專利名稱：液滴噴出裝置、和器件的制造方法
技術(shù)領(lǐng)域：
本發(fā)明涉及液滴噴出裝置、和器件的制造方法。
技術(shù)背景作為用于形成器件圖案的手法之一，已知有用功能液的液滴在基板 上形成圖案的液滴噴出法(噴墨法)。在下述專利文獻(xiàn)中公開有基于液滴 噴出法在基板上形成圖案的液滴噴出裝置(噴墨裝置)的相關(guān)技術(shù)的一 例。專利文獻(xiàn)1:特開平11一248926號(hào)公報(bào)液滴噴出裝置具有噴出液滴的噴頭、和借助流路與噴頭連接并形成收納功能液的空間的容器。 一直以來，為了抑制功能液從噴頭的噴出 口漏出等，例如在與噴頭連接的流路上設(shè)置自密封閥等閥機(jī)構(gòu)，使用該 閥機(jī)構(gòu)調(diào)節(jié)噴頭的內(nèi)部空間的壓力。在使用閥機(jī)構(gòu)的情況下，例如有可 能在閥機(jī)構(gòu)的流路發(fā)生功能液的一部分(例如功能液的固體成分、溶質(zhì)) 堵塞等不良情況。當(dāng)出現(xiàn)這樣的不良情況時(shí)，液滴噴出裝置有可能無法 很好地噴出液滴。再有，在閥機(jī)構(gòu)的流路中堵塞的功能液的一部分成為 異物，有可能使制造出的器件的性能劣化。再有，如果閥機(jī)構(gòu)的構(gòu)造變 得復(fù)雜，有可能裝置的成本上升，或者維修作業(yè)變得繁雜。再有，由于 收納功能液的空間的容器的構(gòu)造而導(dǎo)致有可能使功能液的物性發(fā)生變 化。發(fā)明內(nèi)容本發(fā)明正是鑒于如上所述的情況而完成的發(fā)明，其目的在于，提供 一種在抑制功能液的物性變化的同時(shí)能以簡(jiǎn)單的結(jié)構(gòu)調(diào)節(jié)功能液的壓力 的液滴噴出裝置。再有，其目的還在于，提供一種使用該液滴噴出裝置的器件的制造方法。為了解決上述的課題，本發(fā)明采用以下的構(gòu)成?；诒景l(fā)明的第一觀點(diǎn)，提供一種液滴噴出裝置，其具備具有形 成噴出功能液的液滴的噴出口的噴出面的噴頭、借助流路而與上述噴頭 連接并形成對(duì)提供給上述噴頭的上述功能液進(jìn)行收納的第一空間的第一 容器、收納上述第一容器并在其與上述第一容器之間形成第二空間的第 二容器、對(duì)上述第二空間的壓力進(jìn)行調(diào)節(jié)的壓力調(diào)節(jié)裝置、和對(duì)上述第 一容器的功能液的溫度進(jìn)行調(diào)節(jié)的溫度調(diào)節(jié)裝置，上述第一容器的至少 一部分由對(duì)應(yīng)于上述壓力調(diào)節(jié)裝置的動(dòng)作而發(fā)生變形的膜形成。根據(jù)本發(fā)明的第一觀點(diǎn)，因?yàn)樵谥辽僖徊糠钟赡ば纬傻牡谝蝗萜髦?收納功能液，用第二容器收納該第一容器，用壓力調(diào)節(jié)裝置來調(diào)節(jié)位于 第一容器和第二容器之間的第二空間的壓力，所以可以在抑制功能液的 物性變化的同時(shí)以簡(jiǎn)單的結(jié)構(gòu)調(diào)節(jié)功能液的壓力。當(dāng)通過例如含有真空 系統(tǒng)的壓力調(diào)節(jié)裝置直接調(diào)節(jié)由第一容器形成的第一空間的壓力時(shí)，收 納在該第一空間內(nèi)的功能液的液體成分(例如分散劑、溶劑)氣化，功 能液的濃度和/或粘度有可能發(fā)生變化。不用壓力調(diào)節(jié)裝置直接調(diào)節(jié)第一 空間的壓力，而是用壓力調(diào)節(jié)裝置調(diào)節(jié)至少一部分由膜形成的第一容器 和第二容器之間的空間的壓力，由此抑制功能液的氣化，抑制功能液的 濃度和/或粘度等物性的變化，同時(shí)將第一空間的壓力調(diào)節(jié)成需要的壓 力。再有，雖然根據(jù)功能液的種類的不同，物性有可能根據(jù)溫度的變化 而改變，但通過設(shè)置溫度調(diào)節(jié)裝置，可以抑制由溫度變化引起的功能液 的物性變化。在本發(fā)明的液滴噴出裝置中，上述壓力調(diào)節(jié)裝置可以采用根據(jù)上述 第一容器的功能液的表面和上述噴頭的噴出口的位置關(guān)系來調(diào)節(jié)上述第 二空間的壓力的構(gòu)成。由此，可以在抑制功能從噴頭的噴出口漏出的同 時(shí)以希望的狀態(tài)噴出液滴。例如，通過根據(jù)功能液充滿流路的狀態(tài)下的 第一容器的功能液的表面和噴頭的噴出口的高度方向(垂直方向)的位 置關(guān)系、所謂的水位差來調(diào)節(jié)第二空間的壓力，可以在抑制功能液從噴 頭的噴出口漏出的同時(shí)以希望的狀態(tài)噴出液滴。在本發(fā)明的液滴噴出裝置中，上述第一容器的功能液的表面配置在上述噴頭的噴出口的上方，上述壓力調(diào)節(jié)裝置采用對(duì)上述第二空間進(jìn)行 減壓的構(gòu)成。由此，可以在抑制功能液從噴頭的噴出口漏出的同時(shí)以希 望的狀態(tài)將液滴噴出。例如，在噴出口附近的壓力為大氣壓的情況下， 使第二空間降低為至少低于大氣壓，由此可以在抑制功能液從噴頭的噴 出口漏出的同時(shí)以希望的狀態(tài)將液滴噴出。在本發(fā)明的液滴噴出裝置中，具備以可以裝卸的方式將上述流路和 上述噴頭連結(jié)的連結(jié)裝置，當(dāng)將上述噴頭從上述流路上卸下來時(shí)，上述 壓力調(diào)節(jié)裝置采用對(duì)上述第二空間進(jìn)行減壓的構(gòu)成。由此，可以在抑制 功能液的漏出的同時(shí)，將噴頭從流路上卸下來，或者更換新的噴頭，可 以順利地進(jìn)行保養(yǎng)作業(yè)等。在本發(fā)明的液滴噴出裝置中，上述溫度調(diào)節(jié)裝置采用對(duì)上述第一容 器的功能液進(jìn)行冷卻的構(gòu)成。由此，可以抑制由溫度變化引起的功能液 的物性變化。再有，在液滴噴出裝置的運(yùn)轉(zhuǎn)長(zhǎng)時(shí)間停止的情況下(從噴 頭的噴出口的液滴噴出動(dòng)作長(zhǎng)時(shí)間停止的情況)，通過持續(xù)冷卻第一容器 的功能液，可以抑制功能液的物性變化。在本發(fā)明的液滴噴出裝置中，上述溫度調(diào)節(jié)裝置可以采用降低上述 第一容器的功能液的溫度使其至少低于上述噴頭的噴出口附近的溫度的 構(gòu)成。由此，可以在抑制由溫度變化引起的功能液的物性變化的同時(shí)， 從噴頭的噴出口噴出希望狀態(tài)的液滴。在本發(fā)明的液滴噴出裝置中，可以采用具備形成于上述第二容器且 連通上述第二容器內(nèi)側(cè)的空間和外側(cè)的空間的開口、和對(duì)上述開口進(jìn)行 開閉的開閉機(jī)構(gòu)的構(gòu)成。由此，借助開口使各種物體(介質(zhì))在第二容 器的內(nèi)側(cè)空間和外側(cè)空間之間出入。再有，在對(duì)第二容器的內(nèi)側(cè)空間的 壓力進(jìn)行調(diào)節(jié)時(shí)，由開閉機(jī)構(gòu)關(guān)閉開口，由此可以很好地調(diào)節(jié)第二容器 的內(nèi)側(cè)空間的壓力。在本發(fā)明的液滴噴出裝置中，上述開口可以采用包括用于使上述第 一容器在上述第二容器的內(nèi)側(cè)空間和外側(cè)空間之間通過的第一開口、和 用于將上述第二容器的內(nèi)側(cè)空間向大氣開放的第二開口的至少一方的構(gòu) 成。由此，可以借助第一開口更換第一容器。再有，通過設(shè)置與可以使 第一容器通過的第一開口不同的第二開口，例如即便是將第二空間減壓的狀態(tài)下，也可以操作開閉機(jī)構(gòu)，借助第二開口連通第二容器的內(nèi)側(cè)空 間和外側(cè)空間，由此可以使第二空間向大氣開放。由此，可以順利地實(shí) 施第一容器的更換動(dòng)作?；诒景l(fā)明的第二觀點(diǎn)，提供一種器件的制造方法，其包括使用 上述的液滴噴出裝置，向基板噴出液滴在上述基板形成圖案的動(dòng)作；和 對(duì)上述基板的液滴進(jìn)行干燥的動(dòng)作。根據(jù)本發(fā)明的第二觀點(diǎn)，使用可以在抑制功能液的物性變化的同時(shí) 以簡(jiǎn)易的構(gòu)造調(diào)節(jié)功能液的壓力的液滴噴出裝置，可以制造具有希望性 能的器件。


圖1是表示第一實(shí)施方式的液滴噴出裝置的概略構(gòu)成圖。圖2是表示第一實(shí)施方式的液滴噴出裝置的一部分的立體圖。圖3是從下側(cè)觀察由支架部件支撐的多個(gè)噴頭的圖。圖4是用于說明噴頭的構(gòu)造的一例的剖面圖。圖5是表示第一移動(dòng)體的一例的圖。圖6是表示第二移動(dòng)體的一例的圖。圖7是用于說明第二移動(dòng)體的動(dòng)作的一例的圖。圖8是表示第三移動(dòng)體的一例的圖。圖9是用于說明第三移動(dòng)體的動(dòng)作的一例的圖。圖IO是表示第四移動(dòng)體的一例的圖。圖11是用于說明第四移動(dòng)體的動(dòng)作的一例的圖。圖12是表示絕熱部件的立體圖。圖13是表示絕熱部件的側(cè)視圖。圖14是表示第一實(shí)施方式的功能液收納裝置的一例的立體圖。 圖15是表示第一實(shí)施方式的功能液收納裝置的一例的側(cè)剖面圖。 圖16是用于說明第一實(shí)施方式的液滴噴出裝置的動(dòng)作的一例的圖。 圖17是用于說明第一實(shí)施方式的液滴噴出裝置的動(dòng)作的一例的圖。 圖18是用于說明第一實(shí)施方式的液滴噴出裝置的動(dòng)作的一例的圖。 圖19是用于說明第一實(shí)施方式的液滴噴出裝置的動(dòng)作的一例的圖。 圖20是表示第二實(shí)施方式的功能液收納裝置的一例的側(cè)剖面圖。圖中1…噴出口， 2…噴出面，3…噴頭，9…功能液收納裝置，11… 支架部件，13…覆蓋裝置，14…擦拭裝置，15…浸漬裝置，38…保持裝 置，39…支撐機(jī)構(gòu)，90…管部件，91…第一容器，91D…膜，91S…第一 空間，92…第二容器，92S…第二空間，93…壓力調(diào)節(jié)裝置，94…溫度調(diào) 節(jié)裝置，97…第一開口， 97T…開閉門，98…第二開口， 98T…開閉蓋， 99一連結(jié)裝置，Al…第一位置，A2…第二位置，D…液滴，P…基板。
具體實(shí)施方式
以下，參照

