專利名稱：輔助接片手裝置的制作方法
技術(shù)領(lǐng)域：
輔助接片手裝置技術(shù)領(lǐng)域[0001]本實(shí)用新型涉及機(jī)械制造領(lǐng)域，特別涉及一種輔助接片手裝置。
背景技術(shù)：
[0002]隨著光刻機(jī)技術(shù)的逐漸成熟，對(duì)光刻機(jī)內(nèi)部結(jié)構(gòu)簡(jiǎn)單化和低經(jīng)濟(jì)成本的要求越來(lái)越高。如何使光刻機(jī)內(nèi)部結(jié)構(gòu)的簡(jiǎn)單化以及降低生產(chǎn)成本，已經(jīng)成為擺在各個(gè)光刻機(jī)制造商面前必須面對(duì)的問(wèn)題。輔助接片手作為光刻機(jī)工件臺(tái)中一個(gè)重要的裝置，它主要是輔助主接片手完成將玻璃基板交接到傳輸機(jī)構(gòu)的任務(wù)。[0003]現(xiàn)有的部分光刻機(jī)的輔助接片手采用氣缸作為動(dòng)力元件，控制準(zhǔn)確度不高，影響傳輸精度；還有的一些光刻機(jī)的輔助接片手分別由獨(dú)立的電機(jī)驅(qū)動(dòng)，運(yùn)動(dòng)同步性較差，而且經(jīng)濟(jì)成本高。輔助接片手作為一種可以自由上升或者下降的裝置，廣泛應(yīng)用于光刻機(jī)中的基板傳輸。常見(jiàn)的提升機(jī)構(gòu)中，平行四邊形機(jī)構(gòu)能按比例放大工作行程，廣泛使用在各類液壓升降設(shè)備中，但其工作方式都是頂升，如液壓升降工作臺(tái)，這種平面多桿機(jī)構(gòu)雖然能增加提升行程，但構(gòu)件受力計(jì)算比較復(fù)雜，而且占用空間較大；還有一些提升機(jī)構(gòu)采用鏈條，例如多鏈條同步提升機(jī)構(gòu)，由于鏈條需要潤(rùn)滑，容易對(duì)環(huán)境造成污染，不適合應(yīng)用于光刻機(jī)領(lǐng)域。[0004]隨著大型平板LED技術(shù)的發(fā)展，對(duì)輔助接片手的數(shù)量要求也會(huì)更多。因此，如何提供一種結(jié)構(gòu)簡(jiǎn)單、運(yùn)動(dòng)同步性好且經(jīng)濟(jì)成本低的輔助接片手裝置成為本領(lǐng)域技術(shù)人員亟待解決的一個(gè)技術(shù)問(wèn)題。實(shí)用新型內(nèi)容[0005]本實(shí)用新型提供一種輔助接片手裝置，以解決現(xiàn)有技術(shù)中輔助接片手經(jīng)濟(jì)成本高，運(yùn)動(dòng)同步性差，結(jié)構(gòu)復(fù)雜的問(wèn)題。[0006]為解決上述技術(shù)問(wèn)題，本實(shí)用新型提供一種輔助接片手裝置，包括主接片手、輔助接片手、頂板、帶輪、同步帶、直流伺服電機(jī)、軸承、軸承座、凸輪軸以及底板，其中，所述輔助接片手和主接片手安裝在所述頂板上，所述帶輪、直流伺服電機(jī)以及軸承座安裝在所述底板上，所述同步帶與所述帶輪相匹配，同步帶上安裝有兩個(gè)光電開(kāi)關(guān)限位擋板，所述輔助接片手的底部與所述凸輪軸相接觸，所述凸輪軸的兩端分別通過(guò)所述軸承連接在所述底板上，且所述凸輪軸的一端與所述帶輪相連，所述軸承通過(guò)所述軸承座固定在所述底板上。[0007]作為優(yōu)選，所述凸輪軸為兩組，分別設(shè)置在所述同步帶兩端的底板上。