專(zhuān)利名稱(chēng)：用于放置基板的存儲(chǔ)裝置的制作方法
技術(shù)領(lǐng)域：
本實(shí)用新型涉及基板存儲(chǔ)領(lǐng)域，更具體地，涉及一種用于放置基板的存儲(chǔ)裝置。
技術(shù)背景基板，例如大尺寸勻膠鉻版，是一種硬面光掩膜材料，即光掩膜基板。它是在平整的、高光潔度的玻璃基板上通過(guò)直流磁控濺射沉積上氮化鉻氮氧化鉻薄膜而形成鉻膜基板，再在其上涂敷一層光致抗蝕劑(又稱(chēng)光刻膠)或電子束抗蝕劑制成勻膠鉻版?，F(xiàn)有技術(shù)中基板一般放置在晶圓包裝盒中存儲(chǔ)。由于晶圓與基板的形狀不同，所以晶圓包裝盒的內(nèi)部空間不能很好的滿(mǎn)足基板的存儲(chǔ)要求。而且晶圓包裝盒是透明的，但存儲(chǔ)基板時(shí)應(yīng)需要滿(mǎn)足其避光的存儲(chǔ)要求，所以難以避免基板在存儲(chǔ)的過(guò)程中發(fā)生曝光的情況。在運(yùn)輸?shù)倪^(guò)程中，為保證不會(huì)發(fā)生基板與晶圓包裝盒的盒壁碰撞而導(dǎo)致基板損壞的情況，所以在盒內(nèi)與基板角部對(duì)應(yīng)的位置采用硬物頂住的方式進(jìn)行固定，但此方法導(dǎo)致加工工序復(fù)雜、制造成本高，且當(dāng)震動(dòng)較大的情況下易造成基板產(chǎn)生擦痕。

實(shí)用新型內(nèi)容本實(shí)用新型旨在提供一種用于放置基板的存儲(chǔ)裝置，以解決現(xiàn)有技術(shù)中存儲(chǔ)基板時(shí)容易發(fā)生基板損壞的問(wèn)題。為解決上述技術(shù)問(wèn)題，本實(shí)用新型提供了一種用于放置基板的存儲(chǔ)裝置，包括盒蓋；盒體，盒體與盒蓋可拆卸地連接，盒蓋與盒體之間形成存儲(chǔ)空間；至少一對(duì)插板，可拆卸地設(shè)置在盒體的內(nèi)部，每對(duì)插板彼此相對(duì)地布置，并且每個(gè)插板均包括多個(gè)平行且間隔設(shè)置的插槽。進(jìn)一步地,存儲(chǔ)裝置還包括減震部，減震部設(shè)置在盒蓋的頂壁。進(jìn)一步地，盒蓋和盒體均包括不透光層。進(jìn)一步地，盒蓋包括第一容納腔，盒體包括第二容納腔，第一容納腔和第二容納腔配合形成存儲(chǔ)空間。進(jìn)一步地，第一容納腔內(nèi)設(shè)置有固定孔，減震部通過(guò)固定孔固定設(shè)置在盒蓋上。進(jìn)一步地，減震部是彈性軟管或海綿件或橡膠件。進(jìn)一步地，盒體的內(nèi)側(cè)壁包括對(duì)應(yīng)設(shè)置的第一側(cè)壁和第二側(cè)壁以及對(duì)應(yīng)設(shè)置的第三側(cè)壁和第四側(cè)壁，第一側(cè)壁、第二側(cè)壁、第三側(cè)壁和第四側(cè)壁圍成盒體的內(nèi)腔，第一側(cè)壁和第二側(cè)壁的兩端分別固定設(shè)置有從盒體的底部向開(kāi)口方向延伸的一個(gè)或多個(gè)卡板，卡板與相鄰的第三側(cè)壁或第四側(cè)壁之間形成限位空間，插板包括卡設(shè)在限位空間內(nèi)的第一插板。進(jìn)一步地，第三側(cè)壁和第四側(cè)壁上均設(shè)置有卡扣凹槽，第一插板上設(shè)置有與卡扣凹槽相配合的卡扣。進(jìn)一步地，插板還包括安裝在盒體的底壁上的第二插板，第二插板上具有與第一插板上的插槽相對(duì)應(yīng)的插槽。[0014]進(jìn)一步地，盒體還包括提手，提手設(shè)置在盒體的兩個(gè)相對(duì)設(shè)置的外側(cè)壁上，并沿遠(yuǎn)離盒體的方向向外側(cè)延伸。本實(shí)用新型通過(guò)在盒體內(nèi)設(shè)置插板，并與盒蓋相配合形成用于放置基板的存儲(chǔ)空間。由于插板上設(shè)置有多個(gè)平行且間隔設(shè)置的插槽，從而可以將放置在存儲(chǔ)裝置內(nèi)的每個(gè)基板獨(dú)立隔開(kāi)，因而減少了基板間的碰撞。本實(shí)用新型還具有結(jié)構(gòu)簡(jiǎn)單、制造成本低等特點(diǎn)。

