專(zhuān)利名稱(chēng)：浮起搬送裝置的制作方法
技術(shù)領(lǐng)域：
本發(fā)明涉及一種由空氣使液晶襯底等搬送物浮起而進(jìn)行搬送的裝置。
背景技術(shù)：
隨著液晶玻璃襯底等的大型化，以前的以箱為單位的搬送難以辦到。譬如、當(dāng)襯底尺寸做成2m×2m時(shí)，對(duì)襯底進(jìn)行處理的箱子或機(jī)械手的手也要變成2m×2m左右的尺寸，這就使搬送設(shè)備巨大化。
作為不用箱子的搬送裝置，考慮到利用空氣的浮起搬送裝置。在這種浮起搬送裝置中，用壓縮機(jī)產(chǎn)生高壓空氣并積蓄在槽缸中，從多個(gè)噴嘴向搬送物的底面噴出，使物體浮起。但是，在浮起搬送中的空氣消耗量較大，需要從大壓縮機(jī)將高壓空氣供給槽缸，并設(shè)置多個(gè)配管，將空氣供給噴嘴。而且從壓縮機(jī)或噴嘴噴出高壓空氣時(shí)也會(huì)有顯著的噪聲。

發(fā)明內(nèi)容
本發(fā)明的基本課題是提供一種無(wú)需設(shè)置實(shí)現(xiàn)浮起搬送用的壓縮機(jī)、配管和空氣槽缸等的結(jié)構(gòu)簡(jiǎn)便的浮起搬送裝置。本發(fā)明2的追加課題是提供一種能使搬送物進(jìn)行筆直行進(jìn)以外的種種動(dòng)作的浮起搬送裝置。本發(fā)明3、4的追加課題是提供一種抑制搬送物左右偏移、方向失常，能容易地進(jìn)行搬送的浮起搬送裝置。本發(fā)明的搬送裝置，是通過(guò)有組織地配置多個(gè)向上方送入空氣的風(fēng)扇或鼓風(fēng)機(jī)而構(gòu)成搬送物的搬送通路，并且通過(guò)來(lái)自上述風(fēng)扇或鼓風(fēng)機(jī)的空氣流使搬送物浮起的。
最好，在上述風(fēng)扇或鼓風(fēng)機(jī)的空氣噴出口側(cè)，設(shè)置用于調(diào)整送風(fēng)方向的放氣窗而作為組件，使送風(fēng)方向不同的多個(gè)組件被組合地配置，通過(guò)對(duì)錐搬送物的位置對(duì)上述各個(gè)組件進(jìn)行控制，來(lái)使搬送方向自由地轉(zhuǎn)換。
而且最好，在搬送通路的中央部設(shè)置沿著搬送方向而送風(fēng)的推進(jìn)用的風(fēng)扇或鼓風(fēng)機(jī)，而且在其左右方向的兩側(cè)設(shè)置向上方送風(fēng)的浮起用風(fēng)扇或鼓風(fēng)機(jī)，且在上述浮起用風(fēng)扇或鼓風(fēng)機(jī)的左右方向的兩個(gè)外側(cè)設(shè)置向搬送通路的中央側(cè)送風(fēng)的對(duì)中心用風(fēng)扇或鼓風(fēng)機(jī)。
由于本發(fā)明是通過(guò)來(lái)自風(fēng)扇或鼓風(fēng)機(jī)的送風(fēng)進(jìn)行浮起搬送的，因而就不需要壓縮機(jī)或槽缸、和連接槽缸和噴嘴的配管，能使浮起搬送裝置的設(shè)備顯著地簡(jiǎn)單。還能消除來(lái)自壓縮機(jī)或噴嘴的噪音，并且由于不需要配管，因而能容易地進(jìn)行設(shè)備的增設(shè)或配置的變更等。而且浮起搬送所需的空氣流能通過(guò)風(fēng)扇或鼓風(fēng)機(jī)在其處產(chǎn)生。由于不需要高壓空氣，因而能顯著地降低運(yùn)轉(zhuǎn)成本。