本發(fā)明的實(shí)施方式。在以下的說明中，設(shè)定XYZ 正交坐標(biāo)系，參照該XYZ正交坐標(biāo)系對(duì)各部件的位置關(guān)系進(jìn)行說明。而 且，將水平面內(nèi)的規(guī)定方向設(shè)為X軸方向，將水平面內(nèi)與X軸方向正交 的方向設(shè)為Y軸方向，將與X軸方向和Y軸方向分別正交的方向(即 垂直方向)設(shè)為Z軸方向。再有，將繞X軸、Y軸、Z軸的旋轉(zhuǎn)(傾斜)方向分別設(shè)為ex、 eY、禾口ez方向。 <第一實(shí)施方式〉對(duì)第一實(shí)施方式進(jìn)行說明。圖i是表示第一實(shí)施方式的液滴噴出裝置IJ的概略構(gòu)成圖，圖2是表示第一實(shí)施方式的液滴噴出裝置IJ的一部分的立體圖。液滴噴出裝置IJ通過將功能液的液滴D噴到基板P上，從而在基板P上形成器件圖案。液滴噴出裝置U具備具有形成了噴出功能液的液滴D的噴出口 1的噴出面2的噴頭3;在含有與噴出面2對(duì)向的第一位 置Al的規(guī)定區(qū)域可以相對(duì)于噴頭3移動(dòng)且沿著Y軸配置的多個(gè)移動(dòng)體 4、 5、 6、 7;使多個(gè)移動(dòng)體4、 5、 6、 7沿著Y軸移動(dòng)的驅(qū)動(dòng)裝置8;借 助流路而與噴頭3連接且對(duì)提供給噴頭3的功能液進(jìn)行收納的功能液收 納裝置9;和對(duì)整個(gè)液滴噴出裝置IJ的動(dòng)作進(jìn)行控制的控制裝置10。本實(shí)施方式的液滴噴出裝置IJ是具備多個(gè)噴頭3的多噴頭型液滴噴 出裝置，具有對(duì)多個(gè)噴頭3進(jìn)行支撐的支架部件11。再有，液滴噴出裝 置IJ具有包含對(duì)噴頭3的驅(qū)動(dòng)進(jìn)行控制的驅(qū)動(dòng)電路的控制器12?？刂破?12根據(jù)控制裝置10的指令驅(qū)動(dòng)噴頭3。 (在本實(shí)施方式中，基板P例如如同特開2006—114593號(hào)公報(bào)、特開2006—261146號(hào)公報(bào)等所公開的、 一種形成低溫同時(shí)燒成陶瓷(LTCC: Low Temperature Co—fired Ceramics)多層電路基板用的基板，包括燒成 前的LTCC基板(生片)。再有，功能液例如如同特開2005—34837號(hào)公 報(bào)所公開的含有將導(dǎo)電性微粒分散于規(guī)定的分散劑中的物質(zhì)。在本實(shí)施 方式中，功能液的導(dǎo)電性微粒以銀的微粒(有機(jī)銀化合物，含有氧化銀 納米級(jí)粒子)為主成分，分散劑以水為主成分。在本實(shí)施方式中，以液 滴噴出裝置IJ向燒成前的LTCC基板(生片)噴出含有銀的微粒的功能 液的液滴D并由該液滴D在基板(生片)上形成配線圖案的情況為例進(jìn) 行說明。液滴噴出裝置IJ具有至少3個(gè)移動(dòng)體。在本實(shí)施方式中，液滴噴出 裝置IJ具有4個(gè)移動(dòng)體4、 5、 6、 7。第一移動(dòng)體4是沿著Y軸配置的 4個(gè)移動(dòng)體中配置在最一Y側(cè)的移動(dòng)體，第四移動(dòng)體7配置在最+Y側(cè)。 即，第一移動(dòng)體4和第二移動(dòng)體7是沿著Y軸配置的4個(gè)移動(dòng)體4、 5、 6、 7中配置在Y軸方向兩端的移動(dòng)體。第二移動(dòng)體5和第三移動(dòng)體6 配置在第一移動(dòng)體4和第四移動(dòng)體7之間。第二移動(dòng)體5配置第三移動(dòng) 體6的一Y側(cè)。第一移動(dòng)體4可以邊保持由液滴D形成圖案的基板P邊移動(dòng)。第二、 第三、第四移動(dòng)體5、 6、 7包括對(duì)噴頭3進(jìn)行保養(yǎng)的保養(yǎng)裝置。在本實(shí) 施方式中，第二移動(dòng)體5包括覆蓋(capping)噴頭3的噴出面2的覆蓋 裝置13。第三移動(dòng)體6包括對(duì)噴頭3的噴出面2的異物進(jìn)行擦拭的擦拭 裝置14。第四移動(dòng)體7包括將噴頭3的至少一部分浸漬到功能液以外的 液體中的浸漬裝置15。液滴噴出裝置IJ具備具有以可以移動(dòng)的方式支撐各移動(dòng)體4、 5、 6、 7的支撐面16的基座部件17。各移動(dòng)體4、 5、 6、 7可以沿著支撐面16 單獨(dú)移動(dòng)。在本實(shí)施方式中，支撐面16與XY面大致平行。再有，在本 實(shí)施方式中，在基座部件17的支撐面16和與該支撐面16對(duì)向的各移動(dòng) 體4、 5、 6、 7的對(duì)向面之間形成有空氣支承(airbearing)。各移動(dòng)體4、 5、 6、 7通過空氣支承由支撐面16以非接觸狀態(tài)支撐著。再有，液滴噴出裝置IJ具備對(duì)多個(gè)移動(dòng)體4、 5、 6、 7向y軸方向 的移動(dòng)進(jìn)行引導(dǎo)的引導(dǎo)部件18。引導(dǎo)部件18是Y軸方向長(zhǎng)的棒狀部件，配置在支撐面16上。在本實(shí)施方式中，引導(dǎo)部件18的兩端由配置在引 導(dǎo)部件18的外側(cè)的支撐部件19來支撐。支撐部件19由地面20來支撐。 再有，基座部件17由被地面20支撐的支撐部件21來支撐。在本實(shí)施方式中，驅(qū)動(dòng)裝置包含線性電動(dòng)機(jī)，可以使多個(gè)移動(dòng)體4、5、 6、 7分開獨(dú)立地移動(dòng)。驅(qū)動(dòng)裝置8具有配置在引導(dǎo)部件18上的線 性電動(dòng)機(jī)的定子22、和分別配置在與引導(dǎo)部件18對(duì)向的各移動(dòng)體4、 5、6、 7的對(duì)向面上的線性電動(dòng)機(jī)的可動(dòng)元件23、 24、 25、 26?？刂蒲b置 10使用包括線性電動(dòng)機(jī)的驅(qū)動(dòng)裝置8，使各移動(dòng)體4、 5、 6、 7在基座部 件17上能獨(dú)立移動(dòng)。再有，液滴噴出裝置U具備配置在與噴頭3不同的位置并執(zhí)行向第 一移動(dòng)體4搬入基板P的動(dòng)作、以及從第一移動(dòng)體4搬出基板P的動(dòng)作 的至少一方的基板搬送裝置27。在基板搬送裝置27的附近配置有可以 收納基板P的基板收納裝置28?；灏崴脱b置27執(zhí)行向配置在Y軸方向上不同于第一位置A1的第 二位置A2上的第一移動(dòng)體4搬入基板P的動(dòng)作、以及從第一移動(dòng)體4 搬出基板P的動(dòng)作的至少一方。第一位置Al和第二位置在Y軸方向上 是分開的。在本實(shí)施方式中，第一位置A1是第二位置A2的+Y側(cè)的位 置。第一移動(dòng)體4可以沿著基座部件17的支撐面16，在與噴頭3的噴 出面4對(duì)向的第一位置Al和基板搬送裝置27附近的第二位置A2之間 移動(dòng)?；灏崴脱b置27例如可以將在基板收納裝置28中收納的基板P搬 入到配置在第二位置A2處的第一移動(dòng)體4。再有，基板搬送裝置27可 以從配置在第二位置A2處的第一移動(dòng)體4搬出基板P，而收納在基板收 納裝置28中。再有，在本實(shí)施方式中，液滴噴出裝置IJ具備配置在第一移動(dòng)體4 的移動(dòng)路徑的至少一部分且阻斷第一移動(dòng)體4的熱向周圍擴(kuò)散的絕熱部 件29。絕熱部件29以不妨礙包括第一移動(dòng)體4的各移動(dòng)體4、 5、 6、 7 的移動(dòng)的方式被安裝在基座部件17的規(guī)定位置上。再有，液滴噴出裝置IJ具備具有腔室主體30和能對(duì)腔室主體30內(nèi) 側(cè)的空間環(huán)境(壓力、溫度、濕度、清潔度等)進(jìn)行調(diào)節(jié)的空調(diào)裝置31的腔室裝置32，所述腔室主體30收納上述的噴頭3、支架部件11、移 動(dòng)體4、 5、 6、 7、基座部件17、引導(dǎo)部件18、基板搬送裝置27、基板 收納裝置28、絕熱部件29、功能液收納裝置9、控制器12和控制裝置 IO等各機(jī)器、部件等。在本實(shí)施方式中，腔室裝置32調(diào)節(jié)腔室主體30的內(nèi)側(cè)空間的壓力， 以使至少噴出口 1附近的壓力大致等于大氣壓。再有，在本實(shí)施方式中， 腔室裝置32調(diào)節(jié)腔室主體30的內(nèi)側(cè)空間的溫度，以使至少噴出口 1附 近的溫度大致等于常溫(例如22"C)。參照?qǐng)D3和圖4，對(duì)噴頭3進(jìn)行說明。圖3是從下側(cè)觀察由支架部 件11支撐的多個(gè)噴頭3的圖，圖4是用于說明噴頭3的結(jié)構(gòu)的一例的剖 面圖。本實(shí)施方式的噴頭3是所謂電一機(jī)械變換方式的噴頭，即通過向壓 電元件33提供規(guī)定的驅(qū)動(dòng)信號(hào)使該壓電元件33變形，借助可撓性的振 動(dòng)板(膜)35使收納功能液的空間34的壓力發(fā)生變動(dòng)，利用該壓力的 變動(dòng)，從噴出口 1噴出功能液的液滴D?？刂破?2根據(jù)控制裝置10的 指令驅(qū)動(dòng)噴頭3。控制器12向噴頭3的壓電元件33提供規(guī)定的驅(qū)動(dòng)信 號(hào)，可以從各噴出口 1噴出與該驅(qū)動(dòng)信號(hào)對(duì)應(yīng)的大小的液滴D。如圖3所示，本實(shí)施方式的液滴噴出裝置IJ具有多個(gè)噴頭3。多個(gè) 噴頭3由支架部件11來支撐。噴頭3具有形成了噴出功能液的液滴D 的噴出口 (噴出噴嘴)l的噴出面(噴嘴形成面)2。噴出面2具有在規(guī) 定方向較長(zhǎng)的形狀(在本實(shí)施方式中大致為長(zhǎng)方形狀)。噴出口 1在噴出 面2上沿著規(guī)定方向(噴出面2的長(zhǎng)度方向)形成有多個(gè)。在本實(shí)施方 式中，多個(gè)噴出口 1排列的規(guī)定方向是在XY平面內(nèi)相對(duì)于X軸方向傾 斜的方向。如圖4所示，噴頭3具有噴頭主體36和配置在噴頭主體36的下端 的板部件(噴嘴板)37。噴出口 l形成在板部件37上。板部件37具有 多個(gè)在上下方向上貫通的孔。噴出口 1配置在其孔的下端。噴出面2配 置在板部件37上。在本實(shí)施方式中，噴頭3 (板部件37)的噴出面2朝向下側(cè)(一Z 側(cè))。被噴(提供)了來自噴頭3的液滴D的基板P的表面朝向上側(cè)(+iiZ側(cè))，以與噴頭3的噴出面2對(duì)向。第一移動(dòng)體4保持基板P，以使基 板P的表面朝向上側(cè)(+Z側(cè))。再有，噴頭3的噴出面2與XY平面大 致平行。第一移動(dòng)體4保持基板P以使基板P的表面與XY平面大致平 行。控制裝置10在將噴頭3的噴出面2和由第一移動(dòng)體4保持的基板P 的表面之間的距離(壓板間隙platen gap)維持成規(guī)定的值(例如600pm) 的狀態(tài)下從噴出口 1向基板P噴出液滴D。再有，噴頭3具備在板部件37(噴出口 1)的上方形成的空腔(空 間)34、在空腔34的上方配置的可撓性的板(振動(dòng)板)35、和在振動(dòng)板 35的上方配置的壓電元件33?？涨?4按照與多個(gè)噴出口 l分別對(duì)應(yīng)的 方式形成有多個(gè)?？涨?4借助流路與功能液收納裝置9連接。空腔34 收納來自功能液收納裝置9的功能液，并提供給噴出口l。振動(dòng)板35通過在上下方向上振動(dòng)而可以使空腔34的壓力(容積) 變動(dòng)。