搬運(yùn)工件的偏轉(zhuǎn)修正機(jī)構(gòu)和搬運(yùn)工件的偏轉(zhuǎn)修正方法
【專利摘要】具備：保持搬運(yùn)工件（5）的側(cè)部的保持裝置（3）；沿著軌道（6）向工件輸送方向（X）搬運(yùn)保持裝置（3）的行駛裝置（2）；和在行駛裝置（2）的工件輸送方向前部及后部支持保持裝置（3）的支持機(jī)構(gòu)（31、32）；支持機(jī)構(gòu)（31、32）具有偏心軸（38），偏心軸（38）在前部或后部中的一個相對于設(shè)置在行駛裝置（2）上的驅(qū)動軸的軸線（O1、O2）以規(guī)定的偏心量（e）向工件輸送方向（X）偏心的位置上，且在前部或后部中的另一個向與工件輸送方向（X）交叉的方向偏心的位置上具備與保持裝置（3）接合的軸線（O3）；通過使偏心軸（38）的軸線（O3）以驅(qū)動軸（36、37）的軸線（O1、O2）為中心轉(zhuǎn)動以此使保持裝置（3）和行駛裝置（2）的位置相對移動而修正搬運(yùn)工件（5）的偏轉(zhuǎn)，從而在搬運(yùn)的同時修正在搬運(yùn)工件的搬運(yùn)中產(chǎn)生的偏轉(zhuǎn)。
【專利說明】搬運(yùn)工件的偏轉(zhuǎn)修正機(jī)構(gòu)和搬運(yùn)工件的偏轉(zhuǎn)修正方法
【技術(shù)領(lǐng)域】
[0001]本發(fā)明涉及修正搬運(yùn)工件的偏轉(zhuǎn)(yawing)的機(jī)構(gòu)和搬運(yùn)工件的偏轉(zhuǎn)修正方法。
【背景技術(shù)】
[0002]以往，在各種板狀加工品等的制造過程中，搬運(yùn)著加工對象物。特別是，在搬運(yùn)加工對象物的同時進(jìn)行加工的情況下，必須以正確的姿勢搬運(yùn)該加工對象物(以下稱為搬運(yùn)工件)。
[0003]作為這樣的搬運(yùn)工件的有例如薄膜娃和CIGS (Copper indium gallium (di)selenide;銅銦鎵硒)等的太陽能電池(該說明書和權(quán)利要求書的文本中總稱“薄膜太陽能電池”)的基板。該基板為在玻璃基板的一面上成膜金屬膜和硅膜等的半導(dǎo)體(“deposition”或“film formation”)而形成薄膜層(例如、幾百nm?幾十μ m)的基板。以下，作為搬運(yùn)工件的一個示例，以該薄膜太陽能電池的基板為例進(jìn)行說明。
[0004]上述薄膜太陽能電池的基板的制造過程如下:如圖12 (a)?圖12 (g)所示，在玻璃基板100 (圖12 Ca))的上表面成膜透明電極層101 (圖12 (b))，在該透明電極層101上通過從激光加工裝置照射激光束108來進(jìn)行圖形加工而形成加工線102 (圖12(c))。在該透明電極層101上形成加工線102的搬運(yùn)工件107，在透明電極層101的上表面成膜光電轉(zhuǎn)換層103 (圖12 (d))，在該光電轉(zhuǎn)換層103上通過激光加工裝置形成光電轉(zhuǎn)換層加工線104 (圖12 (e))。之后，在該光電轉(zhuǎn)換層103上形成加工線104的搬運(yùn)工件107，在光電轉(zhuǎn)換層103的上表面成膜背面電極層105 (圖12 (f))。然后，在該背面電極層105上通過激光加工裝置形成背面電極層加工線106 (圖12 (g))。像這樣圖形加工后的基板100成為模塊化太陽能電池。
[0005]像這樣，在薄膜太陽能電池的情況下，必須在搬運(yùn)工件(基板100)的表面進(jìn)行多次的成膜，并且對這些成膜后的薄膜層正確地圖形化。作為其精度，有必要例如以微米單位進(jìn)行誤差控制。因此，需要有正確地搬運(yùn)搬運(yùn)工件并對其薄膜層正確地照射激光束的激光加
工裝置。
