專利名稱：蛙腿型移載裝置的制作方法
技術(shù)領(lǐng)域：
本發(fā)明涉及移載裝置，特別是涉及使工件在同一水平面內(nèi)直線移動而進(jìn)行移載的 蛙腿型移載裝置。
背景技術(shù)：
在制造半導(dǎo)體基板或液晶顯示板等的工廠，對成為其素材的平板狀素材(半導(dǎo)體 晶片或玻璃板)在無塵室內(nèi)實(shí)施各種處理。收容有平板狀素材的托盤通過搬送車在各處理 裝置之間搬送。在搬送車上搭載有蛙腿型移載裝置。蛙腿型移載裝置具有由多關(guān)節(jié)的臂構(gòu) 成的 SCALAR 機(jī)械臂(Selective Compliance Assembly Robot Arm)，使托盤在同一水平面 內(nèi)直線移動。通過使用SCALAR機(jī)械臂，能夠減少在無塵室內(nèi)產(chǎn)生顆粒。另一方面，作為工件的平板狀素材，近年來越發(fā)大型化，重量也增加。因此，也要求 移載裝置能夠與此對應(yīng)。因此，采用如下的蛙腿型移載裝置，其中包括使SCALAR機(jī)械臂的一對自由臂的移 載臂共用化，使各自由臂鏡像同步驅(qū)動那樣的雙聯(lián)直結(jié)類型的自由臂。但是，在雙聯(lián)直結(jié)類型的自由臂中，在各自的臂內(nèi)組裝有進(jìn)行同步旋轉(zhuǎn)驅(qū)動、差動 連動機(jī)構(gòu)，由于各自的一點(diǎn)點(diǎn)偏差，而產(chǎn)生移載臂橫擺的現(xiàn)象。因此，為了解決這樣的問題，已知有利用同步機(jī)構(gòu)將在固定于一對自由臂的前端 側(cè)的連結(jié)軸相互之間連結(jié)的移載裝置(例如參照專利文獻(xiàn)1)。專利文獻(xiàn)1日本特開2008-74550號公報(bào)在專利文獻(xiàn)所記載的移載裝置中，利用同步機(jī)構(gòu)能夠大幅度降低一對自由臂的橫 擺。但是，由于在同步機(jī)構(gòu)中使用齒輪，所以無法充分抑制顆粒的產(chǎn)生。此外，優(yōu)選為了防止橫擺而將左右臂的間隔設(shè)置得較大。但是，如果像專利文獻(xiàn)1 所記載的SCALAR機(jī)械臂那樣在使用齒輪的同步裝置中擴(kuò)大左右臂的間隔，則存在齒輪個(gè) 數(shù)增加這樣的問題。

發(fā)明內(nèi)容
本發(fā)明的課題是在使工件在同一水平面內(nèi)直線移動而進(jìn)行移載的蛙腿型移載裝 置中，抑制橫擺，并且減少顆粒的產(chǎn)生。本發(fā)明涉及的蛙腿型移載裝置，具備基臺、兩個(gè)臂、載置部和橫擺抑制機(jī)構(gòu)。兩個(gè) 臂的一端經(jīng)由第一轉(zhuǎn)動機(jī)構(gòu)安裝于基臺。載置部是經(jīng)由第二轉(zhuǎn)動機(jī)構(gòu)與兩個(gè)臂的另一端連 結(jié)、用于載置物品的部件。橫擺抑制機(jī)構(gòu)是用于連結(jié)兩個(gè)臂彼此而抑制橫擺的機(jī)構(gòu)。橫擺 抑制機(jī)構(gòu)具有平臺、轉(zhuǎn)動部件和兩個(gè)桿部件。平臺在載置部的移動方向上被滑動自如地支 承。轉(zhuǎn)動部件被轉(zhuǎn)動自如地支承于平臺。兩個(gè)桿部件具有被軸支承于第一轉(zhuǎn)動機(jī)構(gòu)或第二 轉(zhuǎn)動機(jī)構(gòu)的轉(zhuǎn)動軸的第一端，和被軸支承于轉(zhuǎn)動部件的第二端。在該移載裝置中，利用橫擺抑制機(jī)構(gòu)能夠抑制兩個(gè)臂的橫擺。具體而言，如果向兩 個(gè)臂的轉(zhuǎn)動軸作用在同一方向上轉(zhuǎn)動那樣的力，則兩個(gè)桿部件對轉(zhuǎn)動部件在使力對抗的方向上施加負(fù)載。因而，阻礙兩個(gè)臂的轉(zhuǎn)動軸轉(zhuǎn)動。另外，當(dāng)為了使載置部移動而轉(zhuǎn)動轉(zhuǎn)動軸 時(shí)，平臺在載置部的移載方向上移動而使轉(zhuǎn)動部件移動。由此，當(dāng)轉(zhuǎn)動軸通常轉(zhuǎn)動時(shí)，不會 出現(xiàn)大的負(fù)載作用于桿部件或轉(zhuǎn)動部件的情況。在該移載裝置中，由于能夠不使用齒輪而在部件彼此的接觸部分應(yīng)用通過軸承而進(jìn)行的滾動接觸，所以能夠降低塵埃的產(chǎn)生。此外，通過改變桿部件的長度，也能夠容易地 對應(yīng)兩個(gè)臂的間隔的變更。橫擺抑制機(jī)構(gòu)也可以連結(jié)第二轉(zhuǎn)動機(jī)構(gòu)的轉(zhuǎn)動軸彼此。在該情況下，由于不連結(jié)第一轉(zhuǎn)動機(jī)構(gòu)而連結(jié)第二轉(zhuǎn)動機(jī)構(gòu)的轉(zhuǎn)動軸彼此，所以 防止兩個(gè)臂的橫擺的效果明顯。這是因?yàn)樵较騼蓚€(gè)臂的前端側(cè)橫擺的影響越大。平臺、轉(zhuǎn)動部件和兩個(gè)桿部件也可以配置在兩個(gè)臂之間一側(cè)。在該情況下，移載裝置整體變得緊湊。轉(zhuǎn)動部件和兩個(gè)桿部件也可以是以轉(zhuǎn)動部件的轉(zhuǎn)動中心為基準(zhǔn)呈點(diǎn)對稱的形狀 和配置。在該情況下，能夠在轉(zhuǎn)動部件的兩側(cè)使用相同種類的部件。此外，在轉(zhuǎn)動部件的兩 側(cè)作用于各部件的負(fù)載相同。在上述兩個(gè)臂的最大伸長時(shí)，上述兩個(gè)桿部件也可以不排列在直線上。在該情況下，在兩個(gè)臂最大伸長的狀態(tài)下，兩個(gè)桿部件也并不排列在直線上，因 此，當(dāng)兩個(gè)臂縮退時(shí)兩個(gè)桿部件圓滑地轉(zhuǎn)動轉(zhuǎn)動部件，并返回到原來的狀態(tài)。移載裝置可以還具備移動限制機(jī)構(gòu)，該移動限制機(jī)構(gòu)用于將轉(zhuǎn)動部件的轉(zhuǎn)動中心 配置在如下所述的直線上，即、把對兩個(gè)桿部件的第一端進(jìn)行軸支承的部分彼此連結(jié)起來 的直線上。在該移載裝置中，通過兩個(gè)桿部件，使向轉(zhuǎn)動部件的移載方向的移動和第一轉(zhuǎn)動 機(jī)構(gòu)或第二轉(zhuǎn)動機(jī)構(gòu)的轉(zhuǎn)動相聯(lián)動。而且，利用移動限制機(jī)構(gòu)，將轉(zhuǎn)動部件的轉(zhuǎn)動中心配置 在如下所述的直線上，即、把對兩個(gè)桿部件的第一端進(jìn)行軸支承的部分彼此連結(jié)起來的直 線上。由此，進(jìn)一步提高利用橫擺抑制機(jī)構(gòu)抑制兩個(gè)臂的橫擺的功能。