適合影像轉(zhuǎn)移曝光機的菲林與工件密著方法
【專利摘要】本發(fā)明公開了一種適合影像轉(zhuǎn)移曝光機的菲林與工件密著方法，包括提供菲林，玻璃板、工件，在工件下表面設(shè)置多孔材料介質(zhì)層，在所述多孔材料介質(zhì)層的下部設(shè)置有的平臺，所述平臺與空氣泵相連，在玻璃板上部設(shè)置有第一驅(qū)動裝置，在所述平臺下部設(shè)置有第二驅(qū)動裝置，所述菲林貼附在該玻璃板下表面，所述的多孔材料介質(zhì)層上開設(shè)有若干貫穿于上下兩端面的細(xì)微小孔，通過菲林與工件密著方法將空氣泵產(chǎn)生的過濾空氣通過平臺并經(jīng)過所述細(xì)微小孔送到工件的下表面，在工件的下表面形成使得工件與菲林緊密貼合的均勻的氣浮壓力，該密著方法形成氣浮正壓力的時間較形成真空負(fù)壓時間縮短數(shù)倍，能顯著提高生產(chǎn)效率，貼合的正壓力可以無限制增大。
【專利說明】適合影像轉(zhuǎn)移曝光機的菲林與工件密著方法

【技術(shù)領(lǐng)域】
[0001] 本發(fā)明涉及曝光機使用【技術(shù)領(lǐng)域】，尤其涉及一種適合影像轉(zhuǎn)移曝光機的菲林與工 件密著方法。

【背景技術(shù)】
[0002] 在批量生產(chǎn)印制電路板過程中，是經(jīng)過紫外線曝光，使所需的電路圖形通過菲林 轉(zhuǎn)移到工件上，如果菲林和工件間有間隙或氣泡，就會引起圖形失真，造成曝光不良，為此 數(shù)十年來，行業(yè)內(nèi)都是采用抽真空形成負(fù)壓，使玻璃受壓或變形來達(dá)到菲林和工件的貼合， 但始終存在如下的問題：1、抽真空的時間過長，使生產(chǎn)效率變低；2、由于貼有菲林的玻璃 易碎，所以真空度不能過高，這就使得變形應(yīng)力較大的工件與菲林不能形成良好的貼合，另 夕卜，必需用不同的墊片（對不同的工件）去填平真空腔的其余部分，以避免玻璃被抽爆，費 時費工，不適應(yīng)自動化生產(chǎn)；3、由于工件的上下兩面同時與高剛性的平臺和玻璃接觸，玻璃 本身（與工件接觸面）和鋁合金平臺的不平和凹陷就會造成貼合不良，也很難通過調(diào)節(jié)真 空度來改善貼合的均勻度。


【發(fā)明內(nèi)容】

[0003] 本發(fā)明要解決的技術(shù)問題是提供一種適合影像轉(zhuǎn)移曝光機的菲林與工件密著方 法，該適合影像轉(zhuǎn)移曝光機的菲林與工件密著方法是通過對所述平臺的充氣，使在其多孔 材料介質(zhì)層表面產(chǎn)生均勻的氣浮壓力，以迫使工件與菲林進(jìn)行緊密貼合。
[0004] 可以在吹氣條件下使得影像轉(zhuǎn)移曝光機中的菲林和工件緊密貼合，避免將玻璃板 壓碎，吹氣時間短，吹氣的氣壓可以無限增大，生產(chǎn)效率高，自動化程度高。
[0005] 為解決抽真空密著存在的上述技術(shù)問題，本發(fā)明提供的適合影像轉(zhuǎn)移曝光機的菲 林與工件密著方法包括提供菲林，玻璃板、可與菲林下表面相互貼合在一起的工件，在工件 下表面設(shè)置多孔材料介質(zhì)層，在所述多孔材料介質(zhì)層的下部設(shè)置有與所述多孔材料介質(zhì)層 緊密貼合的平臺，所述平臺與空氣泵相連，在玻璃板上部設(shè)置有第一驅(qū)動裝置，在所述平臺 