構(gòu)成本申請(qǐng)的一部分的附圖用來(lái)提供對(duì)本實(shí)用新型的進(jìn)一步理解，本實(shí)用新型的示意性實(shí)施例及其說(shuō)明用于解釋本實(shí)用新型，并不構(gòu)成對(duì)本實(shí)用新型的不當(dāng)限定。在附圖中 圖I示意性示出了本實(shí)用新型中的存儲(chǔ)裝置的結(jié)構(gòu)示意圖；圖2示意性示出了本實(shí)用新型中的存儲(chǔ)裝置的正向的結(jié)構(gòu)示意圖；以及圖3示意性示出了圖I中A的局部放大圖。
具體實(shí)施方式
以下結(jié)合附圖對(duì)本實(shí)用新型的實(shí)施例進(jìn)行詳細(xì)說(shuō)明，但是本實(shí)用新型可以由權(quán)利要求限定和覆蓋的多種不同方式實(shí)施。本實(shí)用新型提供一種用于放置基板的存儲(chǔ)裝置。如圖I所示，本實(shí)用新型的存儲(chǔ)裝置包括盒蓋10 ;盒體20，盒體20與盒蓋10可拆卸地連接，盒蓋10與盒體20之間形成存儲(chǔ)空間；至少一對(duì)插板40，可拆卸地設(shè)置在盒體20的內(nèi)部,每對(duì)插板40彼此相對(duì)地布置，每個(gè)所述插板40均包括多個(gè)平行且間隔設(shè)置的插槽41?；宸胖迷诤畜w20內(nèi)，并通過(guò)插板40進(jìn)行間隔設(shè)置。為避免在搬運(yùn)存儲(chǔ)裝置的過(guò)程中由于基板與盒體20、盒蓋10發(fā)生碰撞而引發(fā)基板損壞的情況，所以盒體20和盒蓋10不應(yīng)制造得過(guò)大，而且基板放置在存儲(chǔ)裝置內(nèi)后，基板應(yīng)與盒體20、盒蓋10有一定的抵接作用，從而保證基板放置的可靠性。由于設(shè)置了插板40，從而使得每個(gè)基板都被獨(dú)立隔開(kāi)，因而減少了基板間的碰撞，減少了基板損壞的情況。同時(shí)，本實(shí)用新型還具有結(jié)構(gòu)簡(jiǎn)單、制造成本低等特點(diǎn)。本實(shí)用新型中的存儲(chǔ)裝置還包括減震部30，減震部30設(shè)置在盒蓋10的頂壁。由于在盒蓋10內(nèi)設(shè)置有減震部30，從而使得基板放置在殼體內(nèi)后與減震部30相接觸，不僅提高了基板放置的可靠性，同時(shí)還避免了基板與盒體20、盒蓋10直接發(fā)生碰撞，起到了減震緩沖的作用。優(yōu)選地，如圖I和圖2所示的實(shí)施例中，盒蓋10包括第一容納腔11，盒體20包括第二容納腔21，第一容納腔11和第二容納腔21配合形成存儲(chǔ)空間。第一容納腔11內(nèi)設(shè)置有固定孔12，減震部30通過(guò)固定孔12固定設(shè)置在盒蓋10上。優(yōu)選地，減震部30可拆卸地與固定孔12連接。由于減震部30可拆卸，因而可以根據(jù)放置在存儲(chǔ)裝置內(nèi)基板的大小，來(lái)調(diào)整減震部30的大小，從而保證基板可以穩(wěn)固的放置在存儲(chǔ)裝置內(nèi)。優(yōu)選地，減震部30是彈性軟管或海綿件或橡膠件。進(jìn)一步地，減震部30是軟管?；宸胖迷诖鎯?chǔ)裝置內(nèi)后，軟管會(huì)頂住基板。因?yàn)檐浌苋犴g性好，所以不會(huì)損傷基板，而且在搬運(yùn)存儲(chǔ)裝置的過(guò)程中也會(huì)起到良好的緩沖作用。軟管還具有成本低、安裝方便的特點(diǎn)。