狀況。其結(jié)果，即使存在基板A的翹曲或切口的情況下，也能夠抑制可動搬送帶在不適當(dāng)時(shí)期的移動。[0091]尤其，第二實(shí)施方式中，在步驟S302或步驟S308中確認(rèn)基板傳感器Sb1、Sao這兩者為“0FF”，然后使可動搬送帶IOOd移動(步驟S305、S310)。因此，在判斷為基板交接動作正在執(zhí)行的情況下，禁止可動搬送帶IOOd的移動。由此，切實(shí)地抑制可動搬送帶IOOd在基板交接動作執(zhí)行過程中的時(shí)期內(nèi)的移動。
[0092]< 其他 >
[0093]如上所述，上述實(shí)施方式中，基板處理線I相當(dāng)于本發(fā)明的“基板處理線”的一例，基板處理裝置2、3相當(dāng)于本發(fā)明的“處理裝置”的一例，其中，基板處理裝置3相當(dāng)于本發(fā)明的“一處理裝置”的一例，基板處理裝置2相當(dāng)于本發(fā)明的“另一處理裝置”的一例，基板傳感器Sbi相當(dāng)于本發(fā)明的“一位置檢測部”的一例，基板傳感器Sao相當(dāng)于本發(fā)明的“另一位置檢測部”的一例，驅(qū)動機(jī)構(gòu)31相當(dāng)于本發(fā)明的“驅(qū)動部”的一例，控制電路37相當(dāng)于本發(fā)明的“控制部”的一例，控制電路37與輸入輸出電路39協(xié)同作為本發(fā)明的“通信控制部”的一例發(fā)揮功能，線纜Cs相當(dāng)于本發(fā)明的“線纜”的一例。
[0094]另外，本發(fā)明并不限定于上述實(shí)施方式，只要不脫離其主旨，能夠在上述實(shí)施方式以外進(jìn)行各種變更。例如，構(gòu)成基板處理線I的基板處理裝置的個(gè)數(shù)并不限于上述內(nèi)容，可作適當(dāng)變更。
[0095]基板處理裝置2、3的具體結(jié)構(gòu)也不限于上述結(jié)構(gòu)。因此，能夠分別對基板處理裝置2、3，在搬送臺10的個(gè)數(shù)或排列方法、可動搬送帶IOOd的設(shè)置形態(tài)等進(jìn)行各種變更。
[0096]基板處理裝置2、3所執(zhí)行的處理的內(nèi)容也不限于上述內(nèi)容，也可以是回流處理或只是單純地搬送基板的搬送處理。
[0097]對于基板傳感器的具體結(jié)構(gòu)、安裝形態(tài)、安裝個(gè)數(shù)等，也能夠追加各種變更。例如，上述實(shí)施方式中，基板傳感器被安裝在基板A的搬送路徑的上方，以檢測正下方的基板A。但是，基板傳感器也可被安裝在基板A的搬送路徑的下方，以檢測正上方的基板A，或者，還可以從水平方向面對基板A的搬送路徑的方式安裝。而且，基板傳感器的種類也不限于反射式傳感器，也可使用透過式傳感器。
[0098]而且，上述實(shí)施方式中，作為表示基板A處于收容范圍外的情況的例子，示出了基板A從搬送帶100突出的情況。但是，也可采用如下結(jié)構(gòu):即使基板A未突出，但在判斷為基板A未被收容于搬送帶100的情況下，仍如上述實(shí)施方式般控制可動搬送帶IOOd的動作。
[0099]上述【具體實(shí)施方式】中主要包含具有以下結(jié)構(gòu)的發(fā)明。
[0100]本發(fā)明的一方面所涉及的基板處理線包括:多個(gè)處理裝置，分別具備支撐基板并沿基板搬送方向搬送該基板的搬送帶，該多個(gè)處理裝置沿所述基板搬送方向排列設(shè)置，在該多個(gè)處理裝置的所述搬送帶之間交接所述基板，該多個(gè)處理裝置中的各處理裝置對所述基板進(jìn)行處理；驅(qū)動部，沿與所述基板搬送方向正交的正交方向驅(qū)動所述多個(gè)處理裝置中的一處理裝置所具備的作為所述搬送帶的可動搬送帶，該可動搬送帶在所述正交方向上移動自如；控制部，控制基于所述驅(qū)動部的所述可動搬送帶的移動；一位置檢測部，檢測所述一處理裝置的所述可動搬送帶所支撐的所述基板在所述基板搬送方向上的位置；另一位置檢測部，檢測所述多個(gè)處理裝置中的與所述一處理裝置相鄰的另一處理裝置的所述搬送帶所支撐的所述基板在所述基板搬送方向上的位置；其中，所述控制部根據(jù)從所述一位置檢測部及所述另一位置檢測部這兩者的檢測結(jié)果判斷在所述一處理裝置的所述可動搬送帶與所述另一處理裝置的所述搬送帶之間交接所述基板的基板交接動作的執(zhí)行狀況的結(jié)果，來控制基于所述驅(qū)動部的所述可動搬送帶的移動。