[0008]作為優(yōu)選，所述凸輪軸包括橫軸和多個(gè)凸輪，所述凸輪套設(shè)在所述橫軸上并與所述橫軸固定連接，所述凸輪的上表面與所述輔助接片手相接觸。[0009]作為優(yōu)選，所述帶輪包括第一帶輪和第二帶輪，其中，第一帶輪設(shè)置在所述同步帶的中間位置，且所述第一帶輪與所述直流伺服電機(jī)相連，所述第二帶輪有兩個(gè)，分別設(shè)置于所述同步帶的兩端，且所述第二帶輪與所述凸輪軸相連。[0010]作為優(yōu)選，還包括光電開(kāi)關(guān)，所述光電開(kāi)關(guān)設(shè)置在所述底板上。[0011]作為優(yōu)選，還包括電氣限位擋板，所述電氣限位擋板設(shè)置在所述同步帶上。作為優(yōu)選，所述頂板上設(shè)置有導(dǎo)軌，所述輔助接片手在所述導(dǎo)軌中上下移動(dòng)。與現(xiàn)有技術(shù)相比，本實(shí)用新型具有以下優(yōu)點(diǎn):1、用一臺(tái)直流伺服電機(jī)驅(qū)動(dòng)整個(gè)輔助接片手裝置，減少了原動(dòng)件的數(shù)目，降低了控制的難度，節(jié)省了經(jīng)濟(jì)成本；2、采用同步帶傳動(dòng)和凸輪軸傳動(dòng)方式，結(jié)構(gòu)簡(jiǎn)單，制造方便；3、通過(guò)凸輪軸實(shí)現(xiàn)輔助接片手的上升或者下降，控制簡(jiǎn)單可靠，運(yùn)動(dòng)同步性好；4、可以根據(jù)實(shí)際需要增加輔助接片手的數(shù)量，實(shí)現(xiàn)大尺寸基板的交接傳輸。

圖1為本實(shí)用新型一具體實(shí)施方式
中輔助接片手裝置的主視圖；圖2為本實(shí)用新型一具體實(shí)施方式
中輔助接片手裝置的左視圖；圖3為本實(shí)用新型一具體實(shí)施方式
中輔助接片手裝置的立體示意圖；圖4為本實(shí)用新型一具體實(shí)施方式
中輔助接片手裝置的俯視圖；圖5為本實(shí)用新型一具體實(shí)施方式
中輔助接片手的安裝示意圖；圖6為本實(shí)用新型一具體實(shí)施方式
中凸輪的結(jié)構(gòu)示意圖。圖中:1-輔助接片手、2-主接片手、3-頂板、4-帶輪、401-第一帶輪、402-第二帶輪、5-同步帶、6-直流伺服電機(jī)、7-軸承、8-軸承座、9-凸輪軸、901-凸輪、902-橫軸、10-底板、11-光電開(kāi)關(guān)、12-電氣限位擋板。
具體實(shí)施方式
為使本實(shí)用新型的上述目的、特征和優(yōu)點(diǎn)能夠更加明顯易懂，
以下結(jié)合附圖對(duì)本實(shí)用新型的具體實(shí)施方式
做詳細(xì)的說(shuō)明。需說(shuō)明的是，本實(shí)用新型附圖均采用簡(jiǎn)化的形式且均使用非精準(zhǔn)的比例，僅用以方便、明晰地輔助說(shuō)明本實(shí)用新型實(shí)施例的目的。請(qǐng)參照?qǐng)D1飛，本實(shí)用新型提供一種輔助接片手裝置，包括輔助接片手1、主接片手2、頂板3、帶輪4、同步帶5、直流伺服電機(jī)6、軸承7、軸承座8、凸輪軸9以及底板10。其中，所述輔助接片手I和主接片手2安裝在所述頂板3上，所述帶輪4、直流伺服電機(jī)6以及軸承座8安裝在所述底板10上，所述同步帶5與所述帶輪4相匹配，同步帶5上安裝有兩個(gè)光電開(kāi)關(guān)限位擋板(未圖示)，所述輔助接片手I的底部與所述凸輪軸9相接觸，所述凸輪軸9的兩端分別與所述軸承7連接，且所述凸輪軸9的一端與所述帶輪4相連，所述軸承7通過(guò)所述軸承座8固定在底板10上。