專利名稱：脫模性組合物及表面保護膜的制作方法
技術領域：
本發(fā)明涉及一種脫模性組合物及使用其的表面保護膜。尤其時涉及可形成脫模性及脫模持續(xù)性優(yōu)異的涂膜的脫模性組合物，及具有含有該固化物的涂膜的表面保護膜。作為本發(fā)明的固化物的涂膜及表面保護膜，在印刷基板制作步驟等中，可在使具有粘合性的光致抗蝕劑曝光時的原稿(光掩模)的表面等上形成或貼合而使用。
背景技術：
通常印刷電路板或樹脂凸版是在液態(tài)光致抗蝕劑等的具有粘合性的光致抗蝕劑上附著光掩模并曝光而制作。因此，若光掩模的表面未實施任何處理，則在曝光結束后由光致抗蝕劑剝離光掩模時，光致抗蝕劑的一部分會附著于光掩模表面上。附著的光致抗蝕劑的一部分即使擦拭亦會殘留于光掩模上，而產(chǎn)生導致曝光精度下降的問題。就這樣的狀況而言，一直以來，在光掩模的面向光致抗蝕劑的面上形成具有脫模性的涂膜，或者貼合設有這樣的涂膜的表面保護膜，以防止光致抗蝕劑附著在光掩模上(專利文獻1、專利文獻2)?，F(xiàn)有技術文獻專利文獻專利文獻1 日本特開2000-273412號公報(段落編號0008)專利文獻2 日本特開2005-181565號公報(段落編號0005)

發(fā)明內容
發(fā)明要解決的課題具有這樣的脫模性的涂膜大多為在粘合劑樹脂中包含硅油作為脫模性成分。在這樣的涂膜中，在粘合劑樹脂與硅油的相容性不良的組合的情況下，有涂膜白化，引起曝光障礙的問題。另一方面，在粘合劑樹脂與硅油的相容性為良好的組合的情況下，雖涂膜不會白化而獲得透明性，但由于硅油埋沒于粘合劑樹脂中，故難以獲得脫模性。另外，若添加硅油直到可在涂膜表面獲得脫模性，則由于無法保持涂膜強度，或者添加大量硅油，故以洗凈溶劑清潔時，有脫模性降低的問題。因此，本發(fā)明一方面提供一種具有透明性且可在涂膜表面上形成難以附著光致抗蝕劑的涂膜的脫模性組合物，及具有含有該固化物的涂膜的表面保護膜。而另一方面提供一種可形成經(jīng)過長時間也難以附著光致抗蝕劑，且使脫模性持續(xù)的涂膜的脫模性組合物， 以及具有含有該固化物的涂膜的表面保護膜。進而，另一方面，提供一種可形成即使利用洗凈溶劑也不使脫模性降低的涂膜的脫模性組合物，以及具有含有該固化物的涂膜的表面保護膜。用于解決課題的方法本發(fā)明人等精心研究的結果，發(fā)現(xiàn)通過使對粘合劑樹脂與硅油添加金屬醇鹽的水解物而成的組合物固化形成涂膜，由此即使在硅油與粘合劑樹脂的相容性為良好的情況，仍可對涂模顯示脫模性，并完成了本發(fā)明。S卩，本發(fā)明的脫模性組合物的特征在于，包含粘合劑樹脂、硅油、及金屬醇鹽的水解物。本發(fā)明的固化物的特征在于，使上述脫模性組合物固化而獲得。本發(fā)明的表面保護膜的特征在于，具有由上述固化物構成的涂膜。本發(fā)明的光掩模的特征在于，隔著粘合層貼合上述表面保護膜。發(fā)明效果本發(fā)明的脫模性組合物可形成具有透明性且難以在涂膜表面上附著光致抗蝕劑的涂膜(固化物)。另外，可形成經(jīng)過長時間也難以附著光致抗蝕劑，且使脫模性持續(xù)的涂膜。另外，可形成即使利用洗凈溶劑也不使脫模性降低的涂膜。另外，通過使用本發(fā)明的表面保護膜，可獲得聚有透明性且難以附著光致抗蝕劑的光掩模。另外，可獲得經(jīng)過長時間也難以附著光致抗蝕劑，且使脫模性持續(xù)的光掩模。另外，可獲得即使利用洗凈溶劑也不使脫模性降低的光掩模。