[0006]作為像這樣的激光加工裝置的有例如本 申請人:在之前申請的激光加工裝置。如圖13所示，該激光加工裝置110在通過恒速輸送裝置111把持搬運(yùn)工件107并向工件輸送方向X輸送搬運(yùn)工件107的同時對該搬運(yùn)工件107通過射束掃描單元109向掃描方向Y照射激光束108而進(jìn)行圖形加工。在上述恒速輸送裝置111上設(shè)有可進(jìn)行平面方向的轉(zhuǎn)動的轉(zhuǎn)動軸(Θ軸)以能夠修正在搬運(yùn)工件107上發(fā)生的偏轉(zhuǎn)等。此外，在激光加工裝置110中設(shè)有檢測搬運(yùn)工件107的加工基準(zhǔn)位置(端面等)的攝像裝置(camera) 113。
[0007]又，如圖14所示，在上述激光加工裝置110中，在工件輸送方向X上輸送搬運(yùn)工件107的同時將一根激光束108向與工件輸送方向X交叉的掃描方向Y高速(例如，以往的數(shù)倍)照射。借助于此，對搬運(yùn)工件107進(jìn)行形成與輸送方向X成直角的直線狀加工線112的圖形加工。
[0008]另外，作為這類現(xiàn)有技術(shù)的有如下那樣的裝置(例如參照專利文獻(xiàn)I):例如在使玻璃基板等和在該基板上實(shí)施預(yù)定處理的基板處理單元相對地移動的同時進(jìn)行處理的基板處理裝置中，在第一方向和與該第一方向垂直的第二方向上測定基板的掃面中產(chǎn)生的偏轉(zhuǎn)等的誤差，并且對于第一方向的誤差可通過控制搬運(yùn)的修正單元進(jìn)行修正，對于第二方向的誤差可以基于所測定的距離通過基板處理單元對基板的規(guī)定位置實(shí)施高精度處理。
[0009]又，作為另一現(xiàn)有技術(shù)的還有如下那樣的裝置(例如參照專利文獻(xiàn)2):在通過向液晶顯示器等的顯示用面板基板照射光束以此在基板上描畫圖形的面板基板的制造方法中，檢測保持基板地移動的載置臺的行駛誤差，并且基于該結(jié)果修正描畫數(shù)據(jù)(drawing data)的坐標(biāo)，將該描畫數(shù)據(jù)提供給光束照射裝置的驅(qū)動回路。
[0010]現(xiàn)有技術(shù)文獻(xiàn):
專利文獻(xiàn):
專利文獻(xiàn)1:日本特開2009-128830號公報(bào)；
專利文獻(xiàn)2:日本特開2010-60990號公報(bào)。
【發(fā)明內(nèi)容】

[0011]發(fā)明要解決的問題:
然而，如上述專利文獻(xiàn)1、2所記載的那樣，搬運(yùn)工件在搬運(yùn)中可能發(fā)生在水平平面內(nèi)旋轉(zhuǎn)的偏轉(zhuǎn)(本說明書和權(quán)利要求書中的“偏轉(zhuǎn)”指的是產(chǎn)生“水平面內(nèi)的旋轉(zhuǎn)、前后移動”等的“誤差”的動作)。因此，發(fā)生該偏轉(zhuǎn)時，若不進(jìn)行修正則會降低上述圖形加工等的品質(zhì)。例如，在進(jìn)行幾十μ m間隔的圖形化時，即使是發(fā)生了數(shù)μ m的偏轉(zhuǎn)也會使相鄰的圖形的距離發(fā)生變化，影響產(chǎn)品的性能。
[0012]然而，在上述專利文獻(xiàn)I中，如圖15 (a)所示，使用攝像裝置檢測沿著設(shè)置于基板120的兩側(cè)的軌道121搬運(yùn)的基板120在X方向上的誤差和偏轉(zhuǎn)等，而從該檢測數(shù)據(jù)算出誤差并修正基板處理單元的處理位置。因此，在這種情況下，高精度修正基板處理單元的處理位置花費(fèi)時間。而且，在像上述激光加工裝置110那樣以高速照射激光束并進(jìn)行圖形加工的裝置的情況下，無法通過像上述那樣用攝像裝置測定偏轉(zhuǎn)等并修正基板處理單元的處理位置的結(jié)構(gòu)應(yīng)對該處理速度。
[0013]又，專利文獻(xiàn)2中，如圖15 (b)所示，在X方向和Y方向上測定保持基板130地移動的載置臺131的行駛誤差，并且根據(jù)基于該測定結(jié)果修正的描畫數(shù)據(jù)，通過光束照射裝置描畫圖形。然而，在該情況下，由于基于載置臺的行駛誤差修正通過光束照射裝置的圖形的描畫，因此實(shí)施高精度的處理需要時間。而且，通過如上述激光加工裝置110那樣以高速照射激光束進(jìn)行圖形加工的裝置是無法應(yīng)對該處理速度的。