下部設(shè)置有調(diào)整所述工件與菲林之間距離和平行度的第二驅(qū)動裝置，所述菲林貼附在該玻 璃板下表面，所述的多孔材料介質(zhì)層上開設(shè)有若干分布均勻貫穿于上下兩端面的細(xì)微小 孔，通過菲林與工件密著方法將空氣泵產(chǎn)生的過濾空氣通過平臺并經(jīng)過所述細(xì)微小孔送到 工件的下表面，在工件的下表面形成使得工件與菲林緊密貼合的均勻的氣浮壓力，所述菲 林與工件密著方法包括貼好菲林，機械手將所述工件放置在于所述多孔材料介質(zhì)層上部， 所述平臺先移動到玻璃板下方的位置，檢測工件與菲林的位置是否初步對準(zhǔn)，通過第一驅(qū) 動裝置驅(qū)動所述玻璃板進(jìn)行X、Y軸移動及圓周轉(zhuǎn)動，同時所述第二驅(qū)動裝置驅(qū)動所述平臺 的上下移動，調(diào)整所述工件與所述菲林的位置，實現(xiàn)所述菲林與所述工件的準(zhǔn)確對位，然后 所述空氣泵工作，通過對所述平臺的充氣使其在所述多孔材料介質(zhì)層表面形成均勻的氣浮 壓力，迫使所述工件與菲林緊密貼合，貼合到位后進(jìn)行紫外線曝光，使所述菲林上的影像轉(zhuǎn) 移到所述工件上，然后所述空氣泵抽氣，將所述工件吸附回平臺再移走。
[0006] 優(yōu)選地，所述菲林與工件密著方法包括以下步驟：
[0007] S1 :將所述菲林貼好在所述玻璃板下表面，機械手將所述工件放置在所述多孔材 料介質(zhì)層上部，所述平臺先移動到玻璃板下方的位置，CCD攝像頭檢測工件與菲林的位置是 否初步對準(zhǔn)；
[0008] S2 :(XD攝像頭對所述工件的四個定位孔與菲林上的靶標(biāo)進(jìn)行對位標(biāo)定，通過第 一驅(qū)動裝置驅(qū)動所述玻璃板進(jìn)行X、Y軸移動及圓周轉(zhuǎn)動，同時所述第二驅(qū)動裝置驅(qū)動所 述平臺的上下移動，調(diào)整所述工件與所述菲林的間距，實現(xiàn)所述菲林與所述工件的準(zhǔn)確對 位；
[0009] S3:所述空氣泵吹氣，通過所述平臺與所述多孔材料介質(zhì)層的細(xì)微小孔對所述工 件進(jìn)行吹氣，所產(chǎn)生的均勻氣浮壓力使所述工件與菲林緊密貼合，檢測所述工件與所述菲 林是否貼合到位，如果貼合到位，紫外光開始曝光，將所述菲林上面的影像轉(zhuǎn)移到所述工件 上；
[0010] S4:所述空氣泵吸氣，使所述工件與所述菲林分離，將所述工件吸附回所述平臺表 面再移走。
[0011] 優(yōu)選地，所述步驟S2的實現(xiàn)步驟包括：
[0012] S201 :所述第二驅(qū)動裝置帶動所述平臺移動，使所述工件移動到所述菲林的下 部；
[0013] S202 :第一驅(qū)動裝置驅(qū)動所述玻璃板進(jìn)行X、Y軸移動及圓周轉(zhuǎn)動；
[0014] S203:所述第二驅(qū)動裝置驅(qū)動所述平臺的上下移動，調(diào)整所述工件與所述菲林的 間距，實現(xiàn)所述菲林與所述工件的準(zhǔn)確對位；
[0015] 優(yōu)選地，所述第二驅(qū)動裝置包括四個可單獨升降并用于調(diào)整所述工件與平臺之間 距離與平行度的電缸及三個激光位移傳感器，各所述升降的電缸設(shè)置于所述平臺下部。
[0016] 優(yōu)選地，所述多孔材料介質(zhì)層為陶瓷或鋁金屬材料組成，空氣能從其分布均勻的 細(xì)微氣孔進(jìn)行氣浮和吸附。
