專利名稱:晶片包裝帶以及晶片真空包裝方法
技術(shù)領(lǐng)域:
本發(fā)明涉及半導(dǎo)體晶片的包裝領(lǐng)域,尤其涉及一種晶片包裝帶以及晶片的真空包 裝方法。
背景技術(shù):
半導(dǎo)體晶片在進(jìn)行運(yùn)輸、存儲(chǔ)過程中,需要進(jìn)行真空包裝處理,以防止環(huán)境中的灰 塵或者雜質(zhì)附著于晶片表面,而影響后續(xù)的半導(dǎo)體制造過程。所述真空包裝處理的基本流 程包括將半導(dǎo)體晶片放置于晶片卷盤中,將晶片卷盤放入包裝袋并進(jìn)行密封,然后對(duì)包裝 袋進(jìn)行抽真空完成晶片的真空包裝。如圖1所示,為一種現(xiàn)有的晶片包裝示意圖,所示晶片卷盤1呈空心的圓餅狀,內(nèi) 腔體壁上設(shè)有可放置晶片2的槽101,若干晶片堆疊后置于晶片卷盤1內(nèi),然后蓋上盒面 102以固定晶片2,將晶片卷盤1放入包裝袋3中,所述包裝袋3 —般采用焊錫密封,然后從 抽氣孔301進(jìn)行抽真空?,F(xiàn)有的真空包裝方法存在以下問題晶片卷盤1本身并不具有氣密性,盒面102是 有孔的,而抽真空前包裝袋3與包裝盒1貼合較為疏松,且包裝袋3具有柔韌性,因此在抽 真空的過程中,包裝袋3將會(huì)與晶片卷盤1緊密貼合,甚至吸附進(jìn)包裝盒1中,使得包裝袋 3沿晶片卷盤1表面的各處受力不均勻,尤其在晶片卷盤1的側(cè)圈處凹凸不平產(chǎn)生畸形,從 外表上看各包裝外形各不相同而不便于存放或者運(yùn)輸。因此迫切需要一種新的真空包裝方法,以避免上述因包裝袋外形不規(guī)則形變而造 成的晶片存儲(chǔ)、運(yùn)輸困難的問題。
發(fā)明內(nèi)容
本發(fā)明解決的問題是提供一種晶片包裝帶以及晶片真空包裝方法,易于操作實(shí) 施,并且所形成的晶片包裝外形齊整。本發(fā)明提供了一種晶片包裝帶,包括固定帶以及鎖定裝置,所述鎖定裝置設(shè)置與 固定帶的兩端頭。作為可選方案,所述固定帶為自適應(yīng)伸縮帶,進(jìn)一步的,所述固定帶為尼龍帶。作為可選方案,所述鎖定裝置為貼合帶或者鎖扣。作為可選方案,所述固定帶的帶寬范圍為Icm 3cm。本發(fā)明還提供了一種晶片真空包裝方法,其特征在于,包括將晶片放置于晶片卷盤中;將所述晶片卷盤放置于包裝袋中;將包裝袋展平、貼合包裝盒的外表面,封閉包裝袋的開口 ;將晶片包裝帶圍繞至晶片卷盤的側(cè)圍,并進(jìn)行綁定;對(duì)包裝袋抽真空。作為優(yōu)選方案,將晶片卷盤放置于包裝袋的中心位置。
作為優(yōu)選方案,將晶片包裝帶圍繞至晶片卷盤的側(cè)圍時(shí),保持晶片包裝帶具有收 縮應(yīng)力。并將晶片包裝帶的兩端頭連接鎖定使其綁定。本發(fā)明通過使用晶片包裝帶固定晶片卷盤與包裝袋,使得抽真空過程中,減小包 裝袋相對(duì)于包裝袋表面的位移,進(jìn)一步減小晶片包裝的畸形形變。使得形成的晶片包裝整 齊平整,易于存儲(chǔ)運(yùn)輸。
圖1是現(xiàn)有的晶片包裝示意圖;圖2是本發(fā)明所述晶片包裝帶第一實(shí)施例示意圖;圖3是本發(fā)明所述晶片包裝帶第二實(shí)施例示意圖;圖4是本發(fā)明所述晶片真空包裝方法的流程示意圖;圖5至圖8是本發(fā)明所述晶片真空包裝方法具體實(shí)施例示意圖。