具體實施例方式針對本發(fā)明的脫模性組合物的實施方式加以說明。本發(fā)明的脫模性組合物包含粘合劑樹脂、硅油、及金屬醇鹽的水解物。作為構成本發(fā)明的脫模性組合物的粘合劑樹脂，可使用聚氯乙烯、聚碳酸酯、丙烯酸樹脂、聚甲基丙烯酸丁酯、聚酯、聚砜、聚苯醚、聚丁二烯、烴樹脂、酮樹脂、苯氧樹脂、聚酰胺、乙基纖維素、乙酸乙烯酯、ABS樹脂、聚氨酯、三聚氰胺樹脂、不飽和聚酯樹脂、醇酸樹脂、 環(huán)氧樹脂、硅酮樹脂、聚乙烯醇縮丁醛、聚乙烯乙縮醛等的樹脂。尤其是，使用與反應性硅油的相容性良好的硅酮樹脂可使涂膜的透明性良好，故優(yōu)選。作為硅酮樹脂，可使用環(huán)氧基改性的硅酮樹脂、醇酸改性的硅酮樹脂、聚酯改性的硅酮樹脂、丙烯酸改性的硅酮樹脂、甲基系硅酮樹脂、甲基苯基系硅酮樹脂等。尤其時從涂膜硬度或耐溶劑性的觀點出發(fā)，優(yōu)選使用環(huán)氧基改性的硅酮樹脂。粘合劑樹脂的含有比例優(yōu)選為脫模性組合物的總固體成分中的20 60重量％。 通過設為20重量％以上，可維持固化后的涂膜強度，通過設為60重量％以下，可在達到本發(fā)明目的的程度下充分必要地含有后述其它成分。接著，硅油是為了使涂膜顯示脫模性而使用。作為這樣的硅油。可使用二甲基硅油、改性的硅油或分子末端具有至少一個反應性官能團的反應性硅油的至少任一種。通過使用這樣的反應性硅油，可易于與構成脫模性組合物的其它成分反應，其結果，可使所得涂膜的脫模性更長久地持續(xù)。作為改性硅油，可使用經(jīng)烷基改性、聚醚改性、氟改性、硫醇改性、環(huán)氧基改性、羧基改性、高級脂肪酸酯改性、(甲基)丙烯酸改性、卡必醇改性等的改性硅油。另外，作為具有反應性官能團的反應性硅油，可使用具有作為反應性官能團的烷氧基、巰基、卡必醇基、環(huán)氧基、胺基、丙烯?；?、羧基的硅油。尤其是具有烷氧基的反應性硅油，由于與后述的金屬醇鹽之間具有高的反應性，所以可在涂膜中強力固定化，經(jīng)過長時間也難以附著光致抗蝕劑，或者即使利用洗凈溶劑也不使脫模性降低，可使脫模性更持續(xù)，故優(yōu)選。
硅油的組成中，多數(shù)含有不具反應性官能團的硅油，硅油容易自涂膜上游離，難以持續(xù)脫模性。因此，硅油的組成中，優(yōu)選包含75%以上的容易與構成脫模性組合物的其它成分反應的反應性硅油。反應性硅油的添加比例為脫模性組合物總固體成分中的0. 5 5重量％，優(yōu)選為 1 2重量％。通過設為0. 5重量％以上，可顯示脫模性，通過設為5重量％以下，可防止在涂膜表面進行手指擦拭試驗(摩擦)時涂膜產(chǎn)生白化，同時可防止未固定化于涂膜的硅油轉印于光致抗蝕劑上。金屬醇鹽的水解物是用于防止硅油埋沒粘合劑樹脂中。由于可減少這樣地埋沒的硅油，故可減少涂膜中的硅油的比例。作為構成金屬醇鹽的金屬元素，可使用鋁、鋯、鈦、 硅。另外，作為醇鹽的種類，可使用甲醇鹽、乙醇鹽、丙醇鹽、異丙醇鹽、氧基異丙醇鹽、丁醇
