一種鑄錠爐氣流導(dǎo)向裝置的制造方法
【技術(shù)領(lǐng)域】
[0001]本發(fā)明涉及光伏技術(shù)領(lǐng)域,特別是涉及一種鑄錠爐氣流導(dǎo)向裝置。
【背景技術(shù)】
[0002]在利用鑄錠爐制造多晶硅晶體時(shí),需要通入氬氣作為保護(hù)氣體,防止?fàn)t內(nèi)各類部件的氧化,同時(shí)帶走爐內(nèi)的揮發(fā)性雜質(zhì)氣體。其中,氬氣進(jìn)入鑄錠爐頂部后通過石墨直筒,再經(jīng)過直筒狀的氣流導(dǎo)出口,導(dǎo)出到硅料上部,然后再經(jīng)過鑄錠爐排空氣爐排到爐外,在此過程中可將爐內(nèi)雜質(zhì)氣體帶走。
[0003]然而,目前這種氣流經(jīng)過直筒狀端口直接導(dǎo)出的方式存在氣流流速慢,導(dǎo)出的氣體覆蓋硅料表面積小,容易形成紊流等的缺點(diǎn),導(dǎo)致雜質(zhì)氣體的排出不充分,特別是隨著硅錠尺寸越來越大,氣流覆蓋面積與流速愈加不足。
【發(fā)明內(nèi)容】
[0004]為解決上述問題,本發(fā)明提供了一種鑄錠爐氣流導(dǎo)向裝置,能夠增加氣流流速和氣流覆蓋面積,充分排出雜質(zhì)氣體,提高鑄錠質(zhì)量。
[0005]本發(fā)明提供的一種鑄錠爐氣流導(dǎo)向裝置,設(shè)置在直筒氣流通道的下部開口處,包括與所述直筒氣流通道的下部開口相連接并包圍所述直筒氣流通道的第一連接部,所述第一連接部的主體為直徑大于所述直筒氣流通道直徑的筒狀,且所述第一連接部的主體具有從上向下直徑漸縮的第一側(cè)面,所述第一側(cè)面上設(shè)置有小通孔,且所述第一連接部的底面設(shè)置有大通孔。
[0006]優(yōu)選的,在上述鑄錠爐氣流導(dǎo)向裝置中,還包括底部與所述大通孔的邊緣固定連接,且位于所述第一連接部的腔體內(nèi)的分流筒,所述分流筒的靠近頂部的部分具有從下向上直徑漸縮的結(jié)構(gòu)。
[0007]優(yōu)選的,在上述鑄錠爐氣流導(dǎo)向裝置中,所述第一側(cè)面為弧面。
[0008]優(yōu)選的,在上述鑄錠爐氣流導(dǎo)向裝置中,所述第一側(cè)面為平面。
[0009]優(yōu)選的,在上述鑄錠爐氣流導(dǎo)向裝置中,所述第一側(cè)面與水平方向之間的夾角范圍為20。至80。。
[0010]優(yōu)選的,在上述鑄錠爐氣流導(dǎo)向裝置中,所述小通孔為圓形通孔。
[0011]優(yōu)選的,在上述鑄錠爐氣流導(dǎo)向裝置中,所述小通孔的直徑的范圍為:1毫米至30毫米。
[0012]優(yōu)選的,在上述鑄錠爐氣流導(dǎo)向裝置中,所述分流筒為石墨分流筒、木質(zhì)分流筒、氮化硅分流筒或石英分流筒。
[0013]本發(fā)明提供的上述鑄錠爐氣流導(dǎo)向裝置中,由于所述第一連接部的主體具有從上向下直徑漸縮的第一側(cè)面,且所述第一側(cè)面上設(shè)置有小通孔,這些小通孔減小了導(dǎo)氣孔橫截面積,因此能夠增加氣流流速,而這些小通孔設(shè)置在所述從上向下直徑漸縮的第一側(cè)面上,因此能夠改變氣流的導(dǎo)出方向,將氣流向四周擴(kuò)展,因此能夠增加氣流覆蓋面積,從而能夠充分排出雜質(zhì)氣體,提高鑄錠質(zhì)量。
【附圖說明】
[0014]為了更清楚地說明本發(fā)明實(shí)施例或現(xiàn)有技術(shù)中的技術(shù)方案,下面將對(duì)實(shí)施例或現(xiàn)有技術(shù)描述中所需要使用的附圖作簡(jiǎn)單地介紹,顯而易見地,下面描述中的附圖僅僅是本發(fā)明的實(shí)施例,對(duì)于本領(lǐng)域普通技術(shù)人員來講,在不付出創(chuàng)造性勞動(dòng)的前提下,還可以根據(jù)提供的附圖獲得其他的附圖。
