專利名稱：旋涂裝置的制作方法
技術(shù)領(lǐng)域：
本發(fā)明涉及用于在各種盤上涂敷液體的旋涂裝置。
本申請(qǐng)對(duì)于在2003年12月25日申請(qǐng)的特愿2003-429087號(hào)主張優(yōu)先權(quán)，在此引用其內(nèi)容。
背景技術(shù)：
例如在CD-R、DVD-R、DVD+R等追記型光盤的制造工序中，通過利用旋涂裝置使盤基板按照規(guī)定的旋轉(zhuǎn)模式進(jìn)行旋轉(zhuǎn)，并通過由離心力使記錄材料的溶液在盤基板整個(gè)面上展開而使剩余的溶液被甩掉，從而形成均勻厚度的記錄層。
為了涂敷一片盤基板而供給的溶液的量通常是0.1～2ml左右。其中被涂敷在盤基板上的即實(shí)際形成記錄膜所使用的溶液小于或等于50％。除此之外的溶液或記錄材料則通過涂料器杯、回收用排放口而被回收到回收容器中。
形成記錄層的旋涂裝置與形成光盤保護(hù)膜用的或形成半導(dǎo)體的光敏抗蝕劑用的旋涂裝置不同，它所涂敷的溶液的大部分由溶劑和溶解在該溶劑中的色素材料構(gòu)成。例如通常的記錄材料溶液多數(shù)情況下是將酞花青色素、花青色素、偶氮色素等溶解在有機(jī)溶劑中的有機(jī)色素溶液。因此，由于溶劑在短時(shí)間內(nèi)蒸發(fā)而使色素材料成為固體狀態(tài)或粘糊糊的粘性高的狀態(tài)，所以為了將記錄材料溶液有效地回收而必須采取措施。
在旋涂中被甩掉的剩余有機(jī)色素溶液的色素材料粘著在涂料器罩的內(nèi)壁上并生長(zhǎng)。當(dāng)之后被甩掉的剩余有機(jī)色素溶液碰撞到該粘著的色素材料上時(shí)，則被彈回的剩余有機(jī)色素溶液有時(shí)會(huì)再附著在盤基板上，因此導(dǎo)致成品率降低。
在將積存在涂料器杯內(nèi)的記錄材料溶液通過排放口收集到回收容器的機(jī)構(gòu)中，如果不極力地縮短排放通路，則記錄材料會(huì)在中途凝固。于是，由于排放通路就逐漸變細(xì)而難于流通，因此溶液的回收作業(yè)變得困難。此外，雖然在旋涂裝置上設(shè)置有防止溶液的霧沫蔓延到盤基板的背側(cè)或旋轉(zhuǎn)臺(tái)的背側(cè)的整流部件，但有時(shí)也會(huì)出現(xiàn)記錄材料粘著在該整流部件上或者記錄材料粘著在內(nèi)杯與涂料器罩的抵接部位上。
為了解決記錄材料粘著在裝置各部分上的不良問題，在特開平9-27146號(hào)公報(bào)和特開2003-6948號(hào)公報(bào)中提出了設(shè)置沖洗裝置而定期地對(duì)裝置內(nèi)部進(jìn)行沖洗的裝置以及將記錄材料溶液通過排放口回收的裝置。
然而，即使進(jìn)行這樣的沖洗，也無法完全防止記錄材料的附著或堆積，仍然存在附著的記錄材料的除去麻煩而旋涂裝置停止的時(shí)間長(zhǎng)的問題。
特別是CD-R、DVD-R、DVD+R等追記型光盤的制造裝置多是具備4個(gè)或4個(gè)以上的涂料器杯，所以它們的維修保養(yǎng)所需要的時(shí)間相當(dāng)長(zhǎng)，因而在提高旋涂裝置的使用效率上成為障礙。

發(fā)明內(nèi)容
本發(fā)明的旋涂裝置，其特征在于，包括旋轉(zhuǎn)臺(tái)，其保持盤基板；旋轉(zhuǎn)機(jī)構(gòu)，其使該旋轉(zhuǎn)臺(tái)旋轉(zhuǎn)；涂料器罩，其配置成將所述旋轉(zhuǎn)臺(tái)包圍并擋住從被保持在所述旋轉(zhuǎn)臺(tái)上的盤基板甩掉的液體；內(nèi)杯，其擋住并保持沿著所述涂料器罩滴落的液體；涂料器杯，其支承該內(nèi)杯，其中，所述內(nèi)杯能夠從所述涂料器杯上卸下。根據(jù)該裝置，能夠?qū)⑹占后w的內(nèi)杯簡(jiǎn)單地卸下來進(jìn)行更換或沖洗，從而能夠提高旋涂裝置的運(yùn)轉(zhuǎn)效率。