壓電元件33可以使振動(dòng)板35在上下方向上振動(dòng)。壓電元件33 按照與多個(gè)噴出口 l對(duì)應(yīng)的方式配置有多個(gè)。壓電元件33根據(jù)來自控制 器12的驅(qū)動(dòng)信號(hào)使振動(dòng)板35振動(dòng)，改變空腔34的壓力，由此從噴出口 1噴出功能液的液滴D。再有，控制器12例如如特開2001 — 58433號(hào)公報(bào)所公開的那樣，對(duì) 提供給壓電元件33的驅(qū)動(dòng)信號(hào)(驅(qū)動(dòng)波形)進(jìn)行調(diào)節(jié)，可以調(diào)節(jié)從各噴 出口 1噴出的液滴D的量(大小、體積)。如圖1所示，本實(shí)施方式的液滴噴出裝置IJ具備按照使多個(gè)噴頭3 的位置大致不動(dòng)的方式保持多個(gè)噴頭3的保持裝置38。保持裝置38含 有支架部件11、和支撐該支架部件11的支撐機(jī)構(gòu)39。在本實(shí)施方式中， 支撐機(jī)構(gòu)39被固定在腔室主體30的頂棚面(內(nèi)面)。即，在本實(shí)施方式 中，多個(gè)噴頭3借助含有支架部件11和支撐機(jī)構(gòu)39的保持裝置38被保 持成相對(duì)于腔室主體30的頂棚面(內(nèi)面)大致不活動(dòng)。在本實(shí)施方式中，支撐機(jī)構(gòu)39含有可以使支架部件11微動(dòng)的執(zhí)行機(jī)構(gòu)。支撐機(jī)構(gòu)39可以在x軸、Y軸、z軸、ex、 eY、和ez方向的6自由度的方向上微動(dòng)。接著，邊參照?qǐng)D5，邊對(duì)第一移動(dòng)體4進(jìn)行說明。圖5 (A)是表示 第一移動(dòng)體4的立體圖，圖5 (B)是從一Y側(cè)觀察第一移動(dòng)體4的圖。第一移動(dòng)體4可以邊保持以液滴D形成圖案的基板P邊移動(dòng)。第一 移動(dòng)體4具備具有線性電動(dòng)機(jī)的可動(dòng)元件23的第一可動(dòng)部件40、和 搭載在第一可動(dòng)部件40上的具有對(duì)基板P進(jìn)行保持的保持機(jī)構(gòu)41的托 架部件42。在與基座部件17的支撐面16對(duì)向的第一可動(dòng)部件40的下 面形成有空氣支承43。第一可動(dòng)部件40通過空氣支承43相對(duì)于支撐面 16被非接觸地支撐。第一移動(dòng)體4的托架部件42按照使基板P的表面 與噴頭3的噴出面2對(duì)向且基板P的表面與XY平面大致平行的方式對(duì) 基板P進(jìn)行保持。如上所述，本實(shí)施方式的基板P包括生片，在該生片上形成有沿著 厚度方向貫通的孔(via)。在基板P (生片)的背面貼附有例如由聚對(duì)苯 二甲酸乙二醇酯(PET)形成的薄膜F，第一移動(dòng)體4的托架部件42是 對(duì)處于由薄膜F支撐的狀態(tài)的基板P進(jìn)行保持。即，在本實(shí)施方式中， 第一移動(dòng)體4的托架部件42隔著薄膜F對(duì)基板P (生片)進(jìn)行保持。在第一可動(dòng)部件40的下表面形成有可以配置引導(dǎo)部件18的凹部 44。第一可動(dòng)部件40的凹部44的內(nèi)面與引導(dǎo)部件18對(duì)向。如上所述， 在引導(dǎo)部件18上配置有線性電動(dòng)機(jī)的定子22。在與引導(dǎo)部件18對(duì)向的 第一可動(dòng)部件40的凹部44的內(nèi)面配置有線性電動(dòng)機(jī)的可動(dòng)元件23。含 有定子22和可動(dòng)元件23的驅(qū)動(dòng)裝置8可以使第一可動(dòng)部件40沿著Y 軸方向移動(dòng)。再有，隨著第一可動(dòng)部件40向Y軸方向的移動(dòng)，搭載在 該第一可動(dòng)部件40上的托架部件42 (基板P)也與第一可動(dòng)部件40 — 起向Y軸方向移動(dòng)。在本實(shí)施方式中，在第一可動(dòng)部件40和托架部件42之間配置有多 個(gè)執(zhí)行機(jī)構(gòu)45。執(zhí)行機(jī)構(gòu)45例如含有壓電元件?？刂蒲b置10通過控制 這些執(zhí)行機(jī)構(gòu)45，從而可以使對(duì)基板P進(jìn)行保持的托架部件42在第一 可動(dòng)部件40上移動(dòng)(微動(dòng))。在本實(shí)施方式中，對(duì)基板P進(jìn)行保持的托 架部件42通過執(zhí)行機(jī)構(gòu)45可以在第一可動(dòng)部件40上沿著X軸、Y軸、z軸、ex、 ey、和ez方向的6自由度的方向移動(dòng)(微動(dòng))。為了將從噴頭3噴出的液滴D提供給基板P，控制裝置10使用驅(qū)動(dòng) 裝置8來移動(dòng)第一移動(dòng)體4，在與噴頭3的噴出面2對(duì)向的第一一位置A1 配置由第一移動(dòng)體4 (托架部件42)保持的基板P。再有，控制裝置IO使用配置在第一可動(dòng)部件40和托架部件42之間的執(zhí)行機(jī)構(gòu)45，調(diào)節(jié)噴 頭3的噴出面2與由第一移動(dòng)體4所保持的基板P的表面之間的距離(壓 板間隙)、噴頭3的噴出面2與由第一移動(dòng)體4所保持的基板P的表面的傾斜方向(ex、 ey方向)的位置關(guān)系、以及旋轉(zhuǎn)方向(ez方向)的位置關(guān)系，以將從噴出面2的噴出口 1噴出的液滴D提供給基板P的規(guī)定 位置?？刂蒲b置10使用執(zhí)行機(jī)構(gòu)45，調(diào)節(jié)噴頭3的噴出面2與由第一 移動(dòng)體4所保持的基板P的表面的位置關(guān)系，以使噴頭3的噴出面2與 基板P的表面大致平行，且壓板間隙為規(guī)定的值。再有，在本實(shí)施方式中，在可以與噴頭3的噴出面2對(duì)向的托架部 件42的上表面中對(duì)基板P進(jìn)行保持的保持機(jī)構(gòu)41的Y軸方向兩側(cè)，設(shè) 置有沖洗(flushing)區(qū)域46。沖洗區(qū)域46是由可以吸收從噴頭3的噴 出面2噴出的液滴D的多孔部件的上表面形成。多孔部件例如含有海綿 狀的部件?？刂蒲b置10在從噴頭3向基板P提供液滴D之前，在使噴 頭3的噴出口 l與托架部件42的沖洗區(qū)域46對(duì)向的狀態(tài)下，執(zhí)行從噴 出口 1預(yù)先噴出液滴D的動(dòng)作、所謂的沖洗動(dòng)作。再有，第一移動(dòng)體4具有對(duì)基板P進(jìn)行加熱的加熱裝置47。加熱裝 置47設(shè)置在托架部件42上?？刂蒲b置10使用托架部件42的加熱裝置 47，可以對(duì)由該托架部件42所保持的基板P進(jìn)行加熱。加熱裝置47可以使從噴頭3的噴出口 1噴出并提供給基板P (與基 板P接觸)的液滴D中含有的液體成分瞬時(shí)氣化。液滴噴出裝置IJ使用 加熱裝置47對(duì)基板P進(jìn)行加熱，同時(shí)從噴頭3的噴出口 1向該被加熱的 基板P提供液滴D，由此可以瞬時(shí)干燥與基板P接觸的液滴D。再有，在對(duì)基板P進(jìn)行加熱的同時(shí)向該基板P提供液滴D，由此可 以產(chǎn)生銷住(pinning)現(xiàn)象。在提供給基板P之后的液滴D的干燥過程 中，如果液滴D的周緣部的固態(tài)成分濃度達(dá)到飽和濃度，則在其周緣部 有固態(tài)成分局部性地析出。由此，通過該析出的固態(tài)成分成為液滴D的 周緣部被束縛的狀態(tài)，與以后的干燥相伴隨的液滴D的收縮(外徑的收 縮)受到抑制。通過產(chǎn)生這樣的、因在周緣部析出的固態(tài)成分抑制與干 燥相伴隨的液滴D的收縮的現(xiàn)象(銷住現(xiàn)象)，由此可以很好地規(guī)定形 成在基板P上的圖案(在本實(shí)施方式中為配線圖案)的邊緣(外形)。另夕卜，例如如同特開2005—28276號(hào)公報(bào)、特開2005 —144324號(hào)公 報(bào)等公開的那樣，可以調(diào)節(jié)配置在基板P的表面的液滴D的干燥條件、 對(duì)流條件等，使向基板P噴出(提供)的液滴D產(chǎn)生銷住現(xiàn)象。在以下的說明中，將第一移動(dòng)體4的基板P配置在第一位置Al并 從噴出口 1噴出用于在該基板P上形成圖案的液滴D的處理適宜地稱為 圖案形成處理。接著，參照?qǐng)D6和圖7，對(duì)第二移動(dòng)體5進(jìn)行說明。圖6是從一X 側(cè)觀察第二移動(dòng)體5的圖，圖7是用于說明第二移動(dòng)體5的動(dòng)作的一例 的圖。第二移動(dòng)體5含有覆蓋噴頭3的噴出面2的覆蓋裝置13。覆蓋裝置13具備覆蓋噴頭3的噴出面2的蓋部件48。蓋部件48具 有可以與噴頭3對(duì)向的上表面、和在該上表面形成的可以在其與噴頭 3的噴出面2之間形成密閉的空間49的蓋部50。蓋部50含有在蓋部件 48的上表面形成的凹部(溝槽)，通過該凹部可以在其與噴頭3的噴出 面2之間形成空間49。蓋部50按照與多個(gè)噴頭3對(duì)應(yīng)的方式設(shè)有多個(gè)。如圖7所示，覆蓋裝置13可以將整個(gè)噴頭3的噴出面2配置在蓋部 (凹部)50的內(nèi)側(cè)。覆蓋裝置13例如通過使蓋部(凹部)50的內(nèi)側(cè)面 的上端和噴出面2的外側(cè)的噴頭3 (板部件37)的側(cè)面接觸來形成空間 49。再有，覆蓋裝置13具有形成在蓋部(凹部)50的底面且可以吸 收空間49的流體的吸引口 53、和借助流路54與吸引口 53連接的真空 系統(tǒng)55。第二移動(dòng)體5具有具有線性電動(dòng)機(jī)的可動(dòng)元件24的第二可動(dòng)部件 51，覆蓋裝置13的蓋部件48搭載在第二可動(dòng)部件51上。與上述的第一 可動(dòng)部件40 —樣，在與基座部件17的支撐面16對(duì)向的第二可動(dòng)部件 51的下面形成有空氣支承，第二可動(dòng)部件51相對(duì)于支撐面16被非接觸 地支撐。再有，與上述第一可動(dòng)部件40—樣，在第二可動(dòng)部件51的下 表面形成有可以配置引導(dǎo)部件18的凹部，可動(dòng)元件24被配置在與引導(dǎo) 部件18對(duì)向的第二可動(dòng)部件51的凹部的內(nèi)面。含有定子22和可動(dòng)元件 24的驅(qū)動(dòng)裝置8可以使第二可動(dòng)部件51沿著Y軸方向移動(dòng)。再有，隨 著第二可動(dòng)部件51向Y軸方向的移動(dòng)，搭載在該第二可動(dòng)部件51上的覆蓋裝置13的蓋部件48也與第二可動(dòng)部件51 —起向Y軸方向移動(dòng)。再有，與上述的第一可動(dòng)部件40—樣，在第二可動(dòng)部件51與蓋部 件48之間配置有多個(gè)執(zhí)行機(jī)構(gòu)52?？