[0024]優(yōu)選地，如圖I和圖2所示的實(shí)施例中，盒體20的內(nèi)側(cè)壁包括對(duì)應(yīng)設(shè)置的第一側(cè)壁22和第二側(cè)壁23以及對(duì)應(yīng)設(shè)置的第三側(cè)壁25和第四側(cè)壁26，第一側(cè)壁22、第二側(cè)壁23、第三側(cè)壁25和第四側(cè)壁26圍成盒體20的內(nèi)腔，第一側(cè)壁22和第二側(cè)壁23的兩端分別固定設(shè)置有從盒體20的底部向開(kāi)口方向延伸的一個(gè)或多個(gè)卡板24，卡板24與相鄰的第三側(cè)壁25或第四側(cè)壁26之間形成限位空間，插板40包括卡設(shè)在限位空間內(nèi)的第一插板43。優(yōu)選地，兩個(gè)第一插板43分別設(shè)置在第三側(cè)壁25和第四側(cè)壁26的上部。第一插板43的朝向第二容納腔21的一側(cè)包括上述的插槽41，基板卡設(shè)在插槽41內(nèi)。放置基板時(shí)，每個(gè)基板都應(yīng)獨(dú)立的放置在兩個(gè)對(duì)應(yīng)設(shè)置的第一插板43的插槽所形成的放置空間內(nèi)，從而減小基板之間的碰撞情況，防止基板損壞。進(jìn)一步地，第一插板43的插槽的大小可以不同。由于第一插板43的插槽的大小不同，因而第一插板43可以用于放置不同型號(hào)的基板，使第一插板43具有良好的適用性。放置基板時(shí)，只需將對(duì)應(yīng)型號(hào)的基板放置在相應(yīng)型號(hào)的第一插板43的插槽內(nèi)，就可以實(shí)現(xiàn)對(duì)基板的穩(wěn)定放置。如圖3所示，第三側(cè)壁25和第四側(cè)壁26上均設(shè)置有卡扣凹槽27，第一插板43上設(shè)置有與卡扣凹槽27相配合的卡扣42。由于盒體20上設(shè)置有卡扣凹槽27、第一插板43上設(shè)置有卡扣42，因而第一插板43可通過(guò)卡扣42卡接在卡扣凹槽27中，從而實(shí)現(xiàn)掛在盒體20的內(nèi)側(cè)壁上。由于設(shè)置了卡板24形成了限位空間，從而使得第一插板43掛在盒體20的內(nèi)側(cè)壁上后，可以卡設(shè)在限位空間中而不會(huì)脫落。優(yōu)選地，如圖I和圖2所示的實(shí)施例中，卡板24與盒體20的內(nèi)側(cè)壁所形成的限位空間中還卡設(shè)有除第一插板43以外的插板40。插板40的一端與盒體20的底壁相接觸，因而受到盒體20的底壁提供的支撐力，由于不需要掛接在盒體20的內(nèi)側(cè)壁上，所以該插板40不需要設(shè)置卡扣42，而直接卡放在限位空間中即可。如圖2所示，插板40還包括安裝在盒體20的底壁上的第二插板44，第二插板44上具有與第一插板43上的插槽相對(duì)應(yīng)的插槽。由于第二插板44由底壁提供支撐力，所以不需要掛接在底壁上，因而不需要設(shè)置卡扣42。當(dāng)基板放置在第二插板44上后，由于基板自身有一定的重力，且放置在存儲(chǔ)裝置內(nèi)后，基板與存儲(chǔ)裝置存在一定的抵接力作用，所以第二插板44不會(huì)在裝置內(nèi)隨意滑動(dòng)。如圖2所示的實(shí)施例中，第二插板44放置在底壁上，與盒體20無(wú)其他連接關(guān)系，這樣設(shè)置是使第二插板44便于更換。當(dāng)存儲(chǔ)其他型號(hào)的基板時(shí)，工作人員可以很方便的替換相關(guān)型號(hào)的第二插板44，提高了工作效率。當(dāng)然，在另一未圖示的實(shí)施例中，還可以在盒體20的底壁上設(shè)置安裝孔，并在第二插板44與底壁接觸的端面上設(shè)置與安裝孔相配合的凸起，使第二插板44通過(guò)凸起和安裝孔與盒體20連接。