該裝置也可以包括為了防止液體蔓延到所述旋轉(zhuǎn)臺(tái)或所述盤基板的下側(cè)而配置在所述旋轉(zhuǎn)臺(tái)周圍的整流部件。所述整流部件包括相對(duì)于所述內(nèi)杯相對(duì)固定的內(nèi)側(cè)固定部分和設(shè)置成能夠由該內(nèi)側(cè)部分裝卸的外側(cè)裝卸部分，所述外側(cè)裝卸部分具有比所述旋轉(zhuǎn)臺(tái)的直徑大的內(nèi)徑。根據(jù)該裝置，由于在能夠利用整流部件防止液體蔓延到旋轉(zhuǎn)臺(tái)或盤基板的下側(cè)的基礎(chǔ)上，通過將外側(cè)裝卸部分從整流部件的內(nèi)側(cè)固定部分上卸下而能夠容易地將內(nèi)杯卸下，所以也不妨礙維修保養(yǎng)性能。
所述涂料器罩也可以具有朝向所述內(nèi)杯內(nèi)并向下方突出的環(huán)狀裙部。這時(shí)，能夠使附著在涂料器罩上的液體從裙部可靠地落入內(nèi)杯。
該裝置還可以具有將液體向盤基板供給的液體供給機(jī)構(gòu)。此時(shí)，也可以在所述涂料器罩上形成至少一個(gè)空中注射用孔，該空中注射用孔，在所述液體供給機(jī)構(gòu)為了防止液體的堵塞而將液體空中注射時(shí)，用于使該被空中注射的液體流向所述內(nèi)杯內(nèi)。這時(shí)，能夠用內(nèi)杯將被空中注射的液體回收而不需要其它的回收機(jī)構(gòu)。
該裝置也可以是，還具有將液體向盤基板供給的液體供給機(jī)構(gòu)，在所述涂料器罩上形成至少一個(gè)空中注射用孔，該空中注射用孔，在所述液體供給機(jī)構(gòu)為了防止液體的堵塞而將液體空中注射時(shí)，用于使該被空中注射的液體流向所述內(nèi)杯內(nèi)，所述空中注射用孔的下端的出口在所述裙部的外側(cè)開口。這時(shí)，不僅能夠用內(nèi)杯回收被空中注射的液體，而且能夠抑制液體的霧沫粘著在空中注射用孔的出口。
也可以在所述裙部的外周面形成與所述空中注射用孔的所述出口相連的上下方向延伸的槽。這時(shí)，能夠在空中注射時(shí)使從空中注射用孔的出口噴出的液體順利地滴入內(nèi)杯，從而能夠抑制液體殘留在裙部的外面。
也可以在所述涂料器罩的下面環(huán)繞所述涂料器罩的全周形成經(jīng)過所述空中注射用孔的所述出口的外周側(cè)延伸的環(huán)狀槽。這時(shí)，能夠抑制液體沿著涂料器罩的下面而粘著在裝置各部分上。
也可以具有用于將所述涂料器罩相對(duì)于所述內(nèi)杯或所述涂料器杯定位的定位用卡止部。這時(shí)，能夠容易進(jìn)行形成在涂料器罩上的空中注射用孔與液體供給機(jī)構(gòu)的位置對(duì)準(zhǔn)。
所述內(nèi)杯可以不具有用于將所述記錄材料排出的排放結(jié)構(gòu)。這時(shí)，內(nèi)杯的裝卸容易而且液體也不會(huì)粘著在排放口。也可以是所述旋轉(zhuǎn)臺(tái)具有與盤基板的直徑相同或者比其大的直徑。


圖1是表示本發(fā)明一實(shí)施例的旋涂裝置的剖面圖；圖2是該旋涂裝置的放大剖面圖；圖3是該旋涂裝置所使用的涂料器罩的放大剖面圖；圖4是該旋涂裝置所使用的涂料器罩的一部分的底視圖；圖5是表示該旋涂裝置的定位部的平面圖；圖6是表示該旋涂裝置的記錄材料供給機(jī)構(gòu)和空中注射用孔的平面圖；圖7是表示本發(fā)明的另一實(shí)施例的旋涂裝置主要部分的放大剖面圖。