具體地，所述直流伺服電機(jī)6通過(guò)帶輪4和同步帶5帶動(dòng)凸輪軸9轉(zhuǎn)動(dòng)，凸輪軸9的旋轉(zhuǎn)帶動(dòng)輔助接片手I上升或下降。本實(shí)用新型的輔助接片手裝置由一臺(tái)直流伺服電機(jī)6驅(qū)動(dòng)，通過(guò)直流伺服電機(jī)6的正轉(zhuǎn)、反轉(zhuǎn)，實(shí)現(xiàn)了輔助接片手I的上升或下降，既減少了原動(dòng)件的數(shù)目，又降低了裝置的控制難度，節(jié)省了經(jīng)濟(jì)成本。并且，本實(shí)用新型通過(guò)凸輪軸9帶動(dòng)所有輔助接片手I同時(shí)上升或者下降，具有良好的同步性。還可以根據(jù)需要增加或減少輔助接片手I的數(shù)量，實(shí)現(xiàn)大尺寸基板的交接傳輸。此外，所述的輔助接片手裝置采用同步帶傳動(dòng)和凸輪軸傳動(dòng)方式，結(jié)構(gòu)簡(jiǎn)單、制造方便、大大節(jié)省經(jīng)濟(jì)成本。請(qǐng)參照?qǐng)D2和圖5，所述凸輪軸9為兩組，分別設(shè)置在所述同步帶5兩端的底板10上。較佳的，所述凸輪軸9包括橫軸902和多個(gè)凸輪901，所述凸輪901套設(shè)在所述橫軸902上并與所述橫軸901固定連接，所述輔助接片手I與所述凸輪901的上表面相接觸。具體地，所述直流伺服電機(jī)6通過(guò)帶輪4和同步帶5同時(shí)帶動(dòng)兩組凸輪軸9轉(zhuǎn)動(dòng)，每個(gè)凸輪軸9上分別帶動(dòng)多個(gè)凸輪901旋轉(zhuǎn)，從而推動(dòng)輔助接片手I的升降，該裝置可以靈活的實(shí)現(xiàn)輔助接片手I的升降，使得所述輔助接片手裝置的運(yùn)動(dòng)同步性提高。[0028]請(qǐng)參照?qǐng)D1，并結(jié)合圖2飛，作為優(yōu)選，所述帶輪4包括第一帶輪401和第二帶輪402，其中，第一帶輪401設(shè)置在所述同步帶5的中間位置，且所述第一帶輪401與所述直流伺服電機(jī)6相連，所述第二帶輪402有兩個(gè)，分別設(shè)置于所述同步帶5的兩端，且所述第二帶輪402與所述凸輪軸9相連。具體地，所述直流伺服電機(jī)6驅(qū)動(dòng)第一帶輪401轉(zhuǎn)動(dòng)，使所述第一帶輪401帶動(dòng)所述同步帶5及第二帶輪402轉(zhuǎn)動(dòng)，從而帶動(dòng)凸輪軸9旋轉(zhuǎn),實(shí)現(xiàn)所述輔助接片手I的上升或下降。[0029]請(qǐng)參照?qǐng)D2，并結(jié)合圖1和圖3飛，所述輔助接片手裝置還包括光電開(kāi)關(guān)11和電氣限位擋板12，所述光電開(kāi)關(guān)11安裝在所述底板10上，所述電氣限位擋板12安裝在所述同步帶5上。所述電氣限位擋板12與光電開(kāi)關(guān)11 一起用來(lái)控制輔助接片手I的行程，即，可以根據(jù)實(shí)際輔助接片手I的行程需要，合理調(diào)整光電開(kāi)關(guān)11和電氣限位擋板12的位置，也就是說(shuō)，可以通過(guò)限制同步帶5的旋轉(zhuǎn)角度選擇凸輪901在某一段行程內(nèi)旋轉(zhuǎn)，繼而限定輔助接片手I上升和下降的高度。