專利名稱：大尺寸精密板狀(半)成品用氣密容器的制作方法
技術領域：
本發(fā)明涉及一種適用于運輸精密板狀(半)成品/制品-即一精密板狀成品或者該成品完成之前的一半成品，例如包括一光掩膜(具有標線)或者一作為用于所述光掩膜的保護膜的表膜在內(nèi)的一(玻璃)基板、一半導體晶片相關產(chǎn)品、包括一液晶顯示器(LCD)在內(nèi)的各種顯示產(chǎn)品等一尤其是一大尺寸精密板狀(半)成品的氣密容器，在此，大尺寸精密板狀(半)成品是指具有其至少一邊至少為750毫米的較大平面尺寸并且用于其的容器由兩半部分組成的的成品，其中每個部分具有一極難進行一體式樹脂成型的平面尺寸。
背景技術：
一如上所述的精密板狀(半)成品在許多情況下通常是機械易碎的，并且形成于其上的精密部件或者元件在許多情況中更加易碎。此外，考慮到這種精密板狀(半)成品的與其用途有關的性質(zhì)，其非常憎惡灰塵，尤其是0.3微米或者更小的附著雜質(zhì)，因此必須特別重視該精密板狀(半)成品用容器的氣密性。尤其是，這種板狀(半)成品常常通過飛機從日本出口到海外，而由于飛機的內(nèi)部空間(尤其是貨艙)與大氣壓之間存在一壓力差，所以微小雜質(zhì)易于引入該容器內(nèi)。此外，由于應避免微小雜質(zhì)的附著，常常只對普通玻璃制品采用由一泡沫樹脂形成一容器主體(例如，日本專利申請(JP-A)2001-31165)或者將一泡沫樹脂減震材料布置在一容器內(nèi)，因為這種泡沫樹脂由于磨損易于生成微小雜質(zhì)。此外，這種精密板狀(半)成品尤其一顯示產(chǎn)品或一用于該顯示產(chǎn)品的光掩膜的尺寸(面積)不可避免地增大，以便滿足一大尺寸及大面積顯示的需求，和以便允許多個目標制品例如顯示產(chǎn)品相對于光掩膜產(chǎn)品的同時顯示(exposure)。相應地，已經(jīng)出現(xiàn)了一些新問題。即，伴隨著尺寸增大，作為內(nèi)容物的精密板狀(半)成品本身的重量增大到5-10kg，以及為了支承該重量同時避免由一容器的變形產(chǎn)生的一應力作用于該精密板狀(半)成品，該容器還需要具有一相當大的強度。但是，如果該容器依照傳統(tǒng)方式由一金屬材料組成，該容器的重量會增大至40kg或更大，且其與內(nèi)容物的總重量會增大至50kg或更大，同時還由于其外輪廓尺寸的增大，所以利用人力運輸它們變得相當困難。此外，盡管希望生產(chǎn)一樹脂制容器以提供一種重量較小的容器，以及希望用于具有一其至少一邊有大于750毫米的較大平面尺寸的一大尺寸精密板狀(半)成品的一容器由兩半部分組成，但直至目前，仍舊沒有研發(fā)出一種使用一容許成型一大尺寸半部分的模具的樹脂成型技術。此外，必須通過支承一精密板狀(半)成品而將該(半)成品容納在一容器內(nèi)，以防止其至少一個表面(其上形成有精密部件)與該容器內(nèi)的另一部件接觸。

發(fā)明內(nèi)容
因此，本發(fā)明的主要目的在于提供一種較輕并且總體上由樹脂制成的容器，它能夠安全地容納和支承置于其內(nèi)部的一大尺寸精密板狀(半)成品例如一光掩膜，而不會向其施加一不適當應力，其中所述精密板狀(半)成品的大平面尺寸使得用于其的容器的一個半部分極難進行一體式樹脂成型。
依據(jù)我們?yōu)閷崿F(xiàn)該目的所進行的研究，已經(jīng)發(fā)現(xiàn)可以通過采用一種用于將平行設置于一平面中的多個樹脂板狀件連接并確保適當加強和氣密封結構的結構形成一適用于上述目的的容器。更具體地說，根據(jù)本發(fā)明，在此提供了一種大尺寸精密板狀(半)成品用氣密容器，它包括基本相互對稱并且分別具有要相互貼靠的密封周緣的一主體和一蓋件，其中所述主體和所述蓋件中的每一個包括設置在一平面中的多個樹脂板狀件，所述樹脂板狀件在它們之間的一中間接合邊界處相互貼靠并且在所述接合邊界處相互連接，并且一加強金屬帶件從外部沿所述接合邊界設置且氣密性地栓接在所述樹脂板狀件上。