符號(hào)說明1涂料器杯；2驅(qū)動(dòng)電機(jī)；3主軸單元；4旋轉(zhuǎn)臺(tái)；5整流部件；5A內(nèi)側(cè)固定部分；5B外側(cè)裝卸部分；6內(nèi)杯；7涂料器罩；7e裙部；7f環(huán)狀槽；7g空中注射用孔；8記錄材料供給機(jī)構(gòu)；X1～X4定位部。
具體實(shí)施例方式
根據(jù)圖1到圖6說明本發(fā)明的一實(shí)施例。圖1是表示本發(fā)明一實(shí)施例的旋涂裝置100的剖面圖。該裝置包括有底圓筒狀的涂料器杯1、配置在該涂料器杯1內(nèi)側(cè)的圓形的旋轉(zhuǎn)臺(tái)4、在旋轉(zhuǎn)臺(tái)4的外側(cè)配置在涂料器杯1內(nèi)的圓環(huán)狀的內(nèi)杯6、配置在該內(nèi)杯6與旋轉(zhuǎn)臺(tái)4之間的圓環(huán)狀的整流部件5以及配置在內(nèi)杯6之上的涂料器罩7。
在涂料器杯1的圓形底部1a的中央向上地安裝有驅(qū)動(dòng)電機(jī)2。驅(qū)動(dòng)電機(jī)2的旋轉(zhuǎn)力通過主軸單元3而傳遞給旋轉(zhuǎn)臺(tái)4。旋轉(zhuǎn)臺(tái)4具有圓板狀的載置部4A和在其下側(cè)形成同軸的圓筒狀的基部4B，基部4B同軸地結(jié)合在主軸單元3上。為了確保盤基板S的平坦性，如圖2所示，優(yōu)選地載置部4A的直徑d1與盤基板S的直徑相等或比其大，如果需要也可以使其比盤基板S的直徑小。
將旋轉(zhuǎn)臺(tái)4的載置部4A的外周以及下部同軸地包圍而設(shè)置圓環(huán)狀的整流部件5。整流部件5利用后述的吸引機(jī)構(gòu)進(jìn)行整流以使旋轉(zhuǎn)臺(tái)4周圍的空氣向徑向外側(cè)流動(dòng)，其限制由于離心力而從盤基板S甩掉的液體(例如記錄材料溶液)向徑向外側(cè)飛去，并且使記錄材料的霧沫不會(huì)蔓延到旋轉(zhuǎn)臺(tái)4的下面和盤基板S的下面。
本實(shí)施例的整流部件5的特征是，包括圓環(huán)狀的內(nèi)側(cè)固定部分5A和能夠裝卸地嵌裝在該內(nèi)側(cè)固定部分5A的外周的圓環(huán)狀的外側(cè)裝卸部分5B。內(nèi)側(cè)固定部分5A被固定在相對(duì)于涂料器杯1固定的固定部位(圖示省略)上。內(nèi)側(cè)固定部分5A的內(nèi)周面具有不與旋轉(zhuǎn)臺(tái)4的圓筒狀基部4B接觸但與圓筒狀基部4B的外周面配置成同軸的圓筒狀的內(nèi)壁面。內(nèi)側(cè)固定部分5A的上面與載置部4A的下面隔開一定的間隙并配置成與載置部4A平行。
內(nèi)側(cè)固定部分5A由外徑大的下側(cè)的大徑部5a和比其直徑小的上側(cè)的小徑部5b形成。在大徑部5a與小徑部5b之間形成有圓環(huán)狀的臺(tái)階部5c。如圖2所示，內(nèi)側(cè)固定部分5A的大徑部5a和小徑部5b分別具有直徑D2、D2′。
如圖7所示，也可以在內(nèi)側(cè)固定部分5A的上面形成與旋轉(zhuǎn)臺(tái)4同軸的圓環(huán)狀凸部10，并且在與圓環(huán)狀凸部10相對(duì)的旋轉(zhuǎn)臺(tái)4的載置部4A的下面形成圓環(huán)狀槽12，并環(huán)繞圓環(huán)狀槽12的全周使圓環(huán)狀凸部10的前端隔開微小的間隙而進(jìn)入圓環(huán)狀槽12內(nèi)。這時(shí)，由于液體的飛散而產(chǎn)生的霧沫被圓環(huán)狀凸部10阻擋而更加難于進(jìn)入到載置部4A與內(nèi)側(cè)固定部分5A的間隙內(nèi)。