[0014]像這樣，任何現(xiàn)有技術(shù)均根據(jù)激光束的照射位置等修正基板的偏轉(zhuǎn)等。因此，在通過上述圖13所示的本 申請人:在之前申請的激光加工裝置110如圖14所示在向工件輸送方向X輸送搬運(yùn)工件107的同時非常高速地向掃描方向Y照射激光束而進(jìn)行圖形加工的裝置中，無法進(jìn)行激光束的位置修正。即，在高速照射激光束的激光裝置110的情況下，檢測搬運(yùn)工件107的偏轉(zhuǎn)并根據(jù)激光束的照射位置進(jìn)行修正的結(jié)構(gòu)是無法應(yīng)對的。
[0015]又，除上述激光加工裝置110以外還有如下那樣的裝置:例如像在加工?檢查用于液晶顯示器等的平板面板或玻璃基板等的裝置中的工件的搬運(yùn)那樣，在搬運(yùn)工件上發(fā)生偏轉(zhuǎn)等的情況下，不采用激光束而是通過搬運(yùn)工件的位置控制來修正該誤差。[0016]解決問題的手段:
因此，本發(fā)明的目的是提供能夠在搬運(yùn)的同時修正搬運(yùn)工件的搬運(yùn)中產(chǎn)生的偏轉(zhuǎn)的偏轉(zhuǎn)修正機(jī)構(gòu)和該偏轉(zhuǎn)修正方法。
[0017]為實(shí)現(xiàn)該目的，根據(jù)本發(fā)明的搬運(yùn)工件的偏轉(zhuǎn)修正機(jī)構(gòu)是修正向工件輸送方向搬運(yùn)的搬運(yùn)工件的偏轉(zhuǎn)的偏轉(zhuǎn)修正機(jī)構(gòu)，具備:保持所述搬運(yùn)工件的側(cè)部的保持裝置；支持所述保持裝置，并且沿著軌道向工件輸送方向搬運(yùn)所述保持裝置的行駛裝置；和在所述行駛裝置的工件輸送方向前部及后部支持所述保持裝置的支持機(jī)構(gòu)；所述支持機(jī)構(gòu)具有設(shè)置于所述保持裝置或行駛裝置中的任意一個上的轉(zhuǎn)動軸、和設(shè)置在所述保持裝置或行駛裝置中的另一個上的偏心軸，所述偏心軸在前部或后部中的一個相對于所述轉(zhuǎn)動軸的軸線以規(guī)定的偏心量向工件輸送方向偏心的位置上，且在前部或后部中的另一個向與工件輸送方向交叉的方向偏心的位置上具備與所述轉(zhuǎn)動軸平行的軸線；并且形成為通過使所述偏心軸的軸線以所述轉(zhuǎn)動軸的軸線為中心轉(zhuǎn)動以此使所述保持裝置相對于所述行駛裝置相對移動，從而修正所述搬運(yùn)工件的偏轉(zhuǎn)的結(jié)構(gòu)。該說明書及權(quán)利要求書中的“軸線”是“軸心”。
[0018]根據(jù)該結(jié)構(gòu)，對于因受到行駛裝置的偏轉(zhuǎn)和行駛軸的直線精度的影響而在由保持裝置保持的搬運(yùn)工件上產(chǎn)生的轉(zhuǎn)動.前后移動等的偏轉(zhuǎn)，通過使在前部和后部支持保持裝置的支持機(jī)構(gòu)中的、相對于轉(zhuǎn)動軸的軸線以規(guī)定的偏心量向工件輸送方向偏心的偏心軸和以規(guī)定的偏心量向與工件輸送方向交叉的方向偏心的偏心軸轉(zhuǎn)動，以此使相對于行駛裝置的保持裝置的位置相對移動而進(jìn)行修正，從而可以實(shí)現(xiàn)抑制搬運(yùn)工件的偏轉(zhuǎn)的搬運(yùn)。
[0019]又，也可以是所述偏心軸中的一個相對于所述轉(zhuǎn)動軸向工件輸送方向偏心地配置，而所述偏心軸中的另一個向與工件輸送方向正交的方向偏心地配置。
[0020]根據(jù)這樣的結(jié)構(gòu)，對于搬運(yùn)工件上產(chǎn)生的偏轉(zhuǎn)可分為在工件輸送方向上的誤差修正和在與工件輸送方向正交的方向上的誤差修正而進(jìn)行穩(wěn)定的偏轉(zhuǎn)修正。