刂蒲b置10通過控制這些執(zhí)行機(jī)構(gòu) 52，可以使蓋部件48在第二可動(dòng)部件51上移動(dòng)(微動(dòng))。在本實(shí)施方式 中，蓋部件48通過執(zhí)行機(jī)構(gòu)52可以在第二可動(dòng)部件51上沿著X軸、Y軸、z軸、ex、 eY、禾口ez方向的6自由度的方向移動(dòng)(微動(dòng))。為了用蓋部件48覆蓋噴頭3的噴出面2，控制裝置10使用驅(qū)動(dòng)裝 置8來移動(dòng)第二移動(dòng)體5，在與噴頭3的噴出面2對(duì)向的第一位置Al 配置第二移動(dòng)體5的覆蓋裝置13。此外，控制裝置10使用配置在第二 可動(dòng)部件51和蓋部件48之間的執(zhí)行機(jī)構(gòu)52，調(diào)節(jié)噴頭3的噴出面2和 蓋部件48的蓋部50的位置關(guān)系，以在噴頭3的噴出面2和蓋部件48 的蓋部之間形成空間49。例如，控制裝置10使用執(zhí)行機(jī)構(gòu)52使蓋部件 51沿著+Z方向移動(dòng)。由此，噴出面2配置在蓋部50的內(nèi)側(cè)，蓋部50 的內(nèi)側(cè)面的上端和噴出面2的外側(cè)的噴頭3 (板部件37)的側(cè)面接觸， 形成空間49。覆蓋裝置13在噴頭3的噴出面2和蓋部50之間形成了空間49的狀 態(tài)下通過驅(qū)動(dòng)真空系統(tǒng)55，借助吸引口 53可以吸引空間49的流體。覆 蓋裝置13可以通過吸引口 53吸引空間49的流體(主要是氣體)，使空 間49為負(fù)壓。覆蓋裝置13通過使空間49為負(fù)壓，可以借助噴出口 1 吸引空腔34等噴頭3內(nèi)部的功能液。覆蓋裝置13通過吸引空間49的流 體，可以在噴頭3的內(nèi)部生成朝向噴出口 1的功能液的液流。另外，參照?qǐng)D6和圖7說明的覆蓋裝置13主要具有吸引噴頭3的功 能液的吸引功能，但還可以具有抑制噴出面2 (噴出口 1)的干燥的功能 (保濕功能)。例如，在蓋部50的內(nèi)側(cè)配置濕潤的多孔部件(篩網(wǎng)部件)， 使含有該濕潤的多孔部件的蓋部50和噴頭3的噴出面2對(duì)向，由此可以 抑制噴出面2的干燥。即，在由噴出面2和蓋部50形成的空間49的內(nèi) 側(cè)配置濕潤的多孔部件，由此可以抑制噴出面2的干燥。在以下的說明中，將在第一位置A1處配置第二移動(dòng)體5、使噴出面 2與蓋部50對(duì)向并用蓋部件48覆蓋噴出面2的處理，適當(dāng)?shù)胤Q為覆蓋 處理。接著，邊參照?qǐng)D8和圖9，邊說明第三移動(dòng)體6。圖8是從一X側(cè)觀 察第三移動(dòng)體6的圖，圖9是用于說明第三移動(dòng)體6的動(dòng)作的一例的圖。 第三移動(dòng)體6含有對(duì)噴頭3的噴出面2的異物進(jìn)行擦拭的擦拭裝置14。 噴頭3的噴出面2的異物包括液滴。液滴包括功能液的液滴D、以及浸 漬裝置15的液體的液滴的至少一方。擦拭裝置14具備具有在與噴頭3的噴出面2對(duì)向的狀態(tài)下可以相 對(duì)于噴出面2移動(dòng)的擦拭面56的擦拭部件57、用于移動(dòng)擦拭部件57的 擦拭面56的驅(qū)動(dòng)機(jī)構(gòu)58、和收納擦拭部件57和驅(qū)動(dòng)機(jī)構(gòu)58的外殼部 件59。擦拭部件57的至少一部分從形成在可以與噴頭3對(duì)向的外殼部件 59的上表面的開口 60露出(突出)，可以與噴頭3的噴出面2對(duì)向。擦 拭裝置14在使噴頭3的噴出面2與擦拭部件57的擦拭面56對(duì)向的狀態(tài) 下，可以使擦拭部件57的擦拭面56相對(duì)于噴出面2移動(dòng)，由此可以用 該擦拭面56擦拭(除去)附著在噴頭3的噴出面2上的異物。在本實(shí)施方式中，擦拭部件57是片狀的部件。擦拭部件57是由可 以吸收液體的材料形成。擦拭部件57例如包括無紡布。另外，擦拭部件 例如可以是聚酯等織布。通過用可以吸收液體的材料形成擦拭部件57， 可以在附著于噴頭3的噴出面2上的異物是液滴的情況下，很好地除去 該液滴(異物)。用于移動(dòng)擦拭部件57的擦拭面56的驅(qū)動(dòng)機(jī)構(gòu)58，具有邊支撐擦拭 部件57邊旋轉(zhuǎn)的多個(gè)輥。驅(qū)動(dòng)機(jī)構(gòu)58具有配置在外殼部件59的內(nèi)側(cè) 且紡出片狀的擦拭部件57的紡出輥61、巻取擦拭部件57的巻取輥62、 和配置在最接近噴頭3的噴出面2的位置且對(duì)與噴頭3的噴出面2對(duì)向 的擦拭部件57的擦拭面56的相反面進(jìn)行支撐的支撐輥63。紡出輥61、 和巻取輥62分別通過旋轉(zhuǎn)電動(dòng)機(jī)等的執(zhí)行機(jī)構(gòu)64、 65進(jìn)行旋轉(zhuǎn)。擦拭 裝置14控制執(zhí)行機(jī)構(gòu)64、 65，使擦拭部件57的擦拭面56以規(guī)定速度 移動(dòng)(行走)。再有，驅(qū)動(dòng)機(jī)構(gòu)58具備引導(dǎo)擦拭部件57的移動(dòng)(行走) 的引導(dǎo)輥、和可以調(diào)節(jié)擦拭部件57的張力的張力輥。第三移動(dòng)體6包括具有線性電動(dòng)機(jī)的可動(dòng)元件25的第三可動(dòng)部件 66，擦拭裝置14的外殼部件59搭載在第三可動(dòng)部件66上。^上述的第一可動(dòng)部件40 —樣，在與基座部件17的支撐面16對(duì)向的第三可動(dòng)部件 66的下面形成有空氣支承，第三可動(dòng)部件66相對(duì)于支撐面16被非接觸 地支撐。再有，與上述的第一可動(dòng)部件40—樣，在第三可動(dòng)部件66的 下面形成有可以配置引導(dǎo)部件18的凹部，可動(dòng)元件25被配置在與引導(dǎo) 部件18對(duì)向的第三可動(dòng)部件66的凹部的內(nèi)面。含有定子22和可動(dòng)元件 25的驅(qū)動(dòng)裝置8可以使第三可動(dòng)部件66沿著Y軸方向移動(dòng)。再有，隨 著第三可動(dòng)部件66向Y軸方向的移動(dòng)，搭載在該第三可動(dòng)部件66上的 擦拭裝置14的外殼部件59也與第三可動(dòng)部件66 —起向Y軸方向移動(dòng)。 再有，與上述的第一移動(dòng)體4一樣，在第三可動(dòng)部件66與外殼部件 59之間配置有多個(gè)執(zhí)行機(jī)構(gòu)67。控制裝置10通過控制這些執(zhí)行機(jī)構(gòu)67， 從而可以使外殼部件59在第三可動(dòng)部件66上移動(dòng)(微動(dòng))。在本實(shí)施方 式中，外殼部件59通過執(zhí)行機(jī)構(gòu)67可以在第三可動(dòng)部件66上沿著X軸、Y軸、z軸、ex、 eY、和ez方向的6自由度的方向移動(dòng)(微動(dòng))。再有，含有擦拭裝置14的擦拭部件57和輥的驅(qū)動(dòng)機(jī)構(gòu)58隨著外殼部件 59的移動(dòng)在第三可動(dòng)部件66上與外殼部件59 —起移動(dòng)。為了用擦拭部件57擦拭噴頭3的噴出面2的異物，控制裝置10使 用驅(qū)動(dòng)裝置8來移動(dòng)第三移動(dòng)體6，在與噴頭3的噴出面2對(duì)向的第一 位置Al處配置第三移動(dòng)體6的擦拭裝置14。此外，控制裝置10使用配 置在第三可動(dòng)部件66和外殼部件59之間的執(zhí)行機(jī)構(gòu)67，調(diào)節(jié)噴頭3的 噴出面2和被支撐輥63所支撐的部分的擦拭部件57的擦拭面56的位置 關(guān)系，以便可以用擦拭部件57擦拭噴出面2的異物。例如，控制裝置 10使用執(zhí)行機(jī)構(gòu)67使外殼部件59沿著Z方向移動(dòng)。隨著外殼部件59 的Z軸方向的移動(dòng)，對(duì)擦拭部件57進(jìn)行支撐的支撐輥63也向Z軸方向 移動(dòng)?？刂蒲b置10使用執(zhí)行機(jī)構(gòu)67，調(diào)節(jié)噴頭3的噴出面2和被支撐 輥63所支撐的部分的擦拭部件57的擦拭面56之間的在Z軸方向的距 離(間隙)。此外，控制裝置10驅(qū)動(dòng)紡出輥61和巻取輥62，使擦拭部 件57的擦拭面56相對(duì)于噴頭3的噴出面2移動(dòng)(微動(dòng))。由此，擦拭裝 置14可以將附著在噴頭3的噴出面2上的異物擦拭掉(除去)。在以下的說明中，將在第一位置Al處配置第三移動(dòng)體6v使噴出面 2與擦拭面56對(duì)向并擦拭噴出面2的異物的處理，適當(dāng)?shù)胤Q為擦拭處理。接著，邊參照?qǐng)D10和圖11，邊說明第四移動(dòng)體7。圖IO是從一X 側(cè)觀察第四移動(dòng)體7的圖，圖11是用于說明第四移動(dòng)體7的動(dòng)作的一例 的圖。第四移動(dòng)體7含有將噴頭3的至少一部分浸漬到功能液以外的液 體中的浸漬裝置15。浸漬裝置15具備對(duì)液體進(jìn)行收納的容器68。浸漬裝置15的液體含 有用于清潔噴頭3的至少一部分的清潔用液體、以及用于冷卻噴頭3的 至少一部分的冷卻用液體的至少一方。在浸漬裝置15的容器68的上部 形成有開口69，噴頭3通過該開口 69可以移動(dòng)到(進(jìn)入)容器68內(nèi)側(cè) 的空間?？刂蒲b置10通過將噴頭3配置在浸漬裝置15的容器68的內(nèi)側(cè) 而將其浸漬到液體中，可以對(duì)噴出口 1等噴頭3的至少一部分進(jìn)行清潔 或冷卻。作為浸漬裝置15的液體，例如可以使用功能液的分散劑。本實(shí)施方 式的分散劑是以水為主成分的液體，所以作為浸漬裝置15的液體，可以 使用水或以水為主成分的液體。由此，可以對(duì)噴出面2、噴出口 1等噴 頭3的至少一部分進(jìn)行清潔或冷卻。第四移動(dòng)體7具有具有線性電動(dòng)機(jī)的可動(dòng)元件26的第四可動(dòng)部件 70，浸漬裝置15的容器68搭載在第四可動(dòng)部件70上。與上述的第一可 動(dòng)部件40 —樣，在與基座部件17的支撐面16對(duì)向的第四可動(dòng)部件70 的下面形成有空氣支承，第四可動(dòng)部件70相對(duì)于支撐面16被非接觸地 支撐。再有，與上述的第一可動(dòng)部件40—樣，在第四可動(dòng)部件70的下 面形成有可以配置引導(dǎo)部件18的凹部，可動(dòng)元件26被配置在與引導(dǎo)部 件18對(duì)向的第四可動(dòng)部件70的凹部的內(nèi)面。含有定子22和可動(dòng)元件 26的驅(qū)動(dòng)裝置8可以使第四可動(dòng)部件70沿著Y軸方向移動(dòng)。再有，隨 著第四可動(dòng)部件70向Y軸方向的移動(dòng)，搭載在該第四可動(dòng)部件70上的 浸漬裝置15的容器68也與第四可動(dòng)部件70 —起向Y軸方向移動(dòng)。