一種83kg級(jí)藍(lán)寶石晶體爐長(zhǎng)晶結(jié)構(gòu)的制作方法
【技術(shù)領(lǐng)域】
[0001]本實(shí)用新型涉及藍(lán)寶石生產(chǎn)設(shè)備技術(shù)領(lǐng)域，尤其涉及一種用于生長(zhǎng)藍(lán)寶石晶體的長(zhǎng)晶爐長(zhǎng)晶結(jié)構(gòu)。
【背景技術(shù)】
[0002]隨著技術(shù)進(jìn)步，人工生產(chǎn)藍(lán)寶石晶體的方法越來(lái)越多，但無(wú)論哪一種好方法，只有達(dá)到藍(lán)寶石晶體的長(zhǎng)晶溫度，藍(lán)寶石晶體才能生長(zhǎng)，若沒(méi)有保溫層，爐內(nèi)2050多度的高溫很難保證，要達(dá)到藍(lán)寶石晶體生長(zhǎng)的溫度，就得不停的加熱，對(duì)電的消耗巨大，能源浪費(fèi)嚴(yán)重，更重要的是嚴(yán)重影響長(zhǎng)出的藍(lán)寶石晶體產(chǎn)品質(zhì)量，另一方面，針對(duì)改造后的83kg級(jí)藍(lán)寶石晶體爐，如何尋找出適合83kg級(jí)藍(lán)寶石晶體爐長(zhǎng)晶工藝也尤為重要，國(guó)內(nèi)長(zhǎng)晶工藝正在摸索，長(zhǎng)出的晶體都有晶格缺陷，數(shù)值大于1000位錯(cuò)密度/pits, cm-2,晶體晶界多、氣泡多，這會(huì)嚴(yán)重影響藍(lán)寶石主導(dǎo)產(chǎn)品藍(lán)寶石襯底片和窗口片的內(nèi)部結(jié)構(gòu)和質(zhì)量，成品率極低，浪費(fèi)巨大，成本高，效率低，難以大規(guī)模生產(chǎn)。藍(lán)寶石晶體生長(zhǎng)爐熱場(chǎng)外采用什么保溫材料及采用什么工藝使其減少為錯(cuò)密度，成為國(guó)內(nèi)藍(lán)寶石行業(yè)關(guān)注的技術(shù)問(wèn)題。
【實(shí)用新型內(nèi)容】
[0003]本實(shí)用新型克服了現(xiàn)有技術(shù)的不足，提供一種用于生長(zhǎng)藍(lán)寶石晶體的長(zhǎng)晶爐結(jié)構(gòu)，采用藍(lán)寶石晶體的長(zhǎng)晶爐后，確保了長(zhǎng)晶爐密封良好及爐內(nèi)溫度的一致性，將熱場(chǎng)外加側(cè)屏保溫，節(jié)約了能耗，提高了保溫效果。
[0004]為解決上述技術(shù)問(wèn)題，本實(shí)用新型采用的技術(shù)方案為:
[0005]一種83kg級(jí)藍(lán)寶石晶體爐長(zhǎng)晶結(jié)構(gòu)，熱交換器、加熱器、籽晶夾頭、坩禍、支撐軸、鎢筒和籽晶桿、側(cè)屏、鋯磚、爐筒。
[0006]坩禍設(shè)置在鎢筒內(nèi)，支撐軸設(shè)置在坩禍與鎢筒的底面之間，坩禍的頂蓋上設(shè)置有通孔，籽晶桿內(nèi)設(shè)置熱交換器，籽晶桿的底端設(shè)置籽晶夾頭，籽晶桿穿過(guò)鎢筒的上蓋伸入鎢筒內(nèi)，籽晶夾頭位于坩禍的頂蓋通孔的上方；鎢筒的上蓋內(nèi)設(shè)置加熱器。
[0007]鶴筒的側(cè)面外側(cè)設(shè)置有側(cè)屏，鶴筒的底面下方設(shè)置有錯(cuò)磚，側(cè)屏、錯(cuò)磚外側(cè)設(shè)置有爐筒。
[0008]坩禍的頂面下表面、底面上表面均設(shè)置有第一密封條，坩禍的側(cè)面的上、下面均設(shè)置有第二密封條，第一密封條和第二密封條為帶有磁性的密封條，第一密封條與第二密封條磁性相反。
[0009]較優(yōu)地，坩禍與鎢筒之間設(shè)置有保溫層。
[0010]較優(yōu)地，支撐軸材質(zhì)為鉬鎢合金。