^Tt.O作為金屬醇鹽的一例的硅醇鹽為通過熱固化形成聚硅氧烷結構的物質。作為硅醇鹽可列舉出例如四烷氧基硅烷、三烷氧基硅烷等。作為四烷氧基硅烷可列舉為四甲氧基硅烷、四乙氧基硅烷、四丙氧基硅烷、四丁氧基硅烷等。其中，優(yōu)選四甲氧基硅烷、四乙氧基硅烷。作為三烷氧基硅烷列舉為例如甲基三甲氧基硅烷、甲基三乙氧基硅烷、乙基三甲氧基硅烷、乙基三乙氧基硅烷、丙基三甲氧基硅烷、丙基三乙氧基硅烷、丁基三甲氧基硅烷、 丁基三乙氧基硅烷、戊基三甲氧基硅烷、戊基三乙氧基硅烷、庚基三甲氧基硅烷、庚基三乙氧基硅烷、辛基三甲氧基硅烷、辛基三乙氧基硅烷、十二烷基三甲氧基硅烷、十二烷基三乙氧基硅烷、十六烷基三甲氧基硅烷、十六烷基三乙氧基硅烷、十八烷基三甲氧基硅烷、十八烷基三乙氧基硅烷、苯基三甲氧基硅烷、苯基三乙氧基硅烷、Y-環(huán)氧丙氧基丙基三甲氧基硅烷、Y -環(huán)氧丙氧基丙基三乙氧基硅烷、3，4-環(huán)氧基環(huán)己基乙基三甲氧基硅烷等。尤其是從作為涂布溶液時的穩(wěn)定性或固化后的涂膜強度的觀點出發(fā)，作為硅醇鹽優(yōu)選四烷氧基硅烷，更優(yōu)選四甲氧基硅烷(硅酸甲酯)、四乙氧基硅烷(硅酸乙酯)。作為硅以外的金屬醇鹽，列舉為例如丙醇鋯、異丙醇鋁、丁醇鈦、異丙醇鈦等。以上例示的各種金屬醇鹽可分別單獨使用，或混合兩種以上使用。本發(fā)明中所用的金屬醇鹽的水解物為上述各種金屬醇鹽在水存在下經(jīng)水解而生成的化合物，但亦包含水解后縮合獲得的化合物(完全縮合物及/或部分縮合物)，作為這樣的縮合物使用利用GPC法換算聚苯乙烯的重均分子量(Mw)為例如100 1000左右的物質。水解反應可根據(jù)公知方法進行。例如將金屬醇鹽放入大量醇溶劑(例如甲醇或乙醇等)中，在水與酸催化劑(鹽酸、硝酸等)的存在下，在規(guī)定溫度反應規(guī)定時間。通過該反應使金屬醇鹽水解，接著發(fā)生縮合反應，獲得水解物及/或其縮合物。水解的程度可通過使用的水量調節(jié)。水解的程度如下求出用于使可水解的基團例如四烷氧基硅烷中的烷氧基全部水解縮合所需要的理論量，即以添加烷氧基數(shù)的1/2的水時的水解率作為100%，水解率(％ )=(實際的添加水量/水解理論水量)X 100。本實施方式中，可使用例如購自市場的金屬醇鹽的水解物。作為市售的例，可舉出硅醇鹽的水解物舉例為例如信越化學工業(yè)公司制造的“烷氧基寡聚物”系列(例如 X-40-2308、KR-400、KR-500等)，C0LC0AT公司制造的硅酸甲酯51、硅酸甲酯53A、硅酸乙酯40、硅酸乙酯48等。X-40-2308(硅醇鹽縮合物)包含四烷氧基硅烷的水解物。KR-400、 KR-500、硅酸甲酯51、硅酸甲酯53A、硅酸乙酯40、硅酸乙酯49也同樣。以上例示的金屬醇鹽的水解物可分別單獨使用，或混合兩種以上使用。通過使用金屬醇鹽的水解物，可防止硅油埋沒于粘合劑樹脂中的理由是，通過將脫模性組合物的極性調節(jié)成親水性，可使疏水性的硅油浮在涂膜表面上。相對于粘合劑樹脂100重量份，金屬醇鹽的水解物優(yōu)選含有50重量份以上，更優(yōu)選含有100重量份以上。通過設為50重量份以上，形成涂膜時，可容易使硅油浮在涂膜表面上，可獲得更充分的初期脫模性。另一方面，金屬醇鹽的水解物含量過多時，相對地使粘合劑樹脂的含量下降，其結果也有使涂膜接著性降低的可能。