本實(shí)用新型中的盒蓋10的連接端設(shè)置有第一連接凸緣13，盒體20的連接端設(shè)置有與第一連接凸緣13配合的第二連接凸緣28 (請(qǐng)參考圖I和圖2)。優(yōu)選地，第一連接凸緣13或第二連接凸緣28上設(shè)置有定位凸沿。如圖2所示的實(shí)施例中，第二連接凸緣28上設(shè)置有定位凸沿。當(dāng)盒體20與盒蓋10相連接時(shí)，盒體20的第二連接凸緣28的定位凸沿與盒蓋10的第一連接凸緣13相接觸，且定位凸沿疊合在第一連接凸緣13內(nèi)，使得存儲(chǔ)裝置內(nèi)形成一個(gè)密封的存儲(chǔ)空間。由于設(shè)置了定位凸沿，使得盒蓋10可以很準(zhǔn)確的與盒體20連接，不會(huì)發(fā)生錯(cuò)位的情況。優(yōu)選地，當(dāng)盒體20與盒蓋10連接后，通過(guò)密封膠帶同時(shí)纏繞第一連接凸緣13和第二連接凸緣28，將存儲(chǔ)裝置進(jìn)一步密封。由于使用密封膠帶密封存儲(chǔ)裝置，因而在移動(dòng)存儲(chǔ)裝置的過(guò)程中避免發(fā)生盒體20與盒蓋10脫落的問(wèn)題。[0029]優(yōu)選地，如圖2所示的實(shí)施例中，盒體20還包括提手29，提手29設(shè)置在盒體20的兩個(gè)相對(duì)設(shè)置的外側(cè)壁上，并沿遠(yuǎn)離盒體20的方向向外側(cè)延伸。存儲(chǔ)裝置放置基板(例如大尺寸勻膠鉻版)后，因?yàn)榇鎯?chǔ)裝置和基板重量較重且不好抓握，所以不便于搬運(yùn)。由于設(shè)置了提手29，因而便于工作人員提拉存儲(chǔ)裝置，從而使搬運(yùn)存儲(chǔ)裝置的問(wèn)題得到很好的解決。本實(shí)用新型中的基板(例如，大尺寸勻膠鉻版)，如果是易曝光材料的基板，需要避光存儲(chǔ)。優(yōu)選地，盒蓋10和盒體20均包括不透光層。由于盒蓋10和盒體20均設(shè)置有不透光的材料，因而解決了基板易曝光的問(wèn)題。優(yōu)選地，本實(shí)用新型中的盒蓋10、盒體20和插板40均為PVC材料制成的。因?yàn)镻VC材料本身硬度低，所以一定程度上緩解了基板與儲(chǔ)存裝置碰撞時(shí)可能引起基板損壞的問(wèn)題。同時(shí)，PVC材料為存儲(chǔ)裝置提供了一個(gè)不透光的密閉空間，不僅解決了基板易曝光的問(wèn)題，還防止外界污塵污染基板。 以上所述僅為本實(shí)用新型的優(yōu)選實(shí)施例而已，并不用于限制本實(shí)用新型，對(duì)于本領(lǐng)域的技術(shù)人員來(lái)說(shuō)，本實(shí)用新型可以有各種更改和變化。凡在本實(shí)用新型的精神和原則之內(nèi)，所作的任何修改、等同替換、改進(jìn)等，均應(yīng)包含在本實(shí)用新型的保護(hù)范圍之內(nèi)。
權(quán)利要求1.一種用于放置基板的存儲(chǔ)裝置，其特征在于，包括 盒蓋(10)； 盒體(20)，所述盒體(20)與所述盒蓋(10)可拆卸地連接,所述盒蓋(10)與所述盒體(20)之間形成存儲(chǔ)空間； 至少一對(duì)插板(40)，可拆卸地設(shè)置在所述盒體(20)的內(nèi)部，每對(duì)所述插板(40)彼此相對(duì)地布置，并且每個(gè)所述插板(40)均包括多個(gè)平行且間隔設(shè)置的插槽(41)。
2.根據(jù)權(quán)利要求I所述的存儲(chǔ)裝置，其特征在于，所述存儲(chǔ)裝置還包括減震部(30)，所述減震部(30)設(shè)置在所述盒蓋(10)的頂壁。
3.根據(jù)權(quán)利要求I所述的存儲(chǔ)裝置，其特征在于，所述盒蓋(10)和盒體(20)均包括不透光層。