再有，與上述的第一移動(dòng)體4一樣，在第四可動(dòng)部件70與容器68 之間配置有多個(gè)執(zhí)行機(jī)構(gòu)71?？刂蒲b置10通過控制這些執(zhí)行機(jī)構(gòu)71, 可以使容器68在第四可動(dòng)部件70上移動(dòng)(微動(dòng))。在本實(shí)施方式中，容 器68通過執(zhí)行機(jī)構(gòu)71可以在第四可動(dòng)部件70上沿著X軸、'Y軸、Z軸、ex、 ey、和ez方向的6自由度的方向移動(dòng)(微動(dòng))。再有，由浸漬裝置15的容器68收納的液體的表面隨著容器68的移動(dòng)而在第四可動(dòng)部 件70上與容器68 —起移動(dòng)。為了將噴頭3的至少一部分浸漬到浸漬裝置15的液體中，控制裝置 10使用驅(qū)動(dòng)裝置8來移動(dòng)第四移動(dòng)體7，在與噴頭3的噴出面2對(duì)向的 第一位置Al處配置第四移動(dòng)體7的浸漬裝置15。此外，控制裝置10 使用配置在第四可動(dòng)部件70和容器68之間的執(zhí)行機(jī)構(gòu)71，調(diào)節(jié)噴頭3 的噴出面2和容器68 (液體的表面)的位置關(guān)系，以便可以至少將噴頭 3的噴出面2浸漬到容器68的液體中。例如，控制裝置10使用執(zhí)行機(jī) 構(gòu)71使容器68沿著+Z方向移動(dòng)。隨著容器68向Z軸方向的移動(dòng)，在 容器68中容納的液體的表面以接近噴頭3的方式移動(dòng)。由此，浸漬裝置 15可以將噴頭3的至少一部分浸漬到液體中。再有，控制裝置10使用 執(zhí)行機(jī)構(gòu)71使容器68向一Z方向移動(dòng)，由此可以使收容在容器68中的 液體和噴頭3分離。在以下的說明中，將在第一位置A1處配置第四移動(dòng)體7、使噴出面 2與容器58的液體的表面對(duì)向而將噴頭3的至少一部分浸漬容器68的 液體中的處理，適當(dāng)?shù)胤Q為浸漬處理。再有，在以下的說明中，將對(duì)噴頭3進(jìn)行保養(yǎng)的處理適當(dāng)?shù)胤Q為保 養(yǎng)處理。保養(yǎng)處理包括上述的覆蓋處理、擦拭處理、和浸漬處理的至少 一種。接著，邊參照?qǐng)D12和圖13，邊說明絕熱部件29。圖12是表示絕熱 部件29的立體圖，圖13是從一Y側(cè)觀察絕熱部件29的圖。絕熱部件29配置在包括第一移動(dòng)體4的各移動(dòng)體4、 5、 6、 7的移 動(dòng)路徑的至少一部分。絕熱部件29阻斷第一移動(dòng)體4的熱向周圍釋放。 如上所述，第一移動(dòng)體4 (托架部件42)包括對(duì)基板P進(jìn)行加熱的加熱 裝置47。絕熱部件29阻斷從包括加熱裝置47的第一移動(dòng)體4發(fā)出的熱 向周圍的釋放。絕熱部件29配置在第一位置Al之外的移動(dòng)體4、 5、 6、 7的移動(dòng) 路徑上。即，絕熱部件29未配置在執(zhí)行使用了噴頭3的處理的第一位置 Al處。由此，基于噴頭3和各移動(dòng)體4、 5、 6、 7的協(xié)動(dòng)的各種處理(圖 案形成處理、保養(yǎng)處理等)的執(zhí)行不受妨礙。 再有，絕熱部件29也未被配置在執(zhí)行基于基板搬送裝置27的處理 的第二位置A2處。即，在本實(shí)施方式中，絕熱部件29被配置在第一位 置A1和第二位置A2以外的移動(dòng)體4、 5、 6、 7的移動(dòng)路徑上。由此， 相對(duì)于配置在第二位置A2處的第一移動(dòng)體4的基于基板搬送裝置27的 基板P的搬入動(dòng)作、以及從第一移動(dòng)體4的基板P的搬出動(dòng)作不受妨礙。在本實(shí)施方式中，絕熱部件29配置在與基座部件17上的各移動(dòng)體 4、 5、 6、 7分開的位置上并包圍移動(dòng)體4、 5、 6、 7。絕熱部件29形成 各移動(dòng)體4、 5、 6、 7可以移動(dòng)的內(nèi)部空間72。具體而言，絕熱部件29 在其與基座部件17的支撐面16之間形成各移動(dòng)體4、 5、 6、 7可以移動(dòng) (可以被配置)的內(nèi)部空間72。絕熱部件29阻斷配置在內(nèi)部空間72的 第一移動(dòng)體4的熱向外部空間73的釋放。相對(duì)于內(nèi)部空間72而言，外 部空間73是絕熱部件29外側(cè)的空間。在本實(shí)施方式中，外部空間73 包括腔室主體30 (腔室主體30的內(nèi)面)和絕熱部件29 (絕熱部件29 的外面)之間的空間。腔室裝置32的空調(diào)裝置31至少調(diào)節(jié)外部空間73的溫度。由此，腔 室主體30內(nèi)的各機(jī)器、部件被配置在希望的環(huán)境(溫度)下。絕熱部件29具有絕熱性，是由阻斷配置在內(nèi)部空間72的第一移動(dòng) 體4的熱向外部空間73釋放的材料形成。在本實(shí)施方式中，絕熱部件 29例如是由例如發(fā)泡苯乙烯、發(fā)泡氨基甲酸酯等具有絕熱性的合成樹脂 制成。本實(shí)施方式的絕熱部件29是隧道狀，在絕熱部件29的Y軸方向的 兩側(cè)形成有各移動(dòng)體4、 5、 6、 7可以通過的開口 (出入口) 74。開口 74形成為連通由絕熱部件29形成的內(nèi)部空間72和外部空間73。接著，邊參照?qǐng)D14和圖15，邊對(duì)功能液收納裝置9進(jìn)行說明。圖 14是表示功能液收納裝置9的立體圖，圖15是表示功能液收納裝置9 的側(cè)剖面圖。在圖14和圖15中，功能液收納裝置9具備借助流路與噴頭3連 接并形成對(duì)提供給噴頭3的功能液進(jìn)行收納的第一空間91S的第一容器 91;收納第一容器91且在其與第一容器91之間形成第^空間92S的第 二容器92;對(duì)第二空間92S的壓力進(jìn)行調(diào)節(jié)的壓力調(diào)節(jié)裝置93;和對(duì)第一容器91的功能液的溫度進(jìn)行調(diào)節(jié)的溫度調(diào)節(jié)裝置94。第一容器91是 由具有可撓性的膜(薄膜)形成。在本實(shí)施方式中，第一容器91是由塑 料薄片形成的包裹狀容器。第一容器91根據(jù)壓力調(diào)節(jié)裝置93的動(dòng)作發(fā) 生變形。第一容器91的第一空間91S是大致密閉的空間。第二容器92是組合多個(gè)硬板狀的部件形成的。第二容器92例如是 組合多個(gè)金屬板、塑料板等硬板狀的部件而形成的盒狀的部件。在本實(shí)施方式中，第一容器91在第二容器92的內(nèi)側(cè)配置有多個(gè)。 第一容器91例如根據(jù)噴頭3而配置有多個(gè)。連接第一容器91的第一空間91S和噴頭3的流路是由包括管部件 90的配管系統(tǒng)形成。管部件卯形成流過功能液的流路。管部件90的流 路的一端與設(shè)置在第二容器92上的連接機(jī)構(gòu)95連接，管部件90的流路 的另一端與保持裝置38連接。管部件90和連接機(jī)構(gòu)95根據(jù)第一容器 91設(shè)置有多個(gè)。連接機(jī)構(gòu)95在內(nèi)部具有流路，可以連接管部件90的流 路的一端和配置在第二容器92內(nèi)側(cè)的空間的第一容器91的第一空間 91S。保持裝置38在內(nèi)部具有流路，可以連接管部件90的流路的另一端、 和空腔34等噴頭3內(nèi)部的流路。g卩，第一容器91的第一空間91S借助 連接機(jī)構(gòu)95的流路、管部件90的流路、和保持裝置38的流路，與噴頭 3內(nèi)部的流路連接。被收納在第一容器91的第一空間91S內(nèi)的功能液借 助連接機(jī)構(gòu)95的流路、管部件90的流路、保持裝置38的流路、和噴頭 3內(nèi)部的流路，可以提供給噴頭的噴出口 1。再有，液滴噴出裝置IJ具備相對(duì)于第一空間91S和噴頭3之間的 流路以可以裝卸的方式連結(jié)噴頭3的連結(jié)裝置99。在本實(shí)施方式中，連 結(jié)裝置99被設(shè)置在保持裝置38上，以可以裝卸的方式連結(jié)管部件90 的流路的另一端和支撐機(jī)構(gòu)39的上端。通過連結(jié)裝置99，相對(duì)于第一 空間91S和噴頭3之間的流路中由管部件90形成的流路，裝卸包括噴頭 3的保持裝置38 (支撐機(jī)構(gòu)39、支架部件ll)。壓力調(diào)節(jié)裝置93根據(jù)第一容器91的功能液的表面(界面)和噴頭 3的噴出口 1的位置關(guān)系，對(duì)第三空間92S的壓力進(jìn)行調(diào)節(jié)；壓力調(diào)節(jié) 裝置93借助由管部件96形成的流路與第二空間93S連結(jié)。壓力調(diào)節(jié)裝 置93含有真空系統(tǒng)，通過吸引第二空間92S的氣體(空氣)，從而可以對(duì)第二空間92S進(jìn)行減壓。再有，壓力調(diào)節(jié)裝置93含有氣體供給系統(tǒng)， 通過向第二空間92S提供氣體(空氣)，從而可以對(duì)第二空間92S進(jìn)行 加壓。如上所述，在本實(shí)施方式中，噴出口 1附近的壓力由腔室裝置32 設(shè)定成大致等于大氣壓。壓力調(diào)節(jié)裝置93可以使用真空系統(tǒng)降低第二空 間92S的壓力，使其至少低于大氣壓。再有，壓力調(diào)節(jié)裝置93可以使用 氣體供給系統(tǒng)升高第二空間92S的壓力，使其至少高于大氣壓。在本實(shí)施方式中，第一容器91的功能液的表面配置在噴頭3的噴出 口 1的上方(+Z偵iJ)。壓力調(diào)節(jié)裝置93對(duì)第二空間92S減壓。B卩，壓 力調(diào)節(jié)裝置93降低第二空間92S的壓力，使其至少低于噴頭3的噴出口 1附近的壓力(大氣壓)。溫度調(diào)節(jié)裝置94的至少一部分被配置在與第一容器91對(duì)向的第二 容器92的內(nèi)面，可以調(diào)節(jié)配置在第二容器92內(nèi)側(cè)的空間的第一容器91 (第一容器91的功能液)的溫度。溫度調(diào)節(jié)裝置94具有可以對(duì)配置在 第二容器92內(nèi)側(cè)的空間的第一容器91 (第一容器91的功能液)進(jìn)行加 熱的加熱機(jī)構(gòu)、和對(duì)其進(jìn)行冷卻的冷卻機(jī)構(gòu)兩者。如上所述，在本實(shí)施方式中，噴出口 1附近的溫度被腔室裝置32 設(shè)定成大致等于常溫(例如22'C)。溫度調(diào)節(jié)裝置94使用加熱機(jī)構(gòu)，可 以升高第一容器91的功能液的溫度使其至少高于22°C。再有，溫度調(diào) 節(jié)裝置94使用冷卻機(jī)構(gòu)，可以降低第一容器91的功能液的溫度使其至 少低于22"C。在本實(shí)施方式中，根據(jù)第一容器91的功能液的物性，溫度調(diào)節(jié)裝置 94對(duì)配置在第二容器92的內(nèi)側(cè)的空間的第一容器91的功能液進(jìn)行冷 卻。