移動限制機(jī)構(gòu)也可以具有與平臺連結(jié)的第一部件；轉(zhuǎn)動自如地與對兩個(gè)桿部件 的第一端被軸支承的部分連結(jié)兩個(gè)第二部件；將兩個(gè)第二部件以僅能夠在直線上移動的方 式連結(jié)于第一部件的連結(jié)機(jī)構(gòu)。在該移載裝置中，第二部件利用連結(jié)機(jī)構(gòu)僅能夠相對第一部件在直線上移動。這 樣，通過簡單的構(gòu)造，提高了臂的橫擺抑制效果。本發(fā)明的其它觀點(diǎn)涉及的蛙腿型移載裝置，具備基臺、兩個(gè)臂、載置部和橫擺抑制 機(jī)構(gòu)。兩個(gè)臂的一端經(jīng)由第一轉(zhuǎn)動機(jī)構(gòu)安裝于基臺。載置部是經(jīng)由第二轉(zhuǎn)動機(jī)構(gòu)與兩個(gè)臂 的另一端連結(jié)、載置物品的部件。橫擺抑制機(jī)構(gòu)是用于連結(jié)兩個(gè)臂彼此而抑制橫擺的機(jī)構(gòu)。 橫擺抑制機(jī)構(gòu)具有連桿機(jī)構(gòu)和負(fù)載釋放機(jī)構(gòu)。連桿機(jī)構(gòu)連結(jié)第一轉(zhuǎn)動機(jī)構(gòu)彼此或第二轉(zhuǎn)動 機(jī)構(gòu)彼此。負(fù)載釋放機(jī)構(gòu)具有能夠在載置部的移動方向上滑動的平臺，和被軸支承于平臺 的轉(zhuǎn)動部件，利用第一轉(zhuǎn)動機(jī)構(gòu)或第二轉(zhuǎn)動機(jī)構(gòu)的轉(zhuǎn)動來釋放作用于連桿機(jī)構(gòu)的負(fù)載。在該移載裝置中，利用橫擺抑制機(jī)構(gòu)抑制兩個(gè)臂的橫擺。具體而言，如果向兩個(gè)臂 的轉(zhuǎn)動軸作用向同一方向上旋轉(zhuǎn)那樣的力，則會在力對抗的方向上對連桿機(jī)構(gòu)施加負(fù)載。 因而，阻礙兩個(gè)臂的轉(zhuǎn)動軸的旋轉(zhuǎn)。
此外，當(dāng)為了使載置部移動而轉(zhuǎn)動轉(zhuǎn)動軸時(shí)，負(fù)載釋放機(jī)構(gòu)的平臺在載置部的移 載方向上移動而使轉(zhuǎn)動部件移動。由此，當(dāng)轉(zhuǎn)動軸通常轉(zhuǎn)動時(shí)，不會出現(xiàn)大的負(fù)載作用于連 桿機(jī)構(gòu)或轉(zhuǎn)動部件的情況。在該移載裝置中，由于能夠不使用齒輪而在部件彼此的接觸部分使用基于軸承的 滾動接觸，所以能夠降低塵埃的產(chǎn)生。在本發(fā)明涉及的蛙腿型移載裝置中，防止了橫擺，并且減少了顆粒的發(fā)生。


圖1是具有作為本發(fā)明的一實(shí)施方式的蛙腿型移載裝置的搬送系統(tǒng)的外觀立體 圖。圖2是移載裝置的俯視圖。圖3是移載裝置和旋轉(zhuǎn)部的背面圖。圖4是依次表示移載裝置的動作狀態(tài)的俯視圖。圖5是依次表示移載裝置的動作狀態(tài)的俯視圖。圖6是依次表示移載裝置的動作狀態(tài)的俯視圖。圖7是依次表示移載裝置的動作狀態(tài)的俯視圖。圖8是依次表示移載裝置的動作狀態(tài)的俯視圖。圖9是同步機(jī)構(gòu)的俯視圖。圖10是同步機(jī)構(gòu)的縱剖視圖。圖11是同步機(jī)構(gòu)的局部放大俯視圖。圖12是同步機(jī)構(gòu)的局部放大縱剖視圖。圖13是依次表示同步機(jī)構(gòu)的動作狀態(tài)的俯視圖。圖14是依次表示同步機(jī)構(gòu)的動作狀態(tài)的俯視圖。圖15是依次表示同步機(jī)構(gòu)的動作狀態(tài)的俯視圖。圖16是同步機(jī)構(gòu)和移動限制機(jī)構(gòu)的俯視圖(第二實(shí)施方式)。圖17是同步機(jī)構(gòu)和移動限制機(jī)構(gòu)的縱剖視圖(第二實(shí)施方式)。圖18是移動限制機(jī)構(gòu)的局部縱剖視圖(第二實(shí)施方式)。圖19是移動限制機(jī)構(gòu)的局部縱剖視圖(第二實(shí)施方式)。圖20是移動限制機(jī)構(gòu)的局部縱剖視圖(第二實(shí)施方式)。圖21是依次表示同步機(jī)構(gòu)的動作狀態(tài)的俯視圖(第二實(shí)施方式)。圖22是依次表示同步機(jī)構(gòu)的動作狀態(tài)的俯視圖(第二實(shí)施方式)。符號說明1...搬送系統(tǒng)；2...移載裝置；3...旋轉(zhuǎn)部；4...升降臺；5...升降裝置；
6...行駛臺車；7...軌道；12...車輪；13...行駛軌道；14...工件；15...上部框架； 21...基臺；22...自由臂(臂)；23...移載臂(載置部)；24...驅(qū)動機(jī)構(gòu)；26.回轉(zhuǎn)電動 機(jī)；27...回轉(zhuǎn)減速機(jī)；28...回轉(zhuǎn)臺；29...帶；31...基端側(cè)臂；32...前端側(cè)臂；33...第 一轉(zhuǎn)動軸(第一轉(zhuǎn)動機(jī)構(gòu))；34...第二轉(zhuǎn)動軸(第二轉(zhuǎn)動機(jī)構(gòu))；35...同步機(jī)構(gòu)(橫擺 抑制機(jī)構(gòu))；36...基部；37...承接臂；38...連桿機(jī)構(gòu)；39...負(fù)載釋放機(jī)構(gòu)；41...第一 軸承；42.罩；43.金屬板；44.旋轉(zhuǎn)部件；44a.軸部件；45.桿部件；45A.右側(cè)桿部件；45B...左側(cè)桿部件；46...直線導(dǎo)軌；47...直線移動部件；48...轉(zhuǎn)動部件； 49...主體框架；50...平臺；51...引導(dǎo)部；52...軸；53...筒狀部件；54...凸緣部件； 55...轉(zhuǎn)動支承部件；56...第二軸承；57...第一端；58...第二端；59. . . SCALAR機(jī)械臂 用電動機(jī)；60. . . SCALAR機(jī)械臂用減速機(jī)；61...線性導(dǎo)軌；71...移動限制機(jī)構(gòu)；73...第 一部件；75...第二部件；77...連結(jié)部件；81...中心部；81a...中心孔；82...第一環(huán)狀 部件；83...第一延長部；84...螺栓；85...第二軸；86...軸襯；87...轉(zhuǎn)動被支承部； 87a...孔；88...第二環(huán)狀部件；89...第二延長部；91. . . LM導(dǎo)軌；93. . . LM導(dǎo)塊；94...第 一軸；95...螺栓；96.. .第二軸；97...軸承。
