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負(fù)型感光性樹脂組合物的制作方法

文檔序號:3674695閱讀:131來源:國知局
負(fù)型感光性樹脂組合物的制作方法
【專利摘要】本發(fā)明的課題是提供即使為低粘度的溶液也能夠厚膜化,且在曝光前也沒有粘性,通過堿性顯影可以以高析像度形成圖案,制成的涂膜的透明性高,在后烘烤后收縮也小的負(fù)型感光性樹脂組合物。作為解決本發(fā)明課題的手段涉及含有下述(A)成分、(B)成分、(C)成分、(D)成分的感光性樹脂組合物。(A)成分:由至少包含(i)馬來酰亞胺和(ii)具有環(huán)氧基的單體的單體混合物共聚而成的丙烯酸系共聚物,(B)成分:光產(chǎn)酸劑,(C)成分:具有2個(gè)以上環(huán)氧基的化合物,(D)成分:溶劑。
【專利說明】負(fù)型感光性樹脂組合物
【技術(shù)領(lǐng)域】
[0001]本發(fā)明涉及負(fù)型感光性樹脂組合物以及由該負(fù)型感光性樹脂組合物獲得的固化膜。更詳細(xì)地說,本發(fā)明涉及在顯示器材料的用途中適合的感光性樹脂組合物及其固化膜、以及使用該固化膜的各種材料。
【背景技術(shù)】
[0002]已知含有環(huán)氧化合物和光產(chǎn)酸劑的環(huán)氧陽離子聚合系UV固化樹脂的透明性高,能夠厚膜化(例如,專利文獻(xiàn)I)。然而,由于在涂布后、曝光前涂膜有粘性,因此操作性差。此外,由于不能通過堿性水溶液進(jìn)行顯影,因此需要通過有機(jī)溶劑進(jìn)行顯影??梢哉J(rèn)為堿性顯影能夠通過在聚合物中導(dǎo)入羧基來實(shí)現(xiàn),但在具有環(huán)氧基的單體與具有羧基的單體的共聚時(shí),在聚合中易于發(fā)生環(huán)氧基與羧基的反應(yīng),聚合物的合成控制困難。此外,即使可以控制反應(yīng)而合成聚合物,保存穩(wěn)定性也低。
[0003]作為能夠進(jìn)行堿性顯影的材料,已知含有具有丙烯?;木酆衔?、多官能丙烯酸系單體和光自由基引發(fā)劑的自由基聚合系的負(fù)型材料(例如,專利文獻(xiàn)2)。在該發(fā)明中,能夠通過在聚合物中導(dǎo)入羧基來進(jìn)行堿性顯影,但厚膜化時(shí)需要高粘度化且操作性差。由于是自由基系,因此有光固化時(shí)易于受到表面的氧阻害,表面的膜減少變大是問題。
[0004]另一方面,正型材料的析像度高,但厚膜化難,透明性也低(例如,專利文獻(xiàn)3)。
[0005]從這些方面出發(fā),期待透明性高,能夠進(jìn)行堿性顯影且厚膜化時(shí)操作性也高的材料。
[0006]此外,已知使用馬來酰亞胺作為堿溶性樹脂(例如,專利文獻(xiàn)4)。在該發(fā)明中,提出了使用馬來酰亞胺作為堿溶性基團(tuán),但為正型,不能作為永久膜使用。
[0007]另一方面,還已知使用馬來酰亞胺作為堿溶性樹脂的某種負(fù)型感光性樹脂組合物(例如,專利文獻(xiàn)5)。
[0008]現(xiàn)有技術(shù)文獻(xiàn)
[0009]專利文獻(xiàn)
[0010]專利文獻(xiàn)1:國際專利申請公開W02008/007764號小冊子
[0011]專利文獻(xiàn)2:日本特開2004 - 302389號公報(bào)
[0012]專利文獻(xiàn)3:日本特開平8 - 339082號公報(bào)
[0013]專利文獻(xiàn)4:日本特開昭60 - 115932號公報(bào)
[0014]專利文獻(xiàn)5:日本特開2010 - 15156號公報(bào)