整流部件5的外側(cè)裝卸部分5B具有與內(nèi)側(cè)固定部分5A的外周面和臺(tái)階部5c幾乎無間隙地卡合的內(nèi)周面和臺(tái)階部5d。雖然通過外側(cè)裝卸部分5B的臺(tái)階部5d與內(nèi)側(cè)固定部分5A的臺(tái)階部5c抵接而使外側(cè)裝卸部分5B被內(nèi)側(cè)固定部分5A支承，但當(dāng)抬起時(shí)，則能夠容易地從內(nèi)側(cè)固定部分5A卸下。在將外側(cè)裝卸部分5B載置在內(nèi)側(cè)固定部分5A上的狀態(tài)下，外側(cè)裝卸部分5B的呈圓筒形的內(nèi)周面的上部5e與旋轉(zhuǎn)臺(tái)4的載置部4A的外周面離開一定距離而同軸地配置。
外側(cè)裝卸部分5B的內(nèi)周面的上部5e的直徑D1稍大于旋轉(zhuǎn)臺(tái)4的載置部4A的直徑d1，直徑d1與直徑D1的差是不接觸程度至幾毫米程度。外側(cè)裝卸部分5B的上面5f被設(shè)定成與旋轉(zhuǎn)臺(tái)4的載置部4A的上面大致相同的高度或是比其稍低。在上面5f的外側(cè)形成有越向外側(cè)越下降的錐面5g。
用于收集剩余溶液的內(nèi)杯6包括圓筒狀的內(nèi)壁部6a，其具有比內(nèi)側(cè)固定部分5A的大徑部5a的直徑D2大的直徑d2；圓筒狀的外壁部6b；圓環(huán)狀的底板部6c，其將這些內(nèi)壁部6a和外壁部6b的底面結(jié)合而封閉。在本實(shí)施例的底板部6c上沒有形成記錄材料排出用的排放口。因此，旋涂時(shí)被甩掉的剩余溶液被回收并積存在內(nèi)杯6內(nèi)。在外壁部6b的上部形成有向外側(cè)擴(kuò)展的圓環(huán)狀臺(tái)階部6d，且從該臺(tái)階部6d的外周緣立起而形成有比外壁部6b直徑大的圓環(huán)狀的大徑部6e。
在涂料器杯1的側(cè)壁部1b上端形成有向外側(cè)擴(kuò)展的圓環(huán)狀的臺(tái)階部1c，并形成有比側(cè)壁部1b直徑大的大徑部1d。大徑部1d的內(nèi)徑是比大徑部6e的外徑稍大的程度。當(dāng)將內(nèi)杯6的臺(tái)階部6d嵌在涂料器杯1的臺(tái)階部1c上時(shí)，則內(nèi)杯6的底板部6c與涂料器杯1的圓形底部1a抵接而被支承。由此，內(nèi)杯6由涂料器杯1同軸且穩(wěn)定地支承。
如圖3所示，涂料器罩7包括圓環(huán)狀的上面7b，其具有直徑比盤基板S的直徑大的中央孔7a；外壁部7c，其具有比內(nèi)杯6的大徑部6e的直徑稍小而被大徑部6e容納的外徑；抑制飛散壁部7d，其抑制記錄材料液體的飛散；圓筒狀的裙部7e，其從抑制飛散壁部7d的下端延伸到內(nèi)杯6內(nèi)；圓環(huán)狀的環(huán)狀槽7f，其在裙部7e的外側(cè)同軸地形成在涂料器罩7的底部；以及空中注射用孔7g，其接收在記錄材料供給機(jī)構(gòu)8進(jìn)行空中注射時(shí)所噴出的記錄材料的液體。如果需要也可以設(shè)置多個(gè)空中注射用孔7g，也可以是省略它的結(jié)構(gòu)。