通過考慮下面結合附圖對本發(fā)明優(yōu)選實施例的說明，本發(fā)明的這些和其它目的、特征以及優(yōu)點將變得更為明了。


圖1是根據(jù)本發(fā)明的大尺寸精密板狀(半)成品的實施例的平面圖；圖2是容器的沿圖1中箭頭方向II-II看時的正視圖；圖3和圖4分別是沿圖1中的線III-III和線IV-IV剖開的局部剖視圖；圖5是本發(fā)明更大尺寸精密板狀(半)成品用氣密容器的一實施例的主體的示意性透視圖；圖6是圖5中的部位VI的放大圖；圖7是用于圖5所示實施例的固定支架的透視圖；圖8是處于其夾具被下拉狀態(tài)的固定支架的側視圖；圖9是處于翻轉并打開狀態(tài)的固定支架的側視圖；圖10A、圖10B和圖10C是用于說明固定支架牢固地保持一(半)成品板狀件的操作的三個側視圖；以及圖11A和圖11b是用于說明另一示例的固定支架牢固地保持一(半)成品板狀件的操作的兩個側視圖。
具體實施例方式
圖1是一精密板狀(半)成品(一用于形成于一基本矩形石英制基板上的液晶顯示器(LCD)的光掩膜，在本實施例中，所述基板的長度L約為1200毫米，寬度T約為1200毫米且厚度約為5毫米，在下文中有時稱作“(半)成品板狀件”)用臥式(即一精密板狀(半)成品容納在一通常與一主體與一蓋件的密封周緣之間的一貼靠面相平行的位置中的一類結構)容器A(外部尺寸為約1300毫米×約1300毫米×約100毫米)的平面圖。圖2是沿圖1箭頭方向II-II看時的正視圖，而圖3和圖4分別是沿圖1中線III-III和線IV-IV剖開的局部剖視圖。容器A包括一主要由一包括兩個在一相互貼靠線(粘結線)1c處相互連接的樹脂板狀件1a和1b的頂板1構成的蓋件11，和一同樣主要由一包括兩個在一相互貼靠線(粘結線)2c(位于線1c的下方，但是并非恰好如圖1所示)處相互連接的樹脂板狀件2a和2b的底板2構成的主體12。蓋件11和主體2借助于設置于周緣上12個位置處的棘輪扣鎖(ratchet buckle lock)13相互氣密地接合以形成一氣密容器，該容器內(nèi)部設置有一(半)成品板狀件B，該(半)成品板狀件B的周緣部保持在蓋件11與主體12的(半)成品板狀件保持件之間使得(半)成品板狀件B的兩個表面基本不與容器中的其它部件接觸(圖4)。
沿樹脂板狀件1a和1b的貼靠端部相互貼靠的線1c，樹脂板狀件1a和1b在它們相互貼靠的端部處相互粘結，并且隨后一寬度約為40毫米、厚度約為20毫米而長度約為1300毫米的鋁制角件5被設置成一加強金屬帶件，并且被沿其長度方向在4個位置處以在每個位置處利用兩個金屬螺栓6的方式固定在樹脂板狀件1a和1b上。然后，一背襯樹脂板狀件7被粘結到其上以確保氣密封。
為了沿容器A的周緣支承和固定(半)成品板狀件保持件4a和4b，如圖4所示，樹脂件(板狀件)8a-8h等被粘結在頂板1和底板2上，并且一保持件4a和一保持件4b被分別利用螺栓6a和6b分別支承地固定在樹脂板狀件(支承件)8b和8e上。此外，在主體12側上，一薄夾板8h被粘結在樹脂板狀件8g、8e等上，以便伸向頂板1，并且然后一形成密封周緣的樹脂板狀件9b被粘結于其上，而在蓋件11側上，一樹脂板狀件9a被粘結在樹脂板狀件8d等上，以形成主體12和蓋件11。