[0017] 優(yōu)選地，所述第一驅(qū)動裝置采用伺服控制，所述玻璃板可相對第一驅(qū)動裝置沿X、Y 軸移動及圓周轉(zhuǎn)動。
[0018] 優(yōu)選地，所述第一驅(qū)動裝置包括裝置本體、容置于所述裝置本體內(nèi)的控制組件、裝 設(shè)于所述裝置本體上的X軸絲桿、與所述X軸絲桿裝配在一起的X軸絲桿座、裝設(shè)于所述X 軸絲桿座上的Υ軸絲桿、與所述Υ軸絲桿裝配在一起Υ軸絲桿座、裝設(shè)于所述Υ軸絲桿座上 用于驅(qū)動所述玻璃板做圓周轉(zhuǎn)動的第三伺服電機，用于驅(qū)動所述第一絲桿轉(zhuǎn)動的第一伺服 電機、用于驅(qū)動所述第二絲桿轉(zhuǎn)動的第二伺服電機、所述玻璃板與所述第三伺服電機裝配 在一起。
[0019] 優(yōu)選地，所述平臺的下端面開設(shè)有一進(jìn)氣口，其上端面開設(shè)有若干與所述細(xì)微小 孔相對應(yīng)的氣孔，所述進(jìn)氣口與各所述氣孔連通，所述進(jìn)氣口與所述空氣泵相連。
[0020] 優(yōu)選地，所述空氣泵對所述工件的吹氣壓力可無限增大。
[0021] 采用上述技術(shù)方法后，將所述菲林貼好在所述玻璃板下表面，機械手將所述工件 放置在所述多孔材料介質(zhì)層上部，所述平臺先移動到玻璃板下方的位置，CCD攝像頭檢測工 件與菲林的位置是否初步對準(zhǔn)；CCD攝像頭對所述工件的四個定位孔與菲林的靶標(biāo)進(jìn)行找 正，通過第一驅(qū)動裝置驅(qū)動所述玻璃板進(jìn)行X、Υ軸移動及圓周轉(zhuǎn)動，同時所述第二驅(qū)動裝 置驅(qū)動所述平臺的上下移動，調(diào)整所述工件與所述菲林的間距，實現(xiàn)所述菲林與所述工件 的準(zhǔn)確對位，并使所述工件移動至與所述菲林相互貼合；所述空氣泵吹氣，通過所述細(xì)微小 孔對所述工件進(jìn)行吹氣，所產(chǎn)生的均勻氣浮壓力使所述工件與菲林緊密貼合，檢測所述工 件與所述菲林是否貼合到位，如果貼合到位，紫外光開始曝光，將所述菲林上面的影像轉(zhuǎn)移 到所述工件上。該密著方法的優(yōu)點是：
[0022] 1、該密著方法形成氣浮正壓力的時間較形成真空負(fù)壓時間縮短數(shù)倍，能顯著提高 生產(chǎn)效率；
[0023] 2、貼合的正壓力可以無限制增大，并且可分別通過支撐平臺的四個電缸的升降來 調(diào)節(jié)工件與菲林間距的一致性，以改善貼合的均勻性；
[0024] 3、由于密著時，工件與平臺無接觸，且是柔性工件變形去適應(yīng)玻璃，所以平臺和玻 璃的凹陷等對貼合效果影響較??；
[0025] 4、平臺本身具備的吸附和氣浮功能有利于工件的取放和傳送，更適應(yīng)自動化生 產(chǎn)。

【專利附圖】

【附圖說明】
[0026] 圖1為本發(fā)明適合影像轉(zhuǎn)移曝光機的菲林與工件密著方法的工作示意圖；
[0027] 圖2為本發(fā)明適合影像轉(zhuǎn)移曝光機的菲林與工件密著方法步驟S1的工作示意 圖；
[0028] 圖3為本發(fā)明適合影像轉(zhuǎn)移曝光機的菲林與工件密著方法步驟S2的工作示意 圖；
[0029] 圖4為本發(fā)明適合影像轉(zhuǎn)移曝光機的菲林與工件密著方法步驟S3的工作示意 圖；