具體實(shí)施例方式(1)搬送系統(tǒng)使用圖1對搬送系統(tǒng)1進(jìn)行說明。圖1是具有作為本發(fā)明的第一實(shí)施方式的 SCALAR機(jī)械臂或蛙腿型的移載裝置2的搬送系統(tǒng)1的外觀立體圖。搬送系統(tǒng)1具有移載裝置2、旋轉(zhuǎn)部3、升降臺4、升降機(jī)構(gòu)5、行駛臺車6、軌道7。旋轉(zhuǎn)部3能夠旋轉(zhuǎn)驅(qū)動移載裝置2。升降臺4支承旋轉(zhuǎn)部3。升降裝置5能夠?qū)?升降臺4進(jìn)行升降。在行駛臺車6上搭載有升降裝置5。移載裝置2，如圖2所示，主要具有一對基臺21、一對自由臂22、移載臂23、驅(qū)動機(jī) 構(gòu)24(圖3)。關(guān)于移載裝置2的詳細(xì)情況將在后面敘述。使用圖3對旋轉(zhuǎn)部3進(jìn)行說明。圖3是移載裝置2和旋轉(zhuǎn)部3的背面圖。旋轉(zhuǎn)部3具有回轉(zhuǎn)電動機(jī)26、回轉(zhuǎn)減速機(jī)27、回轉(zhuǎn)臺28和帶29?；剞D(zhuǎn)電動機(jī)26 能夠經(jīng)由帶29向回轉(zhuǎn)減速機(jī)27傳遞動力?；剞D(zhuǎn)減速機(jī)27與回轉(zhuǎn)臺28的中心下面連結(jié)。升降裝置5是設(shè)置于行駛臺車6之上、且行駛方向的前后端的一對裝置，在其間架 設(shè)有升降臺4。升降裝置5在內(nèi)部具有升降驅(qū)動機(jī)構(gòu)(未圖示)，由此使升降臺4升降。升降裝置5的天頂部分通過上部框架15連結(jié)。由此，能夠?qū)崿F(xiàn)由行駛臺車6、一對 升降裝置5、上部框架15構(gòu)成的構(gòu)造體。行駛臺車6具有四個(gè)車輪12。軌道7具有一對行駛導(dǎo)軌13。行駛臺車6的車輪12載置于一對行駛導(dǎo)軌13上。 行駛臺車6使升降裝置5、升降臺4、旋轉(zhuǎn)部3和移載裝置2沿著行駛導(dǎo)軌13直線移動。工件14載置于移載裝置2的移載臂23上，通過驅(qū)動機(jī)構(gòu)24進(jìn)行前進(jìn)后退(箭頭 Pl)，通過旋轉(zhuǎn)部3進(jìn)行回轉(zhuǎn)(箭頭P2)。此外，工件14在載置于移載裝置2的狀態(tài)下，通過 升降臺4和升降裝置5進(jìn)行上下升降(箭頭P3)，此外，通過行駛臺車6的行駛在直線方向 移動(箭頭P4)。(2)移載裝置的構(gòu)造使用圖2對移載裝置2進(jìn)行說明。圖2是移載裝置2的俯視圖。圖3是移載裝置 2的背面圖。另外，圖2表示工件14位于待機(jī)狀態(tài)時(shí)的移載裝置2。移載裝置2是在例如制造半導(dǎo)體基板或液晶顯示板等的工廠，移載工件14時(shí)使用 的裝置。工件14例如是一個(gè)一個(gè)地收容平板狀素材(半導(dǎo)體晶片或玻璃板)的托盤。半 導(dǎo)體晶片等在無塵室內(nèi)被實(shí)施各種處理。移載裝置2，如上所述，具有一對基臺21、一對自由臂22、移載臂23和驅(qū)動機(jī)構(gòu)24(圖 3)。 一對基臺21搭載于旋轉(zhuǎn)部3的回轉(zhuǎn)臺28上。自由臂22由基端側(cè)臂31和前端側(cè)臂32構(gòu)成。位于基端側(cè)臂31的基端側(cè)的第一 轉(zhuǎn)動軸33轉(zhuǎn)動自如地安裝于基臺21。位于前端側(cè)臂32的前端側(cè)的第二轉(zhuǎn)動軸34旋轉(zhuǎn)自 如地與移載臂23連結(jié)。對于第一轉(zhuǎn)動軸33和第二轉(zhuǎn)動軸34將在后面進(jìn)行詳細(xì)說明。驅(qū)動機(jī)構(gòu)24設(shè)置于基臺21，是用于旋轉(zhuǎn)驅(qū)動基端側(cè)臂31的第一轉(zhuǎn)動軸33的機(jī) 構(gòu)。驅(qū)動機(jī)構(gòu)24，如圖3所示，具有SCALAR機(jī)械臂用電動機(jī)59和SCALAR機(jī)械臂用減速機(jī) 60。SCALAR機(jī)械臂用減速機(jī)60與第一轉(zhuǎn)動軸33連結(jié)。移載裝置2還具有同步機(jī)構(gòu)35。同步機(jī)構(gòu)35是為了順滑且可靠地實(shí)現(xiàn)移載臂23 的直線移動而采用的機(jī)構(gòu)。同步機(jī)構(gòu)35在移載臂23內(nèi)以使固定于前端側(cè)臂32的前端側(cè)的 第二轉(zhuǎn)動軸34彼此之間同步的方式進(jìn)行連結(jié)。對于同步機(jī)構(gòu)35將在后面進(jìn)行詳細(xì)說明。如圖2所示，旋轉(zhuǎn)部3載置于用雙點(diǎn)劃線示意地表示的升降臺4的上面。由此，移 載裝置2和旋轉(zhuǎn)部3能夠升降。移載臂23具有基部36和一對承接臂37。一對前端側(cè)臂32的前端經(jīng)由第二轉(zhuǎn)動 軸34與基部36轉(zhuǎn)動自如地連結(jié)。一對承接臂37從基部36向一個(gè)方向上延伸。在圖2的狀態(tài)下，移載裝置2的移載臂23的延伸方向與升降臺4的長邊方向一致， 這表示移載裝置2處于待機(jī)狀態(tài)。如果利用旋轉(zhuǎn)部3使移載裝置2逆時(shí)針旋轉(zhuǎn)90度，則成 為圖4的狀態(tài)。在該圖4的狀態(tài)下，在連接基臺21的軸中心的線的中點(diǎn)，令與連接該軸中 心的線正交的線為對稱中心線X-X。由于對稱中心線X-X的延伸方向與工件14的被移載方 向一致，所以以下將該X-X方向叫做移載方向。此外，令與X-X方向成直角的方向?yàn)閅-Y方 向。(3)移載裝置的動作接著使用圖4 圖8對移載裝置2的前進(jìn)/后退動作進(jìn)行說明。圖4、圖5、圖6、 圖7和圖8是依次表示移載裝置2的前進(jìn)動作的俯視圖。具體而言，圖4表示自由臂22的 最大縮退狀態(tài)。圖5 圖6表示自由臂22的伸長的中途的中間狀態(tài)。圖7表示自由臂22 的架搭載動作時(shí)的狀態(tài)。圖8表示自由臂22的最大伸長狀態(tài)。要載置工件14的載置部位設(shè)置在一對行駛導(dǎo)軌13的兩側(cè)。從圖4的狀態(tài)開始工 件14的移載動作。在圖4 圖8中，移載裝置2動作，在移載臂23載置工件14的狀態(tài)下依次前進(jìn)。 具體而言，移載裝置2的驅(qū)動機(jī)構(gòu)24使基端側(cè)臂31的第一轉(zhuǎn)動軸33轉(zhuǎn)動，使前端側(cè)臂32 和移載臂23向移載方向前側(cè)移動。第一轉(zhuǎn)動軸33的轉(zhuǎn)動方向，在圖4中，右側(cè)為逆時(shí)針 (箭頭Rl)，左側(cè)為順時(shí)針(箭頭R2)。