[0015]圖1為本申請(qǐng)實(shí)施例提供的第一種鑄錠爐氣流導(dǎo)向裝置的示意圖;
[0016]圖2為本申請(qǐng)實(shí)施例提供的第二種鑄錠爐氣流導(dǎo)向裝置的示意圖。
【具體實(shí)施方式】
[0017]本發(fā)明的核心思想在于提供一種鑄錠爐氣流導(dǎo)向裝置,以增加氣流流速和氣流覆蓋面積,充分排出雜質(zhì)氣體,提高鑄錠質(zhì)量。
[0018]下面將結(jié)合本發(fā)明實(shí)施例中的附圖,對(duì)本發(fā)明實(shí)施例中的技術(shù)方案進(jìn)行清楚、完整地描述,顯然,所描述的實(shí)施例僅僅是本發(fā)明一部分實(shí)施例,而不是全部的實(shí)施例。基于本發(fā)明中的實(shí)施例,本領(lǐng)域普通技術(shù)人員在沒有做出創(chuàng)造性勞動(dòng)前提下所獲得的所有其他實(shí)施例,都屬于本發(fā)明保護(hù)的范圍。
[0019]本申請(qǐng)實(shí)施例提供的第一種鑄錠爐氣流導(dǎo)向裝置如圖1所示,圖1為本申請(qǐng)實(shí)施例提供的第一種鑄錠爐氣流導(dǎo)向裝置的示意圖。該鑄錠爐氣流導(dǎo)向裝置設(shè)置在直筒氣流通道101的下部開口處,包括與所述直筒氣流通道101的下部開口相連接并包圍所述直筒氣流通道101的第一連接部102,這樣就能夠把進(jìn)入直筒氣流通道的氣流包圍住,然后才能實(shí)現(xiàn)對(duì)該氣流的導(dǎo)向;
[0020]所述第一連接部102的主體為直徑大于所述直筒氣流通道101直徑的筒狀,從圖1中可以明顯看出,將該第一連接部102的主體的直徑設(shè)置成一個(gè)大于直筒氣流通道101直徑的值,就可以形成一個(gè)較大的空腔,能夠更為均勻的收集氣流,方便導(dǎo)向;
[0021]所述第一連接部102的主體具有從上向下直徑漸縮的第一側(cè)面,所述第一側(cè)面上設(shè)置有小通孔,這種直徑漸縮形狀的第一側(cè)面改變了現(xiàn)有技術(shù)中的側(cè)面僅僅沿著豎直方向的狀況,而是呈傾斜方向設(shè)置,這樣就能夠在其上通過設(shè)置小通孔,氣流通過這種位于傾斜平面上的通孔之后,就能直接流向坩禍104內(nèi)的更大范圍的熔體103,將熔體103表面的更大面積范圍內(nèi)的雜質(zhì)帶走,這種氣流方向如圖1中的箭頭所示,這就增大了氣流覆蓋面積,而且小通孔的孔徑較小,在流量固定的情況下,流過路徑面積的減小就能夠增大氣流的流速,避免紊流現(xiàn)象的發(fā)生,便于更好的排出雜質(zhì);
[0022]所述第一連接部102的底面設(shè)置有大通孔,在實(shí)際操作中,這種大通孔作為觀察窗使用,也可以作為導(dǎo)流孔。
[0023]本申請(qǐng)實(shí)施例提供的上述第一種鑄錠爐氣流導(dǎo)向裝置中,由于所述第一連接部的主體具有從上向下直徑漸縮的第一側(cè)面,且所述第一側(cè)面上設(shè)置有小通孔,這些小通孔減小了導(dǎo)氣孔橫截面積,因此能夠增加氣流流速,而這些小通孔設(shè)置在所述從上向下直徑漸縮的第一側(cè)面上,因此能夠改變氣流的導(dǎo)出方向,將氣流向四周擴(kuò)展,因此能夠增加氣流覆蓋面積,從而能夠充分排出雜質(zhì)氣體,提高鑄錠質(zhì)量。
[0024]本申請(qǐng)實(shí)施例提供的第二種鑄錠爐氣流導(dǎo)向裝置如圖2所示,圖2為本申請(qǐng)實(shí)施例提供的第二種鑄錠爐氣流導(dǎo)向裝置的示意圖。該鑄錠爐氣流導(dǎo)向裝置設(shè)置在直筒氣流通道201的下部開口處,包括與所述直筒氣流通道201的下部開口相連接并包圍所述直筒氣流通道201的第一連接部202,這樣就能夠把進(jìn)入直筒氣流通