在本發(fā)明2中，能準(zhǔn)備各種由放氣窗方向的變更而構(gòu)成的浮起用、推進(jìn)用和方向轉(zhuǎn)換用等組件，使這些組件適當(dāng)?shù)亟M合、根據(jù)搬送物的位置進(jìn)行控制，由此能轉(zhuǎn)換搬送方向。
在本發(fā)明3、4中，當(dāng)搬送物左右偏移、方向失常時(shí)，能通過(guò)來(lái)自外側(cè)的對(duì)中心用的風(fēng)扇或鼓風(fēng)機(jī)的送風(fēng)對(duì)搬送物的位置或方向進(jìn)行修正。而且由于推進(jìn)用的風(fēng)扇或鼓風(fēng)機(jī)處于搬送通路的左右方向(幅度方向)的中央，因而從推進(jìn)用的風(fēng)扇或鼓風(fēng)機(jī)、使改變搬送物的方向、左右偏移的力矩難起作用。


圖1表示本實(shí)施例的浮起搬送裝置中的浮起用組件和推進(jìn)用組件的示意圖。
圖2模式地表示使放氣窗方向可變的組件的剖面圖。
圖3表示向本實(shí)施例中的搬送通路的左右方向配置組件的示意圖。
圖4表示本實(shí)施例中的搬送物的姿態(tài)矯正機(jī)構(gòu)示意圖。
圖5表示本實(shí)施例的浮起搬送裝置的配置的示意圖。
具體實(shí)施例方式
下面，對(duì)實(shí)施本發(fā)明的最佳實(shí)施例進(jìn)行說(shuō)明。
圖1～圖5表示使用風(fēng)扇或鼓風(fēng)機(jī)的最佳實(shí)施例。圖1表示浮起用組件2和推進(jìn)用組件4的例子，在任意一個(gè)組件內(nèi)部都設(shè)有風(fēng)扇(フアン)10，在其框體6、7的上部形成噴出口8、9。在浮起用組件2的情況下，空氣噴出的方向譬如是正上方。而且在推進(jìn)用組件4的情況下，空氣噴出的方向是斜上方，為此，安裝著放氣窗12、13。
組件2、4上都設(shè)有風(fēng)扇10，除了對(duì)由放氣窗12、13的噴出方向進(jìn)行調(diào)整以外，能使來(lái)自風(fēng)扇10的送風(fēng)直接到達(dá)噴出口8、9，在框體6、7和風(fēng)扇10之間、送風(fēng)通路沒(méi)有彎曲(折彎)。其結(jié)果是來(lái)自風(fēng)扇10的出口的壓力損失，除了由放氣窗12、13形成的以外幾乎沒(méi)有。而風(fēng)扇10是譬如每個(gè)組件2、4上各設(shè)置1個(gè)，風(fēng)量是能獨(dú)立地控制的。而且由于進(jìn)行送風(fēng)的空氣是由風(fēng)扇10將組件2、4下側(cè)的空氣向上側(cè)送出，因而不需要配管或壓縮機(jī)，也不需要高壓空氣的槽缸、噴嘴等設(shè)備。
這里的風(fēng)扇10是軸流式風(fēng)扇，經(jīng)風(fēng)壓換算、其輸出是0.1大氣壓以下(10Kpa以下)，可以用風(fēng)壓是0.2大氣壓以下的鼓風(fēng)機(jī)等替代風(fēng)扇，而最好是使用價(jià)格便宜、運(yùn)轉(zhuǎn)所需要的能量較小的風(fēng)扇。組件2、4表面尺寸譬如是做成1邊為5cm×5cm～20cm×20cm左右，在本實(shí)施例中、表面是10cm見(jiàn)方的大致正方形狀；，高度是設(shè)置放氣窗12、13所需要的高度+風(fēng)扇10的厚度。作為搬送物的液晶襯底用玻璃，譬如是1邊為1～2m左右的長(zhǎng)方形狀，質(zhì)量是10Kg左右，沿著搬送通路的左右方向(在水平面內(nèi)與搬送方向成直角的方向)，排列著5～40個(gè)左右的組件2、4，這些組件中，有推進(jìn)用、浮起用、對(duì)中心用等種類(lèi)，通過(guò)根據(jù)襯底的位置對(duì)組件中的風(fēng)扇的接通/斷開(kāi)或風(fēng)量進(jìn)行控制，就能極細(xì)致地控制搬送物的姿態(tài)或速度等。