[0021]又，也可以是所述行駛裝置具有使所述轉(zhuǎn)動軸轉(zhuǎn)動的驅(qū)動機(jī)；所述保持裝置具有與所述偏心軸接合的接合部；所述驅(qū)動機(jī)形成為基于預(yù)先測定的所述行駛裝置和軌道之間的在與工件輸送方向正交的方向上的偏心量使所述轉(zhuǎn)動軸轉(zhuǎn)動，以此通過所述偏心軸使所述保持裝置相對于所述行駛裝置相對移動而修正搬運(yùn)工件的偏轉(zhuǎn)的結(jié)構(gòu)。
[0022]根據(jù)這樣的結(jié)構(gòu)，即使因行駛裝置和軌道之間的誤差等而在行駛裝置上發(fā)生偏轉(zhuǎn)，搬運(yùn)工件也會通過與行駛裝置的相對位置調(diào)整而不受到偏轉(zhuǎn)的影響，可以正確地搬運(yùn)。
[0023]另一方面，根據(jù)本發(fā)明的搬運(yùn)工件的偏轉(zhuǎn)修正方法是修正向工件輸送方向搬運(yùn)的搬運(yùn)工件的偏轉(zhuǎn)的偏轉(zhuǎn)修正方法，求出所述搬運(yùn)工件的從搬運(yùn)開始地點(diǎn)到搬運(yùn)結(jié)束地點(diǎn)的偏轉(zhuǎn)量；基于所述搬運(yùn)工件的偏轉(zhuǎn)量進(jìn)行如下的修正，以此使所述保持裝置相對于所述行駛裝置相對移動而進(jìn)行修正:使相對于設(shè)置在保持所述搬運(yùn)工件的保持裝置或向工件輸送方向搬運(yùn)所述保持裝置的行駛裝置中的任意一個上的轉(zhuǎn)動軸以規(guī)定的偏心量向工件輸送方向偏心地設(shè)置在另一個上的偏心軸，以所述轉(zhuǎn)動軸為中心轉(zhuǎn)動而進(jìn)行的搬運(yùn)工件的與工件輸送方向交叉的方向上的修正；和使相對于設(shè)置在保持裝置和行駛裝置中的任意一個上的轉(zhuǎn)動軸以規(guī)定的偏心量向與工件輸送方向交叉的方向偏心地設(shè)置在另一個上的偏心軸，以所述轉(zhuǎn)動軸的軸線為中心轉(zhuǎn)動而進(jìn)行的搬運(yùn)工件的工件輸送方向上的修正。
[0024]根據(jù)該結(jié)構(gòu)，預(yù)先求出在將搬運(yùn)工件從搬運(yùn)開始地點(diǎn)至搬運(yùn)結(jié)束地點(diǎn)的輸送中產(chǎn)生的偏轉(zhuǎn)量的變化，并且基于該偏轉(zhuǎn)量的變化，對從搬運(yùn)開始地點(diǎn)輸送至搬運(yùn)結(jié)束地點(diǎn)的搬運(yùn)工件進(jìn)行與工件輸送方向交叉的方向的修正和工件輸送方向的修正，以此相對于行駛裝置的保持裝置的位置相對移動而修正偏轉(zhuǎn)，因此連微小的偏轉(zhuǎn)也都能正確地修正。
[0025]又，也可以在使向所述工件輸送方向偏心的偏心軸的軸線相對于所述轉(zhuǎn)動軸的軸線轉(zhuǎn)動而進(jìn)行與工件輸送方向交叉的方向的修正后；使向與所述工件輸送方向交叉的方向偏心的偏心軸的軸線相對于所述轉(zhuǎn)動軸的軸線旋轉(zhuǎn)而進(jìn)行工件輸送方向的修正。
[0026]根據(jù)這樣的結(jié)構(gòu)，首先修正由于搬運(yùn)工件上產(chǎn)生的偏轉(zhuǎn)而導(dǎo)致的角度的誤差，而之后修正在該角度的修正后的工件輸送方向的誤差，因此可以通過簡單的計(jì)算式修正搬運(yùn)工件的偏轉(zhuǎn)修正。
[0027]又，也可以是在將薄膜太陽能電池的基板作為所述搬運(yùn)工件向工件輸送方向輸送的同時在規(guī)定位置上通過激光束圖形加工劃線的工序的作業(yè)中，進(jìn)行所述偏轉(zhuǎn)修正而修正所述搬運(yùn)工件的圖形加工位置。
[0028]根據(jù)這樣的結(jié)構(gòu)，在將薄膜太陽能電池的基板作為搬運(yùn)工件通過激光束圖形加工劃線的激光加工裝置中，通過正確地修正在搬運(yùn)工件的搬運(yùn)中產(chǎn)生的偏轉(zhuǎn)，從而可以正確地加工劃線。
[0029]發(fā)明效果:
根據(jù)本發(fā)明，可以提供能夠在搬運(yùn)中修正在搬運(yùn)工件的搬運(yùn)中產(chǎn)生的轉(zhuǎn)動和前后移動等的偏轉(zhuǎn)的偏轉(zhuǎn)修正機(jī)構(gòu)。
【專利附圖】

【附圖說明】
[0030]圖1是示出具備根據(jù)本發(fā)明的一實(shí)施形態(tài)的偏轉(zhuǎn)修正機(jī)構(gòu)的搬運(yùn)裝置的俯視圖； 圖2是將圖1所示的搬運(yùn)裝置的一部分剖切后的后視圖；
圖3是將圖2所示的支持機(jī)構(gòu)的部分?jǐn)U大后的剖視圖；
圖4是從圖3所示的IV-1V箭頭方向觀察的的俯視圖；
圖5是示出在圖3所示的支持機(jī)構(gòu)的部分中的俯視時的軸線的圖，圖5中的(a)是示出前部的偏心量的俯視圖，圖5中的(b)是不出后部的偏心量的俯視圖；
圖6是示出圖1所示的搬運(yùn)裝置和搬運(yùn)工件的關(guān)系的俯視圖；
圖7是夸張地示出圖6所示的搬運(yùn)工件上產(chǎn)生的偏轉(zhuǎn)的俯視圖；
圖8是示出修正圖7所示的搬運(yùn)工件上產(chǎn)生的偏轉(zhuǎn)的方法的概念的俯視圖；
圖9是夸張地示出圖8所示的搬運(yùn)工件進(jìn)行了偏轉(zhuǎn)修正后的狀態(tài)的搬運(yùn)工件的俯視
圖；
圖10是示出修正圖9所示的搬運(yùn)工件的偏轉(zhuǎn)的方法的概念的俯視圖；
圖11是示出圖7?10所示的搬運(yùn)工件在進(jìn)行了偏轉(zhuǎn)修正的情況下和在沒有進(jìn)行偏轉(zhuǎn)修正的情況下的偏轉(zhuǎn)量的圖表；
圖12中的(a)?(g)是示出根據(jù)現(xiàn)有的激光加工裝置進(jìn)行的圖形加工的一個示例的剖視圖；
圖13是本 申請人:在之前申請的激光加工裝置的立體圖；
圖14是示出在圖13所示的激光加工裝置中進(jìn)行的圖形加工的一個示例的俯視圖；
圖15中的(a)、(b)是示意性地示出現(xiàn)有的搬運(yùn)工件的偏轉(zhuǎn)修正例的俯視圖?！揪唧w實(shí)施方式】
[0031]以下，根據(jù)【專利附圖】

【附圖說明】本發(fā)明的實(shí)施形態(tài)。以下的實(shí)施形態(tài)中，以薄膜太陽能電池等的基板作為搬運(yùn)工件5的示例進(jìn)行說明。又，相對工件輸送方向X，與該工件輸送方向X正交的方向作為Y方向進(jìn)行說明。
[0032]如圖1，2所示，具備該實(shí)施形態(tài)的偏轉(zhuǎn)修正機(jī)構(gòu)50的搬運(yùn)裝置I形成為以沿著兩根軌道6在工件輸送方向X上移動的結(jié)構(gòu)。搬運(yùn)裝置I中設(shè)有沿著上述軌道6行駛的行駛裝置2和支持于該行駛裝置2的上部且保持搬運(yùn)工件5并與行駛裝置2 —體地移動的保持裝置3。
[0033]行駛裝置2具有在下部設(shè)置有在下部四個位置處沿著軌道6滑動的行駛弓I導(dǎo)件11的下部板10。行駛引導(dǎo)件11在前后各兩個位置上與上述軌道6接合。該實(shí)施形態(tài)的搬運(yùn)裝置I形成為通過設(shè)置于軌道6和行駛裝置2之間的直線步進(jìn)馬達(dá)12向工件輸送方向X正確地移動的結(jié)構(gòu)。
[0034]保持裝置3具有設(shè)置于上述行駛裝置2的下部板10的上方的上部板20。在該上部板20上設(shè)置有保持構(gòu)件21。在該示例中設(shè)置有三個保持構(gòu)件21，這些保持構(gòu)件21在梢立而把持部22上保持著搬運(yùn)工件5。