在圖4中，基端側(cè)臂31向移載方向后側(cè)且外側(cè)延伸，前端側(cè)臂32向移載方向后側(cè) 且內(nèi)側(cè)延伸。因而，移載臂23配置在移載方向的最后側(cè)。在圖5中，與圖4相比，基端側(cè)臂31和前端側(cè)臂32的角度變小，移載臂23向移載 方向前側(cè)移動。在圖6中，基端側(cè)臂31向移載方向前側(cè)且外側(cè)延伸，前端側(cè)臂32向移載方向前側(cè) 且內(nèi)側(cè)延伸。因而，移載臂23與圖5的狀態(tài)相比更向移載方向前側(cè)移動。 在 圖7中，與圖6相比，基端側(cè)臂31和前端側(cè)臂32的角度變大，移載臂23向移載方向前側(cè)移動。在該狀態(tài)下，升降臺4下降，移載裝置2將工件14載置在目的地的載置場 所。在圖8中，基端側(cè)臂31和前端側(cè)臂32向移載方向前側(cè)延伸，即在一直線上延伸。 也就是說，自由臂22成為完全伸展的狀態(tài)。在降下工件14后，移載裝置2使移載臂23以高速后退。即，當(dāng)在移載臂23上沒 有負(fù)載時(shí)，使移載臂23更快地移動，能夠縮短動作時(shí)間。另外，移載臂23的后退動作能夠通過各部件在與前進(jìn)動作相反朝向動作而執(zhí)行。(4)同步機(jī)構(gòu)的構(gòu)造使用圖9 圖12對同步機(jī)構(gòu)35進(jìn)行說明。圖9是同步機(jī)構(gòu)35的俯視圖。圖10 是同步機(jī)構(gòu)35的縱剖視圖。圖11是同步機(jī)構(gòu)35的局部放大俯視圖。圖12是同步機(jī)構(gòu)35 的局部放大縱剖視圖。同步機(jī)構(gòu)35是通過取得一對自由臂22的動作的同步來防止橫擺的機(jī)構(gòu)。更具體 而言，同步機(jī)構(gòu)35是用于取得前端側(cè)臂32的第二轉(zhuǎn)動軸34彼此的同步的機(jī)構(gòu)。前端側(cè)臂32的第二轉(zhuǎn)動軸34將前端側(cè)臂32的前端側(cè)和移載臂23的基部36旋 轉(zhuǎn)自如地連結(jié)。第二轉(zhuǎn)動軸34被固定在前端側(cè)臂32的前端側(cè)，相對前端側(cè)臂32不旋轉(zhuǎn)， 由設(shè)置于移載臂23側(cè)的第一軸承41旋轉(zhuǎn)自如地支承。同步機(jī)構(gòu)35由配置在移載臂23的基部36的罩42內(nèi)的多個(gè)部件構(gòu)成。此外，同 步機(jī)構(gòu)35俯視看配置在兩個(gè)自由臂22的內(nèi)側(cè)，更具體而言，配置在兩個(gè)第二轉(zhuǎn)動軸34之 間。同步機(jī)構(gòu)35主要具有連桿機(jī)構(gòu)38和負(fù)載釋放機(jī)構(gòu)39。連桿機(jī)構(gòu)38是用于將第 二轉(zhuǎn)動軸34彼此連結(jié)而取得同步的機(jī)構(gòu)，同步機(jī)構(gòu)35具有一對旋轉(zhuǎn)部件44、一對桿部件 45 (45A、45B)、和轉(zhuǎn)動部件48。負(fù)載釋放機(jī)構(gòu)39是當(dāng)?shù)诙D(zhuǎn)動軸34進(jìn)行通常轉(zhuǎn)動動作時(shí)用 于釋放作用于連桿機(jī)構(gòu)38的負(fù)載的機(jī)構(gòu)，負(fù)載釋放機(jī)構(gòu)39具有一對直線導(dǎo)軌46、直線移動 部件47、和轉(zhuǎn)動部件48。同步機(jī)構(gòu)35還具有金屬板43。另外，由于負(fù)載釋放機(jī)構(gòu)是用于移 動追隨連桿的支點(diǎn)移動的機(jī)構(gòu)，所以也叫做連桿支點(diǎn)可變機(jī)構(gòu)。金屬板43是在一對第二轉(zhuǎn)動軸34之間配置的平板部件。金屬板43固定于移載 臂23的主體框架49。一對旋轉(zhuǎn)部件44以分別與一對第二轉(zhuǎn)動軸34同步旋轉(zhuǎn)的方式固定。旋轉(zhuǎn)部件44 是固定于第二轉(zhuǎn)動軸34的上端的環(huán)狀部件。一對桿部件45是細(xì)長延伸的棒狀部件，第一端57被旋轉(zhuǎn)自如地支承于旋轉(zhuǎn)部件 44的一處。更詳細(xì)來說，如圖10所示，在旋轉(zhuǎn)部件44上設(shè)置有向上方延伸的軸部件44a， 第一端57相對于軸部件44a旋轉(zhuǎn)自如地卡合。在圖9中，桿部件45的第一端57固定于旋 轉(zhuǎn)部件44的位置是在移載臂23的對稱中心線X-X上遠(yuǎn)離移載臂23的一側(cè)。一對直線導(dǎo)軌46被固定在金屬板43的中心部上面。直線導(dǎo)軌46在移載方向上 延伸。直線移動部件47具有平臺50、一對引導(dǎo)部51、軸52。平臺50在金屬板43的中心 部與移載方向成直角地延伸。一對引導(dǎo)部51設(shè)置在平臺50的兩端下部，與一對直線導(dǎo)軌 46卡合。通過直線導(dǎo)軌46和引導(dǎo)部51，構(gòu)成由滾珠的滾動而實(shí)現(xiàn)移動的線性導(dǎo)軌61。軸 52從轉(zhuǎn)動部件48的中心部向上方延伸。
轉(zhuǎn)動部件48被旋轉(zhuǎn)自如地支承于直線移動部件47，并且也被轉(zhuǎn)動自如地支承于 一對桿部件45。轉(zhuǎn)動部件48具有筒狀部件53、凸緣部件54和一對轉(zhuǎn)動支承部件55。筒狀 部件53繞直線移動部件47的軸52配置，被第二軸承56旋轉(zhuǎn)自如地支承。凸緣部件54具 有從筒狀部件53的下端向半徑方向外側(cè)延伸的凸緣部分。一對轉(zhuǎn)動支承部件55設(shè)置在凸 緣部件54的上部，轉(zhuǎn)動自如地支承桿部件45的第二端58。在同步機(jī)構(gòu)35中，根據(jù)以上的結(jié)構(gòu)，當(dāng)?shù)诙D(zhuǎn)動軸34轉(zhuǎn)動時(shí)，桿部件45使轉(zhuǎn)動部 件48轉(zhuǎn)動。此時(shí)，利用從轉(zhuǎn)動部件48作用的力，直線移動部件47沿著一對直線導(dǎo)軌46在 移載方向上移動。即，通過將轉(zhuǎn)動部件48搭載于直線移動部件47，當(dāng)?shù)诙D(zhuǎn)動軸34轉(zhuǎn)動時(shí) 能夠釋放作用于同步機(jī)構(gòu)35的負(fù)載。