此外，分為兩部分的加強金屬帶件5a和5b通過分別沿左側和右側以及一條垂直橫跨該加強金屬帶件5的中心線對背襯樹脂板狀件(未示出)的栓接和粘結而固定，而加強板狀件10a和10b分別粘結在容器A的兩個側壁上。在加強板狀件10a和10b上，固定有一棘輪扣鎖13的夾具(固定件)13a和13b。
在使用容器A時，一(半)成品板狀件B被設置在水平放置的主體12的保持件4b上，一O形環(huán)14被設置成環(huán)繞薄夾板8h，并且然后使得蓋件11沿薄夾板8h下降，以將O形環(huán)14夾持在密封周緣樹脂板狀件9a的下端部與密封周緣樹脂板狀件9b的上端部之間。在這種狀態(tài)下，沿所述周緣設置的棘輪扣鎖13閉合，以擠壓O形環(huán)14，由此確保主體與蓋件之間的氣密封。順便提一下，為了提高氣密性，也可以優(yōu)選地將一粘結膠帶(未示出)繞樹脂板狀件9a與9b之間的貼靠邊界貼敷在一外部區(qū)域S上。除了容許如上所述棘輪扣鎖的夾具13a和13b的連接之外，樹脂板狀件10a和10b用來提供一用于這種增強氣密封用膠帶的貼敷區(qū)域。
位于主體側上的保持件4b包括一其高度略小于(半)成品板狀件B的厚度的(半)成品板狀件貼靠側壁4ba，和一具有一約為5度的向下傾斜角度的斜坡部4bb。位于蓋件側上的保持件4a與保持件4b的不同之處僅在于，其沒有(半)成品板狀件貼靠側壁，而是具有一比斜坡部4bb略長的向上斜坡部4ab。由于這種斜坡部4ab和4bb的存在，當由棘輪扣鎖13施加的一擠壓力作用到保持件4a和4b上時，(半)成品板狀件B的邊緣會從其如圖4所示與側壁4ba接觸的位置向右移位，以便被保持在一正常狀態(tài)下與側壁4ba隔開一間隙(游隙)的位置處。這種用于保持(半)成品板狀件B的結構對于防止(半)成品板狀件的兩個主要表面尤其是承載形成于其上的精密部件的一個表面與容器中的其它部件接觸而損傷這些表面是非常優(yōu)選的。但是，(半)成品板狀件可移動至如圖4所示與側壁4ba接觸的位置，例如當容器被垂直放置時。這種輕微接觸程度不會對(半)成品板狀件B造成實質(zhì)性損傷，可以接受。如圖1所示，在容器的右邊，設置有支腿件15，用于防止扣鎖13在容器A被垂直放置時受到損傷。此外，在容器的4邊中的每一邊的中央部區(qū)域處，由與樹脂件8a-8h類似的材料制成的樹脂質(zhì)板狀件16(和17)被粘結在頂板1(和底板2)上，以便在設置有中央扣鎖13的位置處對頂板和底板進行加強。為了方便起見，這種樹脂質(zhì)加強板狀件16和17在圖4中示出(盡管這種加強板狀件沒有出現(xiàn)在扣鎖13上由圖1中的線IV-IV指示的位置處)。
(材料)補充說明各個部件的材料。除了(半)成品板狀件保持件4a、4b和螺栓6a、6b之外，構成蓋件11和主體12的部件或部位，即頂板1、底板2、背襯樹脂板狀件7、樹脂板狀件8a-8h、9a和9b，可以包括任何熱塑樹脂，但是優(yōu)選的是包括一抗靜電樹脂，以避免微小雜質(zhì)靜電吸附到其內(nèi)容納的一(半)成品板狀件上。具有永久抗靜電性的這種抗靜電樹脂的已知示例包括一種具有以下成分且其成分適用于本發(fā)明的抗靜電樹脂(a)一親水聚合物3-100份重量，(b)一熱塑樹脂，0-97份重量(與(a)一起總共提供100份重量)，以及(c)一多價金屬化合物0.001-0.5份重量(WO-A-03/033590)。。但在要求一過度光學性能級別(防止混濁(haze))的情況下，無需添加(c)一多價金屬化合物。尤其優(yōu)選的是使用(a)一由接枝共聚物組成的親水聚合物，它包括一具有一環(huán)氧烷集團的橡膠主鏈聚合物、一陰離子表面活性劑(JP-A-59-2462)以及一剛性熱塑樹脂例如一聚丙烯腈樹脂、一聚苯乙烯樹脂或一聚甲基丙烯酸甲酯樹脂，以提供一剛度，從而不易于給該(半)成品板狀件施加一扭曲應力。順便提一下，在上述實施例的一特定示例中，一約5毫米厚的包括10重量％的上述親水聚合物和90重量％的一聚丙烯腈樹脂(由BP Amoco制造的“BAREX210”)且顯示一2GPa的抗撓剛度的抗靜電樹脂板狀件被用于提供上述部件。