[0030]請(qǐng)參照?qǐng)D5，并結(jié)合圖f 4，作為優(yōu)選，所述頂板3上設(shè)置有導(dǎo)軌301，所述輔助接片手I在所述導(dǎo)軌301中上下移動(dòng)，即，所述導(dǎo)軌301用于導(dǎo)向所述輔助接片手I。[0031]請(qǐng)繼續(xù)參照?qǐng)Df 6，所述輔助接片手裝置的工作過(guò)程為:直流伺服電機(jī)6帶動(dòng)所述第一帶輪401轉(zhuǎn)動(dòng)，所述第一帶輪401帶動(dòng)同步帶5以及第二帶輪402轉(zhuǎn)動(dòng)，所述第二帶輪402帶動(dòng)兩個(gè)凸輪軸9轉(zhuǎn)動(dòng)，凸輪901旋轉(zhuǎn)帶動(dòng)輔助接片手I上升。當(dāng)固定在同步帶5上的電氣限位擋板12碰到光電開(kāi)關(guān)11時(shí)，直流伺服電機(jī)6停止轉(zhuǎn)動(dòng)，輔助接片手I也停止上升。當(dāng)輔助接片手I與傳輸機(jī)構(gòu)交接完畢后，直流伺服電機(jī)6反向旋轉(zhuǎn)，帶動(dòng)凸輪軸9反向旋轉(zhuǎn)，輔助接片手I跟隨凸輪901下降到初始位置，完成輔助接片手I與傳輸機(jī)構(gòu)的一次交接過(guò)程。[0032]綜上所述，本實(shí)用新型的輔助接片手裝置，包括輔助接片手1、頂板3、帶輪4、同步帶5、直流伺服電機(jī)6、軸承7、軸承座8、凸輪軸9以及底板10。其中，所述輔助接片手I和主接片手2安裝在所述頂板3上，所述帶輪4、直流伺服電機(jī)6以及軸承座8安裝在所述底板10上，所述同步帶5與所述帶輪4相匹配，同步帶5上安裝有兩個(gè)光電開(kāi)關(guān)限位擋板，所述輔助接片手I的底部與所述凸輪軸9相接觸，所述凸輪軸9的兩端分別與所述軸承7連接，且所述凸輪軸9的一端與所述帶輪4相連，所述軸承7通過(guò)所述軸承座8固定在所述底板10上。本實(shí)用新型的輔助接片手裝置，以直流伺服電機(jī)6作為動(dòng)力元件，通過(guò)同步帶5和帶輪4帶動(dòng)兩個(gè)凸輪軸9轉(zhuǎn)動(dòng)，凸輪901的轉(zhuǎn)動(dòng)帶動(dòng)與之相接觸的輔助接片手I上升或者下降。[0033]與現(xiàn)有技術(shù)相比，所述輔助接片手裝置具有以下優(yōu)點(diǎn):[0034]1、用一臺(tái)直流伺服電機(jī)6驅(qū)動(dòng)整個(gè)輔助接片手裝置，減少了原動(dòng)件的數(shù)目，降低了控制的難度，節(jié)省了經(jīng)濟(jì)成本；[0035]2、采用同步帶傳動(dòng)和凸輪軸傳動(dòng)方式，結(jié)構(gòu)簡(jiǎn)單，制造方便；[0036]3、通過(guò)凸輪軸實(shí)現(xiàn)輔助接片手I的上升或者下降，控制簡(jiǎn)單可靠，運(yùn)動(dòng)同步性好；4、可以根據(jù)實(shí)際需要增加輔助接片手I的數(shù)量，實(shí)現(xiàn)大尺寸基板的交接傳輸；5、可以通過(guò)安裝在底板10上的光電開(kāi)關(guān)11以及安裝在同步帶5上的電氣限位擋板12的位置調(diào)整輔助接片手I的行程。顯然，本領(lǐng)域的技術(shù)人員可以對(duì)實(shí)用新型進(jìn)行各種改動(dòng)和變型而不脫離本實(shí)用新型的精神和范圍。這樣，倘若本實(shí)用新型的這些修改和變型屬于本實(shí)用新型權(quán)利要求及其等同技術(shù)的范圍之內(nèi)，則本實(shí)用新型也意圖包括這些改動(dòng)和變型在內(nèi)。