(5)同步機(jī)構(gòu)的動作通過圖9、圖13、圖14和圖15依次表示同步機(jī)構(gòu)35的動作。圖9是自由臂22縮 退的狀態(tài)，與圖4對應(yīng)。圖13是自由臂22延伸的中途的狀態(tài)，與圖5和圖6的中間對應(yīng)。 圖14是自由臂22進(jìn)一步延伸的中途的狀態(tài)，與圖7對應(yīng)。圖15是自由臂22最大延伸的 狀態(tài)，與圖8對應(yīng)。在圖9的狀態(tài)下，前端側(cè)臂32從第二轉(zhuǎn)動軸34向移載方向前側(cè)且外側(cè)延伸。此 夕卜，直線移動部件47和轉(zhuǎn)動部件48位于移載方向的最后側(cè)，桿部件45的第二端58相對于 凸緣部件54連結(jié)的位置，是相對于轉(zhuǎn)動部件48的中心在移載方向前后任一側(cè)、并且在所連 接的桿部件45側(cè)。前端側(cè)臂32移動并且第二轉(zhuǎn)動軸34相對于移載臂23轉(zhuǎn)動，由此移載 臂23(即同步機(jī)構(gòu)35也)向移載方向前側(cè)移動。具體而言，第二轉(zhuǎn)動軸34，在圖9中，右側(cè) 順時(shí)針轉(zhuǎn)動(箭頭R2)，左側(cè)逆時(shí)針轉(zhuǎn)動(箭頭Rl)。在圖13的狀態(tài)下，前端側(cè)臂32從第二轉(zhuǎn)動軸34與移載方向成正交地延伸。此外， 直線移動部件47和轉(zhuǎn)動部件48位于移載方向的中間，桿部件45的第二端58相對于凸緣 部件54連結(jié)的位置，是相對于轉(zhuǎn)動部件48的中心的移載方向前后側(cè)。具體而言，右側(cè)桿部 件45A的第二端58連結(jié)的凸緣部分位于移載方向后側(cè)，左側(cè)桿部件45B的第二端58連結(jié) 的凸緣部分位于移載方向前側(cè)。在圖14的狀態(tài)下，前端側(cè)臂32從第二轉(zhuǎn)動軸34向移載方向后側(cè)且外側(cè)延伸。此 夕卜，直線移動部件47和轉(zhuǎn)動部件48位于移載方向的前側(cè)，桿部件45的第二端58相對于凸 緣部件54連結(jié)的位置是相對于轉(zhuǎn)動部件48的中心在移載方向前后任一側(cè)且在所連結(jié)的桿 部件45側(cè)。在圖15的狀態(tài)下，前端側(cè)臂32從第二轉(zhuǎn)動軸34向移載方向后側(cè)移動。此外，直線 移動部件47和轉(zhuǎn)動部件48位于移載方向的最前側(cè)，桿部件45的第二端58相對于凸緣部 件54連結(jié)的位置，是相對于轉(zhuǎn)動部件48的中心在大概與移載方向成直角的一側(cè)。但是，一 對桿部件45的第二端58的移載方向位置錯(cuò)開，一對桿部件45并不是排列在一條直線上。 更具體而言，右側(cè)桿部件45A的第二端58位于比左側(cè)桿部件45B的第二端58更靠向移載 方向后側(cè)。進(jìn)而，根據(jù)這樣構(gòu)成的同步機(jī)構(gòu)35，能夠得到以下那樣的優(yōu)異效果。例如，在與移載方向交叉的方向上對移載臂23作用外力。例如，在圖14中，如果 從圖右側(cè)對移載臂23作用力，則就會使移載臂23的基部整體向旋轉(zhuǎn)方向Rl旋轉(zhuǎn)，相對地 對第二轉(zhuǎn)動軸34作用向旋轉(zhuǎn)方向R2旋轉(zhuǎn)的力。另一方面，如果從圖左側(cè)對移載臂23作用力，則就會使移載臂23的基部整體向旋轉(zhuǎn)方向R2旋轉(zhuǎn)，相對地對第二轉(zhuǎn)動軸34作用向旋 轉(zhuǎn)方向R1旋轉(zhuǎn)的力。在后者的情況下，右側(cè)的第二轉(zhuǎn)動軸34使右側(cè)桿部件45A向右側(cè)移動，進(jìn)而使轉(zhuǎn) 動部件48向旋轉(zhuǎn)方向R1側(cè)旋轉(zhuǎn)。另一方面，左側(cè)的第二轉(zhuǎn)動軸34使左側(cè)桿部件45B向右 側(cè)移動，進(jìn)而使轉(zhuǎn)動部件48向旋轉(zhuǎn)方向R2側(cè)旋轉(zhuǎn)。這樣，從兩側(cè)的桿部件45對轉(zhuǎn)動部件 48作用相反方向且相同大小的轉(zhuǎn)矩，轉(zhuǎn)動部件48不能轉(zhuǎn)動。結(jié)果，移載臂23的橫擺被抑 制。當(dāng)對移載臂23作用與上述相反一側(cè)的力的情況下，利用連桿機(jī)構(gòu)38，對轉(zhuǎn)動部件 48作用相對抗的力，抑制移載臂23的橫擺。以上的結(jié)果，移載臂23在被抑制了橫擺的狀態(tài)下在移載方向上順滑且可靠地直 線移動。在使用連桿機(jī)構(gòu)38的同步機(jī)構(gòu)35中，能夠不使用齒輪，而在部件彼此的接觸部分 使用由線性導(dǎo)軌61和第二軸承56所形成的滾動接觸，因此能夠降低塵埃的產(chǎn)生。此外，通 過改變桿部件45的長度，也能夠容易地應(yīng)對兩個(gè)自由臂22的間隔的變更。此外，在使用連桿機(jī)構(gòu)38的同步機(jī)構(gòu)35中，僅使用長的桿部件45就能夠與擴(kuò)大 了兩個(gè)自由臂22的間隔的類型的移載裝置對應(yīng)。因而，在擴(kuò)大兩個(gè)自由臂22的間隔而抑 制橫擺的類型中，也能夠不增加重量地進(jìn)行應(yīng)對。(6)特征蛙腿型移載裝置2，具備基臺21、兩個(gè)自由臂22、移載臂23和同步機(jī)構(gòu)35。兩個(gè) 自由臂22的一端經(jīng)由第一轉(zhuǎn)動軸33安裝在基臺21上。移載臂23是經(jīng)由第二轉(zhuǎn)動軸34 與兩個(gè)自由臂22的另一端連結(jié)，移載臂23是用于載置工件14的部件。同步機(jī)構(gòu)35用于 連結(jié)兩個(gè)自由臂22彼此而抑制橫擺的機(jī)構(gòu)。同步機(jī)構(gòu)35具有直線移動部件47、轉(zhuǎn)動部件 48、和兩個(gè)桿部件45。直線移動部件47在移載臂23的移動方向上被滑動自如地支承。轉(zhuǎn) 動部件48被轉(zhuǎn)動自如地支承于直線移動部件47。兩個(gè)桿部件45具有被軸支承于第二轉(zhuǎn)動 軸34的第一端57、和被軸支承于轉(zhuǎn)動部件48的第二端58。在該移載裝置2中，利用同步機(jī)構(gòu)35來抑制兩個(gè)自由臂22的橫擺。具體而言，若 對兩個(gè)自由臂22作用使之向同一方向旋轉(zhuǎn)的力，則兩個(gè)桿部件45就會相對轉(zhuǎn)動部件48施 加力發(fā)生對抗的方向的負(fù)載。因此，會妨礙兩個(gè)自由臂22進(jìn)行旋轉(zhuǎn)。另外，在為了使移載 臂23移動而轉(zhuǎn)動第二轉(zhuǎn)動軸34時(shí)，直線移動部件47向移載臂23的移動方向移動并使轉(zhuǎn) 動部件48移動。