(半)成品板狀件保持件4a和4b也可以包括一如上所述的抗靜電樹脂。在這種情況下，螺栓6a和6b可以通過將由抗靜電樹脂制成的保持件4a和4b粘結到樹脂板狀件8b和8e上而省略。
由于如上所述在保持件4b的側壁4ba與(半)成品板狀件B的邊緣之間存在一定間隙(游隙)，所以在(半)成品板狀件B的邊緣與保持件4a和4b的傾斜支承位置4ab和4bb之間會發(fā)生一些滑動。因此，還優(yōu)選使用一具有可滑動性或者自潤滑性的較軟樹脂，它包括一含氟樹脂例如聚四氟乙烯，一烯烴樹脂例如聚乙烯、或者聚縮醛樹脂，而不使用構成頂板1或者底板2的那種樹脂。在一特定示例中，使用由聚四氟乙烯制成的保持件4a和4b。
加強板狀件10a、10b、16和17不會直接參與容器的氣密封，并因此可以包括一包含金屬在內(nèi)的任意剛性材料。但是，優(yōu)選的是這些板狀件也由一種樹脂制成，以提供一總體上質(zhì)量較輕的容器；以及由一種與樹脂板狀件8d和8e等相同的材料制成，以方便粘結。
至于形成頂板1的樹脂板狀件1a與1b之間的粘結、形成底板2的樹脂板狀件2a與2b之間的粘結、這些樹脂板狀件與背襯樹脂板狀件7之間的粘結，以及樹脂板狀件8a-8h、密封周緣樹脂板狀件9a、9b以及加強樹脂板狀件10a、10b與頂板1和底板2之間的粘結，可以通過使用一單獨粘結樹脂實現(xiàn)，但是由于極少存在能夠顯現(xiàn)良好抗靜電性的粘結樹脂，所以如果使用這種額外的粘結樹脂，易于發(fā)生抗靜電性局部降低現(xiàn)象。因此，在上述樹脂板狀件由一抗靜電樹脂制成的情況下，優(yōu)選的是通過利用一用于抗靜電樹脂的良好溶劑來局部溶解抗靜電樹脂板狀件而采用溶解粘結(solution bonding)。順便提一下，在上述實施例的一特定示例中，已經(jīng)確認使用乙腈作為一用于聚丙烯腈制良好粘結部的良好溶劑，同時顯現(xiàn)出高粘結強度和抗靜電性。(但是，由于乙腈具有某種程度的毒性，所以溶解粘結應在通風良好的環(huán)境中通過使用一防護裝置來執(zhí)行。)用于將加強金屬帶件5、5a和5b固定到頂板1和底板2上的螺栓6，以及用于將保持件4a和4b固定到樹脂板狀件8b和8e等上的螺栓6a和6b，可以由一金屬或者一樹脂制成。如果使用樹脂制螺栓，則能夠將這種樹脂制螺栓熔結到對應的樹脂板狀件上，并且樹脂制螺栓的熔結可以由此提供一氣密封效果。但是，為了使得容器具有較好的氣密性，優(yōu)選的是使用一背襯樹脂板狀件7，并且將其粘結到頂板1等上，由此提高例如樹脂板狀件1a與1b之間的粘結強度和密封性。O形環(huán)14(圖4)優(yōu)選可由一彈性樹脂組成，例如含氟橡膠或硅橡膠，并且尤其優(yōu)選的是一具有抗靜電性的彈性樹脂。所述O形環(huán)并不局限于如圖示出的實體O形環(huán)(例如直徑為8毫米)，還優(yōu)選由一空心O形環(huán)(例如外徑為8毫米而內(nèi)徑為4-6毫米)組成以增大變形行程。
(其它改型)上面已經(jīng)說明了作為一優(yōu)選實施例的一大尺寸LCD光掩膜用臥式容器。但是，可按照多種方式對上述容器實施例進行改型。以下將說明這種改型的一些示例。