圖2表示變形例中的風(fēng)扇組件20時(shí)，22是可動(dòng)放氣窗，可以由圖中沒(méi)有表示的執(zhí)行元件改變其方向，隨著這改變作為向正上方送風(fēng)的浮起用組件使其動(dòng)作，也可以作為向斜前方或向斜后方等送風(fēng)的推進(jìn)用或停止用的組件等使其動(dòng)作。
組件2、4等是沿著搬送方向成直線(xiàn)狀排列的，但在與搬送方向成直角的方向上，譬如相互不同地配置，作為整體配置成鋸齒狀。另外可以將組件2、4作為整體而配置成格子狀，通過(guò)將浮起組件2和推進(jìn)用組件4相互不同地配置，也能以各個(gè)組件2、4為單位配置成鋸齒狀。而且，與搬送方向平行的組件的列與列之間的間隙構(gòu)成導(dǎo)引件通路15，在由圖中沒(méi)有表示的導(dǎo)引件等對(duì)襯底進(jìn)行導(dǎo)引的情況下，使導(dǎo)引件沿著導(dǎo)引通路15移動(dòng)。而且間隙16是用于能容易地進(jìn)行組件2、4的設(shè)置或維護(hù)等的間隙，可以不特別地設(shè)置。導(dǎo)引件通路15或間隙16的底面可以是密封的，使組件2、4噴出的空氣不會(huì)泄漏。另外導(dǎo)引件通路15或間隙16的底面也可以是不密封的，將組件2、4噴出的空氣中從該部分回收、返回到圖中沒(méi)有表示的風(fēng)扇組件上而再供給，使浮起用的空氣進(jìn)行循環(huán)而不泄漏到外部。
圖3表示搬送通路30的左右方向上組件的配置。譬如在搬送通路30的中央設(shè)置高速推進(jìn)組件32，在其兩側(cè)設(shè)置低速推進(jìn)組件33、33。這里，推進(jìn)組件32、33合計(jì)成3列，但也可以成1列或5列。而且在設(shè)置3列以上的情況下，例如可在中央部設(shè)置1～3列左右的高速推進(jìn)組件32，在其兩側(cè)分別設(shè)置1～3列左右的低速推進(jìn)組件33。在低速推進(jìn)組件33的兩個(gè)外側(cè)分別設(shè)置多列浮起用組件34，向正上方噴出空氣使搬送物浮起，在其兩個(gè)外側(cè)設(shè)置對(duì)中心組件36、36，使空氣向搬送通路30內(nèi)側(cè)的斜上方噴出。另外可以在高速推進(jìn)用組件32的列和低速推進(jìn)用組件33的列之間配置浮起用組件34的列，也可以使浮起用組件34混在高速推進(jìn)組件32的列中或低速推進(jìn)組件33的列中。而且、對(duì)中心組件36、36設(shè)置成經(jīng)常比搬送物40更處于左右方向的外側(cè)。38是導(dǎo)引件、在搬送通路30側(cè)的表面上配置緩沖構(gòu)件等構(gòu)件，因此可以防止搬送物從搬送通路30突出。當(dāng)取代板狀導(dǎo)引件38而設(shè)置棒狀導(dǎo)引件39等，并在其表面卷繞上緩沖構(gòu)件時(shí)，就能解除由于搬送物的棱角與沒(méi)有間隙的導(dǎo)引件38碰上而發(fā)生的損傷等問(wèn)題。