由此，在第二轉(zhuǎn)動軸34通常轉(zhuǎn)動時(shí)，不會對桿部件45或轉(zhuǎn)動部件48作用 較大的負(fù)載。在該移載裝置2中，由于能夠不使用齒輪，而在部件彼此的接觸部分使用由線性 導(dǎo)軌61和第二軸承56所形成的滾動接觸，所以能夠降低塵埃的發(fā)生。此外，通過改變桿部 件45的長度，也能夠容易地對應(yīng)兩個(gè)自由臂22的間隔的變更。同步機(jī)構(gòu)35連結(jié)前端側(cè)臂32的前端側(cè)的第二轉(zhuǎn)動軸34彼此。因此，防止兩個(gè)自 由臂22的橫擺效果很明顯。這是因?yàn)樵较騼蓚€(gè)自由臂22的前端側(cè)橫擺的影響越大。直線移動部件47、轉(zhuǎn)動部件48和兩個(gè)桿部件45配置在兩個(gè)自由臂22之間一側(cè)。 因此，移載裝置2整體緊湊。轉(zhuǎn)動部件48和兩個(gè)桿部件45是以轉(zhuǎn)動部件48的旋轉(zhuǎn)中心為基準(zhǔn)呈點(diǎn)對稱的形狀和配置。因此，能夠在轉(zhuǎn)動部件48的兩側(cè)使用相同種類的部件。此外，在轉(zhuǎn)動部件48的 兩側(cè)作用于各部件的負(fù)載相同。在兩個(gè)自由臂22最大伸長時(shí)，兩個(gè)桿部件45也沒有排列在直線上。因此，當(dāng)兩個(gè) 自由臂22縮退時(shí)兩個(gè)桿部件45圓滑地即不施加過分的力轉(zhuǎn)動轉(zhuǎn)動部件48，而返回到原來 的狀態(tài)。(7)移動限制機(jī)構(gòu)(第二實(shí)施方式)以下使用圖16 圖21對本發(fā)明的第二實(shí)施方式進(jìn)行說明。圖16是同步機(jī)構(gòu)和 移動限制機(jī)構(gòu)的俯視圖。圖17是同步機(jī)構(gòu)和移動限制機(jī)構(gòu)的縱剖視圖。圖18 圖20是 移動限制機(jī)構(gòu)的局部縱剖視圖。圖21 圖22是依次表示同步機(jī)構(gòu)的動作狀態(tài)的俯視圖。第二實(shí)施方式涉及的蛙腿型移載裝置2，相對于第一實(shí)施方式，新追加移動限制機(jī) 構(gòu)71這一點(diǎn)有所不同。因而，在以下的說明中以移動限制機(jī)構(gòu)71為中心進(jìn)行說明。移動限制機(jī)構(gòu)71是用于將轉(zhuǎn)動部件48的轉(zhuǎn)動中心(位于直線移動部件47上) 配置在如下所述的直線上，即、把對兩個(gè)桿部件45的第一端57進(jìn)行軸支承的部分(旋轉(zhuǎn)部 件44的第一軸94)彼此連結(jié)起來的直線上的機(jī)構(gòu)。更詳細(xì)來說，移動限制機(jī)構(gòu)71具有如 下功能，即、旋轉(zhuǎn)部旋轉(zhuǎn)部件44轉(zhuǎn)動，而對桿部件45的第一端57進(jìn)行軸支承的部分在移載 方向上移動，伴隨于此，使轉(zhuǎn)動部件48的轉(zhuǎn)動中心配置在如下所述的直線上，S卩、把對桿部 件45的第一端57進(jìn)行軸支承的部分彼此連結(jié)起來的直線上。這樣，由于利用移動限制機(jī) 構(gòu)71，將轉(zhuǎn)動部件48的轉(zhuǎn)動中心配置在如下所述的直線上，即、把對兩個(gè)桿部件45的第一 端57進(jìn)行軸支承的部分彼此連結(jié)起來的直線上，所以進(jìn)一步提高利用同步機(jī)構(gòu)35抑制移 載臂23的橫擺的功能。對移動限制機(jī)構(gòu)71的概略構(gòu)造進(jìn)行說明。移動限制機(jī)構(gòu)71具有與平臺50連結(jié) 的第一部件73、轉(zhuǎn)動自如地與對兩個(gè)桿部件45的第一端57進(jìn)行軸支承的部分連結(jié)的兩個(gè) 第二部件75、和將兩個(gè)第二部件75以僅能夠在一直線上可移動的方式連結(jié)于第一部件73 的連結(jié)機(jī)構(gòu)77。詳細(xì)說明移動限制機(jī)構(gòu)71的各部件。第一部件73，如圖16和圖17所示那樣，是 大概配置在兩個(gè)桿部件45的上方的薄板狀的部件。第一部件73具有中心部81、從中心部 81向兩側(cè)延伸的一對第一延長部83。中心部81被從直線移動部件47的軸57進(jìn)一步向上方延伸的第二軸85所支承。 更具體而言，如圖18所示，第一環(huán)狀部件82通過螺栓84固定于在中心部81上所形成的圓 形中心孔81a，進(jìn)而第一環(huán)狀部件82經(jīng)由軸襯86支承于第二軸85。另外，在該實(shí)施例中， 中心部81相對于直線移動部件47能夠轉(zhuǎn)動。第一延長部83從中心部81大概朝向旋轉(zhuǎn)部件44側(cè)延伸，在Y-Y方向上具有一定 的長度。第一延長部83的寬度(X-X方向長度)沿著延長方向大概恒定。第一延長部83 的前端位于旋轉(zhuǎn)部件44的附近。第二部件75，如圖16和圖17所示那樣，是大概配置在兩個(gè)桿部件45的上方的薄 板狀的部件。第二部件75具有轉(zhuǎn)動被支承部87、從該轉(zhuǎn)動被支承部87朝向直線移動部件 47延伸的第二延長部89。轉(zhuǎn)動被支承部87經(jīng)由軸承部件相對于第二轉(zhuǎn)動軸34的旋轉(zhuǎn)部件44旋轉(zhuǎn)自如地 支承。更具體而言，如圖19所示，第二環(huán)狀部件88通過螺栓95固定于在轉(zhuǎn)動被支承部87上所形成的圓形的孔87a，第二環(huán)狀部件88經(jīng)由軸承97旋轉(zhuǎn)自如地支承于從旋轉(zhuǎn)部件44 的第一軸94進(jìn)一步向上方延伸的第二軸96。第二延長部89從轉(zhuǎn)動被支承部87朝向直線 移動部件47側(cè)延伸，在Y-Y方向上具有一定的長度。第二延長部89的寬度(X-X方向長 度)以隨著接近前端而變窄的方式傾斜。第二延長部89的前端延伸至第一部件73的中心 部81和第一延長部83的邊界附近。進(jìn)一步詳細(xì)來說，第二延長部89在第一延長部83的 下方且俯視看時(shí)大半部分重疊。連結(jié)機(jī)構(gòu)77，具體而言，是LM導(dǎo)軌。連結(jié)機(jī)構(gòu)77，如圖20所示，由LM導(dǎo)軌91、和 LM導(dǎo)塊93構(gòu)成。LM導(dǎo)軌91被固定在第二部件75的第二延長部89的上面。LM導(dǎo)軌91沿 著第二延長部89延伸。LM導(dǎo)塊93被固定在第一部件73的第一延長部83的下面，且滑動 自如地支承于LM導(dǎo)軌91。更具體而言，LM導(dǎo)塊93被固定于第一部件73的第一延長部83 的前端側(cè)下面，在圖16和圖20中，與LM導(dǎo)軌91的旋轉(zhuǎn)部件44側(cè)端卡合。