也就是，本發(fā)明的一方面所涉及的基板處理線包括:多個(gè)處理裝置，分別具備支撐基板并沿基板搬送方向搬送該基板的搬送帶，該多個(gè)處理裝置沿所述基板搬送方向排列設(shè)置，在該多個(gè)處理裝置的所述搬送帶之間交接所述基板，該多個(gè)處理裝置中的各處理裝置對所述基板進(jìn)行處理；驅(qū)動部，沿與所述基板搬送方向正交的正交方向驅(qū)動所述多個(gè)處理裝置中的一個(gè)處理裝置(亦即第一處理裝置)所具備的作為所述搬送帶的可動搬送帶，該可動搬送帶在所述正交方向上移動自如；控制部，控制所述可動搬送帶基于所述驅(qū)動部的驅(qū)動所產(chǎn)生的移動；第一位置檢測部，檢測所述第一處理裝置具備的所述可動搬送帶所支撐的所述基板在所述基板搬送方向上的位置；第二位置檢測部，檢測所述多個(gè)處理裝置中的與所述第一處理裝置相鄰的另一個(gè)處理裝置(亦即第二處理裝置)具備的所述搬送帶所支撐的所述基板在所述基板搬送方向上的位置；其中，所述控制部根據(jù)從所述第一位置檢測部及所述第二位置檢測部這兩者的檢測結(jié)果判斷在所述第一處理裝置具備的所述可動搬送帶與所述第二處理裝置具備的所述搬送帶之間交接所述基板的基板交接動作的執(zhí)行狀況的結(jié)果，來控制基于所述驅(qū)動部的所述可動搬送帶的移動。
[0101 ] 本發(fā)明的另一方面所涉及的基板處理方法，將具備支撐基板并沿基板搬送方法搬送該基板的搬送帶的處理裝置沿所述基板搬送方向排列設(shè)置多個(gè)，在該多個(gè)處理裝置的所述搬送帶之間交接所述基板并在所述各處理裝置中對所述基板進(jìn)行處理，所述基板處理方法包括如下步驟:檢測所述多個(gè)處理裝置中的一處理裝置所具備的作為所述搬送帶的可動搬送帶所支撐的所述基板在所述基板搬送方向上的位置，以作為一位置檢測結(jié)果的步驟，所述可動搬送帶在與所述基板搬送方向正交的正交方向上移動自如；檢測所述多個(gè)處理裝置中的與所述一處理裝置相鄰的另一處理裝置的所述搬送帶所支撐的所述基板在所述基板搬送方向上的位置，以作為另一位置檢測結(jié)果的步驟；根據(jù)從所述一位置檢測結(jié)果及所述另一位置檢測結(jié)果這兩者判斷在所述一處理裝置的所述可動搬送帶與所述另一處理裝置的所述搬送帶之間交接所述基板的基板交接動作的執(zhí)行狀況的結(jié)果，來控制所述可動搬送帶的移動的步驟。
[0102]如此構(gòu)成的本發(fā)明(基板處理裝置、基板處理方法)中，根據(jù)對基板在基板搬送方向上的位置進(jìn)行檢測的結(jié)果，來判斷在一處理裝置的可動搬送帶與另一處理裝置的搬送帶之間執(zhí)行的基板交接動作的執(zhí)行狀況。尤其，鑒于基板交接動作由一處理裝置與另一處理裝置各自的搬送帶協(xié)同來執(zhí)行的情況，基板的位置在一處理裝置的可動搬送帶側(cè)與另一處理裝置的搬送帶側(cè)這兩側(cè)被檢測。因此，能夠從基板位置的檢測結(jié)果準(zhǔn)確地判斷基板交接動作的執(zhí)行狀況。并且，基于這樣判斷得到的執(zhí)行狀況來控制可動搬送帶的移動，能夠抑制可動搬送帶在不適當(dāng)?shù)臅r(shí)期的移動。