[0035]又，保持裝置3在上述行駛裝置2的下部板10的上表面設(shè)置有限制構(gòu)件13。保持構(gòu)件3通過該限制構(gòu)件13以將水平方向的移動量限制在規(guī)定的移動范圍內(nèi)的狀態(tài)設(shè)置于行駛裝置2的上部。限制構(gòu)件13是固定在行駛裝置2的上表面的圓柱形的構(gòu)件，在該示例中設(shè)置在四個位置上。在保持裝置3的上部板20上以包圍上述限制構(gòu)件13的形式設(shè)置有推力軸承23。借助于此，保持裝置3在該推力軸承23與限制構(gòu)件13的間隙S的范圍內(nèi)可實(shí)現(xiàn)水平方向的移動。此外，保持裝置3通過推力軸承23支持于行駛裝置2的上部，因此將保持裝置3以非常小的摩擦阻力使其可在水平方向上移動地進(jìn)行支持。
[0036]而且，在上述行駛裝置2的下部板10和保持裝置3的上部板20之間設(shè)置有在上述行駛裝置2的上部支持保持裝置3的支持機(jī)構(gòu)30。支持機(jī)構(gòu)30在工件輸送方向X上設(shè)有后部支持機(jī)構(gòu)31和前部支持機(jī)構(gòu)32。這些支持機(jī)構(gòu)31，32具有設(shè)置于行駛裝置2的下部板10的驅(qū)動馬達(dá)(伺服馬達(dá))33、設(shè)置于保持裝置3的上部板20的支持軸承34、和設(shè)置于它們之間的偏心軸構(gòu)件35。設(shè)置于后部支持機(jī)構(gòu)31及前部支持機(jī)構(gòu)32的偏心軸構(gòu)件35如以下說明那樣可以在各個驅(qū)動馬達(dá)33的驅(qū)動軸(轉(zhuǎn)動軸)36、37的軸線(軸心)O1' O2上轉(zhuǎn)動。
[0037]基于圖3以上述后部支持機(jī)構(gòu)31為例進(jìn)行說明。如圖所示，上述驅(qū)動馬達(dá)33以使后部驅(qū)動軸36從設(shè)置于下部板10上的驅(qū)動機(jī)安裝板15向下突出的形式被設(shè)置。后部驅(qū)動軸36為轉(zhuǎn)動軸，在該后部驅(qū)動軸36上設(shè)置有上述偏心軸構(gòu)件35。偏心軸構(gòu)件35由設(shè)置在上述驅(qū)動機(jī)安裝板15上的軸承16支持，并在后部驅(qū)動軸36的軸線O1上自由轉(zhuǎn)動。
[0038]又，偏心軸構(gòu)件35在下方突出設(shè)置有具有相對于上述驅(qū)動馬達(dá)33的后部驅(qū)動軸36的軸線為規(guī)定的偏心量e的軸線(軸心)03的偏心軸38。而且，該偏心軸38插入于設(shè)置在上述保持裝置3的上部板20上的支持軸承34中。
[0039]因此，驅(qū)動驅(qū)動馬達(dá)33通過后部驅(qū)動軸36使偏心軸構(gòu)件35轉(zhuǎn)動，以此偏心軸38在以上述軸線O1為中心以規(guī)定的偏心量e偏心的位置上使上部板20向與工件輸送方向X交叉的方向Y移動。該移動是以上述前部支持機(jī)構(gòu)32的驅(qū)動軸(轉(zhuǎn)動軸)37的軸線O2為中心的搖動。借助于此，可以使保持裝置3的后部相對于行駛裝置2以規(guī)定的偏心量e向與工件輸送方向X交叉的方向Y相對移動。
[0040]又，在使上述上部板20的后部以相對于行駛裝置2不發(fā)生位移的前部支持機(jī)構(gòu)32的驅(qū)動軸(轉(zhuǎn)動軸)37的軸線O2為中心搖動時，不得不使后部支持機(jī)構(gòu)31的后部驅(qū)動軸36向工件輸送方向X稍微移動。因此，如圖4所示，將支持上述偏心軸構(gòu)件35的偏心軸38和支持該偏心軸38的支持軸承34的滑動構(gòu)件40以在上部板20的上表面上向工件輸送方向X可滑動的方式進(jìn)行設(shè)置，并且配備使該滑動構(gòu)件40沿著上部板20的滑動引導(dǎo)件41向工件輸送方向X移動自如的滑動機(jī)構(gòu)42。通過該滑動機(jī)構(gòu)42，在上部板20通過偏心軸構(gòu)件35向與工件輸送方向X正交的方向搖動時，上部板20的后部向工件輸送方向X移動而吸收工件輸送方向X的位移。