這樣，LM導(dǎo)塊 93和第二部件75能夠在LM導(dǎo)軌91的延伸方向上相對于LM導(dǎo)軌91和第一部件73相對移 動。另外，在圖16和圖20的狀態(tài)下，由于LM導(dǎo)塊93配置在LM導(dǎo)軌91的最外側(cè)端，所以 第二部件75能夠以相對于第一部件73進(jìn)一步向外側(cè)偏離的方式移動。(8)同步機(jī)構(gòu)和移動限制機(jī)構(gòu)的動作利用圖21、圖16和圖22依次表示同步機(jī)構(gòu)35和移動限制機(jī)構(gòu)71的動作。圖21 是自由臂22縮退的狀態(tài)。圖16是自由臂22延伸的中途的狀態(tài)。圖22是自由臂22進(jìn)一 步延伸的中途的狀態(tài)。在圖21的狀態(tài)下，前端側(cè)臂32從第二轉(zhuǎn)動軸34向移動方向前側(cè)且外側(cè)延伸。此 外，直線移動部件47和轉(zhuǎn)動部件48位于移載方向的最后側(cè)，桿部件45的第二端58相對于 凸緣部件54連結(jié)的位置，是相對于轉(zhuǎn)動部件48的中心在移載方向前后任一側(cè)且在所連結(jié) 的桿部件45側(cè)。通過前端側(cè)臂32移動，第二轉(zhuǎn)動軸34相對移載臂23轉(zhuǎn)動，移載臂23 (即 同步機(jī)構(gòu)35也)向移載方向前側(cè)移動。具體而言，第二轉(zhuǎn)動軸34，在圖21中，右側(cè)順時(shí)針 轉(zhuǎn)動(箭頭R2)，左側(cè)逆時(shí)針轉(zhuǎn)動(箭頭R1)。在圖21的狀態(tài)下，利用移動限制機(jī)構(gòu)71，將轉(zhuǎn)動部件48的轉(zhuǎn)動中心(直線移動部 件47、平臺50的中心)配置在如下所述的直線上，即、把對桿部件45的第一端57進(jìn)行軸支 承的部分(固定于旋轉(zhuǎn)部件44的第一軸94的中心)彼此連結(jié)起來的直線上。特別是，這 些部分配置在與Y-Y方向平行延伸的直線上。另外，在移動限制機(jī)構(gòu)71中，第二部件75彼 此相對地從圖16的狀態(tài)在Y-Y方向上遠(yuǎn)離。在圖16的狀態(tài)下，前端側(cè)臂32從第二轉(zhuǎn)動軸34與移載方向成直角地延伸。此外， 直線移動部件47和轉(zhuǎn)動部件48位于移載方向的中間，桿部件45的第二端58相對于凸緣 部件54連結(jié)的位置，是相對于轉(zhuǎn)動部件48的中心的移載方向前后側(cè)。具體而言，連結(jié)右側(cè) 桿部件45A的第二端58的凸緣部分位于移載方向后側(cè)，連結(jié)左側(cè)桿部件45B的第二端58 的凸緣部分位于移載方向前側(cè)。在圖16的狀態(tài)下，利用移動限制機(jī)構(gòu)71，將轉(zhuǎn)動部件48的轉(zhuǎn)動中心(直線移動 部件47、平臺50的中心)配置在如下所述的直線上，即、把對桿部件45的第一端57進(jìn)行 軸支承的部分(固定于旋轉(zhuǎn)部件44的第一軸94中心)彼此連結(jié)起來的直線上。圖16中 的直線位于比圖21中的直線更靠向移載方向前側(cè)。另外，在移動限制機(jī)構(gòu)71中，第二部件 75彼此相互最接近。
在圖22的狀態(tài)下，前端側(cè)臂32從第二轉(zhuǎn)動軸34向移載方向后側(cè)且外側(cè)延伸。此 外，直線移動部件47和轉(zhuǎn)動部件48位于移載方向的前側(cè)，桿部件45的第二端58相對于凸 緣部件54連結(jié)的位置是相對于轉(zhuǎn)動部件48的中心的移載方向前后任一側(cè)且在所連結(jié)的桿 部件45側(cè)。在圖22的狀態(tài)下，利用移動限制機(jī)構(gòu)71，將轉(zhuǎn)動部件48的轉(zhuǎn)動中心(直線移動部 件47、平臺50的中心)配置在如下所述的直線上，即、把對桿部件45的第一端57進(jìn)行軸 支承的部分(固定于旋轉(zhuǎn)部件44的第一軸94的中心)彼此連結(jié)起來的直線上。圖22中 的直線位于比圖16中的直線更靠向移載方向前側(cè)。另外，在移動限制機(jī)構(gòu)71中，第二部件 75彼此相對地從圖16的狀態(tài)在Y-Y方向上遠(yuǎn)離。進(jìn)而，根據(jù)這樣構(gòu)成的同步機(jī)構(gòu)75，能夠得到以下那樣的優(yōu)異效果。例如，假設(shè)在與移載方向交叉的方向上對移載臂23作用外力。例如，在圖22中， 當(dāng)從圖右側(cè)對移載臂23作用力，則會使移載臂23的基部整體向旋轉(zhuǎn)方向R1旋轉(zhuǎn)，在第二 轉(zhuǎn)動軸34上就會作用相對向旋轉(zhuǎn)方向R2旋轉(zhuǎn)的力。另一方面，如果從圖左側(cè)對移載臂23 作用力，則會使移載臂23的基部整體向旋轉(zhuǎn)方向R2旋轉(zhuǎn)，在第二轉(zhuǎn)動軸34上就會作用相 對向旋轉(zhuǎn)方向R1旋轉(zhuǎn)的力。在為后者的情況下，右側(cè)的第二轉(zhuǎn)動軸34使右側(cè)桿部件45A向右側(cè)移動，進(jìn)而使 轉(zhuǎn)動部件48向旋轉(zhuǎn)方向R1側(cè)旋轉(zhuǎn)。另一方面，左側(cè)的第二轉(zhuǎn)動軸34使左側(cè)桿部件45B向 右側(cè)移動，進(jìn)而使轉(zhuǎn)動部件48向旋轉(zhuǎn)方向R2側(cè)旋轉(zhuǎn)。這樣，從兩側(cè)的桿部件45在相反方 向且相同大小的轉(zhuǎn)矩作用于轉(zhuǎn)動部件48，轉(zhuǎn)動部件48不能轉(zhuǎn)動。結(jié)果，移載臂23的橫擺被 抑制。當(dāng)對移載臂23作用與上述相反一側(cè)的力的情況下，利用連桿機(jī)構(gòu)38，對轉(zhuǎn)動部件 48作用相互對抗的力，抑制移載臂23的橫擺。以上的結(jié)果，移載臂23在被抑制了橫擺的狀態(tài)下在移載方向上順滑且可靠地直 線移動。進(jìn)而，利用移動限制部件71，將轉(zhuǎn)動部件48的轉(zhuǎn)動中心(直線移動部件47、平臺 50的中心)配置在如下所述的直線上，即、把對兩個(gè)桿部件45的第一端57進(jìn)行軸支承的部 分(固定于旋轉(zhuǎn)部件44的第一軸94的中心軸心)彼此連結(jié)起來的直線上，因此能夠更可 靠地抑制移載臂23的橫擺。結(jié)果，移載臂23在移載方向上更順滑地直線移動。