降低該第一容器91的功能液的溫度使其至少低于噴頭3的噴出口 1 附近的溫度(22°C)。在本實(shí)施方式中，溫度調(diào)節(jié)裝置94調(diào)節(jié)第一容器 91的功能液的溫度例如為10°C。即，在本實(shí)施方式中，安裝了溫度調(diào)節(jié) 裝置94的至少一部分的第二容器92，具有作為冷藏庫的功能。另外， 例如可以由發(fā)泡苯乙烯、發(fā)泡氨基甲酸酯等具有絕熱性的材f斗等形成第 二容器92。在第二容器92的第一位置形成有連通第二容器92的內(nèi)側(cè)的空間(第二空間92S)和外側(cè)的空間(大氣空間)的第一開口97，在該第一開口 97配置有對(duì)該第一開口 97進(jìn)行開閉的開閉門97T。第一開口 97用于使 第一容器91通過第二容器92的內(nèi)側(cè)的空間和外側(cè)的空間之間，具有第 一容器91可以通過的大小。因此，活動(dòng)開閉門97T打開第一開口 97， 由此借助第一開口 97可以使第一容器91出入第二容器92的內(nèi)側(cè)的空 間，可以更換第一容器91。再有，活動(dòng)開閉門97關(guān)閉第一開口97，由 此可以密閉第二容器92的內(nèi)側(cè)的空間(第二空間92S)以使壓力調(diào)節(jié)裝 置93可以調(diào)節(jié)壓力。再有，在第二容器92的第二位置形成有連通第二容器92的內(nèi)側(cè)的 空間(第二空間92S)和外側(cè)的空間(大氣空間)的第二開口98，在第 二開口 98配置有對(duì)該第二開口 98進(jìn)行開閉的開閉蓋98T。第二開口 98 用于使第二容器92的內(nèi)側(cè)的空間向大氣開放，卸下開閉蓋98T打開第 二開口98，由此例如即便是第二空間92S被減壓的狀態(tài)，也可以借助第 二開口 98連通第二空間92S和大氣空間，使第二空間92S向大氣開放。 由此，例如，容易活動(dòng)處于第一開口97關(guān)閉的狀態(tài)下的開閉門97T，可 以順利地執(zhí)行第一容器91的更換動(dòng)作。再有，將開閉蓋98T安裝到第 二開口98上，關(guān)閉第二開口98，由此可以密閉第二容器92的內(nèi)側(cè)的空 間(第二空間92S)以使壓力調(diào)節(jié)裝置93可以調(diào)節(jié)壓力。艮P，使用開閉門97T和開閉蓋98T,關(guān)閉第一開口 97和第二開口 98，由此使第二容器92的內(nèi)側(cè)的空間(第二空間92S)成為大致密閉的 空間。接著，邊參照?qǐng)D16 圖19的示意圖，邊對(duì)使用具有上述構(gòu)成的液 滴噴出裝置IJ制造器件的步驟的一例進(jìn)行說明。在以下的說明中，以液 滴噴出裝置U執(zhí)行向初始狀態(tài)的噴頭3填充功能液的動(dòng)作(初始填充動(dòng) 作)、在初始填充動(dòng)作之后為制造器件而從噴出口 1噴出功能液的液滴D 的動(dòng)作(液滴噴出動(dòng)作)、對(duì)噴頭3進(jìn)行保養(yǎng)的動(dòng)作(保養(yǎng)動(dòng)作)、和更 換噴頭3的動(dòng)作(噴頭更換動(dòng)作)的情況為例進(jìn)行說明。圖16是表示初 始填充動(dòng)作的一例的示意圖，圖17是表示液滴噴出動(dòng)作的一例的示意 圖，圖18是表示保養(yǎng)動(dòng)作的一例的示意圖，圖19是表示噴頭考換動(dòng)作 的一例的示意圖。(初始填充動(dòng)作)首先，執(zhí)行初始填充動(dòng)作。初始填充動(dòng)作包括向初始狀態(tài)的噴頭3 填充功能液的動(dòng)作。噴頭3的初始狀態(tài)包括未向空腔34等噴頭3的內(nèi)部 的流路填充功能液的狀態(tài)(噴頭3的內(nèi)部的流路為空的狀態(tài))。在功能液收納裝置9中，借助第一開口 97將填充有功能液的第一容 器91收納在第二容器92的內(nèi)側(cè)的空間。在第二容器92的內(nèi)側(cè)的空間配 置有連接機(jī)構(gòu)95的一部分，第一容器91與該連接機(jī)構(gòu)95連接。此外， 通過開閉門97T關(guān)閉第一開口 97，同時(shí)通過開閉蓋98T關(guān)閉第二開口 98。由此，第二空間92S成為密閉狀態(tài)。再有，通過溫度調(diào)節(jié)裝置94 冷卻收納在第二容器92內(nèi)的第一容器91的功能液。在密閉狀態(tài)的第二空間92S中收納了第一容器91之后，控制裝置 10驅(qū)動(dòng)壓力調(diào)節(jié)裝置93。再有，控制裝置10在第一位置Al處配置第 二移動(dòng)體5，使噴頭3的噴出面2和蓋部50對(duì)向，用蓋部件48覆蓋噴 出面2。如圖16 (A)所示，控制裝置10使用壓力調(diào)節(jié)裝置93，對(duì)第二空 間92S加壓，如參照?qǐng)D7等所說明的，使用覆蓋裝置13，吸引噴頭3的 噴出口 1。如上所述，第一容器91由具有根據(jù)壓力調(diào)節(jié)裝置93的動(dòng)作 發(fā)生變形的可撓性的膜形成。如果通過壓力調(diào)節(jié)裝置93的動(dòng)作改變第二 空間92S的壓力，第一容器91根據(jù)該第二空間92S的壓力發(fā)生變形。 第一容器91的第一空間91S的壓力根據(jù)第一容器91的變形而發(fā)生變化。 即，在本實(shí)施方式中，伴隨著根據(jù)壓力調(diào)節(jié)裝置93的動(dòng)作而變化的第二 空間92S的壓力，第一空間91S的壓力發(fā)生變化。具體而言，如果第二 空間92S的壓力上升，伴隨著該第二空間92S的壓力的上升，第一容器 91發(fā)生變形，收納有功能液的第一空間91的壓力上升。對(duì)第二空間92S進(jìn)行加壓，對(duì)第一空間91S加壓，由此控制裝置IO 可以借助管部件90的流路等順利地向噴頭3提供收納在第一空間91S 中的功能液。再有，與第一空間91S的加壓動(dòng)作并行地執(zhí)行由覆蓋裝置 13對(duì)噴出口 1進(jìn)行的吸引動(dòng)作，由此控制裝置10可以迅速且順利地用 功能液將處于空狀態(tài)的噴頭3的內(nèi)部的流路充滿。再有，在第一空間91S被溫度調(diào)節(jié)裝置94冷卻的功能液在管部件90等的流路中流向噴頭3的期間內(nèi)被加熱，在達(dá)到噴頭3 (噴出口 1) 時(shí)，功能液的溫度被調(diào)節(jié)成大致等于常溫(22'C)。
在功能液充滿空腔34等噴頭3的內(nèi)部的流路之后，如圖16 (B)的 示意圖所示，控制裝置10使用壓力調(diào)節(jié)裝置93對(duì)第二空間92S減壓。 如果第二空間92S的壓力降低，伴隨著該第二空間92S的壓力的降低， 第一容器91發(fā)生變形，收納有功能液的第一空間91的壓力降低。
對(duì)第二空間92S減壓，對(duì)第一空間91S減壓，由此維持噴出口l處 功能液的彎液面，噴頭3的噴出口 1被設(shè)定成可以在抑制功能液的漏出 的同時(shí)良好的噴出液滴D的狀態(tài)。由此，控制裝置10調(diào)節(jié)第二空間92S (第一空間91S)的壓力(減壓)，以將噴出口 l的功能液的彎液面維持 成希望的狀態(tài)。
再有，控制裝置10根據(jù)需要在對(duì)第二空間92S (第一空間91S)減 壓的同時(shí)，適當(dāng)執(zhí)行基于覆蓋裝置13的覆蓋處理、基于擦拭裝置14的 擦拭處理、以及基于浸漬裝置15的浸漬處理。此外，在包括覆蓋處理、 擦拭處理、以及浸漬處理的保養(yǎng)處理結(jié)束之后，如圖16 (C)所示，控 制裝置10在第一位置Al處配置保持有基板P的第一移動(dòng)體4，開始用 于制造器件的功能液的液滴D的噴出動(dòng)作。 (液滴噴出動(dòng)作)
圖17是表示保持有基板P的第一移動(dòng)體4被配置在第一位置Al處 的狀態(tài)的示意圖?？刂蒲b置10在與噴頭3的噴出面2對(duì)向的第一位置 Al處配置保持有基板P的第一移動(dòng)體4。此外，控制裝置10控制控制 器12和驅(qū)動(dòng)裝置8，使第一移動(dòng)體4的基板P相對(duì)于噴頭3的噴出口 1 沿著Y軸方向移動(dòng)，同時(shí)從噴頭3的噴出口 1向基板P噴出(提供)液 滴D。由此，在基板P上由液滴D形成圖案?？刂蒲b置10用加熱裝置 47對(duì)基板P加熱，同時(shí)向該基板P噴出液滴D。
在本實(shí)施方式中，在多個(gè)噴頭3的噴出口 1當(dāng)中，最+X側(cè)的噴出 口 1和最一X側(cè)的噴出口 1的距離、與基板P的X軸方向的大小大致相 等。因此，液滴噴出裝置IJ在第一移動(dòng)體4的基板P相對(duì)于噴頭3的噴 出口 1沿著Y軸方向移動(dòng)同時(shí)從噴頭3的噴出口 1向基板P噴出(提供) 液滴D時(shí)，通過基板P的向Y軸方向的僅一次的移動(dòng)，就可以向基板P的表面的大致整個(gè)區(qū)域提供液滴D。另外，液滴噴出裝置IJ可以反復(fù)多次進(jìn)行以下動(dòng)作，即使第一移 動(dòng)體4的基板P相對(duì)于噴頭的噴出口1沿著Y軸方向移動(dòng)的同時(shí)從噴頭3的噴出口1向基板P噴出(提供)液滴D的動(dòng)作。例如，可以多次反 復(fù)進(jìn)行使基板P向+Y方向移動(dòng)的同時(shí)噴出液滴D的動(dòng)作、和使基板P 向一Y方向移動(dòng)所謂同時(shí)噴出液滴D的動(dòng)作。再有，例如如同特開2004 —146796號(hào)公報(bào)等所公開的那樣，每當(dāng)基板P向Y軸方向移動(dòng)時(shí)，可以 使基板P在X軸方向的位置僅變化微小的距離(例如1個(gè)像素量)。另外，如上所述，本實(shí)施方式的基板P是燒結(jié)前的LTCC基板(生 片)，被薄膜F支撐。液滴噴出裝置IJ向處于被薄膜F支撐的狀態(tài)的基 板P (生片)噴出液滴D。在液滴D相對(duì)于基板P的噴出動(dòng)作結(jié)束之后，控制裝置10為了從 第一移動(dòng)體4搬出基板P，控制驅(qū)動(dòng)裝置8，將第一移動(dòng)體4移動(dòng)至第一 位置A2處。在本實(shí)施方式中，驅(qū)動(dòng)裝置8使多個(gè)移動(dòng)體4、 5、 6、 7 — 起向一Y方向(從第一位置A1向第二位置A2的方向)移動(dòng)。因?yàn)樵诘谝晃恢肁1和第二位置A2之間的第一移動(dòng)體4的移動(dòng)路徑 配置有絕熱部件29，所以可以抑制在第一位置Al和第二位置A2之間 移動(dòng)的第一移動(dòng)體4的熱向外部空間73釋放。 (保養(yǎng)動(dòng)作)圖18是表示將保持有基板P的第一移動(dòng)體4配置在第二位置A2處 的狀態(tài)的示意圖。