因此，相對于粘合劑樹脂100 重量份，金屬醇鹽的水解物含量優(yōu)選為500重量份以下，更優(yōu)選為300重量份以下。通過設為500重量份以下，可使涂膜的接著性更良好。本發(fā)明的脫模性組合物可調配以上說明的硅油、金屬醇鹽的水解物、粘合劑樹脂或視需要調配的其它成分，且溶解于適當溶劑中而調整。尤其是為了促進粘合劑樹脂的固化，也可添加固化劑作為其它成分。作為硅酮樹脂的固化劑，優(yōu)選添加鋁螯合劑或鈦螯合劑等公知的硅酮樹脂用固化劑。也可添加硅烷偶聯(lián)劑作為其它成分。接著，對于本發(fā)明的表面保護膜的實施方式加以說明。本發(fā)明的表面保護膜為具有由上述脫模性組合物形成的涂膜(固化物)。作為形成涂膜的基材，可使用聚酯、ABS(丙烯腈-丁二烯-苯乙烯)、聚苯乙烯、 聚碳酸酯、丙烯酸、聚烯烴、纖維素樹脂、聚砜、聚苯硫醚、聚醚砜、聚醚醚酮、聚酰亞胺等合成樹脂薄膜。其中優(yōu)選使用平面性優(yōu)異的物質，尤其是經(jīng)拉伸加工、雙軸拉伸加工的聚酯膜由于機械強度、尺寸穩(wěn)定性優(yōu)異，進而韌度較強，故優(yōu)選?；牡暮穸葹镮ym以上，優(yōu)選為 2 μ m以上，更優(yōu)選為4 μ m以上，作為上限為50 μ m以下，優(yōu)選為25 μ m以下，更優(yōu)選為12 μ m 以下的范圍。在這樣的基材上，根據(jù)需要在上述脫模性組合物中配合其它的成分，在適當溶劑中溶解或分散，制備涂布液，利用輥涂布法、棒涂布法、噴霧涂布法、氣刀涂布法等公知的方法將該涂布液涂布于基材上后，可通過使用適宜需要的固化方法使其固化而形成涂膜。這樣的涂膜厚度并無特別限制，但從曝光時不使光掩模的分辨率下降的觀點出發(fā)，優(yōu)選盡可能薄者，另外，從表面保護膜的表面硬度、因重復附著曝光造成涂膜脫落、初期脫模性、以及脫模性持續(xù)的觀點出發(fā)，具體來說優(yōu)選為0. 1 μ m 5 μ m，更優(yōu)選為0. 2 μ m 2. 5 μ m左右。另外，在基材的未形成涂膜的面上優(yōu)選設置粘合層。通過設置這樣的粘合層，可輕易貼合于光掩模等表面保護的對象上。作為這樣的粘合層可使用一般使用的丙烯酸系粘合劑、橡膠系粘合劑、尿烷系粘合齊 、聚硅氧系粘合劑等公知的透明粘合劑。本發(fā)明的表面保護膜由于目的為保護圖像等， 所以期望粘合劑為透明且本身具有高的耐候性。這樣的粘合劑，尿烷交聯(lián)性或環(huán)氧交聯(lián)性的高分子量丙烯酸系的粘合劑較適合。另外，也可使用具有抗靜電等性能的粘合劑。作為粘合層的厚度，以不妨礙透明性(分辨率)、獲得適度粘合性的方式，下限為0. 5 μ m以上，優(yōu)選為1 μ m以上，更優(yōu)選為2 μ m以上的范圍，上限為30 μ m以下，優(yōu)選為 15 μ m以下，更優(yōu)選為7 μ m以下的范圍。另外，粘合層為了不因其粘合性而使表面保護膜的操作性下降，也可適當?shù)剡M行貼合表面經(jīng)脫模處理的脫模薄膜。根據(jù)如上所述的本實施方式，通過隔著粘合層將本發(fā)明的表面保護膜貼合于表面保護的對象上，可容易地形成表面保護膜。另外，在保持表面保護膜的膜表面硬度的同時， 也難以附著污物。而且，由于提高光學特性，所以可提高分辨率，又由于可縮短曝光時間，所以可實現(xiàn)生產(chǎn)性的提高。