抑制飛散壁部7d是向外側(cè)降低的錐面，其配置成與外側(cè)裝卸部分5B的錐面5g之間隔開間隙。從盤基板S的外周被甩掉的溶液在碰撞到抑制飛散壁部7d后，沿抑制飛散壁部7d流下并沿著裙部7e而從其下端落入到內(nèi)杯6內(nèi)。也可以采用省略裙部7e的結(jié)構(gòu)，還可以是僅在抑制飛散壁部7d的下端形成圓環(huán)狀突起的結(jié)構(gòu)。
空中注射用孔7g設(shè)置在涂料器罩7的上面7b的一個(gè)部位上，其入口的內(nèi)徑最大，隨著向下則而內(nèi)徑變窄，并且從此處開始保持一定內(nèi)徑而到達(dá)與裙部7e的外周面鄰接的底部的出口。即，空中注射用孔7g的上端部錐體狀地形成開口。
如圖4所示，在本實(shí)施例裙部7e的外面形成有與空中注射用孔7g相連的槽7h，使空中注射時(shí)沿空中注射用孔7g流下的溶液通過裙部7e的槽7h而滴入內(nèi)杯6內(nèi)。但也可以是省略該槽7h的結(jié)構(gòu)。
如圖5所示，在本實(shí)施例中，在涂料器杯1、內(nèi)杯6和涂料器罩7的各側(cè)壁上形成有用于始終將空中注射用孔7g相對(duì)于涂料器杯1定位在固定位置上的定位用的卡止部X1～X4。在本例中，在涂料器杯1的大徑部1d內(nèi)周面形成作為在上下方向上延伸的剖面是楔形的突條的卡止部X1，在內(nèi)杯6的大徑部6e的外周面形成作為與卡止部X1嚙合的剖面楔形的凹部的卡止部X2。同樣，在內(nèi)杯6的大徑部6e的內(nèi)周面形成作為在上下方向上延伸的剖面是楔形的突條的卡止部X3，在涂料器罩7的外壁部7c形成作為與卡止部X3嚙合的剖面是楔形的凹部的卡止部X4。
通過這些卡止部X1～X4按順序地卡合，使內(nèi)杯6和涂料器罩7相對(duì)涂料器杯1的位置始終保持固定，從而使空中注射用孔7g的位置也始終固定。由此，在后述的記錄材料供給機(jī)構(gòu)8進(jìn)行空中注射時(shí)，能夠使噴出的液體始終落入空中注射用孔7g。另外，雖然未圖示，但也可以采用在涂料器杯1和涂料器罩7上分別直接形成相互卡合的卡合部，內(nèi)杯6不與這些卡合部卡合而是保持可動(dòng)狀態(tài)的結(jié)構(gòu)。
卡止部X1～X4可以進(jìn)行各種變形，也可以是矩形、半圓形等任何的剖面形狀。也可以代替卡止部而只是預(yù)先在涂料器杯1、內(nèi)杯6和涂料器罩7的各側(cè)壁上形成標(biāo)記，并將該標(biāo)記的位置相互對(duì)準(zhǔn)進(jìn)行組裝。此外，也可以是設(shè)置在涂料器杯1上的卡止部通過設(shè)置在內(nèi)杯6上的缺口或開口部與形成在涂料器罩7上的卡止部相互卡合的結(jié)構(gòu)。凸部和凹部的朝向也可以與圖5相反。雖然卡止部也可以形成在側(cè)壁以外的部位，但如果形成在側(cè)壁上，則具有可以一邊從上面觀察卡止部X1～X4的位置一邊進(jìn)行組裝作業(yè)的優(yōu)點(diǎn)。
如圖1所示，在涂料器罩7的上方具備用于將記錄材料溶液供給盤基板S的記錄材料供給機(jī)構(gòu)8。記錄材料供給機(jī)構(gòu)8具有利用未圖示的驅(qū)動(dòng)裝置進(jìn)行水平旋轉(zhuǎn)的臂8a和在該臂8a的前端配備的噴嘴8b。其它部件未圖示。如圖6的箭頭A1所示，臂8a從基本位置P旋轉(zhuǎn)到盤基板S中央附近的正上方而停止，通過中央孔7a從噴嘴8b將溶液向盤基板S的內(nèi)周部上供給。在供給時(shí)，也可以使盤基板S低速旋轉(zhuǎn)。當(dāng)溶液的供給結(jié)束時(shí)，臂8a返回到基本位置P。