在本實(shí)施方式中，可以保持基板P的第一移動(dòng)體4是 多個(gè)(4個(gè))移動(dòng)體4、 5、 6、 7中配置在最一Y側(cè)(第二位置A2側(cè)) 的移動(dòng)體。如圖18所示，設(shè)定各移動(dòng)體4、 5、 6、 7的大小、數(shù)量、以 及第一位置Al和第二位置A2的距離等，以便在第一移動(dòng)體4被配置在 第二位置A2處時(shí)，多個(gè)(4個(gè))移動(dòng)體4、 5、 6、 7中配置最+Y側(cè)(第 一位置Al側(cè))的第四移動(dòng)體7被配置在第一位置Al處。因此，如圖 18所示，當(dāng)?shù)谝灰苿?dòng)體4被配置在第二位置A2處時(shí)，第四移動(dòng)體7被 配置第一位置Al處?？刂蒲b置10使用基板搬送裝置27，從配置在第二位置A2處的第一 移動(dòng)體4搬出基板P，同時(shí)向該第一移動(dòng)體4搬入新的基板P。另一方面，控制裝置10使用配置在第一位置Al處的第四移動(dòng)體7， 執(zhí)行噴頭3的保養(yǎng)處理。第四移動(dòng)體7的浸漬裝置15與噴頭3協(xié)動(dòng)，執(zhí) 行保養(yǎng)處理(浸漬處理)。控制裝置IO如參照?qǐng)D11等而說明的那樣，將 噴頭3浸漬到浸漬裝置15中，對(duì)噴頭3進(jìn)行清潔。再有，如上所述，在 與第一移動(dòng)體4的基板P對(duì)向的狀態(tài)下噴出液滴D，由此噴頭3 (板部 件37)有可能被包括加熱裝置47的第一移動(dòng)體4的熱所加熱。當(dāng)噴頭3 的板部件37被加熱并在該狀態(tài)下放置時(shí)，例如板部件37發(fā)生熱變形， 形成在板部件37上的噴出口 1彼此的距離(噴嘴間距)有可能發(fā)生變動(dòng)。 如果噴嘴間距發(fā)生變動(dòng)，無法向基板P的希望的位置提供液滴D，制造 的器件的性能發(fā)生劣化。在本實(shí)施方式中，通過將噴頭3浸漬在浸漬裝 置15的液體中，對(duì)被加熱的噴頭3 (板部件37)進(jìn)行冷卻，可以使噴涂 3 (板部件37)恢復(fù)(調(diào)節(jié))到最佳溫度。因此，可以抑制噴嘴間距發(fā) 生變動(dòng)等不良情況的發(fā)生。再有，在本實(shí)施方式中，控制裝置IO可以并行執(zhí)行配置在第一位置 Al的第四移動(dòng)體7對(duì)噴頭3的保養(yǎng)處理、和使用配置在第二位置A2處 的第一移動(dòng)體4的處理(基板P的搬出、搬入處理)的至少一部分。由 此，可以提高液滴噴出裝置IJ的處理效率。在使用了第四移動(dòng)體7的處理(浸漬處理)結(jié)束之后，控制裝置IO 控制驅(qū)動(dòng)裝置8，使多個(gè)移動(dòng)體4、 5、 6、 7向+Y方向(從第二位置 A2向第一位置Al的方向) 一起移動(dòng)，在第一位置Al處配置第三移動(dòng) 體6。控制裝置10使用配置在第一位置Al處的第三移動(dòng)體6，執(zhí)行噴 頭3的保養(yǎng)處理。第三移動(dòng)體6的擦拭裝置14與噴頭3協(xié)動(dòng)，執(zhí)行保養(yǎng) 處理(擦拭處理)?？刂蒲b置10如同參照?qǐng)D9等說明的那樣，使用擦拭 裝置14的擦拭部件57，擦拭附著在噴頭3的噴出面2上的異物。在本 實(shí)施方式中，在利用擦拭裝置14實(shí)施擦拭處理之前，執(zhí)行基于浸漬裝置 15的浸漬處理。在噴頭3的噴出面2上可能有浸漬裝置15的液體的液 滴殘留?？刂蒲b置IO使用擦拭裝置14擦拭(除去)殘留在噴頭3的噴 出面2上的浸漬裝置15的液體的液滴。在第三移動(dòng)體6對(duì)噴頭3的擦拭處理結(jié)束之后，控制裝置10控制驅(qū) 動(dòng)裝置8，使多個(gè)移動(dòng)體4、 5、 6、 7向+Y方向(從第二位置A2向蒗一位置A1的方向) 一起移動(dòng)，在第一位置A1處配置第二移動(dòng)體5。控 制裝置10使用配置在第一位置Al處的第二移動(dòng)體5，執(zhí)行噴頭3的保 養(yǎng)處理。第二移動(dòng)體5的覆蓋裝置13與噴頭3協(xié)動(dòng)，執(zhí)行保養(yǎng)處理(覆 蓋處理)?？刂蒲b置10如同參照?qǐng)D7等說明的那樣，使用覆蓋裝置13 吸引噴頭3的噴出口 1。另外，在覆蓋處理結(jié)束之后，在第一位置A1處配置第二移動(dòng)體5， 可以執(zhí)行擦拭處理。在覆蓋處理結(jié)束之后，即便在異物(包含液滴)附 著于噴出面2的情況下，通過擦拭處理也可以除去該異物。在第二移動(dòng)體5對(duì)噴頭3的覆蓋處理結(jié)束之后，控制裝置10控制驅(qū) 動(dòng)裝置8，使多個(gè)移動(dòng)體4、 5、 6、 7向+Y方向(從第二位置A2向第 一位置Al的方向) 一起移動(dòng)，在第一位置Al處配置第一移動(dòng)體4?？?制裝置IO針對(duì)由配置在第一位置Al處的第一移動(dòng)體4所保持的基板P， 開始從噴頭3噴出液滴D的處理(圖案形成處理)。第一移動(dòng)體4與噴 頭3協(xié)動(dòng)，執(zhí)行用液滴D在基板P上形成圖案的處理(圖案形成處理)。在本實(shí)施方式中，向多個(gè)(例如10 20塊左右)的基板P (生片) 噴出液滴D，用液滴D在各基板P上形成圖案。從用液滴D形成圖案之 后的基板P除去薄膜F。此外，對(duì)具有由液滴D形成的圖案的多個(gè)基板 P進(jìn)行層疊，形成該基板P的層疊體。隨后，對(duì)基板P的層疊體進(jìn)行加 熱處理。由此，在基板P上的液滴D被干燥、燒成的同時(shí)，基板P (生 片)也被燒成。由此，形成具有規(guī)定的配線圖案的LTCC基板(LTCC 多層電路基板)。(噴頭更換動(dòng)作)噴頭3例如有可能隨著時(shí)間的推移而劣化，所以根據(jù)更換新的噴頭 3。為了更換噴頭3，如圖19 (A)所示，控制裝置IO使用壓力調(diào)節(jié)裝 置93對(duì)第二空間92S減壓。伴隨著第二空間92S的減壓，第一空間91S 也減壓?？刂蒲b置10使用壓力調(diào)節(jié)裝置93對(duì)第二空間92S (第一空間 91S)減壓，以使第一空間91S和噴頭3之間的流路的功能液的下表面 (界面)被配置在連結(jié)裝置99的上方(第一空間91S側(cè))。此外，在第一空間91S和噴頭3之間的流路的功能液的下表面(界 面)被配置在連結(jié)裝置99的上方(第一空間91S側(cè))的狀態(tài)下，將噴頭3從流路卸下來。在本實(shí)施方式中，通過連結(jié)裝置99卸下管部件90的 流路的另一端和支撐機(jī)構(gòu)39的上端。由此，相對(duì)于由管部件90形成的 流路，卸下包括噴頭3的保持裝置(支撐機(jī)構(gòu)39、支架部件ll)。此外，如圖19(C)所示，含有新的噴頭3的保持裝置38借助連結(jié) 裝置99而與管部件90的流路的另一端連接。由此，在更換噴頭3時(shí)等 將噴頭3 (在本實(shí)施方式中是包含噴頭3的保持裝置38)相對(duì)于管部件 90等流路卸下來時(shí)，對(duì)第二空間92S (第一空間91S)減壓，將第一空 間91S和噴頭3之間的流路的功能液的下表面(界面)配置在連結(jié)裝置 99的上方(第一空間91S側(cè))，由此可以抑制功能液的流出。此外，在 將新的噴頭3連接在流路上之后，控制裝置IO例如如參照?qǐng)D16 (A)所 說明的那樣，在對(duì)第二空間92S (第一空間91S)加熱的同時(shí)，開始基 于覆蓋裝置13的覆蓋處理，向噴頭3的內(nèi)部的流路填充功能液。再有，當(dāng)更換收納在第二容器92中的第一容器91時(shí)，卸下開閉蓋 98T，打開第二開口98。由此，例如即便在對(duì)第二空間92S減壓的狀態(tài) 下，通過打開第二開口98，也可以使第二空間92S向大氣開放。由此， 容易活動(dòng)(容易打開)第一開口 97狀態(tài)下的開閉門97T，可以順利地執(zhí) 行第一容器91的更換動(dòng)作。如以上的說明所述，根據(jù)本實(shí)施方式，用與因壓力調(diào)節(jié)裝置93的動(dòng) 作而變化的第二空間92S的壓力對(duì)應(yīng)發(fā)生變形的膜形成第一容器91，調(diào) 節(jié)第二空間92S的壓力，由此調(diào)節(jié)第一空間91S的壓力，所以在抑制功 能液的物性的變化的同時(shí)可以以簡(jiǎn)易的構(gòu)造調(diào)節(jié)功能液的壓力。由第一 容器91形成的第一空間91S是大致密閉的空間，由含有真空系統(tǒng)或者氣 體供給系統(tǒng)的壓力調(diào)節(jié)裝置93直接調(diào)節(jié)該第一容器91S的壓力，此時(shí)， 收納在該第一空間91S中的功能液的液體成分(例如分散劑、溶劑)發(fā) 生氣化等，功能液的濃度和/或粘度有可能發(fā)生變化。例如，如果通過含 有真空系統(tǒng)的壓力調(diào)節(jié)裝置93直接調(diào)節(jié)第一空間91S，則收納在該第一 空間91S中的功能液的液體成分(例如分散劑、溶劑)發(fā)生氣化，功能 液的濃度和/或粘度有可能上升。根據(jù)本實(shí)施方式，不通過壓力調(diào)節(jié)裝置 93直接調(diào)節(jié)第一空間91S的壓力，用壓力調(diào)節(jié)裝置93調(diào)節(jié)至少一部分 是由膜形成的第一容器91和第二容器92之間的第二空間92S的壓力，由此在密閉的第一空間91S中，可以在抑制由功能液的氣化等引起的功 能液的濃度和/或粘度等物性的變化的同時(shí)，將第一空間91S調(diào)節(jié)為希望 的壓力。因此，抑制由功能液的物性的變化引起的異物的發(fā)生等，噴出 希望狀態(tài)的液滴，可以制造具有需要性能的器件。再有，根據(jù)本實(shí)施方 式，可以以簡(jiǎn)易的構(gòu)造調(diào)節(jié)功能液的壓力，可以抑制功能液的一部分堵 塞流路等不良情況的發(fā)生。再有，可以順利地執(zhí)行保養(yǎng)作業(yè)等。再有，通過根據(jù)第一容器91的功能液的表面和噴頭3的噴出口 1 的位置關(guān)系來調(diào)節(jié)(最佳化)第二空間92S (第一空間91S)的壓力， 由此可以在抑制功能液從噴頭3的噴出口 1漏出的同時(shí)，以所希望的狀 態(tài)噴出液滴D。再有，根據(jù)功能液的種類，溫度的變化有可能引起物性的變化，但 通過設(shè)置溫度調(diào)節(jié)裝置94，可以抑制由溫度變化引起的功能液的物性的 變化。再有，即便在液滴噴出裝置IJ的運(yùn)轉(zhuǎn)長(zhǎng)時(shí)間停止的情況(從噴頭 3的噴出口 1的液滴噴出動(dòng)作長(zhǎng)時(shí)間停止的情況)下，通過繼續(xù)冷卻第 一容器91的功能液，可以抑制功能液的物性的變化。