[0103]而且，本發(fā)明還有以下優(yōu)點(diǎn):即使在因基板的翹曲或基板的切口(狹縫、凹槽)，而導(dǎo)致無法獲得恰當(dāng)?shù)幕鍣z測結(jié)果的情況下，仍能夠判斷一處理裝置與另一處理裝置之間的基板交接動作的執(zhí)行狀況。即，有時(shí)會出現(xiàn)因基板存在翹曲導(dǎo)致基板偏離進(jìn)行基板檢測的檢測區(qū)域，或者因基板存在切口導(dǎo)致切口涉及到檢測區(qū)域，從而無法獲得恰當(dāng)?shù)幕鍣z測結(jié)果。對此，本發(fā)明中，由執(zhí)行基板交接動作的一處理裝置與另一處理裝置各自執(zhí)行基板檢測，因此即使無法在任一處理裝置中獲得恰當(dāng)?shù)幕鍣z測結(jié)果，仍能夠掌握基板交接動作的執(zhí)行狀況。其結(jié)果，即使在存在基板的翹曲或切口的情況下，也能夠抑制可動搬送帶在不適當(dāng)?shù)臅r(shí)期的移動。
[0104]具體而言，基板處理線也可構(gòu)成為，所述控制部在從所述一位置檢測部及所述另一位置檢測部這兩者的檢測結(jié)果判斷為所述基板交接動作正在執(zhí)行中時(shí)，禁止基于所述驅(qū)動部的所述可動搬送帶的移動。也就是，基板處理線也可構(gòu)成為，所述控制部在從所述第一位置檢測部及所述第二位置檢測部這兩者的檢測結(jié)果判斷為所述基板交接動作正在執(zhí)行中時(shí)，禁止所述可動搬送帶基于所述驅(qū)動部的驅(qū)動所產(chǎn)生的移動。由此，能夠切實(shí)地抑制可動搬送帶在基板交接動作執(zhí)行中的時(shí)期的移動。
[0105]另外，盡管基板交接動作并非正在執(zhí)行中，基于可動搬送帶對基板的支撐狀態(tài)，有時(shí)也會存在移動可動搬送帶為不恰當(dāng)?shù)那闆r。因此，基板處理線也可構(gòu)成為，所述控制部根據(jù)判斷所述一處理裝置的所述可動搬送帶的支撐所述基板的支撐狀態(tài)的結(jié)果，控制基于所述驅(qū)動部的所述可動搬送帶的移動。也就是，基板處理線也可構(gòu)成為，所述控制部根據(jù)判斷所述第一處理裝置具備的所述可動搬送帶的支撐所述基板的支撐狀態(tài)的結(jié)果，控制所述可動搬送帶基于所述驅(qū)動部的驅(qū)動所產(chǎn)生的移動。
[0106]尤其，這樣的控制適合于以如下方式構(gòu)成的基板處理線，S卩，所述可動搬送帶為兩個(gè)，所述一處理裝置還具備支撐臺，該支撐臺包含沿所述正交方向排列的該兩個(gè)可動搬送帶，該支撐臺支撐所述基板并沿所述基板搬送方向搬送該基板，所述驅(qū)動部執(zhí)行變更所述兩個(gè)可動搬送帶的間隔的臺寬度變更動作及使所述兩個(gè)可動搬送帶在保持彼此的間隔的狀態(tài)下移動的臺移動動作。例如:所述第一處理裝置還具備作為所述搬送帶的另一可動搬送帶，從而所述可動搬送帶為兩個(gè)，所述第一處理裝置具備支撐臺，該支撐臺由沿所述正交方向排列的所述第一處理裝置具備的所述兩個(gè)可動搬送帶，該支撐臺支撐所述基板并沿所述基板搬送方向搬送該基板，所述驅(qū)動部執(zhí)行臺寬度變更動作和臺移動動作，該臺寬度變更動作是變更所述兩個(gè)可動搬送帶的間隔的動作，該臺移動動作是保持所述兩個(gè)可動搬送帶的間隔而移動該兩個(gè)可動搬送帶的動作。
[0107]具體而言，基板處理線也可構(gòu)成為，所述控制部在判斷為由所述兩個(gè)可動搬送帶支撐著所述基板時(shí)，至少禁止所述驅(qū)動部執(zhí)行所述臺寬度變更動作。即，在由兩個(gè)可動搬送帶支撐著基板時(shí)，若執(zhí)行臺寬度變更動作，則兩個(gè)可動搬送帶的對基板的支撐會變得不穩(wěn)定。因此，較為理想的是禁止臺寬度變更動作。