【發(fā)明內(nèi)容】

[0015]發(fā)明所要解決的課題
[0016]本發(fā)明是鑒于上述情況而提出的,其提供即使為低粘度的溶液也能夠厚膜化,SP使在曝光前也沒有粘性,可以通過堿性顯影以高析像度形成圖案,制成的涂膜的透明性高,即使在后烘烤后收縮也小的負(fù)型感光性樹脂組合物。[0017]用于解決課題的方法
[0018]本發(fā)明人為了解決上述課題而進(jìn)行了深入研究,結(jié)果完成了本發(fā)明。
[0019]SM乍為第I觀點(diǎn),涉及一種感光性樹脂組合物,其含有下述㈧成分、⑶成分、
(C)成分和⑶成分。
[0020](A)成分:由至少包含(i)馬來酰亞胺和(ii)具有環(huán)氧基的單體的單體混合物共聚而成的丙烯酸系共聚物,
[0021](B)成分:光產(chǎn)酸劑,
[0022](C)成分:具有2個(gè)以上環(huán)氧基的化合物,
[0023]⑶成分:溶劑,
[0024]作為第2觀點(diǎn),涉及第I觀點(diǎn)所述的感光性樹脂組合物,進(jìn)一步含有相對于感光性樹脂組合物100質(zhì)量份為0.1?10質(zhì)量份的敏化劑作為(E)成分,
[0025]作為第3觀點(diǎn),涉及第I觀點(diǎn)或第2觀點(diǎn)所述的感光性樹脂組合物,進(jìn)一步含有基于感光性樹脂組合物的總質(zhì)量而為I質(zhì)量%以下的胺化合物作為(F)成分,
[0026]作為第4觀點(diǎn),涉及一種固化膜,其是使用第I觀點(diǎn)?第3觀點(diǎn)中的任一項(xiàng)所述的感光性樹脂組合物而獲得的,
[0027]作為第5觀點(diǎn),涉及一種液晶顯示器用層間絕緣膜,其由第4觀點(diǎn)所述的固化膜構(gòu)成,
[0028]作為第6觀點(diǎn),涉及一種濾光器,其由第4觀點(diǎn)所述的固化膜構(gòu)成。
[0029]發(fā)明的效果
[0030]本發(fā)明的感光性樹脂組合物,可以形成在曝光前沒有粘性,即使為厚膜,透明性、析像度也高,即使在后烘烤后膜的收縮也小的涂膜圖案,因此最適合于形成作為光學(xué)構(gòu)件的結(jié)構(gòu)體。
【具體實(shí)施方式】
[0031]本發(fā)明的感光性樹脂組合物為含有下述㈧成分、⑶成分、(C)成分和⑶成分的感光性樹脂組合物。
[0032](A)成分:由至少包含(i)馬來酰亞胺、和(ii)具有環(huán)氧基的單體優(yōu)選為具有不飽和雙鍵和環(huán)氧基的單體的單體混合物共聚而成的丙烯酸系共聚物,
[0033](B)成分:光產(chǎn)酸劑,
[0034](C)成分:具有2個(gè)以上環(huán)氧基的化合物,
[0035]⑶成分:溶劑。
[0036]以下,說明各成分的詳細(xì)情況。
[0037]<⑷成分>
[0038](A)成分為由至少包含(i)馬來酰亞胺和(ii)具有環(huán)氧基的單體的單體混合物共聚而成的丙烯酸系共聚物。
[0039]在本發(fā)明中,所謂共聚物,是指使用丙烯酸酯、甲基丙烯酸酯、苯乙烯等具有不飽和雙鍵的單體共聚而得的聚合物。
[0040](A)成分的共聚物只要是具有這樣的結(jié)構(gòu)的共聚物即可,關(guān)于構(gòu)成共聚物的高分子的主鏈的骨架和側(cè)鏈的種類等,沒有特別限定。[0041]然而,如果(A)成分的丙烯酸系共聚物是數(shù)均分子量超過100,000而過大的丙烯酸系共聚物,則未曝光部的顯影性降低,另一方面,如果是數(shù)均分子量小于2,000而過小的丙烯酸系共聚物,則曝光部的固化不充分,因此有時(shí)顯影時(shí)成分溶出。因此,數(shù)均分子量在2,000?100,000的范圍內(nèi)。
[0042]⑴馬來酰亞胺:
[0043]
【權(quán)利要求】
1.一種感光性樹脂組合物,其含有下述(A)成分、(B)成分、(C)成分和(D)成分, (A)成分:由至少包含(i)馬來酰亞胺和(ii)具有環(huán)氧基的單體的單體混合物共聚而成的丙烯酸系共聚物, (B)成分:光產(chǎn)酸劑, (C)成分:具有2個(gè)以上環(huán)氧基的化合物, (D)成分:溶劑。
2.根據(jù)權(quán)利要求1所述的感光性樹脂組合物,進(jìn)一步含有相對于所述感光性樹脂組合物100質(zhì)量份為0.1?10質(zhì)量份的敏化劑作為(E)成分。
3.根據(jù)權(quán)利要求1或2所述的感光性樹脂組合物,進(jìn)一步含有基于所述感光性樹脂組合物的總質(zhì)量而為I質(zhì)量%以下的胺化合物作為(F)成分。
4.一種固化膜,其是使用權(quán)利要求1?3中的任一項(xiàng)所述的感光性樹脂組合物而獲得的。
5.一種液晶顯示器用層間絕緣膜,其由權(quán)利要求4所述的固化膜構(gòu)成。
6.—種濾光器,其由權(quán)利要求4所述的固化膜構(gòu)成。
【文檔編號】C08F222/40GK103443708SQ201280015046
【公開日】2013年12月11日 申請日期:2012年3月27日 優(yōu)先權(quán)日:2011年3月29日
【發(fā)明者】畑中真, 服部隼人, 內(nèi)山芽育 申請人:日產(chǎn)化學(xué)工業(yè)株式會(huì)社
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