感光性樹脂組合物、硬化膜的制造方法、硬化膜、有機(jī)el顯示裝置及液晶顯示裝置制造方法
【專利摘要】本發(fā)明提供一種感光度、保存穩(wěn)定性、及耐熱透明性優(yōu)異的感光性樹脂組合物。所述感光性樹脂組合物包括：(A)含有滿足下述(1)及下述(2)的至少一個(gè)的聚合物的聚合物成分，(1)具有(a1)含有酸基由酸分解性基保護(hù)的基的構(gòu)成單元、及(a2)含有交聯(lián)性基的構(gòu)成單元的聚合物，(2)具有(a1)含有酸基由酸分解性基保護(hù)的基的構(gòu)成單元的聚合物、及具有(a2)含有交聯(lián)性基的構(gòu)成單元的聚合物；(B)由式(I)所表示的化合物；以及(C)溶劑。
【專利說明】感光性樹脂組合物、硬化膜的制造方法、硬化膜、有機(jī)EL顯 示裝置及液晶顯示裝置

【技術(shù)領(lǐng)域】
[0001] 本發(fā)明涉及一種感光性樹脂組合物（以下，有時(shí)僅稱為"本發(fā)明的組合物"）。另 夕卜，本發(fā)明涉及一種使用上述感光性樹脂組合物的硬化膜的制造方法、使感光性組合物硬 化而成的硬化膜、使用上述硬化膜的各種圖像顯示裝置。
[0002] 更詳細(xì)而言，本發(fā)明涉及一種適合于形成液晶顯示裝置、有機(jī)電致發(fā)光 (Electroluminescence,EL)顯示裝置、集成電路元件、固體攝影元件等的電子零件的平坦 化膜、保護(hù)膜或?qū)娱g絕緣膜的感光性樹脂組合物、及使用其的硬化膜的制造方法。

【背景技術(shù)】
[0003] 在有機(jī)EL顯示裝置或液晶顯示裝置等中設(shè)置有形成有圖案的層間絕緣膜。就用 以獲得所需的圖案形狀的步驟數(shù)少、且可獲得充分的平坦性等而言，在該層間絕緣膜的形 成中廣泛使用感光性樹脂組合物。作為感光性樹脂組合物，已知有例如專利文獻(xiàn)1中所記 載的感光性樹脂組合物。
[0004][現(xiàn)有技術(shù)文獻(xiàn)]
[0005][專利文獻(xiàn)]
[0006][專利文獻(xiàn)1]日本專利特開2012-42836號(hào)公報(bào)


【發(fā)明內(nèi)容】

[0007]發(fā)明要解決的課題
[0008] 本發(fā)明人對(duì)專利文獻(xiàn)1進(jìn)行研究的結(jié)果，可知專利文獻(xiàn)1中所具體揭示的酸產(chǎn)生 劑的感光度低、或保存穩(wěn)定性欠佳、或熱處理后的透明性（耐熱透明性）欠佳。本發(fā)明人對(duì) 該點(diǎn)進(jìn)行研究的結(jié)果，可知專利文獻(xiàn)1中所具體揭示的酸產(chǎn)生劑為具有雜環(huán)結(jié)構(gòu)與吸電子 基的肟磺酸酯，該結(jié)構(gòu)對(duì)上述效果造成影響。即，可知專利文獻(xiàn)1中所記載的肟磺酸酯雖然 可通過提高吸電子基的吸電子性來進(jìn)一步提升感光度，但提升了感光度的肟磺酸酯的保存 穩(wěn)定性下降。相反地，若為提升了保存穩(wěn)定性的肟磺酸酯，則感光度欠佳。另外，也可知因 專利文獻(xiàn)1中所記載的肟磺酸酯而導(dǎo)致透明性欠佳。
[0009] 本發(fā)明是以解決上述課題為目的的發(fā)明，其目的在于提供一種維持高感光度、且 保存穩(wěn)定性及耐熱透明性也優(yōu)異的感光性樹脂組合物。
[0010] 進(jìn)而，本發(fā)明的目的在于提供一種使用此種感光性樹脂組合物的硬化膜的形成方 法、硬化膜、有機(jī)EL顯示裝置及液晶顯示裝置。
[0011] 解決問題的技術(shù)手段
[0012] 本發(fā)明人進(jìn)行努力研究的結(jié)果，發(fā)現(xiàn)通過使用特定的結(jié)構(gòu)作為雜環(huán)結(jié)構(gòu)，并將吸 電子基設(shè)為c( = 0)R1，而可解決上述課題。
[0013]具體而言，通過以下的解決手段〈1>，優(yōu)選為通過解決手段〈2>?解決手段〈15>來 解決上述課題。
[0014] 〈1> 一種感光性樹脂組合物，其包括：㈧含有滿足下述⑴及下述⑵的至少一 個(gè)的聚合物的聚合物成分，
[0015] (1)具有（al)含有酸基由酸分解性基保護(hù)的基的構(gòu)成單元、及（a2)含有交聯(lián)性基 的構(gòu)成單元的聚合物，
[0016] (2)具有（al)含有酸基由酸分解性基保護(hù)的基的構(gòu)成單元的聚合物、及具有（a2) 含有交聯(lián)性基的構(gòu)成單元的聚合物；
[0017] ⑶由下述通式⑴所表示的化合物；以及
[0018] (C)溶劑；
[0019][化1]
[0020]
[0021]通式（I)