[0030] 圖5為本發(fā)明適合影像轉(zhuǎn)移曝光機的菲林與工件密著方法步驟S4的工作示意 圖；
[0031] 圖6為本發(fā)明適合影像轉(zhuǎn)移曝光機的菲林與工件密著方法的執(zhí)行流程圖；
[0032] 圖7為本發(fā)明適合影像轉(zhuǎn)移曝光機的菲林與工件密著方法步驟S2的實現(xiàn)流程圖。

【具體實施方式】
[0033] 為了使本發(fā)明的目的、技術(shù)方案及優(yōu)點更加清楚明白，以下結(jié)合附圖及實施例，對 本發(fā)明進(jìn)行進(jìn)一步詳細(xì)說明。應(yīng)當(dāng)理解，此處所描述的具體實施例僅僅用于解釋本發(fā)明，并 不用于限定本發(fā)明。
[0034] 請參閱圖1，圖1為本發(fā)明適合影像轉(zhuǎn)移曝光機的菲林與工件密著方法的工作示 意圖；在本實施例中，適合影像轉(zhuǎn)移曝光機的菲林與工件密著方法包括提供菲林12,玻璃 板11、可與菲林12下表面相互貼合在一起的工件13,在工件13下表面設(shè)置多孔材料介質(zhì) 層14,在多孔材料介質(zhì)層14的下部設(shè)置有與多孔材料介質(zhì)層14緊密貼合的平臺15,平臺 15與空氣泵相連，在玻璃板11上部設(shè)置有第一驅(qū)動裝置，在平臺15下部設(shè)置有調(diào)整工件 13與菲林12之間距離和平行度的第二驅(qū)動裝置16,菲林12貼附在該玻璃板11下表面， 多孔材料介質(zhì)層14上開設(shè)有若干分布均勻貫穿于上下兩端面的細(xì)微小孔，通過菲林與工 件密著方法將空氣泵產(chǎn)生的過濾空氣通過平臺并經(jīng)過所述細(xì)微小孔送到工件的下表面，在 工件13的下表面形成使得工件13與菲林12緊密貼合的均勻氣浮壓力，菲林13與工件12 密著方法包括貼好菲林13,機械手將所述工件放置在于所述多孔材料介質(zhì)層上部，所述平 臺先移動到玻璃板下方的位置，檢測工件12與放置菲林13的玻璃板11的位置是否初步對 準(zhǔn)，通過第一驅(qū)動裝置驅(qū)動玻璃板11進(jìn)行X、Y軸移動及圓周轉(zhuǎn)動，同時第二驅(qū)動裝置驅(qū)動 16所述平臺的上下移動，調(diào)整玻璃板11與菲林12的位置，實現(xiàn)菲林12與工件13的準(zhǔn)確對 位，然后所述空氣泵工作，通過對所述平臺的充氣使其在所述多孔材料介質(zhì)層表面形成均 勻的氣浮壓力，使工件13與菲林12緊密貼合，貼合到位后進(jìn)行紫外線曝光，使菲林12上的 影像轉(zhuǎn)移到工件13上，然后所述空氣泵放氣，將工件13移走。
[0035] 請參閱圖6,圖6為本發(fā)明適合影像轉(zhuǎn)移曝光機的菲林與工件密著方法的執(zhí)行流 程圖；菲林12與工件13密著方法包括以下步驟：
[0036] S1 :如圖2所示，將所述菲林貼好在所述玻璃板下表面，機械手將所述工件放置在 所述多孔材料介質(zhì)層上部，所述平臺先移動到玻璃板下方的位置，CCD攝像頭檢測工件與菲 林的位置是否初步對準(zhǔn)；