[0108]而且，基板處理線也可構(gòu)成為，所述控制部在判斷為所述基板被收容在所述兩個(gè)可動搬送帶的所述基板搬送方向上的長度范圍內(nèi)且所述基板交接動作并非正在執(zhí)行中時(shí)，允許所述驅(qū)動部執(zhí)行所述臺移動動作。即，當(dāng)基板在基板搬送方向上被收容在兩個(gè)可動搬送帶在基板搬送方向上的長度范圍內(nèi)時(shí)，即使進(jìn)行臺移動動作，兩個(gè)搬送帶對基板的支撐也不會變得不穩(wěn)定。因此，通過以基板交接動作并非正在執(zhí)行中為條件來允許臺移動動作，從而能夠抑制臺移動動作的頻發(fā)，能夠順暢地進(jìn)行基板處理。
[0109]另外，基板處理線也可構(gòu)成為，所述控制部在判斷為所述基板處于未被收容在所述兩個(gè)可動搬送帶的所述基板搬送方向上的長度范圍內(nèi)的狀態(tài)時(shí)，禁止所述驅(qū)動部執(zhí)行所述臺寬度變更動作及所述臺移動動作這兩動作。即，當(dāng)所述基板未被收容在所述兩個(gè)可動搬送帶的所述基板搬送方向上的長度范圍內(nèi)時(shí)，若執(zhí)行臺寬度變更動作或臺移動動作，則兩個(gè)可動搬送帶的對基板的支撐會變得不穩(wěn)定。因此，較為理想的是禁止臺寬度變更動作及臺移動動作這兩者。[0110]而且，基板處理線也可構(gòu)成為，所述控制部設(shè)置在一處理裝置。S卩，控制部的控制對象為設(shè)置在該一處理裝置中的可動搬送帶。因此，將控制部設(shè)置于所述一處理裝置，以將控制部設(shè)置在可動搬送帶附近的做法合理。
[0111]此時(shí)，必須將另一處理裝置中的基板位置的檢測結(jié)果傳遞至一處理裝置中設(shè)置的控制部。因此，基板處理線也可構(gòu)成為，所述一處理裝置及所述另一處理裝置分別具有相互交換傳輸信號的通信控制部，所述另一處理裝置具有將所述另一位置檢測部的檢測結(jié)果送給所述通信控制部的線纜，所述另一處理裝置的所述通信控制部將經(jīng)由所述線纜取得的檢測結(jié)果轉(zhuǎn)換為所述傳輸信號，并輸出給所述一處理裝置的所述通信控制部。
[0112]這樣，在利用各處理裝置中所設(shè)的通信控制部來執(zhí)行在另一處理裝置與一處理裝置之間的信號傳遞的結(jié)構(gòu)中，例如能夠在這些通信控制部之間執(zhí)行基板位置的檢測結(jié)果的交換。因此，即使在將另一處理裝置的位置檢測部的檢測結(jié)果傳遞至一處理裝置的情況下，也不需要為了傳遞檢測結(jié)果而在處理裝置間繞設(shè)線纜。即，只要在另一處理裝置中，從其位置檢測部將線纜連接至其通信控制部即可。因此，能夠容易地進(jìn)行用于傳遞檢測信號的線纜的繞設(shè)。
[0113]根據(jù)以上說明的本發(fā)明，在包含相互鄰接的處理裝置且至少其中一處理裝置具備可動搬送帶的基板處理線中，能夠準(zhǔn)確地判斷相鄰的處理裝置的各搬送帶間的基板交接的執(zhí)行狀況，能夠抑制可動搬送帶在不適當(dāng)?shù)臅r(shí)期的移動。
【權(quán)利要求】
1.一種基板處理線，其特征在于包括: 多個(gè)處理裝置，分別具備支撐基板并沿基板搬送方向搬送該基板的搬送帶，該多個(gè)處理裝置沿所述基板搬送方向排列設(shè)置，在該多個(gè)處理裝置的所述搬送帶之間交接所述基板，該多個(gè)處理裝置中的各處理裝置對所述基板進(jìn)行處理； 驅(qū)動部，沿與所述基板搬送方向正交的正交方向驅(qū)動所述多個(gè)處理裝置中的一處理裝置所具備的作為所述搬送帶的可動搬送帶，該可動搬送帶在所述正交方向上移動自如； 控制部，控制基于所述驅(qū)動部的所述可動搬送帶的移動； 一位置檢測部，檢測所述一處理裝置的所述可動搬送帶所支撐的所述基板在所述基板搬送方向上的位置； 另一位置檢測部，檢測所述多個(gè)處理裝置中的與所述一處理裝置相鄰的另一處理裝置的所述搬送帶所支撐的所述基板在所述基板搬送方向上的位置；其中， 所述控制部根據(jù)從所述一位置檢測部及所述另一位置檢測部這兩者的檢測結(jié)果判斷在所述一處理裝置的所述可動搬送帶與所述另一處理裝置的所述搬送帶之間交接所述基板的基板交接動作的執(zhí)行狀況的結(jié)果，來控制基于所述驅(qū)動部的所述可動搬送帶的移動。