【權(quán)利要求】
1. 一種感光性樹脂組合物，包括：(A)含有滿足下述（1)及（2)的至少一個(gè)的聚合物的 聚合物成分， (1) 具有（al)含有酸基由酸分解性基保護(hù)的基的構(gòu)成單元、及（a2)含有交聯(lián)性基的構(gòu) 成單元的聚合物， (2) 具有（al)含有酸基由酸分解性基保護(hù)的基的構(gòu)成單元的聚合物、及具有（a2)含有 交聯(lián)性基的構(gòu)成單元的聚合物； (B) 由下述通式⑴所表示的化合物；以及 (C) 溶劑； [化1]
(通式（I)中，R1表示烷基或芳基，R2表示烷基、芳基、或雜芳基；R3?R6分別表示氫原 子、烷基、芳基、鹵素原子；其中，R3與R4、R4與R5或R5與R6可鍵結(jié)而形成脂環(huán)或芳香環(huán)；X 表不_〇_或_S_) 〇
2. 根據(jù)權(quán)利要求1所述的感光性樹脂組合物，其中R1為碳數(shù)3?10的烷基或碳數(shù)6? 12的芳基。
3. 根據(jù)權(quán)利要求1或2所述的感光性樹脂組合物，其中R1為具有分支結(jié)構(gòu)的烷基、環(huán) 狀的烷基、或苯基。
4. 根據(jù)權(quán)利要求1至3中任一項(xiàng)所述的感光性樹脂組合物，其中（al)含有酸基由酸分 解性基保護(hù)的基的構(gòu)成單元為含有由酸分解性基保護(hù)的保護(hù)羧基的構(gòu)成單元。
5. 根據(jù)權(quán)利要求1至4中任一項(xiàng)所述的感光性樹脂組合物，其中（a2)含有交聯(lián)性基的 構(gòu)成單元是選自含有環(huán)氧基和/或氧雜環(huán)丁基的構(gòu)成單元、含有乙烯性不飽和基的構(gòu)成單 元、以及含有由-NH-CH2-O-R(R為碳數(shù)1?20的燒基）所表示的基的構(gòu)成單元。
6. 根據(jù)權(quán)利要求1至5中任一項(xiàng)所述的感光性樹脂組合物，其中由所述通式（I)所表 示的化合物選自下述化合物： [化2]
7. -種硬化膜的制造方法，其包括： (1) 將根據(jù)權(quán)利要求1至6中任一項(xiàng)所述的感光性樹脂組合物涂布于基板上的步驟； (2) 自所涂布的感光性樹脂組合物中去除溶劑的步驟； (3) 利用光化射線對(duì)去除了溶劑的感光性樹脂組合物進(jìn)行曝光的步驟； (4) 利用水性顯影液對(duì)經(jīng)曝光的感光性樹脂組合物進(jìn)行顯影的步驟；以及 (5) 對(duì)經(jīng)顯影的感光性樹脂組合物進(jìn)行熱硬化的后烘烤步驟。
8. 根據(jù)權(quán)利要求7所述的硬化膜的制造方法，其中在所述顯影步驟后、所述后烘烤步 驟前，包括對(duì)經(jīng)顯影的感光性樹脂組合物進(jìn)行全面曝光的步驟。
9. 一種硬化膜，其由根據(jù)權(quán)利要求7或8所述的方法而形成。
10. 根據(jù)權(quán)利要求9所述的硬化膜，其為層間絕緣膜。
11. 一種有機(jī)電致發(fā)光顯示裝置或液晶顯示裝置，包括根據(jù)權(quán)利要求9或10所述的硬 化膜。
12. -種化合物，其由下述通式（I)表示： [化3]
(通式（I)中，R1表示烷基或芳基，R2表示烷基、芳基、或雜芳基；R3?R6分別表示氫原 子、烷基、芳基、鹵素原子；其中，R3與R4、R4與R5或R5與R6可鍵結(jié)而形成脂環(huán)或芳香環(huán)；X 表不_〇_或_S_) 〇
13. 根據(jù)權(quán)利要求12所述的化合物，其中R1為碳數(shù)3?10的烷基或碳數(shù)6?12的芳 基。
14. 根據(jù)權(quán)利要求12或13所述的化合物，其中R1為具有分支結(jié)構(gòu)的烷基、環(huán)狀的烷基、 或苯基。
15. 根據(jù)權(quán)利要求12項(xiàng)所述的化合物，其中由下述通式（I)所表示的化合物為下述 B-I?B-29的任一種化合物： [化4]
【文檔編號(hào)】C08F12/22GK104508554SQ201380040120
【公開日】2015年4月8日 申請(qǐng)日期:2013年6月3日 優(yōu)先權(quán)日:2012年7月30日
【發(fā)明者】崎田享平, 藤本進(jìn)二, 中川干雄, 山崎健太 申請(qǐng)人:富士膠片株式會(huì)社