另外，可對光致抗蝕劑持續(xù)極高脫模性。[實施例]以下利用實施例進一步說明本發(fā)明。另外，“份”、“％”若未特別說明則為重量基準。[實施例1]利用棒涂布法將包含下述組成的脫模性組合物的涂布液涂布于厚度6μπι的透明高分子膜(LUMIRROR =Toray公司)的一表面上，在120°C加熱固化5分鐘，形成厚度約 0. 5 μ m的涂膜。進而在另一面上涂布下述組成的粘合層用涂布液，并經(jīng)干燥，形成厚度約 4 μ m的粘合層，制作實施例1的表面保護膜。為了方便操作，在粘合層上貼合厚度25 μ m的聚對苯二甲酸乙二酯脫模薄膜(MRB 三菱化學聚酯膜公司)。<包含脫模性組合物的涂布液>·粘合劑樹脂1. 85份(ES-1002T 信越化學工業(yè)公司，固體成分60% )·末端具有烷氧基的硅油0. 05份(X-22-1968 信越化學工業(yè)公司，固體成分100% )·硅烷醇鹽縮合物2. 22份(X-40-2308 信越化學工業(yè)公司，有效成分100% )·固化劑0. 1份(鈦系螯合物，有效成分100%)·硅烷偶聯(lián)劑0. 3份(有效成分100%)·溶劑14. 46 份<粘合層用涂布液>·丙烯酸酯共聚物10份
(ARONTACK SCL-200 固體成分 40 %，東亞合成)·溶劑20份[實施例2]除將實施例1所用的包含脫模性組合物的涂布液代替成包含下述組成的脫模性組合物的涂布液以外，與實施例1同樣，制備實施例2的表面保護膜。<包含脫模性組合物的涂布液>·粘合劑樹脂1. 85份(ES-1002T 信越化學工業(yè)公司，固體成分60% )·末端具有烷氧基的硅油0. 02份(X-22-1968 信越化學工業(yè)公司，固體成分100% )·硅烷醇鹽縮合物2. 22份組合物的涂布液以外，與實施例1同樣，制備實施例3的表面保護膜t
0081] (X-40-2308 信越化學工業(yè)公司，有效成分100% )
0082]
0083]
0084]
0085]
0086]
0087]
0088]
0.1份
固化劑
(鈦系螯合物，有效成分100%) 硅烷偶聯(lián)劑 (有效成分100% ) 溶劑 [實施例3]
除將實施例1所用的包含脫模性組合物的涂布液代替成包含下述組成的脫模性
0.3份
9. 64 份
0089]
0090]
0091]
0092]
<包含脫模性組合物的涂布液> 粘合劑樹脂
1. 85 份
(ES-1002T 信越化學工業(yè)公司，固體成分60% )
末端具有烷氧基的硅油
0. 19 份
0093] (X-22-1968 信越化學工業(yè)公司，固體成分100% )
0094]
硅烷醇鹽縮合物
2. 22 份
0095] (X-40-2308 信越化學工業(yè)公司，有效成分100% )
0096]
0097]
0098]
0099]
0100] 0101] 0102]
0.1份
固化劑
(鈦系螯合物，有效成分100%) 硅烷偶聯(lián)劑 (有效成分100% ) 溶劑 [實施例4]
除將實施例1所用的包含脫模性組合物的涂布液代替成包含下述組成的脫模性
0.3份
9. 64 份
組合物的涂布液以外，與實施例1同樣，制備實施例4的表面保護膜t
0103]
0104]