[0011]較優(yōu)地，樹禍為鉬；t甘禍。
[0012]較優(yōu)地，鉬坩禍上方設(shè)有鉬保溫層。
[0013]較優(yōu)地，坩禍的側(cè)面、頂面、底面厚度均為l_2mm。
[0014]與現(xiàn)有技術(shù)相比，本實(shí)用新型的有益效果有:本實(shí)用新型提供的一種83kg級(jí)藍(lán)寶石晶體爐長(zhǎng)晶結(jié)構(gòu)的熱場(chǎng)的兩側(cè)加了側(cè)屏，下方加了鋯磚，在側(cè)屏與鋯磚外側(cè)加了爐筒，確保了長(zhǎng)晶爐密封良好及爐內(nèi)溫度的一致性；
[0015]本實(shí)用新型一種83kg級(jí)藍(lán)寶石晶體爐長(zhǎng)晶工藝方法節(jié)約了能耗:鎢筒密封性好，熱量難散出，再加上外面的側(cè)屏、鋯磚、爐筒；密封性更好，保溫效果更好，用電加熱省電，節(jié)約能耗。
【附圖說(shuō)明】
[0016]圖1為本實(shí)用新型爐體結(jié)構(gòu)示意圖；
[0017]圖2為本實(shí)用新型坩禍的頂面、側(cè)面、底面分解結(jié)構(gòu)示意圖；
[0018]圖3為本實(shí)用新型坩禍的側(cè)面仰視圖；
[0019]圖4為本實(shí)用新型坩禍的頂面仰視圖；
[0020]其中:1熱交換器、2加熱器、3籽晶夾頭、4鉬保溫層、5坩禍、6晶體、7晶體與熔體之間形成固液界面、8熔體、9支撐軸、10保溫層、11鎢筒、12籽晶桿、13側(cè)屏、14鋯磚、15爐筒O
【具體實(shí)施方式】
[0021]下面結(jié)合附圖對(duì)本實(shí)用新型作更進(jìn)一步的說(shuō)明。
[0022]如圖1所示，一種83kg級(jí)藍(lán)寶石晶體爐長(zhǎng)晶結(jié)構(gòu)，熱交換器1、加熱器2、籽晶夾頭3、坩禍5、支撐軸9、保溫層10、鎢筒11和籽晶桿12、側(cè)屏13、鋯磚14、爐筒15 ；
[0023]坩禍5設(shè)置在鎢筒11內(nèi)，支撐軸9設(shè)置在坩禍5與鎢筒11的底面之間，坩禍5的頂蓋上設(shè)置有通孔，籽晶桿12內(nèi)設(shè)置熱交換器1，籽晶桿12的底端設(shè)置籽晶夾頭3，籽晶桿12穿過(guò)鎢筒11的上蓋伸入鎢筒11內(nèi)，籽晶夾頭3位于坩禍5的頂蓋通孔的上方；
[0024]鎢筒11的上蓋內(nèi)設(shè)置加熱器2 ；
[0025]鎢筒11的側(cè)面外側(cè)設(shè)置有側(cè)屏13，鎢筒11的底面下方設(shè)置有鋯磚14，側(cè)屏13、鋯磚14外側(cè)設(shè)置有爐筒15。
[0026]如圖2、圖3、圖4所不，i甘禍5的頂面下表面、底面上表面均設(shè)置有第一密封條5a，坩禍5的側(cè)面的上、下面均設(shè)置有第二密封條5b，第一密封條5a和第二密封條5b為帶有磁性的密封條，第一密封條5a與第二密封條5b磁性相反。
[0027]坩禍5與鎢筒11之間設(shè)置有保溫層10。
[0028]支撐軸9材質(zhì)為鉬鎢合金。坩禍5為鉬坩禍。
[0029]鉬坩禍上方設(shè)有鉬保溫層4。坩禍5的側(cè)面、頂面、底面厚度均為l_2mm。
[0030]以上僅是本實(shí)用新型的優(yōu)選實(shí)施方式，應(yīng)當(dāng)指出:對(duì)于本技術(shù)領(lǐng)域的普通技術(shù)人員來(lái)說(shuō)，在不脫離本實(shí)用新型原理的前提下，還可以做出若干改進(jìn)和潤(rùn)飾，這些改進(jìn)和潤(rùn)飾也應(yīng)視為本實(shí)用新型的保護(hù)范圍。
【主權(quán)項(xiàng)】