[0037] S2 :如圖3所示，(XD攝像頭對工件13的四個定位孔與菲林12上的靶標(biāo)進(jìn)行對位 標(biāo)定，通過第一驅(qū)動裝置驅(qū)動所述玻璃板進(jìn)行X、Y軸移動及圓周轉(zhuǎn)動，同時所述第二驅(qū)動 裝置驅(qū)動所述平臺的上下移動，調(diào)整所述工件與所述菲林的間距，實現(xiàn)所述菲林與所述工 件的準(zhǔn)確對位；
[0038] S3 :如圖4所示，所述空氣泵吹氣，通過平臺15與多孔材料介質(zhì)層14的細(xì)微小孔 對工件13進(jìn)行吹氣，所產(chǎn)生的均勻氣浮壓力使工件13與菲林12緊密貼合，檢測工件13與 菲林12是否貼合到位，如果貼合到位，紫外線開始曝光，將所述菲林上面的影像轉(zhuǎn)移到所 述工件上；
[0039] S4:如圖5所示，所述空氣泵吸氣，使所述工件與所述菲林分離，將所述工件吸附 回平臺表面再移走。
[0040] 請參閱圖7,圖7為本發(fā)明適合影像轉(zhuǎn)移曝光機的菲林與工件密著方法步驟S2的 實現(xiàn)流程圖；
[0041] 所述步驟S2的實現(xiàn)步驟包括：
[0042] S201 :所述第二驅(qū)動裝置帶動所述平臺移動，使所述工件移動到所述菲林的下 部；
[0043] S202 :第一驅(qū)動裝置驅(qū)動所述玻璃板進(jìn)行X、Y軸移動及圓周轉(zhuǎn)動；
[0044] S203 :所述第二驅(qū)動裝置驅(qū)動所述平臺的上下移動，調(diào)整工件13與菲林12的間 距，實現(xiàn)菲林12與工件13的準(zhǔn)確對位，在本實施例中，優(yōu)選的傳感器為激光位移傳感器，在 其他實施例中，也可選擇其他類型的位移傳感器。
[0045] 在本實施例中，多孔材料介質(zhì)層14優(yōu)選的材料為陶瓷或鋁金屬材料在其他實施 例中，也可選擇其他類型的材料，空氣能從多孔材料介質(zhì)層14分布均勻的細(xì)微小孔進(jìn)行氣 浮和吸附。
[0046] 在本實施例中，所述第一驅(qū)動裝置采用伺服控制，玻璃板11可相對第一驅(qū)動裝置 沿X、Y軸移動及圓周轉(zhuǎn)動。
[0047] 第一驅(qū)動裝置包括裝置本體、容置于所述裝置本體內(nèi)的控制組件、裝設(shè)于所述裝 置本體上的X軸絲桿、與所述X軸絲桿裝配在一起的X軸絲桿座、裝設(shè)于所述X軸絲桿座上 的Y軸絲桿、與所述Y軸絲桿裝配在一起Y軸絲桿座、裝設(shè)于所述Y軸絲桿座上用于驅(qū)動所 述玻璃板做圓周轉(zhuǎn)動的第三伺服電機，用于驅(qū)動所述第一絲桿轉(zhuǎn)動的第一伺服電機、用于 驅(qū)動所述第二絲桿轉(zhuǎn)動的第二伺服電機、所述玻璃板11與所述第三伺服電機裝配在一起。
[0048] 平臺15的下端面開設(shè)有一進(jìn)氣口，其上端面開設(shè)有若干與所述細(xì)微小孔相對應(yīng) 的氣孔，所述進(jìn)氣口與各所述氣孔連通，所述進(jìn)氣口與所述空氣泵相連。
[0049] 空氣泵對工件13的吹氣壓力可無限制增大。
[0050] 該適合影像轉(zhuǎn)移曝光機的菲林與工件密著方法的優(yōu)點是：
[0051] 1、該密著方法形成氣浮正壓力的時間較形成真空負(fù)壓時間縮短數(shù)倍，能顯著提高 生產(chǎn)效率；
[0052] 2、貼合的正壓力可以無限制增大，并且可分別通過支撐平臺的四個電缸的升降來 調(diào)節(jié)工件與菲林間距的一致性，以改善貼合的均勻性；