具體實(shí)施例方式在現(xiàn)有的晶片真空包裝過程中,所形成的晶片包裝外形各異、畸形不平整,主要是 因?yàn)榫哂腥犴g性的包裝袋在抽真空時(shí),受迫于外界壓強(qiáng)而易于吸附進(jìn)包裝盒,造成包裝袋 受力不均外形畸變無規(guī)則。本發(fā)明利用晶片包裝帶將包裝袋固定于晶片卷盤上,使得抽真 空時(shí),包裝袋與晶片卷盤之間能夠緊密貼合,且外形齊整。本發(fā)明所述的晶片包裝帶圍繞晶片卷盤的側(cè)圍,通過自身的收縮應(yīng)力,將包裝袋 固定于晶片卷盤上,因此該晶片包裝帶至少包括固定帶以及將固定帶連接綁定的鎖定裝 置。圖2以及圖3分別為晶片包裝帶的第一實(shí)施例以及第二實(shí)施例示意圖。如圖2所示,第一實(shí)施例中,所述晶片包裝帶包括固定帶401以及位于固定帶兩端 頭的貼合帶402。所述固定帶401的帶寬一般為Icm 3cm,帶長(zhǎng)根據(jù)實(shí)際需要進(jìn)行選擇,一 般略小于所應(yīng)用的真空包裝盒的側(cè)圍的周長(zhǎng),使得拉伸綁定時(shí)能夠產(chǎn)生較大的收縮應(yīng)力, 為增強(qiáng)上述收縮應(yīng)力,所述固定帶401可以采用尼龍材質(zhì)。另一方面,具有自適應(yīng)的伸縮能 力,還使得包裝帶能夠使用于圓周尺寸不同的真空包裝盒,而適用于六寸、八寸等晶片的真 空包裝。所述固定帶401兩端頭的貼合帶402,可以在固定帶401圍繞真空包裝盒后將兩端 頭貼合粘結(jié)。如圖3所示,第二實(shí)施例中與第一實(shí)施例不同之處僅在于,固定帶401兩端頭的鎖 定裝置為鎖扣403,能夠?qū)啥祟^鎖緊固定,相較于第一實(shí)施例所使用的貼合帶,具有更強(qiáng) 的綁定作用,在拉伸固定帶401時(shí),所產(chǎn)生的收縮應(yīng)力也更強(qiáng),包裝袋與晶片卷盤的固定亦 更牢固。使用上述晶片包裝帶,本發(fā)明所提供的晶片真空包裝方法,流程示意圖如圖4所 示,基本步驟如下Si、將晶片放置于晶片卷盤中,并蓋上盒面;S2、將所述晶片卷盤放置于包裝袋中;作為優(yōu)選,應(yīng)當(dāng)將晶片卷盤置于包裝袋的中 心位置,使得包裝袋在后續(xù)抽真空過程中受力較為均勻;S3、將包裝袋展平、貼合包裝盒的外表面,封閉包裝袋的開口 ;S4、將晶片包裝帶圍繞至晶片卷盤的側(cè)圍,并進(jìn)行綁定;在圍繞綁定的過程中,保持所述晶片包裝帶產(chǎn)生收縮應(yīng)力,以便將包裝袋與晶片卷盤相固定;S5、對(duì)包裝袋抽真空。下面結(jié)合具體實(shí)施例,對(duì)上述包裝流程做進(jìn)一步介紹。假設(shè)晶片卷盤呈圓餅狀,用 于承載八寸晶片,其圓徑略大于八寸,側(cè)圍的周長(zhǎng)約為80cm。如圖5所示,將若干晶片2疊放整齊后置于圓餅狀的晶片卷盤1內(nèi),并對(duì)準(zhǔn)放置槽 101,直至晶片2相對(duì)晶片卷盤1固定,所述晶片卷盤1可以是工程塑料也可以是金屬等材 質(zhì),然后蓋上盒面102。如圖6所示,將上述晶片卷盤1放置于包裝袋3中。本實(shí)施例中所述包裝袋3為 圓形,為了在抽真空時(shí),包裝袋3的受力盡可能均勻,將包裝盒1置于包裝袋3的中心位置, 兩者共圓心。將包裝袋3展平,使之初步貼合包裝盒1的外表面,然后封閉包裝袋的開口。如圖7所示,將晶片包裝帶圍繞至晶片卷盤1的側(cè)圍,并進(jìn)行綁定。在本實(shí)施例 中,將尼龍材質(zhì)的固定帶401圍繞晶片卷盤1的側(cè)圍,所述固定帶401的帶長(zhǎng)略小于晶片卷 盤側(cè)圍為75cm,則在圍繞后,固定帶401兩端頭連接時(shí),固定帶401被拉長(zhǎng)了 5cm,此時(shí)固定 帶401自身受到收縮應(yīng)力的影響。所述收縮應(yīng)力將轉(zhuǎn)移至包裝袋上,使得包裝袋3緊貼于 包裝盒1的側(cè)面,兩者相固定。其中,固定帶401的拉伸長(zhǎng)度越長(zhǎng),包裝袋3與包裝盒1之 間貼合越緊密。