例如，在上述實施例中頂板1和底板2中的每一個是通過將兩個樹脂板狀件連接形成的，但是也可以根據(jù)需要制成一由4塊樹脂板狀件連接而成的結構，以便獲得一大容積容器。
此外，用于將蓋件11和主體12相互固定地粘結的棘輪扣鎖13可以根據(jù)需要更換為另外一種粘結裝置，并且其數(shù)目以及成對的保持件4a和4b的數(shù)目可以根據(jù)需要增加或者減少，在上述實施例中，每邊上的數(shù)目為3個，總共為12個。
在上述實施例中，加強金屬帶件5和5a呈鋁制角件形式，但是通過優(yōu)先考慮加強效果，也可以根據(jù)需要例如由鋼帶制成，但考慮到重量與強度之間的良好平衡，鋁或者鋁合金通常是優(yōu)選的。
在上述實施例的一特定示例中，一容納一本身重量約為15公斤的光掩膜并且在運輸狀態(tài)下重量例如為26公斤且測量出的尺寸約為1200毫米×1200毫米的容器可以由一個或者兩個人送入和移出包括飛機在內(nèi)的各種運輸工具。
(一更大尺寸精密板狀(半)成品用容器的一實施例)上面已經(jīng)說明了一種適合于容納和運輸一其至少一邊至少為750毫米的精密板狀(半)成品的氣密容器的一實施例。但是，對于一種用于一其尺寸例如是至少一邊至少為1000毫米的更大尺寸和更重的精密板狀(半)成品(例如一長度約為1000毫米、寬度約為2000毫米、厚度約為15毫米并且重量約為50公斤或者更大的玻璃板狀件)的容器來說，優(yōu)選的是使用一種包括位于一用于在X、Y和Z方向(在此假定對應于(半)成品板狀件的縱向、橫向和厚度方向)上更為有力地保持一(半)成品板狀件的主體底部處的固定支架的結構，而并非使用上述實施例中的利用主體和蓋件的側壁固定(半)成品板狀件的結構。圖5是本發(fā)明的一包括設置在一主體AA的底部處的所述固定支架的容器的主體AA的示意性透視圖，而圖6是圖5中的部位B的放大圖。
參照圖5和圖6，主體AA包括一樹脂制側壁52，它具有一利用鋁質(zhì)框架51加強的下部和一設置有一用于接納一O形環(huán)的凹槽52a的頂部。在一由側壁52環(huán)繞并且由兩個利用一沿底板53的中央部延伸的加強金屬帶件5連接的樹脂板狀件組成的底板53上，沿三個邊靠近側壁的位置處分別設置有固定支架(工作鎖具(work lock))54a、54b和54c，并且在靠近剩余一個邊的兩個位置處并且沿側壁中的兩個側壁設置有一對(半)成品板狀件引導支承件(角部工作引導件)55a。此外，在沿靠近設置有固定支架54b的邊的兩個相同側壁的兩個位置處，設置有一對(半)成品板狀件引導支承件(工作引導件)55b，并且在底板53上的靠近固定支架54a、54b和54c的位置處，設置有用于(半)成品板狀件的下部支承件55c。支承件55a、55b和55c均由一種樹脂制成，并且設置有一朝向底板53的中央部向下傾斜約5度的斜坡部。
固定支架(工作鎖具)54a、54b和54c均能夠沿垂直方向(和沿水平方向)向一(暫時)置于支承件55a、55b和55c上的(半)成品板狀件(未示出)施加擠壓力，以牢固地保持所述(半)成品板狀件，使其無法在X、Y和Z方向中的任何一個方向上移動，在圖7中示出一固定支架54b(處于直立固定狀態(tài))的總體透視圖。此外，在圖8和圖9中分別示出處于直立狀態(tài)和處于翻轉打開狀態(tài)的固定支架54b的左側視圖，其中固定支架54b的可移動部542帶有一夾具564(處于下拉位置)。
參照圖7至圖9，固定支架(工作鎖具)54b包括一對固定于底板53的固定支腿541和一由固定支腿541軸向地和樞轉地支承的可移動部542?？梢苿硬?42包括一對固定于固定支腿541的可移動支腿543，一固附于成對的可移動支腿543的上部位置之間的水平主體或桿544，用于將可移動部542固定到支腿541上的肘節(jié)夾具546，水平穿過并且連接到水平主體544的水平施壓部件547，以及穿過并且連接到一支承板548的垂直施壓部件549，所述支承板548進而被連接到水平主體544上。