圖4表示搬送物40的左右方向的位置或方向的矯正機(jī)構(gòu)。另外將正確地保持左右方向的位置、且正確地保持搬送物的方向稱(chēng)為對(duì)中心。搬送物40處于圖4中的實(shí)線(xiàn)所示的狀態(tài)是正常狀態(tài)，譬如由此開(kāi)始發(fā)生方向變化而變成虛線(xiàn)所示的狀態(tài)。這時(shí)，搬送物40的右側(cè)受到來(lái)自對(duì)中心組件的向搬送通路內(nèi)側(cè)的送風(fēng)，由此形成的力矩就能對(duì)姿態(tài)的變化進(jìn)行矯正。當(dāng)搬送物40在左右方向上發(fā)生位置偏移的情況下，同樣可由對(duì)中心組件矯正位置偏移。
譬如將推進(jìn)組件如圖3所示地設(shè)置成3列，在其中央設(shè)置高速推進(jìn)組件32。這里，用多列推進(jìn)組件，當(dāng)來(lái)自各列的推進(jìn)力不平衡時(shí)，就成為使搬送物40回轉(zhuǎn)的原因。這里，當(dāng)在搬送通路30的中央部配置高速推進(jìn)組件32、兩側(cè)配置低速推進(jìn)組件33、33時(shí)，由于中央的高速推進(jìn)組件32很難成為使搬送物40的姿態(tài)發(fā)生變化的原因，因而就能防止由推進(jìn)組件形成的搬送物40的姿態(tài)變化。另外在左右的低速推進(jìn)組件33、33之間發(fā)生推進(jìn)力不均勻的情況下，雖然也會(huì)成為使搬送物40的姿態(tài)發(fā)生變化的原因，但由于它們是低速的，因而其影響比較小。
圖5表示浮起搬送裝置的配置。其中，搬送物由搬送組件41將其從圖的下方搬送到上方，然后由搬送組件42將其搬送方向改變90°，并由搬送組件43從左向右地搬送，接著由搬送組件44再次改變方向，而后向搬送組件45送出。46a～46c是推進(jìn)部，如上所述在高速推進(jìn)組件的兩側(cè)配置著低速推進(jìn)組件，47是對(duì)中心部，排列著上述的對(duì)中心組件。48是停止部，用于將搬送物一度停止在搬送組件42或搬送組件44上。而且在各個(gè)搬送組件的適當(dāng)位置上配置著搬送物傳感器49等，用于檢測(cè)搬送物的位置，并將檢測(cè)信號(hào)輸入到控制部50，根據(jù)搬送物的位置，改變各個(gè)組件的風(fēng)扇的風(fēng)量，或者由風(fēng)扇的接通/切斷而進(jìn)行浮起搬送。在搬送物傳感器49中，利用那種譬如由玻璃襯底的有無(wú)而使電容率不同的結(jié)構(gòu)，也可以使用那種檢測(cè)由玻璃襯底引起的超聲波反射的傳感器等。雖然各個(gè)組件的風(fēng)扇可以對(duì)每個(gè)組件進(jìn)行獨(dú)立的控制，但也可以不必對(duì)全部的組件分別地進(jìn)行控制，例如將搬送方向大致相同的位置上左右排列的浮起組件作為1組，在相同時(shí)間進(jìn)行接通/切斷的控制。
進(jìn)而，雖然本實(shí)施例是將搬送路線(xiàn)形成U字狀，但可以在圖5上將搬送物向搬送組件42的上方送出，將搬送物向搬送組件44的右側(cè)送出，以此來(lái)分路搬送方向。這種情況下，譬如在搬送組件42處，使推進(jìn)部46b不動(dòng)作，只使推進(jìn)部46a動(dòng)作，就可以向搬送組件42的上方分路。而且由推進(jìn)部46a、使搬送物前進(jìn)到停止部48的附近之后，使推進(jìn)部46a停止，由來(lái)自停止部48的朝圖5下方的送風(fēng)將搬送物制動(dòng)，接著、當(dāng)使推進(jìn)部46b動(dòng)作時(shí)、就能使搬送方向變化90°。在將推進(jìn)用組件的送風(fēng)方向配置成圓弧狀等情況下，也能使搬送物回轉(zhuǎn)，用放氣窗調(diào)整風(fēng)扇的送風(fēng)方向，通過(guò)配置多種送風(fēng)方向不同的組件，就能用各種路徑對(duì)搬送物進(jìn)行搬送。