4.根據(jù)權(quán)利要求I所述的存儲(chǔ)裝置，其特征在于，所述盒蓋(10)包括第一容納腔(11)，所述盒體(20)包括第二容納腔(21)，所述第一容納腔(11)和所述第二容納腔(21)配合形成所述存儲(chǔ)空間。
5.根據(jù)權(quán)利要求4所述的存儲(chǔ)裝置，其特征在于，所述第一容納腔(11)內(nèi)設(shè)置有固定孔(12)，所述減震部(30)通過(guò)所述固定孔(12)固定設(shè)置在所述盒蓋(10)上。
6.根據(jù)權(quán)利要求5所述的存儲(chǔ)裝置，其特征在于，所述減震部(30)是彈性軟管或海綿件或橡I父件。
7.根據(jù)權(quán)利要求I所述的存儲(chǔ)裝置，其特征在于，所述盒體(20)的內(nèi)側(cè)壁包括對(duì)應(yīng)設(shè)置的第一側(cè)壁(22)和第二側(cè)壁(23)以及對(duì)應(yīng)設(shè)置的第三側(cè)壁(25)和第四側(cè)壁(26)，所述第一側(cè)壁(22)、第二側(cè)壁(23)、第三側(cè)壁(25)和第四側(cè)壁(26)圍成所述盒體(20)的內(nèi)腔，所述第一側(cè)壁(22)和所述第二側(cè)壁(23)的兩端分別固定設(shè)置有從所述盒體(20)的底部向開(kāi)口方向延伸的一個(gè)或多個(gè)卡板(24)，所述卡板(24)與相鄰的所述第三側(cè)壁(25)或第四側(cè)壁(26)之間形成限位空間，所述插板(40)包括卡設(shè)在所述限位空間內(nèi)的第一插板(43)。
8.根據(jù)權(quán)利要求7所述的存儲(chǔ)裝置，其特征在于，所述第三側(cè)壁(25)和所述第四側(cè)壁(26)上均設(shè)置有卡扣凹槽(27)，所述第一插板(43)上設(shè)置有與所述卡扣凹槽(27)相配合的卡扣(42)。
9.根據(jù)權(quán)利要求7所述的存儲(chǔ)裝置，其特征在于，所述插板(40)還包括安裝在所述盒體(20)的底壁上的第二插板(44)，所述第二插板(44)上具有與所述第一插板(43)上的插槽相對(duì)應(yīng)的插槽。
10.根據(jù)權(quán)利要求I至9中任一項(xiàng)所述的存儲(chǔ)裝置，其特征在于，所述盒體(20)還包括提手(29)，所述提手(29)設(shè)置在所述盒體(20)的兩個(gè)相對(duì)設(shè)置的外側(cè)壁上，并沿遠(yuǎn)離所述盒體(20)的方向向外側(cè)延伸。
專(zhuān)利摘要本實(shí)用新型提供了一種用于放置基板的存儲(chǔ)裝置。存儲(chǔ)裝置包括盒蓋；盒體，盒體與盒蓋可拆卸地連接，盒蓋與盒體之間形成存儲(chǔ)空間；至少一對(duì)插板，可拆卸地設(shè)置在盒體的內(nèi)部，每對(duì)插板彼此相對(duì)地布置，并且每個(gè)插板均包括多個(gè)平行且間隔設(shè)置的插槽。本實(shí)用新型通過(guò)在盒體內(nèi)設(shè)置插板，并與盒蓋相配合形成用于放置基板的存儲(chǔ)空間。由于插板上設(shè)置有多個(gè)平行且間隔設(shè)置的插槽，從而可以將放置在存儲(chǔ)裝置內(nèi)的每個(gè)基板獨(dú)立隔開(kāi)，因而減少了基板間的碰撞。本實(shí)用新型還具有結(jié)構(gòu)簡(jiǎn)單、制造成本低等特點(diǎn)。
文檔編號(hào)B65D85/48GK202754310SQ20122039431
公開(kāi)日2013年2月27日 申請(qǐng)日期2012年8月9日 優(yōu)先權(quán)日2012年8月9日
發(fā)明者鄧輝, 李弋舟, 陳社誠(chéng) 申請(qǐng)人:湖南電子信息產(chǎn)業(yè)集團(tuán)有限公司, 湖南普照信息材料有限公司