各水平施壓部件547包括一用于沿水平方向進行螺旋運動的捏手547a，一用于向(半)成品板狀件的水平端部施壓的前端部547b以及一將它們連接的中間部547c。中間部547c包括一靠近捏手547a設置的帶螺紋部(未示出)和一靠近前端部547c設置并且在其內(nèi)部配備有一彈簧(未示出)的管狀部。各垂直施壓部件549包括一捏手549a，一用于向(半)成品板狀件的一邊緣處的一上表面施壓的下端部549b以及一帶螺紋中間部549c。
通過將肘節(jié)夾具546從圖7中示出的一直立位置下拉到圖9中示出的一下拉位置，固定支架54b可從其圖7中示出的直立位置樞轉地移動至其圖9中示出的翻轉和打開(或者釋放)狀態(tài)，以便將可移動部542從其固定狀態(tài)釋放。
固定支架54a類似于固定支架54b，只是由于其長度較短，所以水平施壓部件547的數(shù)目從2減少至1，而垂直施壓部件549的數(shù)目從4減少至2。此外，固定支架54c類似于固定支架54a，只是進一步省略了水平施壓部件547。
下面說明固定支架54a、54b和54c的工作情況。參照圖5，在將一(半)成品板狀件固定到主體AA之前，固定支架54a-54c均處于如圖9中示出的翻轉和打開狀態(tài)，隨后一(半)成品板狀件被以一水平狀態(tài)或者優(yōu)選一其引導支承件55a側處于一較低位置的傾斜狀態(tài)放置于引導支承件55a、55b和支承件55c上，以便有利于由一個或者少量的操作人員進行操作以及有利于減小操作空間。
在這種狀態(tài)下，(半)成品板狀件B和固定支架54b被放置成如圖10中示出的位置關系中(與固定支架54a的位置關系與上述涉及的側視圖相同，而與固定支架54c的位置關系也相同，除了缺少水平施壓部件547)。圖10A示出的狀態(tài)對應于圖4示出的用于前一實施例的狀態(tài)(圖4示出一種固定狀態(tài)而圖10A涉及一種在固定操作之前的狀態(tài))。順便提一下，為了便于進行圖示，所述部件的橫向設置與圖5所示相反。
然后，如圖10B所示，垂直施壓部件549通過其捏手549a的螺旋運動而向下移動，以向其下端部549b施壓而使其靠在(半)成品板狀件B的一邊緣處的一上表面上，并且如圖10c所示，水平施壓部件547通過其捏手547a的螺旋運動而向右移動，以向其前端部547b施壓而使其靠在(半)成品板狀件B的一左端部(如圖所示)上。在這種狀態(tài)下，(半)成品板狀件B在圖5中的Y和Z方向上由固定支架54b牢固地保持。此外，夾具546被翻轉成如圖7中示出的直立狀態(tài)，以將可移動部542固定到固定支腿541上，由此固定(半)成品板狀件B的上述牢固保持狀態(tài)。順便提一下，通過直立轉動肘節(jié)夾具546對可移動部542進行固定還可以在圖10B和圖10C中示出的垂直和水平固定操作之前進行。此外，可容易理解，垂直施壓部件549至水平施壓部件547的上述操作順序可以顛倒成水平施壓部件547至垂直施壓部件549的順序，或者兩個施壓部件可以同步工作。
然后，固定支架54a和54c以類似方式進行工作，以在X和Z方向(圖5中)上將(半)成品板狀件B固定，由此在所有X、Y、Z方向上將(半)成品板狀件B牢固地保持在主體AA上。