權(quán)利要求1.一種輔助接片手裝置，其特征在于，包括主接片手、輔助接片手、頂板、帶輪、同步帶、直流伺服電機(jī)、軸承、軸承座、凸輪軸以及底板，其中，所述輔助接片手和主接片手安裝在所述頂板上，所述帶輪、直流伺服電機(jī)以及軸承座安裝在所述底板上，所述同步帶與所述帶輪相匹配，同步帶上安裝有兩個(gè)光電開(kāi)關(guān)限位擋板，所述輔助接片手的底部與所述凸輪軸相接觸，所述凸輪軸的兩端分別通過(guò)所述軸承連接在所述底板上，且所述凸輪軸的一端與所述帶輪相連，所述軸承通過(guò)所述軸承座固定在所述底板上。
2.如權(quán)利要求1所述的輔助接片手裝置，其特征在于，所述凸輪軸為兩組，分別設(shè)置在所述同步帶兩端的底板上。
3.如權(quán)利要求2所述的輔助接片手裝置，其特征在于，所述凸輪軸包括橫軸和多個(gè)凸輪，所述凸輪套設(shè)在所述橫軸上并與所述橫軸固定連接，所述凸輪的上表面與所述輔助接片手相接觸。
4.如權(quán)利要求1所述的輔助接片手裝置，其特征在于，所述帶輪包括第一帶輪和第二帶輪，其中，第一帶輪設(shè)置在所述同步帶的中間位置，且所述第一帶輪與所述直流伺服電機(jī)相連，所述第二帶輪有兩個(gè)，分別設(shè)置于所述同步帶的兩端，且所述第二帶輪與所述凸輪軸相連。
5.如權(quán)利要求1所述的輔助接片手裝置，其特征在于，還包括光電開(kāi)關(guān)，所述光電開(kāi)關(guān)設(shè)置在所述底板上。
6.如權(quán)利要求1所述的輔助接片手裝置，其特征在于，還包括電氣限位擋板，所述電氣限位擋板設(shè)置在所述同步帶上。
7.如權(quán)利要求1所述的輔助接片手裝置，其特征在于，所述頂板上設(shè)置有導(dǎo)軌，所述輔助接片手在所述導(dǎo)軌中上下移動(dòng)。
專利摘要本實(shí)用新型公開(kāi)了一種輔助接片手裝置，包括主接片手、輔助接片手、頂板、帶輪、同步帶、直流伺服電機(jī)、軸承、軸承座、凸輪軸以及底板，輔助接片手和主接片手安裝在頂板上，帶輪、直流伺服電機(jī)及軸承座安裝在底板上，同步帶與帶輪相匹配，同步帶上安裝有兩個(gè)光電開(kāi)關(guān)限位擋板，輔助接片手的底部與凸輪軸接觸，凸輪軸的兩端分別通過(guò)軸承連接在底板上，凸輪軸的一端與帶輪相連，軸承通過(guò)軸承座固定在底板上。本實(shí)用新型通過(guò)凸輪軸帶動(dòng)所有輔助接片手同時(shí)上升或下降，具有良好的同步性。根據(jù)需要增加或減少輔助接片手的數(shù)量，可實(shí)現(xiàn)大尺寸基板的交接傳輸。此外，輔助接片手裝置采用同步帶傳動(dòng)和凸輪軸傳動(dòng)方式，結(jié)構(gòu)簡(jiǎn)單、制造方便、節(jié)省經(jīng)濟(jì)成本。
文檔編號(hào)B65G49/06GK203064721SQ20122074289
公開(kāi)日2013年7月17日 申請(qǐng)日期2012年12月28日 優(yōu)先權(quán)日2012年12月28日
發(fā)明者李東升, 賈海立, 崔海倉(cāng) 申請(qǐng)人:上海微電子裝備有限公司