(9)其它實(shí)施方式以上對本發(fā)明的實(shí)施方式進(jìn)行了說明，但本發(fā)明并不限定于上述實(shí)施方式，能夠 在不脫離發(fā)明的主旨的范圍內(nèi)進(jìn)行各種變更。(A)在上述第一實(shí)施方式中，作為使用本發(fā)明涉及的移載裝置的例子，表示了在無 塵室內(nèi)搬送收容有平板狀素材的托盤的情況，但本發(fā)明并不限定于此。本發(fā)明也能夠用于 以使搬送對象直線移動到同一平面上的其它位置的方式進(jìn)行移載的其它裝置。(B)在上述第一實(shí)施方式中，同步機(jī)構(gòu)連結(jié)第二轉(zhuǎn)動軸彼此，但本發(fā)明并不限定于 此。同步機(jī)構(gòu)也可以連結(jié)第一轉(zhuǎn)動軸彼此。(C)在第二實(shí)施方式中，在連結(jié)機(jī)構(gòu)中LM塊被固定于第一部件并且LM導(dǎo)軌被固定 于第二部件，但本發(fā)明并不限定于這樣的實(shí)施方式。也可以將各部件相反地安裝。(D)在第二實(shí)施方式中，移動限制機(jī)構(gòu)的第一部件相對于直線移動部件可轉(zhuǎn)動地連結(jié)，但本發(fā)明并不限定于這樣的實(shí)施方式。移動限制機(jī)構(gòu)的第一部件也可以不能轉(zhuǎn)動地 連結(jié)于直線移動部件。(E)在第二實(shí)施方式中，連結(jié)機(jī)構(gòu)通過LM導(dǎo)軌而實(shí)現(xiàn)，但本發(fā)明并不限定于這樣 的實(shí)施方式。產(chǎn)業(yè)上的利用可能性本發(fā)明能夠廣泛地適用于使工件在同一水平面內(nèi)直線移動而進(jìn)行移載的蛙腿型 移載裝置。
權(quán)利要求
一種蛙腿型移載裝置，其特征在于，具備基臺；兩個(gè)臂，該兩個(gè)臂的一端經(jīng)由第一轉(zhuǎn)動機(jī)構(gòu)安裝于所述基臺；載置部，其經(jīng)由第二轉(zhuǎn)動機(jī)構(gòu)與所述兩個(gè)臂的另一端連結(jié)，用于載置物品；和橫擺抑制機(jī)構(gòu)，其用于將所述兩個(gè)臂彼此連結(jié)，從而抑制橫擺，所述橫擺抑制機(jī)構(gòu)具有平臺，其在所述載置部的移動方向上被滑動自如地支承；轉(zhuǎn)動部件，其轉(zhuǎn)動自如地支承于所述平臺；和兩個(gè)桿部件，其具有被軸支承于所述第一轉(zhuǎn)動機(jī)構(gòu)或所述第二轉(zhuǎn)動機(jī)構(gòu)的轉(zhuǎn)動軸的第一端，和被軸支承于所述轉(zhuǎn)動部件的第二端。
2.根據(jù)權(quán)利要求1所述的蛙腿型移載裝置，其特征在于， 所述橫擺抑制機(jī)構(gòu)連結(jié)所述第二轉(zhuǎn)動機(jī)構(gòu)的轉(zhuǎn)動軸彼此。
3.根據(jù)權(quán)利要求1或2所述的蛙腿型移載裝置，其特征在于，所述平臺、所述轉(zhuǎn)動部件、所述兩個(gè)桿部件，配置在所述兩個(gè)臂之間一側(cè)。
4.根據(jù)權(quán)利要求1 3中任一項(xiàng)所述的蛙腿型移載裝置，其特征在于，所述轉(zhuǎn)動部件和所述兩個(gè)桿部件是以所述轉(zhuǎn)動部件的旋轉(zhuǎn)中心為基準(zhǔn)呈點(diǎn)對稱的形 狀和配置。
5.根據(jù)權(quán)利要求1 4中任一項(xiàng)所述的蛙腿型移載裝置，其特征在于， 在所述兩個(gè)臂的最大伸長時(shí)，所述兩個(gè)桿部件并不排列在直線上。
6.根據(jù)權(quán)利要求1 5中任一項(xiàng)所述的蛙腿型移載裝置，其特征在于，還具備移動限制機(jī)構(gòu)，該移動限制機(jī)構(gòu)用于將所述轉(zhuǎn)動部件的轉(zhuǎn)動中心配置在如下所 述的直線上，即、把對所述兩個(gè)桿部件的所述第一端進(jìn)行軸支承的部分彼此連結(jié)起來的直 線上。
7.根據(jù)權(quán)利要求6所述的蛙腿型移載裝置，其特征在于，所述移動限制機(jī)構(gòu)具有與所述平臺連結(jié)的第一部件；轉(zhuǎn)動自如地與對所述兩個(gè)桿部 件的所述第一端進(jìn)行軸支承的部分連結(jié)的兩個(gè)第二部件；和將所述兩個(gè)第二部件以僅能夠 在直線上移動的方式連結(jié)于所述第一部件的連結(jié)機(jī)構(gòu)。
8.—種蛙腿型移載裝置，其特征在于，具備 基臺；兩個(gè)臂，該兩個(gè)臂的一端經(jīng)由第一轉(zhuǎn)動機(jī)構(gòu)安裝于所述基臺； 載置部，其經(jīng)由第二轉(zhuǎn)動機(jī)構(gòu)與所述兩個(gè)臂的另一端連結(jié)，用于載置物品；和 橫擺抑制機(jī)構(gòu)，其用于將所述兩個(gè)臂彼此連結(jié)，從而抑制橫擺， 所述橫擺抑制機(jī)構(gòu)具有連桿機(jī)構(gòu)，其連結(jié)所述第一轉(zhuǎn)動機(jī)構(gòu)彼此或所述第二轉(zhuǎn)動機(jī)構(gòu)彼此；和 負(fù)載釋放機(jī)構(gòu)，其具有能夠在所述載置部的移動方向上滑動的平臺和被軸支承于所述 平臺的轉(zhuǎn)動部件，該負(fù)載釋放機(jī)構(gòu)用于利用所述第一轉(zhuǎn)動機(jī)構(gòu)或所述第二轉(zhuǎn)動機(jī)構(gòu)的轉(zhuǎn)動 來釋放作用于所述連桿機(jī)構(gòu)的負(fù)載。
全文摘要
本發(fā)明提供一種蛙腿型移載裝置。其使工件在同一水平面內(nèi)直線移動而進(jìn)行移載，能夠防止橫擺，并減少顆粒的發(fā)生。在蛙腿型移載裝置(2)中，兩個(gè)自由臂(22)的一端經(jīng)由第一轉(zhuǎn)動軸(33)安裝于基臺(21)。移載臂23經(jīng)由第二轉(zhuǎn)動軸(34)與兩個(gè)自由臂(22)的另一端連結(jié)，對工件(14)進(jìn)行載置。同步機(jī)構(gòu)(35)將兩個(gè)自由臂(22)彼此連結(jié)而抑制橫擺。在同步機(jī)構(gòu)(35)中，直線移動部件(47)在移載臂(23)的移動方向上被滑動自如地支承。轉(zhuǎn)動部件(48)轉(zhuǎn)動自如地支承于直線移動部件(47)。兩個(gè)桿部件(45)具有被軸支承于第二轉(zhuǎn)動軸(34)的第一端(57)，和被軸支承于轉(zhuǎn)動部件(48)的第二端(58)。
文檔編號B65G35/00GK101804903SQ20101010811
公開日2010年8月18日 申請日期2010年1月29日 優(yōu)先權(quán)日2009年2月18日
發(fā)明者田中博 申請人:村田機(jī)械株式會社