然后，一O形環(huán)被置于主體AA的O形環(huán)接納凹槽52a中，并且利用一蓋件將容納有(半)成品板狀件B的主體AA覆蓋，其中所述蓋件具有一基本類似于主體AA的結構，該結構包括一相同平面形狀，只是其不包括固定支架54a-54c或者支承件55a-55c，并且略微較窄(即具有一較小的側壁高度)。然后，例如通過利用例如如圖4示出的扣鎖將主體與蓋件相互連接在一起，由此形成本發(fā)明的以一可運輸狀態(tài)牢固地容納一(半)成品板狀件的氣密容器。
當然，利用參照圖5至10說明的固定支架的容器的實施例還可以多種方式進行改型。例如，針對固定支架54(54a-54c)而言，垂直施壓部件549的下端部549b被解釋成具有一球形形狀，以便在前一實施例中直接壓在(半)成品板狀件B的上表面上，但是所述垂直施壓部件的下端部的形狀還可改變成任何能與一傾斜板狀件549d組合的形狀，如對應于圖10A和圖10B的圖11A和圖11B中所示，以便不僅沿一向下方向向(半)成品板狀件B施加一擠壓力，而且沿一朝向中心的方向向(半)成品板狀件B施加一擠壓力。此外，水平施壓部件的前端部547b和垂直施壓部件的下端部549b可以呈任何形狀，例如球形表面、平整表面或者傾斜表面。
此外，圖5中的實施例使用了三種類型的固定支架54a、54b和54c，并且為了在X、Y、Z方向上有力地固定一(半)成品板狀件，這樣是優(yōu)選的，以便容許所述氣密容器沿任意方向發(fā)生轉動，以便以一種直立狀態(tài)對其進行運輸。如果所述轉動方向僅被固定在Y方向上，則可單獨使用固定支架54b，省略固定支架54a和54c。當然，也可以根據(jù)需要增加所述固定支架的數(shù)目，以便更為有力地固定和保持所述(半)成品板狀件。
(其它改型)在上述實施例中的任何一個實施例中，均能夠使得主體和蓋件中的至少一個配備有至少一個優(yōu)選總共兩個或者更多個用于置換容器內(nèi)部的氣體的噴嘴。這種用于置換容器內(nèi)部的氣體的噴嘴例如適合用于置換一(半)成品板狀件例如一應避免潮濕及雜質(zhì)附著的EL(電子發(fā)光器)相關板狀制品用容器的內(nèi)部大氣。
如上所述，根據(jù)本發(fā)明，在此提供了一種較輕并且總體上由樹脂制成的容器，它能夠安全地并且以一種氣密方式容納、支承和運輸一大尺寸精密板狀(半)成品例如一光掩膜，而不會向其施加一不適當應力，其中所述精密板狀(半)成品的大平面尺寸使得用于其的容器的一個半部分極難進行一體式樹脂成型。
權利要求
1.一種大尺寸精密板狀(半)成品用氣密容器，它包括基本相互對稱并且分別具有要相互貼靠的密封周緣的一主體和一蓋件，其中所述主體和所述蓋件中的每一個包括設置在一平面中的多個樹脂板狀件，所述樹脂板狀件在它們之間的一中間接合邊界處相互貼靠并且在所述接合邊界處相互連接，并且一加強金屬帶件從外部沿所述接合邊界設置且氣密性地栓接在所述樹脂板狀件上。
2.根據(jù)權利要求1所述的容器，其特征在于，所述多個樹脂板狀件中的每一個包括一抗靜電樹脂。
3.根據(jù)權利要求1所述的容器，其特征在于，所述主體和所述蓋件均設置有一對用于保持所述精密板狀(半)成品的保持件。
4.根據(jù)權利要求3所述的容器，其特征在于，所述主體和所述蓋件的每個密封周緣包括一側壁和一用于在其上支承用于保持所述精密板狀(半)成品的所述保持件的支承件，所述側壁和所述支承件均由一組粘結到所述多個樹脂板狀件上的樹脂板狀件組成。
5.根據(jù)權利要求3所述的容器，其特征在于，分別設置在所述主體和所述蓋件上的所述保持件對中的一個保持件包括一斜坡部和一其高度小于所述精密板狀(半)成品的厚度的貼靠側壁，并且所述保持件對中的另一個保持件具有一比所述一個保持件的所述斜坡部長的斜坡部。