此外,固定帶401兩端頭之間的連接可以是粘合帶粘合也可以是鎖扣綁定, 由于包裝袋3與包裝盒1之間的貼合度與固定帶401自身的收縮應(yīng)力有關(guān),因此應(yīng)對(duì)于不 同的收縮應(yīng)力可以選擇相應(yīng)的連接綁定方式,本實(shí)施例中固定帶401的兩端頭之間采用鎖 扣403進(jìn)行扣合,相較于粘合帶的粘合,連接更加牢固。如圖8所示,通過抽氣孔301對(duì)置有晶片卷盤1的包裝袋3抽真空,在抽真空時(shí), 抽氣速度不宜過大,避免包裝袋3受力過猛,而相對(duì)包裝盒1產(chǎn)生較大位移甚至破裂。由于 晶片包裝帶的綁定作用,包裝袋3與包裝盒1緊密貼合,而包裝袋3上除貼合包裝盒1以外 的部分并不會(huì)產(chǎn)生不規(guī)則的畸變。經(jīng)過上述的真空包裝流程,本發(fā)明所獲得的晶片的真空包裝,外形較為齊整統(tǒng)一, 便于存儲(chǔ)運(yùn)輸。具有良好的包裝效果。雖然本發(fā)明己以較佳實(shí)施例披露如上,但本發(fā)明并非限定于此。任何本領(lǐng)域技術(shù) 人員,在不脫離本發(fā)明的精神和范圍內(nèi),均可作各種更動(dòng)與修改,因此本發(fā)明的保護(hù)范圍應(yīng) 當(dāng)以權(quán)利要求所限定的范圍為準(zhǔn)。
權(quán)利要求
1.一種晶片包裝帶,其特征在于,包括固定帶以及鎖定裝置,所述鎖定裝置設(shè)置于固 定帶的兩端頭。
2.如權(quán)利要求1所述的晶片包裝帶,其特征在于,所述固定帶為自適應(yīng)伸縮帶。
3.如權(quán)利要求2所述的晶片包裝帶,其特征在于,所述固定帶為尼龍帶。
4.如權(quán)利要求1所述的晶片包裝帶,其特征在于,所述鎖定裝置為貼合帶。
5.如權(quán)利要求1所述的晶片包裝帶,其特征在于,所述鎖定裝置為鎖扣。
6.如權(quán)利要求1所述的晶片包裝帶,其特征在于,所述固定帶的帶寬范圍為Icm 3cm0
7.一種晶片真空包裝方法,其特征在于,包括 將晶片放置于晶片卷盤中;將所述晶片卷盤放置于包裝袋中; 將包裝袋展平、貼合包裝盒的外表面,封閉包裝袋的開口 ; 將晶片包裝帶圍繞至晶片卷盤的側(cè)圍,并進(jìn)行綁定; 對(duì)包裝袋抽真空。
8.如權(quán)利要求1所述的晶片真空包裝方法,其特征在于,將晶片卷盤放置于包裝袋的 中心位置。
9.如權(quán)利要求1所述的晶片真空包裝方法,其特征在于,將晶片包裝帶圍繞至晶片卷 盤的側(cè)圍時(shí),保持晶片包裝帶具有收縮應(yīng)力。
10.如權(quán)利要求9所述的晶片真空包裝方法,其特征在于,將晶片包裝帶的兩端頭連接 鎖定使其綁定。
全文摘要
本發(fā)明提供了一種晶片包裝帶以及晶片真空包裝方法,其中所述包裝方法,包括將晶片放置于晶片卷盤中;將所述晶片卷盤放置于包裝袋中;將包裝袋展平、貼合包裝盒的外表面,封閉包裝袋的開口;將晶片包裝帶圍繞至晶片卷盤的側(cè)圍,并進(jìn)行綁定;對(duì)包裝袋抽真空。本發(fā)明通過使用晶片包裝帶固定晶片卷盤與包裝袋,使得抽真空過程中,減小包裝袋相對(duì)于包裝袋表面的位移,進(jìn)一步減小晶片包裝的畸形形變。使得形成的晶片包裝整齊平整,易于存儲(chǔ)運(yùn)輸。
文檔編號(hào)B65D63/16GK102001485SQ20091019492
公開日2011年4月6日 申請(qǐng)日期2009年8月31日 優(yōu)先權(quán)日2009年8月31日
發(fā)明者丁萬春, 甘承紅, 范偉 申請(qǐng)人:中芯國(guó)際集成電路制造(上海)有限公司, 芯電半導(dǎo)體(上海)有限公司