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感光性樹脂以及利用其的感光性樹脂組合物的制作方法

文檔序號:3616712閱讀:223來源:國知局
專利名稱:感光性樹脂以及利用其的感光性樹脂組合物的制作方法
技術(shù)領(lǐng)域
本發(fā)明涉及感光性樹脂以及利用其的感光性樹脂組合物,更詳細(xì)地,涉及能以低 成本容易地制造的高感光度、特別是用于負(fù)型光刻時(shí)顯示出良好成圖性的感光性樹脂以及 感光性樹脂組合物。
背景技術(shù)
分子中具有自由基聚合性不飽和鍵結(jié)構(gòu)(乙烯基)的高分子化合物利用乙烯基聚 合引起的交聯(lián)反應(yīng),從而以感光性組合物或熱固化組合物用于各種領(lǐng)域。其中,尤其對于主 鏈具有雙酚型芳香族聚酯結(jié)構(gòu)的感光性樹脂,由于耐熱性、耐藥品性優(yōu)異,因此,到目前為 止提出了許多該感光性樹脂,其通常應(yīng)用于液晶濾色器或黑矩陣、阻焊劑等的光致抗蝕劑 (專利文獻(xiàn)1 3)。但是,這些文獻(xiàn)中記載的感光性樹脂均為在使環(huán)氧化合物加成丙烯酸后、用四元 酸二酐進(jìn)行聚酯化而成的,制造工序煩雜且需要很長時(shí)間,因此制造成本較高。另外,對于 光致抗蝕劑,所要求的物性根據(jù)用途而不同,但這些感光性樹脂的交聯(lián)密度或酸值的調(diào)節(jié) 困難,因此,存在無法應(yīng)用于廣泛的用途的缺點(diǎn)。而且,在用于光致抗蝕劑時(shí),還不能說其感 光度等抗蝕特性足夠。專利文獻(xiàn)1 特開2006-276421號公報(bào)專利文獻(xiàn)2 特開2006-003860號公報(bào)專利文獻(xiàn)3 特開平9-325494號公報(bào)

發(fā)明內(nèi)容
發(fā)明要解決的課題因而,希望提供感光度優(yōu)異的感光性樹脂,其能以低成本容易地制造,而且交聯(lián)密 度或酸值的調(diào)節(jié)容易,因此具有應(yīng)用于廣泛的用途的可能,本發(fā)明以提供那樣的感光性樹 脂以及利用該感光性樹脂的感光性樹脂組合物作為課題。用于解決課題的方法鑒于這種情況,本發(fā)明人為了解決上述課題反復(fù)進(jìn)行了潛心研究,結(jié)果發(fā)現(xiàn),使特 定的雙酚類與二酸酐反應(yīng)得到的高分子化合物加成具有烯鍵式不飽和基團(tuán)的羧酸反應(yīng)性 化合物所得到的感光性樹脂具有以低成本容易地制造的可能,且交聯(lián)密度或酸值的調(diào)節(jié)容 易,而且感光度高、成圖性優(yōu)異,從而完成了本發(fā)明。即,本發(fā)明為感光性樹脂,其通過使由以下通式(1)所示的化合物與由以下通式 (2)所示的化合物反應(yīng)得到的高分子化合物加成具有烯鍵式不飽和基團(tuán)的羧酸反應(yīng)性化合 物而得到。
(式中,X表示4價(jià)的羧酸殘基。)另外,本發(fā)明為感光性樹脂組合物,其特征在于含有上述感光性樹脂,與光聚合引 發(fā)劑和/或光敏劑。發(fā)明效果本發(fā)明的感光性樹脂的耐藥品性與耐熱性優(yōu)異,保存穩(wěn)定性高,具有以低成本容 易地制造的可能,生產(chǎn)率也優(yōu)異,而且交聯(lián)密度或酸值的調(diào)節(jié)容易,因此,具有應(yīng)用于廣泛 用途的可能。另外,使用了該感光性樹脂的感光性樹脂組合物的感光度高,具有良好的成圖 性。
具體實(shí)施例方式構(gòu)成本發(fā)明的感光性樹脂的高分子化合物是使由以下通式(1)所示的化合物與 后述的通式(2)所示的化合物反應(yīng)而得到的。[化 9]
權(quán)利要求
感光性樹脂,其特征在于,其通過使由以下通式(1)所示的化合物與由以下通式(2)所示的化合物反應(yīng)得到的高分子化合物加成具有烯鍵式不飽和基團(tuán)的羧酸反應(yīng)性化合物而得到,式中,Y表示 CO 、 SO2 、 C(CF3)2 、 Si(CH3)2 、 CH2 、 C(CH3)2 、 O 、環(huán)己基、9,9 芴基或直接鍵合,R1、R2獨(dú)立地表示氫原子或甲基,n、m獨(dú)立地表示0~4的數(shù),式中,X表示4價(jià)的羧酸殘基。FPA00001213692600011.tif,FPA00001213692600012.tif
2.權(quán)利要求1所述的感光性樹脂,其中,通式(2)所示的化合物相對于100摩爾份由通 式(1)所示的化合物的比例為110 200摩爾份的范圍。
3.權(quán)利要求1或2所述的感光性樹脂,其中,所述具有烯鍵式不飽和基團(tuán)的羧酸反應(yīng)性 化合物由以下通式(3)所示,
4.權(quán)利要求1 3中任一項(xiàng)所述的感光性樹脂,其中,所述具有 烯鍵式不飽和基團(tuán)的羧酸反應(yīng)性化合物由以下通式(4)所示, R3⑷
5.權(quán)利要求1 4中任一項(xiàng)所述的感光性樹脂,其是使由通式(1)所示的化合物與由 通式(2)所示的化合物反應(yīng)得到的高分子化合物進(jìn)一步加成由以下通式(6)所示的化合物 或水而成的感光性樹脂,
6.權(quán)利要求1 5中任一項(xiàng)所述的感光性樹脂,其中,所述通式(1)中的Y為9,9-芴基。
7.權(quán)利要求1 6中任一項(xiàng)所述的感光性樹脂,其酸值為30 150mgK0H/g。
8.感光性樹脂組合物,其特征在于,其含有權(quán)利要求1 7中任一項(xiàng)所述的感光性樹 月旨,與光聚合引發(fā)劑和/或光敏劑。
9.權(quán)利要求8所述的感光性樹脂組合物,其還含有分子中具有1個(gè)以上不飽和基團(tuán)的 聚合性單體。
全文摘要
本發(fā)明的目的為提供高感光度且成圖性優(yōu)異的感光性樹脂,其能以低成本容易地制造,而且交聯(lián)密度或酸值的調(diào)節(jié)容易,因此具有應(yīng)用于廣泛用途的可能。該感光性樹脂通過使由以下通式(1)所示的化合物與由以下通式(2)所示的化合物反應(yīng)得到的高分子化合物加成具有烯鍵式不飽和基團(tuán)的羧酸反應(yīng)性化合物而得到。(式(1)中,Y表示-CO-、-SO2-、-C(CF3)2-、-Si(CH3)2-、-CH2-、-C(CH3)2-、-O-、環(huán)己基、9,9-芴基或直接鍵合,R1、R2獨(dú)立地表示氫原子或甲基,n、m獨(dú)立地表示0~4的數(shù)。)(式(2)中,X表示4價(jià)的羧酸殘基。)
文檔編號C08F290/06GK101970532SQ20098010755
公開日2011年2月9日 申請日期2009年3月25日 優(yōu)先權(quán)日2008年3月25日
發(fā)明者宇都宮伸 申請人:綜研化學(xué)株式會社
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