一種可調(diào)式石墨坩堝的制作方法
【專(zhuān)利摘要】本發(fā)明涉及一種坩堝，尤其是一種可調(diào)式石墨坩堝。其包括：環(huán)形石墨卡箍、筒體和石墨底板，所述石墨底板的頂面開(kāi)設(shè)有環(huán)形卡槽，所述筒體為中空的頂部直徑大底部直徑小的圓臺(tái)形，所述筒體由若干塊石墨護(hù)板依次拼合組成，所述石墨護(hù)板底部放置于環(huán)形卡槽中，所述筒體的內(nèi)壁面與具有拔模斜度的石英坩堝的外壁面緊密貼合，所述石墨卡箍箍于筒體頂部。它有效解決了整體式石墨坩堝受感應(yīng)發(fā)熱的問(wèn)題、不方便拆卸的問(wèn)題及分瓣式石墨坩堝護(hù)板存在的相鄰護(hù)板無(wú)法相互支撐、護(hù)板間隙不方便調(diào)整、易產(chǎn)生電火花的問(wèn)題，以及石墨坩堝與石英坩堝之間存在間隙，無(wú)法緊密貼合對(duì)石英坩堝進(jìn)行有效支撐的問(wèn)題。
【專(zhuān)利說(shuō)明】
一種可調(diào)式石墨i甘禍
技術(shù)領(lǐng)域
[0001]本發(fā)明涉及一種坩堝，尤其是一種可調(diào)式石墨坩堝。【背景技術(shù)】
[0002]石墨坩堝應(yīng)用在多晶硅定向凝固設(shè)備的熱場(chǎng)中，對(duì)圓形石英坩堝進(jìn)行支撐防護(hù)。 石墨坩堝的作用是支撐石英坩堝在高溫軟化時(shí)變形量不超過(guò)設(shè)定值。由于圓形石英坩堝成型時(shí)有拔模斜度，導(dǎo)致石英坩堝開(kāi)口直徑大，底部直徑小，如果使用直筒型的石墨坩堝，則石英坩堝底部不能得到石墨坩堝的有效支撐。
[0003]目前，多晶硅行業(yè)定向凝固中主要采用兩種石墨坩堝。第一種是采用整體石墨環(huán)式坩堝，此類(lèi)石墨坩堝的不足之處是:(1)安裝不方便；(2)使用成本較高；(3)環(huán)狀石墨在感應(yīng)爐內(nèi)會(huì)受到電磁場(chǎng)的感應(yīng)，感應(yīng)生熱，使熱場(chǎng)發(fā)生較大變化。第二種是采用分瓣石墨板式坩堝，此類(lèi)石墨坩堝的不足之處是:(1)石墨護(hù)板之間有縫隙，相鄰護(hù)板無(wú)法相互支撐，坩堝破裂時(shí)會(huì)發(fā)生危險(xiǎn)；(2)安裝不方便，石墨護(hù)板之間有間隙要求，調(diào)整不方便；(3)分瓣式石墨坩堝在感應(yīng)爐內(nèi)也會(huì)受到電磁場(chǎng)的感應(yīng)，相鄰護(hù)板間產(chǎn)生電火花，對(duì)石英坩堝有一定危害。上述兩種石墨坩堝存在的共性不足之處是:石墨坩堝與石英坩堝之間存在間隙，無(wú)法緊密貼合對(duì)石英坩堝進(jìn)行有效支撐。
【發(fā)明內(nèi)容】

[0004]本發(fā)明旨在提供一種可調(diào)式石墨坩堝，它有效解決了整體式石墨坩堝受感應(yīng)發(fā)熱的問(wèn)題、不方便拆卸的問(wèn)題及分瓣式石墨坩堝護(hù)板存在的相鄰護(hù)板無(wú)法相互支撐、護(hù)板間隙不方便調(diào)整、易產(chǎn)生電火花的問(wèn)題，以及石墨坩堝與石英坩堝之間存在間隙，無(wú)法緊密貼合對(duì)石英坩堝進(jìn)行有效支撐的問(wèn)題，其采用的技術(shù)方案如下:
[0005]—種可調(diào)式石墨坩堝，其特征在于，包括:環(huán)形石墨卡箍、筒體和石墨底板，所述石墨底板的頂面開(kāi)設(shè)有環(huán)形卡槽，所述筒體為中空的頂部直徑大底部直徑小的圓臺(tái)形，所述筒體由若干塊石墨護(hù)板依次拼合組成，所述石墨護(hù)板底部放置于環(huán)形卡槽中，所述筒體的內(nèi)壁面與具有拔模斜度的石英坩堝的外壁面緊密貼合，所述石墨卡箍箍于筒體頂部。
[0006]圓臺(tái)的定義為:用一個(gè)平行于圓錐底面的平面去截圓錐，底面與截面之間的部分叫做圓臺(tái)或以直角梯形垂直于底邊的腰所在直線(xiàn)為旋轉(zhuǎn)軸，其余各邊旋轉(zhuǎn)而形成的曲面所圍成的幾何體叫做圓臺(tái)。
[0007]在上述技術(shù)方案基礎(chǔ)上，相鄰石墨護(hù)板之間緊密貼合。
[0008]本發(fā)明具有如下優(yōu)點(diǎn):有效解決了整體式石墨坩堝受感應(yīng)發(fā)熱的問(wèn)題、不方便拆卸的問(wèn)題及分瓣式石墨坩堝護(hù)板存在的相鄰護(hù)板無(wú)法相互支撐、護(hù)板間隙不方便調(diào)整、易產(chǎn)生電火花的問(wèn)題，以及石墨坩堝與石英坩堝之間存在間隙，無(wú)法緊密貼合對(duì)石英坩堝進(jìn)行有效支撐的問(wèn)題?！靖綀D說(shuō)明】