0105]
0106]
<包含脫模性組合物的涂布液> 粘合劑樹脂
2. 78 份
(ES-1002T 信越化學工業(yè)公司，固體成分60% )
末端具有烷氧基的硅油
0. 05 份
0107] (X-22-1968 信越化學工業(yè)公司，固體成分100% )
0108]
硅烷醇鹽縮合物
1. 67 份
0109] (X-40-2308 信越化學工業(yè)公司，有效成分100% )
0110] 0111] 0112]
0113]
0114]
0115]
0116]
0.1份
固化劑
(鈦系螯合物，有效成分100%) 硅烷偶聯(lián)劑 (有效成分100% ) 溶劑 [實施例5]
除將實施例1所用的包含脫模性組合物的涂布液代替成包含下述組成的脫模性
0.3份
13. 6 份
組合物的涂布液以外，與實施例1同樣，制備實施例5的表面保護膜t
<包含脫模性組合物的涂布液>
粘合劑樹脂 1. 39份
(ES-1002T 信越化學工業(yè)公司，固體成分60% )
末端具有烷氧基的硅油 0. 05份
(Χ-22-1968 信越化學工業(yè)公司，固體成分100% )
硅烷醇鹽縮合物 2. 5份
(X-40-2308 信越化學工業(yè)公司，有效成分100% )
固化劑 0. 1份
(鈦系螯合物，有效成分100%)
硅烷偶聯(lián)劑 0. 3份
(有效成分100% )
溶劑 14. 15份
[實施例6]
除將實施例1所用的包含脫模性組合物的涂布液代替成包含下述組成的脫模性
組合物的涂布液以外，與實施例1同樣，制備實施例6的表面保護膜。<包含脫模性組合物的涂布液> 粘合劑樹脂0.93份(ES-1002T 信越化學工業(yè)公司，固體成分60% )·末端具有烷氧基的硅油0. 05份(X-22-1968 信越化學工業(yè)公司，固體成分100% )·硅烷醇鹽縮合物2. 78份(X-40-2308 信越化學工業(yè)公司，有效成分100% ) 固化劑0.1份(鈦系螯合物，有效成分100%) 硅烷偶聯(lián)劑0.3份(有效成分100%) 溶劑18. 9 份[實施例7]除將實施例1所用的包含脫模性組合物的涂布液代替成包含下述組成的脫模性組合物的涂布液以外，與實施例1同樣，制備實施例7的表面保護膜。<包含脫模性組合物的涂布液> 粘合劑樹脂1.70份(ES-1002T 信越化學工業(yè)公司，固體成分60% ) 末端具有卡必醇基的硅油0.06份(X-22-170DX 信越化學工業(yè)公司，固體成分100% ) 硅烷醇鹽縮合物2. 00份(X-40-2308 信越化學工業(yè)公司，有效成分100% ) 固化劑0.1份(鈦系螯合物，有效成分100%)0154] 硅烷偶聯(lián)劑0.3份
0155](有效成分100%)
0156] 溶劑13. 0 份
0157][實施例8]
0158]除將實施例1所用的包含脫模性組合物的涂布液代替成包含下述組成的脫模性組合物的涂布液以外，與實施例1同樣，制備實施例8的表面保護膜。
0159]<包含脫模性組合物的涂布液>
0160] 粘合劑樹脂1.70份
0161](ES-1002T 信越化學工業(yè)公司，固體成分60% )
0162] 末端具有環(huán)氧基的硅油0.06份