[0053] 3、由于密著時，工件與平臺無接觸，且是柔性工件變形去適應(yīng)玻璃，所以平臺和玻 璃的凹陷等對貼合效果影響較??；
[0054] 4、平臺本身具備的吸附和氣浮功能有利于工件的取放和傳送，更適應(yīng)自動化生 產(chǎn)。
[0055] 應(yīng)當(dāng)理解的是，以上僅為本發(fā)明的優(yōu)選實施例，不能因此限制本發(fā)明的專利范圍， 凡是利用本發(fā)明說明書及附圖內(nèi)容所作的等效結(jié)構(gòu)或等效流程變換，或直接或間接運用在 其他相關(guān)的【技術(shù)領(lǐng)域】，均同理包括在本發(fā)明的專利保護(hù)范圍內(nèi)。
【權(quán)利要求】
1. 適合影像轉(zhuǎn)移曝光機的菲林與工件密著方法，其特征在于：提供菲林，玻璃板、可與 菲林下表面相互貼合在一起的工件，在工件下表面設(shè)置多孔材料介質(zhì)層，在多孔材料介質(zhì) 層的下部設(shè)置有與所述多孔材料介質(zhì)層緊密貼合的平臺，所述平臺與空氣泵相連，在玻璃 板上部設(shè)置有第一驅(qū)動裝置，在所述平臺下部設(shè)置有調(diào)整所述工件與菲林之間距離和平行 度的第二驅(qū)動裝置，所述菲林貼附在該玻璃板下表面，所述的多孔材料介質(zhì)層上開設(shè)有若 干分布均勻貫穿于上下兩端面的細(xì)微小孔，通過菲林與工件密著方法將空氣泵產(chǎn)生的過濾 空氣通過平臺并經(jīng)過所述細(xì)微小孔送到工件的下表面，在工件的下表面形成使得工件與菲 林緊密貼合的均勻的氣浮壓力，所述菲林與工件密著方法包括貼好菲林，機械手將所述工 件放置在于所述多孔材料介質(zhì)層上部，所述平臺先移動到玻璃板下方的位置，檢測工件與 菲林的位置是否初步對準(zhǔn)，通過第一驅(qū)動裝置驅(qū)動所述玻璃板進(jìn)行X、Y軸移動及圓周轉(zhuǎn) 動，同時所述第二驅(qū)動裝置驅(qū)動所述平臺的上下移動，調(diào)整所述工件與所述菲林的間距，實 現(xiàn)所述菲林與所述工件的準(zhǔn)確對位，然后所述空氣泵工作，通過對所述平臺的充氣使其在 所述多孔材料介質(zhì)層表面形成均勻的氣浮壓力，迫使所述工件與菲林緊密貼合，貼合到位 后進(jìn)行紫外線曝光，使所述菲林上的影像轉(zhuǎn)移到所述工件上，然后所述空氣泵收氣，將所述 工件移走。
2. 根據(jù)權(quán)利要求1所述的適合影像轉(zhuǎn)移曝光機的菲林與工件密著方法，其特征在于： 所述多孔材料介質(zhì)層為陶瓷或鋁金屬材料組成，空氣能從其分布均勻的細(xì)微小孔進(jìn)行氣浮 和吸附。
3. 根據(jù)權(quán)利要求1所述的適合影像轉(zhuǎn)移曝光機的菲林與工件密著方法，其特征在于： 所述平臺的下端面開設(shè)有一進(jìn)氣口，其上端面開設(shè)有若干與所述細(xì)微小孔相對應(yīng)的氣孔， 所述進(jìn)氣口與各所述氣孔連通，所述進(jìn)氣口與所述空氣泵相連。
4. 根據(jù)權(quán)利要求1所述的適合影像轉(zhuǎn)移曝光機的菲林與工件密著方法，其特征在于： 所述空氣泵對所述工件的吹氣壓力可無限增大。