[0009]為了更清楚地說(shuō)明本發(fā)明實(shí)施例或現(xiàn)有技術(shù)中的技術(shù)方案，下面將對(duì)實(shí)施例或現(xiàn)有技術(shù)描述中所需要使用的附圖作簡(jiǎn)單地介紹。顯而易見(jiàn)地，下面描述中的附圖僅僅是本發(fā)明的一種實(shí)施例，對(duì)于本領(lǐng)域普通技術(shù)人員來(lái)講，在不付出創(chuàng)造性勞動(dòng)的前提下，還可以根據(jù)提供的附圖引伸獲得其它的實(shí)施附圖。
[0010]圖1是本發(fā)明的立體結(jié)構(gòu)示意圖。
[0011]圖2是本發(fā)明的剖面結(jié)構(gòu)示意圖?！揪唧w實(shí)施方式】
[0012]下面結(jié)合附圖和實(shí)例對(duì)本發(fā)明作進(jìn)一步說(shuō)明:
[0013]下面詳細(xì)描述本發(fā)明的實(shí)施例，所述實(shí)施例的示例在附圖中示出，其中自始至終相同或類(lèi)似的標(biāo)號(hào)表示相同或類(lèi)似的元件或具有相同或類(lèi)似功能的元件。下面通過(guò)參考附圖描述的實(shí)施例是示例性的，僅用于解釋本發(fā)明，而不能理解為對(duì)本發(fā)明的限制。
[0014]如圖1和圖2所示，一種可調(diào)式石墨坩堝，其特征在于，包括:環(huán)形石墨卡箍1、筒體2 和石墨底板3,所述石墨底板3的頂面開(kāi)設(shè)有環(huán)形卡槽30,所述筒體2為中空的頂部直徑大底部直徑小的圓臺(tái)形，所述筒體2由若干塊石墨護(hù)板20依次拼合組成，所述石墨護(hù)板20底部放置于環(huán)形卡槽30中，所述筒體2的內(nèi)壁面與具有拔模斜度的石英坩堝4的外壁面緊密貼合， 所述石墨卡箍1箍于筒體2頂部。[〇〇15]在上述技術(shù)方案基礎(chǔ)上，優(yōu)選相鄰石墨護(hù)板20之間緊密貼合。[〇〇16]所述石墨護(hù)板20可為四塊。
[0017]使用時(shí)組裝順序?yàn)?將石英坩堝放置在石墨底板上，然后將石墨護(hù)板圍繞石英坩堝并安裝在石墨底板的卡槽里，再將石墨卡箍安裝到石墨護(hù)板上，將所有的石墨護(hù)板固定， 組裝完成。
[0018]石墨坩堝組裝好后，將需要熔煉的多晶硅塊料放入石英坩堝內(nèi)，整體置入定向提純爐內(nèi)，開(kāi)始熔煉。
[0019]上面以舉例方式對(duì)本發(fā)明進(jìn)行了說(shuō)明，但本發(fā)明不限于上述具體實(shí)施例，凡基于本發(fā)明所做的任何改動(dòng)或變型均屬于本發(fā)明要求保護(hù)的范圍。
[0020]需要指出的是，權(quán)利要求書(shū)中記載的附圖符號(hào)單純用于輔助發(fā)明的理解，不對(duì)權(quán)利范圍的解釋產(chǎn)生影響，不得根據(jù)記載的附圖符號(hào)縮窄解釋權(quán)利范圍。
【主權(quán)項(xiàng)】
1.一種可調(diào)式石墨坩堝，其特征在于，包括:環(huán)形石墨卡箍(1)、筒體(2)和石墨底板 (3)，所述石墨底板(3)的頂面開(kāi)設(shè)有環(huán)形卡槽(30)，所述筒體(2)為中空的頂部直徑大底部 直徑小的圓臺(tái)形，所述筒體(2)由若干塊石墨護(hù)板(20)依次拼合組成，所述石墨護(hù)板(20)底 部放置于環(huán)形卡槽(30)中，所述筒體(2)的內(nèi)壁面與具有拔模斜度的石英坩堝(4)的外壁面 緊密貼合，所述石墨卡箍(1)箍于筒體(2)頂部。2.根據(jù)權(quán)利要求1所述的一種可調(diào)式石墨坩堝，其特征在于:相鄰石墨護(hù)板(20)之間緊 密貼合。3.根據(jù)權(quán)利要求1或2所述的一種可調(diào)式石墨坩堝，其特征在于:所述石墨護(hù)板(20)為 四塊。
【文檔編號(hào)】C30B28/06GK105970287SQ201610348146
【公開(kāi)日】2016年9月28日
【申請(qǐng)日】2016年5月23日
【發(fā)明人】劉善亮, 袁濤, 王士剛
【申請(qǐng)人】大工（青島）新能源材料技術(shù)研究院有限公司