0163](X-22-163C 信越化學工業(yè)公司，固成分100% )
0164]
硅烷醇鹽縮合物2. 00份
0165](X-40-2308 信越化學工業(yè)公司，有效成分100% )
0166] 固化劑0.1份
0167](鈦系螯合物，有效成分100%)
0168] 硅烷偶聯(lián)劑0.3份
0169](有效成分100%)
0170] 溶劑13. 0 份
0171][比較例1]
0172]除將實施例1所用的包含脫模性組合物的涂布液代替成包含下述組成的脫模性組合物的涂布液以外，與實施例1同樣，制備比較例1的表面保護膜。
0173]<包含脫模性組合物的涂布液>
0174] 粘合劑樹脂4. 4份
0175](ES-1001N 信越化學工業(yè)公司，固體成分45% )
0176] 末端具有胺基的硅油0.1份
0177](KF-8012 信越化學工業(yè)公司，固體成分100% )
0178] 固化劑0.1份
0179](鈦系螯合物，有效成分100%)
0180] 溶劑33. 0 份
0181][比較例2]
0182]除將實施例1所用的包含脫模性組合物的涂布液代替成包含下述組成的脫模性組合物的涂布液以外，與實施例1同樣，制備比較例2的表面保護膜。
0183]<包含脫模性組合物的涂布液>
0184] 粘合劑樹脂3. 3份
0185](ES-1001N 信越化學工業(yè)公司，固體成分45% )
0186] 末端具有烷氧基的硅油0.1份
0187](X-22-1968 信越化學工業(yè)公司，固體成分100% )
0188] 固化劑0.1份
0189](鈦系螯合物，有效成分100%)
溶劑33. 0 份對實施例1 8、比較例1 2獲得的表面保護膜進行下列項目的評價。結果示于表1。[初期脫模性的評價]在表面保護膜的涂膜上貼付粘合膠帶(CELL0TAPE(注冊商標))CT405AP_18 NICHIBAN公司)，使用拉伸試驗機(島灃小型臺式試驗機EZ-L 島灃制作所公司)，測定在剝離速度300mm/分鐘時的180°剝離力。剝離力不足0. 1N/I8mm的情況判定為“◎”，剝離力為0. 1N/I8mm以上且不足1N/I8mm的情況判定為“〇”，剝離力為1N/I8mm以上的情況判定為“ X ”。[耐洗凈溶劑性的評價]使用乙醇進行耐洗凈試驗以確認表面保護膜的涂膜面的耐洗凈溶劑性。在布中浸漬溶劑并施加200g荷重反復100次。隨后，貼付粘合膠帶(CELL0TAPE (注冊商標) CT405AP-18 :NICHIBAN公司)，使用拉伸試驗機(島灃小型臺式試驗機EZ-L 島灃制作所公司)，測定在剝離速度300mm/分鐘時的180°剝離力。將剝離力不足0. 2N/18mm的情況評價為“ ◎”，將剝離力為0. 2N/18mm以上且不足1N/I8mm的情況評價為“〇”，將剝離力為 1N/I8mm以上的情況評價為“ X ”。[耐光致抗蝕劑附著性的評價]將光致抗蝕劑附著于表面保護膜的涂膜面，自涂膜面的背面進行曝光，使UV固化樹脂固化后，自表面保護膜剝離。進行該操作100次后，在表面保護膜的涂膜上貼付粘合膠帶(CELL0TAPE (注冊商標)CT405AP-18 :NICHIBAN股份有限公司)，使用拉伸試驗機(島灃小型臺式試驗機EZ-L 島灃制作所公司)，測定在剝離速度300mm/分鐘時的180°剝離力。 