6.根據(jù)權利要求1所述的容器，其特征在于，所述主體在其底部處設置有一用于在相互垂直的X、Y和Z方向即所述精密板狀(半)成品的縱向、橫向和厚度方向上固定和支承所述精密板狀(半)成品的固定和支承結構。
7.根據(jù)權利要求6所述的容器，其特征在于，所述固定和支承結構包括用于支承置于其上的所述精密板狀(半)成品的至少一對支承件和一用于至少在所述精密板狀(半)成品的厚度方向上向置于所述支承件上的所述精密板狀(半)成品的一邊緣部施加一擠壓力的固定支架。
8.根據(jù)權利要求7所述的容器，其特征在于，所述精密板狀(半)成品和所述主體均呈矩形形狀，沿所述矩形的至少一邊設置有所述支承件對和所述固定支架。
9.根據(jù)權利要求7所述的容器，其特征在于，所述至少一對支承件和所述固定支架包括除了沿所述精密板狀(半)成品的厚度方向的所述擠壓力之外還能夠向所述精密板狀(半)成品的所述邊緣部施加一作用在所述精密板狀(半)成品的一側端部上的一擠壓力的至少一個固定支架。
10.根據(jù)權利要求9所述的容器，其特征在于，它包括除了沿所述精密板狀(半)成品的厚度方向的所述擠壓力之外還能夠向所述精密板狀(半)成品的所述邊緣部施加一作用在所述精密板狀(半)成品的所述側端部上的一擠壓力并且沿所述矩形的一個邊設置的一固定支架，和設置在一靠近與所述一個邊相對的一邊的位置處以便以接納施加給所述精密板狀(半)成品的所述側端部上的擠壓力的方式支承所述精密板狀(半)成品的一引導支承件。
11.根據(jù)權利要求7所述的容器，其特征在于，所述至少一個固定支架中的每一個固定支架包括一固定到所述主體的一底部上的支腿和一由所述支腿樞轉地支承的可移動部，以便容許所述可移動部在一直立位置與一翻轉和打開位置之間的樞轉運動，所述直立位置用于通過在至少厚度方向上施加給置于所述支承件上的所述精密板狀(半)成品的所述邊緣部的一擠壓力而牢固地保持所述精密板狀(半)成品，所述翻轉和打開位置用于容許將所述精密板狀(半)成品置于所述支承件上。
12.根據(jù)權利要求1或6所述的容器，其特征在于，一氣密封用O形環(huán)被設置在所述主體和所述蓋件的所述密封周緣之間。
13.根據(jù)權利要求1或6所述的容器，其特征在于，在與所述加強金屬帶件相對的一邊上，一背襯樹脂板狀件被沿所述多個樹脂板狀件之間的所述接合邊界設置并且被粘結在所述多個樹脂板狀件上，由此形成一氣密栓接連接結構。
14.根據(jù)權利要求1或6所述的容器，其特征在于，所述樹脂板狀件是通過利用一形成所述樹脂板狀件的溶劑局部溶解所述樹脂板狀件并使所述樹脂板狀件的局部溶解部相互貼靠的溶解粘結而相互粘結的。
全文摘要
本發(fā)明涉及一種大尺寸精密板狀(半)成品用氣密容器。所述容器較輕并且總體上由樹脂制成，它能夠安全地并且以一種氣密方式容納、支承和運輸一精密板狀(半)成品例如一光掩膜，而不會向其施加一不適當應力，其中所述精密板狀(半)成品的大平面尺寸使得用于其的容器的一個半部分極難進行一體式樹脂成型。所述容器包括基本相互對稱并且分別具有要相互貼靠的密封周緣的一主體和一蓋件。所述主體和所述蓋件中的每一個包括設置在一平面中的多個樹脂板狀件，所述樹脂板狀件在它們之間的一中間接合邊界處相互貼靠并且在所述接合邊界處相互連接。一加強金屬帶件從外部沿所述接合邊界設置且氣密性地栓接在所述樹脂板狀件上。
文檔編號B65D85/86GK1618713SQ20041009047
公開日2005年5月25日 申請日期2004年11月18日 優(yōu)先權日2003年11月18日
發(fā)明者福井干夫, 新井至郎, 阿部貴之 申請人:網(wǎng)塑有限公司, 吳羽化學工業(yè)株式會社