[0041]另一方面，如圖5 (a)、圖5 (b)所示，上述偏心軸構(gòu)件35的偏心軸38在后部支持機(jī)構(gòu)31和前部支持機(jī)構(gòu)32上向不同的方向偏心。圖5 (b)是與上述圖3相同的后部支持機(jī)構(gòu)31中的偏心軸38，偏心軸38的軸線O3相對于驅(qū)動馬達(dá)33的軸線O1 (后部驅(qū)動軸36的軸線)向與工件輸送方向X平行的方向以規(guī)定的偏心量e偏心。另一方面，圖5 (a)是前部支持機(jī)構(gòu)32中的偏心軸38，偏心軸38的軸線O3相對于驅(qū)動馬達(dá)33的軸線O2 (前部驅(qū)動軸37的軸線)向與工件輸送方向X交叉(正交)的方向Y以規(guī)定的偏心量e偏心。通過使這些偏心軸構(gòu)件35中的偏心量e例如達(dá)到Imm左右，以此可以修正微小的偏轉(zhuǎn)。該偏心量e只要根據(jù)偏轉(zhuǎn)量等設(shè)定即可。
[0042]以下，參考圖6?圖10說明搬運(yùn)工件5的偏轉(zhuǎn)修正方法。在搬運(yùn)工件5上產(chǎn)生的偏轉(zhuǎn)是由于軌道6 (圖1)的鋪設(shè)誤差和各部件的制作誤差等原因而產(chǎn)生的。而且，是在沿著軌道6行駛的搬運(yùn)裝置I發(fā)生偏轉(zhuǎn)時修正通過該搬運(yùn)裝置I的保持裝置3把持并搬運(yùn)的搬運(yùn)工件5的偏轉(zhuǎn)的示例。另外，在以下說明中，對于上述圖1?圖5中所示的結(jié)構(gòu)標(biāo)以相同的符號并進(jìn)行說明。又，在圖中夸張地示出因偏轉(zhuǎn)而產(chǎn)生的數(shù)ym?數(shù)百μm的誤差。
[0043]如圖6所示，上述搬運(yùn)裝置I和搬運(yùn)工件5的位置關(guān)系如下:
L1:從搬運(yùn)裝置I的轉(zhuǎn)動軸軸心位置至搬運(yùn)工件5的第一誤差測定點(diǎn)的距離；
L2:從搬運(yùn)裝置I的轉(zhuǎn)動軸軸心位置到搬運(yùn)工件5的第二誤差測定點(diǎn)的距離；
L3:搬運(yùn)裝置I的前部轉(zhuǎn)動軸軸心和后部轉(zhuǎn)動軸軸心之間的距離。
[0044]而且，如圖7、8所示，沿著軌道6向工件輸送方向X行駛的搬運(yùn)裝置I因軌道6的鋪設(shè)誤差等而導(dǎo)致搬運(yùn)工件5產(chǎn)生偏轉(zhuǎn)。例如，該偏轉(zhuǎn)(在圖7中示出反搬運(yùn)裝置I側(cè)相對于工件輸送方向X引起角度偏移的狀態(tài))是由于軌道6的鋪設(shè)誤差、各部件的制作誤差等而產(chǎn)生，因此例如可以達(dá)到數(shù)ym?數(shù)十μπι程度。圖8所示的各記號如下:
AX1:在第一誤差測定點(diǎn)上的工件搬運(yùn)誤差；
AX1:在第二誤差測定點(diǎn)上的工件搬運(yùn)誤差； α。:搬運(yùn)裝置I的角度； e:偏心軸38的偏心量；
Θ 1:偏心軸38的旋轉(zhuǎn)角度。
[0045]在如上述那樣的條件下，關(guān)于搬運(yùn)裝置I的角度α ο,由于偏心軸38的偏心量e(例如，約Imm)與前部驅(qū)動軸37和后部驅(qū)動軸36之間的距離L3 (例如，約數(shù)百mm?一千幾百mm)相比非常小。因此,偏心量e可以認(rèn)為是e << L3 ,搬運(yùn)裝置I在傾斜角度％時的工件輸送方向上的位移量由以下的數(shù)學(xué)式I求出。
[0046]數(shù)學(xué)式1:
【權(quán)利要求】
1.一種搬運(yùn)工件的偏轉(zhuǎn)修正機(jī)構(gòu)，是修正向工件輸送方向搬運(yùn)的搬運(yùn)工件的偏轉(zhuǎn)的偏轉(zhuǎn)修正機(jī)構(gòu)，具備: 保持所述搬運(yùn)工件的側(cè)部的保持裝置； 支持所述保持裝置，并且沿著軌道向工件輸送方向搬運(yùn)所述保持裝置的行駛裝置；和 在所述行駛裝置的工件輸送方向前部及后部支持所述保持裝置的支持機(jī)構(gòu)； 所述支持機(jī)構(gòu)具有設(shè)置于所述保持裝置或行駛裝置中的任意一個上的轉(zhuǎn)動軸、和設(shè)置在所述保持裝置或行駛裝置中的另一個上的偏心軸，所述偏心軸在前部或后部中的一個相對于所述轉(zhuǎn)動軸的軸線以規(guī)定的偏心量向工件輸送方向偏心的位置上，且在前部或后部中的另一個向與工件輸送方向交叉的方向偏心的位置上具備與所述轉(zhuǎn)動軸平行的軸線；并且形成為通過使所述偏心軸的軸線以所述轉(zhuǎn)動軸的軸線為中心轉(zhuǎn)動以此使所述保持裝置相對于所述行駛裝置相對移動，從而修正所述搬運(yùn)工件的偏轉(zhuǎn)的結(jié)構(gòu)。