將剝離力不足0. 2N/18mm的情況評價為“ ◎”，將剝離力為0. 2N/18mm以上且不足1N/I8mm 者評價為“〇”，將剝離力為1N/I8mm以上的情況評價為“X”。[透明性的評價]使用霧度計(HGM-I :SUGA試驗機公司)，以JIS K7105 :1981為準，測定表面保護膜的霧度。霧度不足1 %的情況判定為“◎”，霧度為1 %以上且不足3%的情況判定為“〇”， 霧度為3%以上的情況判定為“ X ”。[外觀評價]目視表面保護膜的外觀進行觀察。目視觀察上均勻的情況判定為“〇”，確認到缺陷的情況判定為“ X ”。[表 1]
初期脫模性耐洗凈溶劑性耐光致抗蝕性透明性外觀實施例1◎◎◎◎◎實施例2◎◎◎◎◎實施例3◎◎◎◎◎
權利要求
1.一種脫模性組合物，其特征在于，包含粘合劑樹脂、硅油、及金屬醇鹽的水解物。
2.如權利要求1所述的脫模性組合物，其特征在于，相對于100重量份的所述粘合劑樹脂，含有50 500重量份的所述金屬醇鹽的水解物。
3.如權利要求1或2所述的脫模性組合物，其特征在于，所述金屬醇鹽包含四乙氧基硅烷或四甲氧基硅烷。
4.如權利要求1 3中任一項所述的脫模性組合物，其特征在于，所述金屬醇鹽的水解物包含水解后縮合得到的化合物。
5.如權利要求4的脫模性組合物，其特征在于，所述化合物利用GPC法測得的聚苯乙烯換算的重均分子量為100 1000。
6.如權利要求1 5的脫模性組合物，其特征在于，所述硅油在總固體成分中含有 0. 5 5重量％。
7.如權利要求1 6中任一項所述的脫模性組合物，其特征在于，所述硅油包含二甲基硅油、改性的硅油及具有反應性官能團的反應性硅油中的任一種。
8.如權利要求7所述的脫模性組合物，其特征在于，所述二甲基硅油、所述改性的硅油及所述反應性硅油的含有比例為所述硅油中的75%以上。
9.如權利要求1 6中任一項所述的脫模性組合物，其特征在于，所述硅油包含在分子末端具有烷氧基的反應性硅油。
10.如權利要求1 9中任一項所述的脫模性組合物，其特征在于，所述粘合劑樹脂包含硅酮樹脂。
11.如權利要求10所述的脫模性組合物，其特征在于，還包含硅酮樹脂用固化劑。
12.一種固化物，其為使權利要求1 11中任一項所述的脫模性組合物固化而獲得。
13.—種表面保護膜，其為具有涂膜的表面保護膜，其特征在于，所述涂膜由權利要求 12所述的固化物構成，且厚度為0. 1 5 μ m。
14.一種光掩模，其為隔著粘合層貼合有權利要求13所述的表面保護膜而成。
全文摘要
本發(fā)明提供一種具有透明性且可在涂膜表面上形成難以附著光致抗蝕劑的涂膜的脫模性組合物，及具有由該固化物構成的涂膜的表面保護膜。脫模性組合物包含粘合劑樹脂、硅酮油、及金屬醇鹽的水解物。相對于100重量份的所述粘合劑樹脂，所述金屬醇鹽的水解物含量優(yōu)選為50～500重量份。所述金屬醇鹽包含四乙氧基硅烷或四甲氧基硅烷。表面保護膜為在基材上形成由所述脫模性組合物的固化物構成的涂膜而成。
文檔編號C09D201/00GK102414278SQ20108001881
公開日2012年4月11日 申請日期2010年4月16日 優(yōu)先權日2009年5月1日
發(fā)明者新井裕之, 栗島進, 涉谷崇志, 長谷川剛 申請人:木本股份有限公司