此外，通過使第二 容器92具有作為冷藏庫的功能，即便在液滴噴出裝置IJ的運(yùn)轉(zhuǎn)長(zhǎng)時(shí)間 停止的情況下，也可以將第一容器91收納在第二容器92內(nèi)。因此，沒 有必要為了抑制功能液的物性的變化而將收納有該功能液的第一容器 91搬送至設(shè)置在與液滴噴出裝置IJ不同的場(chǎng)所的冷藏庫。再有，在本實(shí)施方式中，在更換噴頭3等情況下從流路卸下噴頭3 時(shí)，使用壓力調(diào)節(jié)裝置93對(duì)第二空間92S減壓，以使第一空間91S和 噴頭3之間的流路的功能液的下表面(界面)被至少配置在連結(jié)裝置99 的上方。由此，可以在抑制功能液的漏出的同時(shí)，從流路卸下噴頭3， 或者更換新的噴頭3，可以順利地執(zhí)行保養(yǎng)作業(yè)等。因此，可以在將沒 有用的功能液的量抑制在最小限的同時(shí)執(zhí)行保養(yǎng)作業(yè)等。<第二實(shí)施方式>接著，對(duì)第二實(shí)施方式進(jìn)行說明。在以下的說明中，對(duì)與上述的實(shí) 施方式相同或同等的構(gòu)成成分附加相同的符號(hào)，簡(jiǎn)化或省略其說明。 圖20是表示第二實(shí)施式的功能液收納裝置9B的示意圖。在上述的第一實(shí)施方式中，第一容器90幾乎全部都是由具有可撓性的膜形成， 第二實(shí)施方式的特征性部分在于第一容器91的一部分是由具有可撓性 的膜91D形成。在圖20中，功能液收納裝置9B具備借助流路與噴頭3連接并形 成對(duì)用于提供給噴頭3的功能液進(jìn)行收納的第一空間91S的第一容器 91、收納第一容器91且在其與第一容器91之間形成第二空間92S的第 二容器92、對(duì)第二空間92S的壓力進(jìn)行調(diào)節(jié)的壓力調(diào)節(jié)裝置93、和對(duì)第 一容器91的功能液的溫度進(jìn)行調(diào)節(jié)的溫度調(diào)節(jié)裝置94。由第一容器91 形成的第一空間91S是大致密閉的空間。第一容器91是組合例如金屬板、塑料板等硬板狀的部件、和塑料的薄片狀的部件等具有可撓性的膜(薄 膜)91D而形成的。第一容器91的膜91D對(duì)應(yīng)于壓力調(diào)節(jié)裝置93的動(dòng)作發(fā)生變形。第二容器92與上述的第一實(shí)施方式一樣，例如是組合多個(gè)金屬板、 塑料板等硬板狀的部件而形成的盒狀的部件。再有，在本實(shí)施方式中，借助第二管部件100的流路連接第一容器 91的第一空間91S和連接機(jī)構(gòu)95。如果通過壓力調(diào)節(jié)裝置93的動(dòng)作使第二空間92S的壓力發(fā)生變化， 則第一容器91的膜91D對(duì)應(yīng)于該第二空間92S的壓力發(fā)生變形。與上 述的第一實(shí)施方式相同，在本實(shí)施方式中，伴隨著與壓力調(diào)節(jié)裝置93 的動(dòng)作相對(duì)應(yīng)變化的第二空間92S的壓力，第一空間91S的壓力發(fā)生變 化。如上述的說明所述，即使在本實(shí)施方式中，也可以在抑制功能液的 物性的變化的同時(shí)，以簡(jiǎn)易的構(gòu)造調(diào)節(jié)功能液的壓力。另外，在上述的第一、第二實(shí)施方式中，以第一容器91的功能液的 表面被配置在噴頭3的噴出口 1的上方為例進(jìn)行說明，第一容器91的功 能液的表面可以被配置在噴頭3的噴出口 1的下方。此時(shí)，第二空間92S 的壓力被壓力調(diào)節(jié)裝置93加壓成至少高于大氣壓。g卩，根據(jù)功能液充滿 連接第一空間91S和噴出口 1的流路的狀態(tài)下的第一容器91的功能液的 表面和噴頭3的噴出口 1的Z軸方向的位置關(guān)系、所謂的水位差，調(diào)節(jié) 第二空間92S的壓力，由此可以在抑制功能液從噴頭3的噴出口 1漏出的同時(shí)，以希望的狀態(tài)噴出液滴D。另外，在上述的各實(shí)施方式中，對(duì)溫度調(diào)節(jié)裝置94冷卻第一容器 91的功能液的情況進(jìn)行說明，但根據(jù)功能液的種類(物性)，優(yōu)選進(jìn)行 加熱。此時(shí)，控制裝置10使用溫度調(diào)節(jié)裝置94加熱第一容器91的功能液。另外，使用了上述的各移動(dòng)體4、 5、 6、 7的處理的步驟是一個(gè)例子。 例如，可以在實(shí)施覆蓋處理之后，執(zhí)行浸漬處理，隨后執(zhí)行擦拭處理。 或者，可以在執(zhí)行浸漬處理之后，執(zhí)行覆蓋處理，隨后執(zhí)行擦拭處理。 再有，可以在執(zhí)行浸漬處理之后，執(zhí)行擦拭處理，隨后執(zhí)行覆蓋處理， 然后再次執(zhí)行擦拭處理，由此多次執(zhí)行相同的處理(在這里為擦拭處理)。 各移動(dòng)體4、 5、 6、 7的配置對(duì)應(yīng)于處理的順序進(jìn)行設(shè)定。再有，在使用了第二移動(dòng)體5、第三移動(dòng)體6、和第四移動(dòng)體7的保 養(yǎng)處理中，每當(dāng)進(jìn)行保養(yǎng)處理時(shí)，可以不必使用所有的第二移動(dòng)體5、 第三移動(dòng)體6、和第四移動(dòng)體7。例如，可以不進(jìn)行覆蓋處理而僅執(zhí)行浸 漬處理和覆蓋處理，或可以不進(jìn)行浸漬處理而僅執(zhí)行覆蓋處理和擦拭處 理，或者不進(jìn)行浸漬處理和覆蓋處理而僅執(zhí)行擦拭處理，或者可以不進(jìn) 行浸漬處理和擦拭處理而僅執(zhí)行覆蓋處理。另外，使用了第二移動(dòng)體5、第三移動(dòng)體6、和第四移動(dòng)體7的保養(yǎng) 處理，可以在規(guī)定的時(shí)刻執(zhí)行。在本實(shí)施方式中，在每次從第一移動(dòng)體 4搬出基板P的動(dòng)作、以及將基板P搬入到第一移動(dòng)體4的動(dòng)作時(shí)均要 執(zhí)行保養(yǎng)處理，例如可以在每批、每個(gè)規(guī)定時(shí)間間隔執(zhí)行保養(yǎng)處理。另外，在上述的各實(shí)施方式，以基板P為L(zhǎng)TCC基板(生片)、在基 板P上形成配線圖案(電路圖案)的情況為例進(jìn)行說明，但作為基板P， 不僅是生片，還可以對(duì)應(yīng)于玻璃基板、半導(dǎo)體晶片等制造的器件而適當(dāng) 選擇。再有，作為使用的功能液的導(dǎo)電性微粒，不僅是銀，還可以是例 如特開2005 — 34837號(hào)公報(bào)等公開的那樣的金、銅、鈀、和鎳等金屬微 粒，還可以是導(dǎo)電性聚合物。再有，使用的分散劑可以根據(jù)導(dǎo)電性微粒 適當(dāng)選擇。再有，不僅能形成配線圖案，還能形成薄膜晶體管(TFT: Thin Film Transistor)的至少一部分。再有，作為可以使用液滴噴出裝置U制造的器件，不僅可以形成電路基板，還可以形成例如濾色器、取向膜等液晶裝置的至少一部分，還 可以形成有機(jī)EL裝置的至少一部分。
權(quán)利要求
1.一種液滴噴出裝置，具備噴頭，其具有形成了噴出功能液的液滴的噴出口的噴出面；第一容器，其借助流路而與所述噴頭連接，并形成對(duì)提供給所述噴頭的所述功能液進(jìn)行收納的第一空間；第二容器，其收納所述第一容器，并在其與所述第一容器之間形成第二空間；壓力調(diào)節(jié)裝置，其對(duì)所述第二空間的壓力進(jìn)行調(diào)節(jié)；和溫度調(diào)節(jié)裝置，其對(duì)所述第一容器的功能液的溫度進(jìn)行調(diào)節(jié)，所述第一容器的至少一部分由對(duì)應(yīng)于所述壓力調(diào)節(jié)裝置的動(dòng)作發(fā)生變形的膜形成。
2. 如權(quán)利要求1所述的液滴噴出裝置，其中，所述壓力調(diào)節(jié)裝置根據(jù)所述第一容器的功能液的表面和所述噴頭的 噴出口的位置關(guān)系來調(diào)節(jié)所述第二空間的壓力。
3. 如權(quán)利要求2所述的液滴噴出裝置，其中， 所述第一容器的功能液的表面配置在所述噴頭的噴出口的上方， 所述壓力調(diào)節(jié)裝置對(duì)所述第二空間減壓。
4. 如權(quán)利要求1 3中任意一項(xiàng)所述的液滴噴出裝置，其中， 該液滴噴出裝置還具備連結(jié)裝置，其以可以裝卸的方式將所述流路和所述噴頭連結(jié)，當(dāng)從所述流路卸下所述噴頭時(shí)，所述壓力調(diào)節(jié)裝置對(duì)所述第二空間減壓。
5. 如權(quán)利要求1 4中任意一項(xiàng)所述的液滴噴出裝置，其中， 所述溫度調(diào)節(jié)裝置對(duì)所述第一容器的功能液進(jìn)行冷卻。
6. 如權(quán)利要求5所述的液滴噴出裝置，其中，所述溫度調(diào)節(jié)裝置使所述第一容器的功能液的溫度降低到至少比所 述噴頭的噴出口附近的溫度還低。
7. 如權(quán)利要求1 6中任意一項(xiàng)所述的液滴噴出裝置，其中，該液滴噴出裝置還具備形成于所述第二容器上且連通所述第二容器內(nèi)側(cè)的空間和外側(cè)的空 間的開口；禾口對(duì)所述開口進(jìn)行開閉的開閉機(jī)構(gòu)。
8. 如權(quán)利要求7所述的液滴噴出裝置，其中，所述開口包括用于使所述第一容器在所述第二容器內(nèi)側(cè)的空間和外 側(cè)的空間之間通過的第一開口、和用于將所述第二容器的內(nèi)側(cè)空間向大氣 開放的第二開口的至少一方。
9. 一種器件的制造方法，包括使用權(quán)利要求1 8中任意一項(xiàng)所述的液滴噴出裝置向基板噴出液滴， 在所述基板上形成圖案的動(dòng)作；和對(duì)所述基板的液滴進(jìn)行干燥的動(dòng)作。
全文摘要
本發(fā)明提供一種可以在抑制功能液的物性發(fā)生變化的同時(shí)以簡(jiǎn)易的構(gòu)造調(diào)節(jié)功能液的液滴噴出裝置。液滴噴出裝置，具備具有形成噴出功能液的液滴的噴出口的噴出面的噴頭、借助流路而與噴頭連接并形成對(duì)提供給噴頭的功能液進(jìn)行收納的第一空間的第一容器、收納第一容器并在其與第一容器之間形成第二空間的第二容器、對(duì)第二空間的壓力進(jìn)行調(diào)節(jié)的壓力調(diào)節(jié)裝置、和對(duì)第一容器的功能液的溫度進(jìn)行調(diào)節(jié)的溫度調(diào)節(jié)裝置。第一容器的至少一部分由對(duì)應(yīng)于壓力調(diào)節(jié)裝置的動(dòng)作發(fā)生變形的膜形成。
文檔編號(hào)B05B15/00GK101249482SQ20071030070
公開日2008年8月27日 申請(qǐng)日期2007年12月25日 優(yōu)先權(quán)日2006年12月27日
發(fā)明者豐田直之, 小林敏之, 御子柴俊明 申請(qǐng)人:精工愛普生株式會(huì)社