在改變記錄材料的種類時(shí)或該裝置停止期間長(zhǎng)時(shí)，通常是記錄材料供給機(jī)構(gòu)8進(jìn)行溶液的空中注射動(dòng)作并從噴嘴8b噴出溶液直到記錄材料溶液穩(wěn)定地噴出為止。在進(jìn)行該空中注射動(dòng)作時(shí)，臂8a從基本位置P移動(dòng)到空中注射用孔7g的正上方，噴嘴8b將溶液向空中注射用孔7g噴出。當(dāng)確認(rèn)從噴嘴8b穩(wěn)定地噴出溶液時(shí)，臂8a再次返回到基本位置P。
另外，在涂料器杯1的圓形底部1a具備用于排出溶劑等的氣體的排氣口1e。通過從該排氣口1e排氣而在盤基板S的外周部形成通過涂料器罩7與外側(cè)裝卸部分5B之間的間隙從盤基板S的外周部向外側(cè)流動(dòng)的放射狀的氣流。
下面說明該旋涂裝置100的動(dòng)作和內(nèi)杯6的更換作業(yè)。首先，在使驅(qū)動(dòng)電機(jī)2低速旋轉(zhuǎn)的狀態(tài)下，從記錄材料供給機(jī)構(gòu)8的噴嘴8b將溶液向盤基板S上圓環(huán)狀或螺旋狀地供給，然后利用驅(qū)動(dòng)電機(jī)2使盤基板S與旋轉(zhuǎn)臺(tái)4一起高速旋轉(zhuǎn)，使盤基板S上的溶液展開。這時(shí)，剩余的溶液由于離心力而被甩掉，甩掉的溶液通過整流部件5進(jìn)行整流，以飛散少的角度碰到涂料器罩7的抑制飛散壁部7d上，并沿著圓筒狀裙部7e等而滴入內(nèi)杯6內(nèi)。這時(shí)，有的溶液成為霧沫狀，霧沫邊漂浮邊落下。該霧沫將侵入到部件之間的抵接的間隙中。
涂料器罩7的圓筒狀裙部7e具有使霧沫附著在其內(nèi)周面上而減少蔓延到其背側(cè)(外周面?zhèn)?的霧沫量的效果。由此，抑制溶液的霧沫侵入到涂料器罩7與內(nèi)杯6抵接部位的間隙中。
設(shè)置在涂料器罩7底部的圓環(huán)狀的環(huán)狀槽7f防止空中注射的溶液沿著涂料器罩7的底部流到涂料器罩7與內(nèi)杯6的抵接部位。因此，由于能夠?qū)⑶秩氲酵苛掀髡?與內(nèi)杯6的抵接部位的溶液抑制到最小程度，所以即使溶液中的色素材料固化，也能夠容易地將涂料器罩7從內(nèi)杯6上卸下，使維修保養(yǎng)容易。
整流部件5的外側(cè)裝卸部分5B用于防止溶液的霧沫蔓延到旋轉(zhuǎn)臺(tái)4的背側(cè)，使溶液的霧沫難于侵入到內(nèi)側(cè)固定部分5A與外側(cè)裝卸部分5B的抵接部位。因此，能夠容易地將外側(cè)裝卸部分5B從內(nèi)側(cè)固定部分5A上卸下。由于多次進(jìn)行記錄膜形成工序，使收集到內(nèi)杯6內(nèi)的記錄材料增加，不久達(dá)到容許量而需要更換。這時(shí)，內(nèi)杯6內(nèi)的記錄材料成為粉狀的固形物或是粘度高的液體。
在更換內(nèi)杯6時(shí)，首先，如果需要，在從涂料器杯1、內(nèi)杯6、涂料器罩7的各安裝部(未圖示)將固定螺釘卸下后，將涂料器罩7向上方抬起而卸下，然后將整流部件5的外側(cè)裝卸部分5B從內(nèi)側(cè)固定部分5A卸下。這時(shí)，如前所述，由于外側(cè)裝卸部分5B的最小內(nèi)徑D1比旋轉(zhuǎn)臺(tái)4的最大直徑d1大，所以能容易地將外側(cè)裝卸部分5B從內(nèi)側(cè)固定部分5A卸下。在該狀態(tài)下，將內(nèi)杯6抬起而卸下。由于內(nèi)杯6的內(nèi)壁部6d的直徑d2比旋轉(zhuǎn)臺(tái)4的最大直徑d1和內(nèi)側(cè)固定部分5A的最大外徑D2大，所以能夠使旋轉(zhuǎn)臺(tái)4和內(nèi)側(cè)固定部分5A不動(dòng)地將內(nèi)杯6卸下。此外，如前所述，由于色素材料幾乎沒有粘著在各部件的抵接部位上，所以能容易地將它們卸下。