52是過(guò)濾器組件，使用凈化車(chē)間用的過(guò)濾器組件等將清凈空氣供給多個(gè)浮起用組件或推進(jìn)用組件以及對(duì)中心組件等，防止浮起搬送時(shí)搬送物的污染。另外可以不設(shè)置過(guò)濾器組件52。
權(quán)利要求
1.浮起搬送裝置，其特征在于，通過(guò)有組織地配置多個(gè)向上方送入空氣的風(fēng)扇或鼓風(fēng)機(jī)而構(gòu)成搬送物的搬送通路，并且通過(guò)來(lái)自上述風(fēng)扇或鼓風(fēng)機(jī)的空氣流使搬送物浮起。
2.如權(quán)利要求1所述的浮起搬送裝置，其特征在于，在上述風(fēng)扇或鼓風(fēng)機(jī)的空氣噴出口側(cè)，設(shè)置用于調(diào)整送風(fēng)方向的放氣窗而作為組件，使送風(fēng)方向不同的多個(gè)組件被組合地配置，通過(guò)對(duì)準(zhǔn)搬送物的位置對(duì)上述各個(gè)組件進(jìn)行控制，來(lái)使搬送方向自如地轉(zhuǎn)換。
3.如權(quán)利要求1所述的浮起搬送裝置，其特征在于，在搬送通路的中央部設(shè)置沿著搬送方向而送風(fēng)的推進(jìn)用的風(fēng)扇或鼓風(fēng)機(jī)，而且在其左右方向的兩側(cè)設(shè)置向上方送風(fēng)的浮起用風(fēng)扇或鼓風(fēng)機(jī)，且在上述浮起用風(fēng)扇或鼓風(fēng)機(jī)的左右方向的兩個(gè)外側(cè)設(shè)置向搬送通路的中央側(cè)送風(fēng)的對(duì)中心用風(fēng)扇或鼓風(fēng)機(jī)。
4.如權(quán)利要求2所述的浮起搬送裝置，其特征在于，在搬送通路的中央部設(shè)置沿著搬送方向而送風(fēng)的推進(jìn)用的風(fēng)扇或鼓風(fēng)機(jī)，而且在其左右方向的兩側(cè)設(shè)置向上方送風(fēng)的浮起用風(fēng)扇或鼓風(fēng)機(jī)，且在上述浮起用風(fēng)扇或鼓風(fēng)機(jī)的左右方向的兩個(gè)外側(cè)設(shè)置向搬送通路的中央側(cè)送風(fēng)的對(duì)中心用風(fēng)扇或鼓風(fēng)機(jī)。
全文摘要
本發(fā)明提供一種浮起搬送裝置，其是將多個(gè)風(fēng)扇有組織地排列而構(gòu)成搬送通路，由風(fēng)扇向上方送入空氣而使搬送物浮起。因此不需要壓縮機(jī)、槽缸和配管等，能使浮起搬送裝置的設(shè)備顯著地簡(jiǎn)單。
文檔編號(hào)B65G47/91GK1590254SQ20041006449
公開(kāi)日2005年3月9日 申請(qǐng)日期2004年8月27日 優(yōu)先權(quán)日2003年8月28日
發(fā)明者田原良佑, 皆川和人 申請(qǐng)人:村田機(jī)械株式會(huì)社