一種化學(xué)拋光組合物的制作方法
【專利摘要】本發(fā)明公開了一種化學(xué)拋光組合物，其特征在于，包括下列重量份數(shù)的物質(zhì)：過磷酸鈣11-16份，硫酸鉀9-16份，硝酸鈣3-5份，乙二醇丁醚19-26份，偶聯(lián)劑,15-23份，二甲基苯胺11-15份，表面活性劑6-15份，甲基三乙氧基硅烷2-3份，調(diào)節(jié)劑6-8份，碳酸鈣3-6份，苯甲酸甲酯15-23份，三乙醇胺1-3份，三乙胺10-19份，酒石酸5-10份，納米銀0.5份。本發(fā)明的有益效果是：制備簡單，拋光效果明顯，性能穩(wěn)定。
【專利說明】一種化學(xué)拋光組合物

【技術(shù)領(lǐng)域】
[0001 ] 本發(fā)明涉及一種化學(xué)拋光組合物。

【背景技術(shù)】
[0002]對增加內(nèi)存或硬盤容量的需求以及內(nèi)存或硬盤小型化的趨勢(因?yàn)橛嬎銠C(jī)設(shè)備中需要更小磁盤驅(qū)動器)持續(xù)不斷，強(qiáng)調(diào)內(nèi)存或硬盤片制造方法的重要性，包括這類盤片的平坦化或拋光，以確保性能最佳。盡管存在幾種用于與半導(dǎo)體裝置制造相關(guān)的化學(xué)機(jī)械拋光(CMP)組合物及方法，但是幾乎沒有常規(guī)的CMP方法或商購的CMP組合物非常適于內(nèi)存或硬盤片的平坦化或拋光。


【發(fā)明內(nèi)容】

[0003]本發(fā)明所要解決的技術(shù)問題是提供一種化學(xué)拋光組合物。
[0004]為解決上述技術(shù)問題，本發(fā)明采用的技術(shù)方案是:
一種化學(xué)拋光組合物，其特征在于，包括下列重量份數(shù)的物質(zhì):過磷酸鈣11-16份，硫酸鉀9-16份，硝酸鈣3-5份，乙二醇丁醚19-26份，偶聯(lián)劑，15-23份，二甲基苯胺11-15份，表面活性劑6-15份，甲基三乙氧基硅烷2-3份，調(diào)節(jié)劑6-8份，碳酸鈣3-6份，苯甲酸甲酯15-23份,二乙醇胺1-3份，，二乙胺10-19份,酒石酸5-10份,納米銀0.5份。
[0005]本發(fā)明的有益效果是:制備簡單，拋光效果明顯，性能穩(wěn)定。

【具體實(shí)施方式】
[0006]實(shí)施例1
一種化學(xué)拋光組合物，其特征在于，包括下列重量份數(shù)的物質(zhì):過磷酸鈣11-16份，硫酸鉀9-16份，硝酸鈣3-5份，乙二醇丁醚19-26份，偶聯(lián)劑，15-23份，二甲基苯胺11-15份，表面活性劑6-15份，甲基三乙氧基硅烷2-3份，調(diào)節(jié)劑6-8份，碳酸鈣3-6份，苯甲酸甲酯
15-23份,二乙醇胺1-3份，，二乙胺10-19份,酒石酸5-10份,納米銀0.5份。
【權(quán)利要求】
1.一種化學(xué)拋光組合物，其特征在于，包括下列重量份數(shù)的物質(zhì):過磷酸鈣11-16份，硫酸鉀9-16份，硝酸鈣3-5份，乙二醇丁醚19-26份，偶聯(lián)劑，15-23份，二甲基苯胺11-15份，表面活性劑6-15份，甲基三乙氧基硅烷2-3份，調(diào)節(jié)劑6-8份，碳酸鈣3-6份，苯甲酸甲酯15-23份,二乙醇胺1-3份，,二乙胺10-19份，酒石酸5-10份，納米銀0.5份。
【文檔編號】C09G1/02GK104059545SQ201410296827
【公開日】2014年9月24日 申請日期:2014年6月28日 優(yōu)先權(quán)日:2014年6月28日
【發(fā)明者】范向奎 申請人:青島寶泰新能源科技有限公司