由內(nèi)杯6回收的記錄材料進(jìn)行再利用。整流部件5的外側(cè)裝卸部分5B、內(nèi)杯6、涂料器罩7如果沒有破損等，則能夠進(jìn)行沖洗而進(jìn)行再利用。為了用沖洗液使記錄材料容易脫落，優(yōu)選地至少將外側(cè)裝卸部分5B的外面、內(nèi)杯6和涂料器罩7的內(nèi)面用氟樹脂等疏水性材料進(jìn)行涂敷。
將涂料器罩7、整流部件5的外側(cè)裝卸部分5B、內(nèi)杯6卸下后，也可以立即將預(yù)先沖洗過的其它內(nèi)杯6裝到涂料器杯1內(nèi)，并安裝外側(cè)裝卸部分5B和涂料器罩7。這時(shí)，能夠縮短旋涂裝置的停止時(shí)間而能夠立即再開始該裝置的運(yùn)轉(zhuǎn)。這樣，本實(shí)施例的內(nèi)杯6的更換時(shí)間即維修保養(yǎng)所需要的時(shí)間短，因此，與現(xiàn)有裝置的沖洗所需要的時(shí)間相比能夠?qū)⑿垦b置的運(yùn)轉(zhuǎn)停止時(shí)間大幅度地縮短，從而能夠提高生產(chǎn)效率。
在以上的實(shí)施例中，雖然將整流部件5的內(nèi)側(cè)固定部分5A與外側(cè)裝卸部分5B的抵接用臺(tái)階5c和5d進(jìn)行，但當(dāng)然也可以將臺(tái)階5c和5d設(shè)計(jì)成具有相互互補(bǔ)的角度的錐面T。此外，涂料器罩7的裙部7e可以是下端側(cè)向徑向外側(cè)張開的形狀，由此，也可以使裙部7e的下端與內(nèi)杯6的圓筒狀的外壁部6b內(nèi)面的間隔變窄。
在以上的實(shí)施例中，雖然將驅(qū)動(dòng)電機(jī)2設(shè)置在涂料器杯1內(nèi)，但為了盡可能使驅(qū)動(dòng)電機(jī)2的熱不向旋轉(zhuǎn)臺(tái)4傳遞，也可以使驅(qū)動(dòng)電機(jī)2脫離旋轉(zhuǎn)臺(tái)4。雖然沒有具體圖示，但也可以使驅(qū)動(dòng)電機(jī)2位于涂料器杯1的下方，在涂料器杯1的底板部1a設(shè)置孔，通過該孔使采用曲折密封機(jī)構(gòu)等的非接觸式的主軸單元3延伸，將驅(qū)動(dòng)電機(jī)2的旋轉(zhuǎn)力向旋轉(zhuǎn)臺(tái)4傳遞。在旋轉(zhuǎn)臺(tái)4上設(shè)置有用于吸附盤基板S的真空吸附機(jī)構(gòu)(圖示省略)。
本發(fā)明并不限定于以上的實(shí)施例，在不脫離發(fā)明主旨的范圍內(nèi)可以進(jìn)行各種變形。
此外，在上述的實(shí)施例中，具有涂料器罩7的圓筒狀裙部7e、空中注射用孔7g和環(huán)狀槽7f，但也可以是僅設(shè)置它們中任一個(gè)的裝置結(jié)構(gòu)。
根據(jù)本發(fā)明，可提供具有維修保養(yǎng)容易的結(jié)構(gòu)的旋涂裝置，在維修保養(yǎng)時(shí)能夠縮短停止旋涂裝置的時(shí)間，從而謀求生產(chǎn)性的提高。
權(quán)利要求
1.一種旋涂裝置，其特征在于，包括旋轉(zhuǎn)臺(tái)，其保持盤基板；旋轉(zhuǎn)機(jī)構(gòu)，其使該旋轉(zhuǎn)臺(tái)旋轉(zhuǎn)；涂料器罩，其配置成將所述旋轉(zhuǎn)臺(tái)包圍并擋住從被保持在所述旋轉(zhuǎn)臺(tái)上的盤基板甩掉的液體；內(nèi)杯，其擋住并保持沿著所述涂料器罩滴落的液體；涂料器杯，其支承該內(nèi)杯，其中，所述內(nèi)杯能夠從所述涂料器杯上卸下。