2.根據(jù)權(quán)利要求1所述的基板處理線，其特征在于: 所述控制部在從所述一位置檢測部及所述另一位置檢測部這兩者的檢測結(jié)果判斷為所述基板交接動作正在執(zhí)行中時(shí)，禁止基于所述驅(qū)動部的所述可動搬送帶的移動。
3.根據(jù)權(quán)利要求1或2所述的基板處理線，其特征在于: 所述控制部根據(jù)判斷所述一處理裝置的所述可動搬送帶的支撐所述基板的支撐狀態(tài)的結(jié)果，控制基于所述驅(qū)動部的所述可動搬送帶的移動。
4.根據(jù)權(quán)利要求3所述的基板處理線，其特征在于: 所述可動搬送帶為兩個(gè)，所述一處理裝置還具備支撐臺，該支撐臺包含沿所述正交方向排列的該兩個(gè)可動搬送帶，該支撐臺支撐所述基板并沿所述基板搬送方向搬送該基板， 所述驅(qū)動部執(zhí)行變更所述兩個(gè)可動搬送帶的間隔的臺寬度變更動作及使所述兩個(gè)可動搬送帶在保持彼此的間隔的狀態(tài)下移動的臺移動動作。
5.根據(jù)權(quán)利要求4所述的基板處理線，其特征在于: 所述控制部在判斷為由所述兩個(gè)可動搬送帶支撐著所述基板時(shí)，至少禁止所述臺寬度變更動作。
6.根據(jù)權(quán)利要求5所述的基板處理線，其特征在于: 所述控制部在判斷為所述基板被收容在所述兩個(gè)可動搬送帶的所述基板搬送方向上的長度范圍內(nèi)且所述基板交接動作并非正在執(zhí)行中時(shí)，允許所述臺移動動作。
7.根據(jù)權(quán)利要求5所述的基板處理線，其特征在于: 所述控制部在判斷為所述基板處于未被收容在所述兩個(gè)可動搬送帶的所述基板搬送方向上的長度范圍內(nèi)的狀態(tài)時(shí)，禁止所述臺寬度變更動作及所述臺移動動作這兩者。
8.根據(jù)權(quán)利要求1所述的基板處理線，其特征在于: 所述控制部設(shè)置于所述一處理裝置。
9.根據(jù)權(quán)利要求8所述的基板處理線，其特征在于: 所述一處理裝置及所述另一處理裝置分別具有相互交換傳輸信號的通信控制部， 所述另一處理裝置具有將所述另一位置檢測部的檢測結(jié)果送給所述通信控制部的線纜， 所述另一處理裝置的所述通信控制部將經(jīng)由所述線纜取得的檢測結(jié)果轉(zhuǎn)換為所述傳輸信號，并輸出給所述一處理裝置的所述通信控制部。
10.一種基板處理方法，其特征在于: 將具備支撐基板并沿基板搬送方法搬送該基板的搬送帶的處理裝置沿所述基板搬送方向排列設(shè)置多個(gè)，在該多個(gè)處理裝置的所述搬送帶之間交接所述基板并在所述各處理裝置中對所述基板進(jìn)行處理，所述基板處理方法包括如下步驟: 檢測所述多個(gè)處理裝置中的一處理裝置所具備的作為所述搬送帶的可動搬送帶所支撐的所述基板在所述基板搬送方向上的位置，以作為一位置檢測結(jié)果的步驟，所述可動搬送帶在與所述基板搬送方向正交的正交方向上移動自如； 檢測所述多個(gè)處理裝置中的與所述一處理裝置相鄰的另一處理裝置的所述搬送帶所支撐的所述基板在所述基板搬送方向上的位置，以作為另一位置檢測結(jié)果的步驟； 根據(jù)從所述一位置檢測結(jié)果及所述另一位置檢測結(jié)果這兩者判斷在所述一處理裝置的所述可動搬送帶與所述另一處理裝置的所述搬送帶之間交接所述基板的基板交接動作的執(zhí)行狀況的結(jié)果， 來控制所述可動搬送帶的移動的步驟。
【文檔編號】B65G47/52GK103832798SQ201310535875
【公開日】2014年6月4日 申請日期:2013年11月1日 優(yōu)先權(quán)日:2012年11月21日
【發(fā)明者】西村啟二, 春日大介 申請人:雅馬哈發(fā)動機(jī)株式會社