2.根據(jù)權(quán)利要求1所述的搬運(yùn)工件的偏轉(zhuǎn)修正機(jī)構(gòu)，其特征在于，所述偏心軸中的一個以相對于所述轉(zhuǎn)動軸向工件輸送方向偏心的形式配置，而所述偏心軸中的另一個以向與工件輸送方向正交的方向偏心的形式配置。
3.根據(jù)權(quán)利要求1或2所述的搬運(yùn)工件的偏轉(zhuǎn)修正機(jī)構(gòu)，其特征在于， 所述行駛裝置具有使所述轉(zhuǎn)動軸轉(zhuǎn)動的驅(qū)動機(jī)； 所述保持裝置具有與所述偏心軸接合的接合部； 所述驅(qū)動機(jī)形成為基于預(yù)先測定的所述行駛裝置和軌道之間的在與工件輸送方向正交的方向上的偏心量使所述轉(zhuǎn)動軸轉(zhuǎn)動，以此通過所述偏心軸使所述保持裝置相對于所述行駛裝置相對移動而修正搬運(yùn)工件的偏轉(zhuǎn)的結(jié)構(gòu)。
4.一種搬運(yùn)工件的偏轉(zhuǎn)修正方法，其特征在于， 是修正向工件輸送方向搬運(yùn)的搬運(yùn)工件的偏轉(zhuǎn)的偏轉(zhuǎn)修正方法， 求出所述搬運(yùn)工件的從搬運(yùn)開始地點(diǎn)到搬運(yùn)結(jié)束地點(diǎn)的偏轉(zhuǎn)量； 基于所述搬運(yùn)工件的偏轉(zhuǎn)量進(jìn)行如下的修正，以此使所述保持裝置相對于所述行駛裝置相對移動而進(jìn)行修正: 使相對于設(shè)置在保持所述搬運(yùn)工件的保持裝置或向工件輸送方向搬運(yùn)所述保持裝置的行駛裝置中的任意一個上的轉(zhuǎn)動軸以規(guī)定的偏心量向工件輸送方向偏心地設(shè)置在另一個上的偏心軸，以所述轉(zhuǎn)動軸為中心轉(zhuǎn)動而進(jìn)行的搬運(yùn)工件的與工件輸送方向交叉的方向的修正；和 使相對于設(shè)置在所述保持裝置和行駛裝置中的任意一個上的轉(zhuǎn)動軸以規(guī)定的偏心量向與工件輸送方向交叉的方向偏心地設(shè)置在另一個上的偏心軸，以所述轉(zhuǎn)動軸的軸線為中心轉(zhuǎn)動而進(jìn)行的搬運(yùn)工件的工件輸送方向的修正。
5.根據(jù)權(quán)利要求4所述的搬運(yùn)工件的偏轉(zhuǎn)修正方法，其特征在于， 在使向所述工件輸送方向偏心的偏心軸的軸線相對于所述轉(zhuǎn)動軸的軸線轉(zhuǎn)動而進(jìn)行與工件輸送方向交叉的方向的修正后； 使向與所述工件輸送方向交叉的方 向偏心的偏心軸的軸線相對于所述轉(zhuǎn)動軸的軸線旋轉(zhuǎn)而進(jìn)行工件輸送方向的修正。
6.根據(jù)權(quán)利要求4或5所述的搬運(yùn)工件的偏轉(zhuǎn)修正方法，其特征在于，在將薄膜太陽能電池的基板作為所述搬運(yùn)工件向工件輸送方向輸送的同時在規(guī)定位置上通過激光束圖形加工劃線的工序的作業(yè)中，進(jìn)行所述偏轉(zhuǎn)修正而修正所述搬運(yùn)工件的圖形加工位置。
【文檔編號】B65G43/08GK103946968SQ201280057588
【公開日】2014年7月23日 申請日期:2012年11月19日 優(yōu)先權(quán)日:2011年11月30日
【發(fā)明者】久下守正, 田中秀幸, 大串修己, 東健太郎, 中澤睦裕, 高原一典 申請人:川崎重工業(yè)株式會社