5. 根據(jù)權(quán)利要求1所述的適合影像轉(zhuǎn)移曝光機的菲林與工件密著方法，其特征在于： 所述菲林與工件密著方法包括以下步驟： 51 :將所述菲林貼好在所述玻璃板下表面，機械手將所述工件放置在所述多孔材料介 質(zhì)層上部，所述平臺先移動到玻璃板下方的位置，CCD攝像頭檢測工件與菲林的位置是否初 步對準(zhǔn)； 52 :(XD攝像頭對所述工件的四個定位孔與菲林上的靶標(biāo)進(jìn)行對位標(biāo)定，通過第一驅(qū) 動裝置驅(qū)動所述玻璃板進(jìn)行X、Y軸移動及圓周轉(zhuǎn)動，同時所述第二驅(qū)動裝置驅(qū)動所述平臺 的上下移動，調(diào)整所述工件與所述菲林的間距，實現(xiàn)所述菲林與所述工件的準(zhǔn)確對位； S3:所述空氣泵吹氣，通過所述平臺與所述多孔材料介質(zhì)層的細(xì)微小孔對所述工件進(jìn) 行吹氣，所產(chǎn)生的連綿氣浮壓力使所述工件與菲林緊密貼合，檢測所述工件與所述菲林是 否貼合到位，如果貼合到位，紫外線開始曝光，將所述菲林上面的影像轉(zhuǎn)移到所述工件上； S4:所述空氣泵吸氣，使所述工件與所述菲林分離，將所述工件吸附回所述平臺表面再 移走。
6. 根據(jù)權(quán)利要求5所述的適合影像轉(zhuǎn)移曝光機的菲林與工件密著方法，其特征在于： 所述步驟S2的實現(xiàn)步驟包括： S201 :所述第二驅(qū)動裝置帶動所述平臺移動，使所述工件移動到所述菲林的下部； 5202 :第一驅(qū)動裝置驅(qū)動所述玻璃板進(jìn)行X、Y軸移動及圓周轉(zhuǎn)動； 5203 :所述第二驅(qū)動裝置驅(qū)動所述平臺的上下移動，調(diào)整所述工件與所述菲林的間距， 實現(xiàn)所述菲林與所述工件的準(zhǔn)確對位。
7. 根據(jù)權(quán)利要求6所述的適合影像轉(zhuǎn)移曝光機的菲林與工件密著方法，其特征在于： 所述第二驅(qū)動裝置包括四個可單獨升降并用于調(diào)整所述工件與平臺之間距離與平行度的 電缸及三個激光位移傳感器，各所述升降的電缸設(shè)置于所述平臺下部。
8. 根據(jù)權(quán)利要求5所述的適合影像轉(zhuǎn)移曝光機的菲林與工件密著方法，其特征在于： 所述第一驅(qū)動裝置采用伺服控制，所述玻璃板可相對第一驅(qū)動裝置沿X、Υ軸移動及圓周轉(zhuǎn) 動。
9. 根據(jù)權(quán)利要求8所述的適合影像轉(zhuǎn)移曝光機的菲林與工件密著方法，其特征在于： 所述第一驅(qū)動裝置包括裝置本體、容置于所述裝置本體內(nèi)的控制組件、裝設(shè)于所述裝置本 體上的X軸絲桿、與所述X軸絲桿裝配在一起的X軸絲桿座、裝設(shè)于所述X軸絲桿座上的Υ 軸絲桿、與所述Υ軸絲桿裝配在一起Υ軸絲桿座、裝設(shè)于所述Υ軸絲桿座上用于驅(qū)動所述玻 璃板做圓周轉(zhuǎn)動的第三伺服電機，用于驅(qū)動所述第一絲桿轉(zhuǎn)動的第一伺服電機、用于驅(qū)動 所述第二絲桿轉(zhuǎn)動的第二伺服電機、所述玻璃板與所述第三伺服電機裝配在一起。
【文檔編號】G03F7/20GK104216236SQ201410419325
【公開日】2014年12月17日 申請日期:2014年8月22日 優(yōu)先權(quán)日:2014年8月22日
【發(fā)明者】代毓平, 代童慶 申請人:深圳市大川光電設(shè)備有限公司