1.一種83kg級(jí)藍(lán)寶石晶體爐長(zhǎng)晶結(jié)構(gòu)，其特征在于，包括:熱交換器(1)、加熱器(2)、籽晶夾頭(3)、坩禍(5)、支撐軸(9)、鎢筒(11)和籽晶桿(12)、側(cè)屏(13)、鋯磚(14)、爐筒(15)； 所述坩禍(5 )設(shè)置在所述鎢筒(11)內(nèi)，支撐軸(9 )設(shè)置在坩禍(5 )與鎢筒(11)的底面之間，坩禍(5)的頂蓋上設(shè)置有通孔，所述籽晶桿(12)內(nèi)設(shè)置熱交換器(1)，籽晶桿(12)的底端設(shè)置籽晶夾頭(3)，籽晶桿(12)穿過(guò)鎢筒(11)的上蓋伸入鎢筒(11)內(nèi)，籽晶夾頭(3)位于坩禍(5)的頂蓋通孔的上方； 所述鎢筒(11)的上蓋內(nèi)設(shè)置加熱器(2); 鶴筒(11)的側(cè)面外側(cè)設(shè)置有側(cè)屏(13)，鶴筒(11)的底面下方設(shè)置有錯(cuò)磚(14)，側(cè)屏(13)、鋯磚(14)外側(cè)設(shè)置有爐筒(15)； 坩禍(5)的頂面下表面、底面上表面均設(shè)置有第一密封條(5a)，所述坩禍(5)的側(cè)面的上、下面均設(shè)置有第二密封條(5b)，所述第一密封條(5a)和第二密封條(5b)為帶有磁性的密封條，所述第一密封條(5a)與第二密封條(5b)磁性相反。
2.根據(jù)權(quán)利要求1所述的83kg級(jí)藍(lán)寶石晶體爐長(zhǎng)晶結(jié)構(gòu)，其特征在于，坩禍(5)與鎢筒(11)之間設(shè)置有保溫層(10 )。
3.根據(jù)權(quán)利要求1所述的83kg級(jí)藍(lán)寶石晶體爐長(zhǎng)晶結(jié)構(gòu)，其特征在于，所述支撐軸(9)材質(zhì)為鉬鎢合金。
4.根據(jù)權(quán)利要求1所述的83kg級(jí)藍(lán)寶石晶體爐長(zhǎng)晶結(jié)構(gòu)，其特征在于，所述坩禍(5)為鉬坩禍。
5.根據(jù)權(quán)利要求4所述的83kg級(jí)藍(lán)寶石晶體爐長(zhǎng)晶結(jié)構(gòu)，其特征在于，所述鉬坩禍上方設(shè)有鉬保溫層(4)。
6.根據(jù)權(quán)利要求1所述的83kg級(jí)藍(lán)寶石晶體爐長(zhǎng)晶結(jié)構(gòu)，其特征在于，所述坩禍(5)的側(cè)面、頂面、底面厚度均為I mm -2mm。
【專利摘要】本實(shí)用新型公開了一種83kg級(jí)藍(lán)寶石晶體爐長(zhǎng)晶結(jié)構(gòu)，包括：熱交換器（1）、加熱器（2）、籽晶夾頭（3）、坩堝（5）、支撐軸（9）、鎢筒（11）和籽晶桿（12）、側(cè)屏（13）、鋯磚（14）、爐筒（15）；坩堝（5）設(shè)置在鎢筒（11）內(nèi)，支撐軸（9）設(shè)置在坩堝（5）與鎢筒（11）的底面之間，籽晶桿（12）的底端設(shè)置籽晶夾頭（3），籽晶桿（12）穿過(guò)鎢筒（11）的上蓋伸入鎢筒（11）內(nèi)，鎢筒（11）的側(cè)面外側(cè)設(shè)置有側(cè)屏（13），鎢筒（11）的底面下方設(shè)置有鋯磚（14），側(cè)屏（13）、鋯磚（14）外側(cè)設(shè)置有爐筒（15）；本實(shí)用新型加了鋯磚，在側(cè)屏與鋯磚外側(cè)加了爐筒，確保了長(zhǎng)晶爐密封良好及爐內(nèi)溫度的一致性。
【IPC分類】C30B15-00, C30B29-20
【公開號(hào)】CN204370041
【申請(qǐng)?zhí)枴緾N201420792321
【發(fā)明人】吉愛(ài)華, 張新峰, 徐祥奇, 錢梅仙, 袁濤, 汪傳勇
【申請(qǐng)人】江蘇蘇博瑞光電設(shè)備科技有限公司
【公開日】2015年6月3日
【申請(qǐng)日】2014年12月15日