2.如權(quán)利要求1所述的旋涂裝置，其特征在于，還包括為了防止液體蔓延到所述旋轉(zhuǎn)臺(tái)或所述盤基板的下側(cè)而配置在所述旋轉(zhuǎn)臺(tái)的周圍的整流部件，所述整流部件包括相對(duì)于所述內(nèi)杯相對(duì)固定的內(nèi)側(cè)固定部分和設(shè)置成能夠由該內(nèi)側(cè)部分裝卸的外側(cè)裝卸部分，所述外側(cè)裝卸部分具有比所述旋轉(zhuǎn)臺(tái)的直徑大的內(nèi)徑。
3.如權(quán)利要求2所述的旋涂裝置，其特征在于，所述內(nèi)杯包括內(nèi)周壁，其具有比所述整流部件的所述內(nèi)側(cè)固定部分的外徑大的內(nèi)徑；外壁部，其同心狀地設(shè)置在該內(nèi)壁部的外側(cè)；環(huán)狀的底部，其連接所述內(nèi)壁部和所述外壁部。
4.如權(quán)利要求1所述的旋涂裝置，其特征在于，所述涂料器罩具有朝向所述內(nèi)杯內(nèi)并向下方突出的環(huán)狀裙部。
5.如權(quán)利要求1所述的旋涂裝置，其特征在于，還包括將液體向盤基板供給的液體供給機(jī)構(gòu)，在所述涂料器罩上形成至少一個(gè)空中注射用孔，該空中注射用孔，在所述液體供給機(jī)構(gòu)為了防止液體的堵塞而將液體空中注射時(shí)，用于使該被空中注射的液體流向所述內(nèi)杯內(nèi)。
6.如權(quán)利要求4所述的旋涂裝置，其特征在于，還包括將液體向盤基板供給的液體供給機(jī)構(gòu)，在所述涂料器罩上形成至少一個(gè)空中注射用孔，該空中注射用孔，在所述液體供給機(jī)構(gòu)為了防止液體的堵塞而將液體空中注射時(shí)，用于使該被空中注射的液體流向所述內(nèi)杯內(nèi)，所述空中注射用孔的下端的出口在所述裙部的外側(cè)開口。
7.如權(quán)利要求6所述的旋涂裝置，其特征在于，在所述裙部的外周面形成有與所述空中注射用孔的所述出口相連的上下方向延伸的槽。
8.如權(quán)利要求5所述的旋涂裝置，其特征在于，在所述涂料器罩的下面環(huán)繞所述涂料器罩的全周形成有經(jīng)過所述空中注射用孔的所述出口的外周側(cè)延伸的環(huán)狀槽。
9.如權(quán)利要求1所述的旋涂裝置，其特征在于，包括用于將所述涂料器罩相對(duì)于所述內(nèi)杯或所述涂料器杯定位的定位用卡止部。
10.如權(quán)利要求1所述的旋涂裝置，其特征在于，所述內(nèi)杯不具有用于將所述記錄材料排出的排放結(jié)構(gòu)。
11.如權(quán)利要求1所述的旋涂裝置，其特征在于，所述旋轉(zhuǎn)臺(tái)具有與盤基板的直徑相同或者比其大的直徑。
全文摘要
一種旋涂裝置，其包括旋轉(zhuǎn)臺(tái)，其保持盤基板；旋轉(zhuǎn)機(jī)構(gòu)，其使該旋轉(zhuǎn)臺(tái)旋轉(zhuǎn)；涂料器罩，其配置成將所述旋轉(zhuǎn)臺(tái)包圍并擋住從保持在所述旋轉(zhuǎn)臺(tái)上的盤基板甩掉的液體；內(nèi)杯，其擋住而不排出沿著所述涂料器罩滴落的液體；涂料器杯，其支承該內(nèi)杯，其中，所述內(nèi)杯能夠從所述涂料器杯上卸下。
文檔編號(hào)B05C11/08GK1898031SQ200480038730
公開日2007年1月17日 申請(qǐng)日期2004年12月16日 優(yōu)先權(quán)日2003年12月25日
發(fā)明者稻谷孝佑 申請(qǐng)人:歐利生電氣株式會(huì)社