本發(fā)明涉及沿著電介質(zhì)表面產(chǎn)生沿面放電而用與放電面對(duì)置的空間中的氧來生成臭氧的臭氧生成裝置。

背景技術(shù)：

圖8是說明以往的臭氧生成裝置100(例如，參照專利文獻(xiàn)1。)的結(jié)構(gòu)的圖。臭氧生成裝置100具備平板部101、第一平面導(dǎo)體104、以及第二平面導(dǎo)體105。平板部101具有彼此層疊設(shè)置的基層102和表層103。基層102由氧化鋁等陶瓷類的電介質(zhì)材料構(gòu)成。表層103由玻璃等電介質(zhì)材料構(gòu)成。第一平面導(dǎo)體104以及第二平面導(dǎo)體105設(shè)置在基層102與表層103的界面。此外，第一平面導(dǎo)體104在俯視下為梳形，具備彼此平行的多個(gè)放電部106。第二平面導(dǎo)體105與第一平面導(dǎo)體104同樣為梳形，具備彼此平行的多個(gè)放電部107。放電部106和放電部107空開間隔交替地排列。

在該臭氧生成裝置100中，通過在放電部106與放電部107之間施加交變電場(chǎng)，從而沿著由電介質(zhì)構(gòu)成的表層103的表面(放電面)產(chǎn)生沿面放電。通過該沿面放電，用與放電面對(duì)置的空間中的氧來生成臭氧。

在先技術(shù)文獻(xiàn)

專利文獻(xiàn)

專利文獻(xiàn)1：日本特開2001-220113號(hào)公報(bào)

技術(shù)實(shí)現(xiàn)要素：

發(fā)明要解決的課題

在像上述那樣構(gòu)成的臭氧生成裝置中，能夠通過使放電部的間隔變窄來提高電場(chǎng)強(qiáng)度，能夠進(jìn)行驅(qū)動(dòng)電壓的低電壓化。此外，因?yàn)樵诜烹姴康南噜彽拿恳粚?duì)產(chǎn)生沿面放電，所以能夠通過使放電部的寬度和相鄰間隔變窄來增加每單位面積能夠配置的放電部的根數(shù)，從而提高臭氧生成效率。

然而，若使放電部的寬度變細(xì)，則放電部中的導(dǎo)體電阻會(huì)增加，臭氧生成裝置的消耗電力和發(fā)熱將增大。這樣，會(huì)由于發(fā)熱而促進(jìn)臭氧的分解反應(yīng)，存在設(shè)置許多放電部所帶來的臭氧生成效率的改善效果被抑制這樣的問題。

因此，本發(fā)明的目的在于，提供一種即便使放電部的寬度變細(xì)也能夠抑制消耗電力和發(fā)熱的臭氧生成裝置。

用于解決課題的技術(shù)方案

本發(fā)明的臭氧生成裝置具備：電介質(zhì)部，具有產(chǎn)生沿面放電的放電面；以及多個(gè)放電部，由設(shè)置在所述電介質(zhì)部的導(dǎo)體構(gòu)成，具有與所述放電面靠近并對(duì)置的放電端，并沿著所述放電面空開間隔進(jìn)行排列，在所述放電部中，若將與所述放電面對(duì)置的放電面方向上的自身的尺寸設(shè)為la，并將沿著所述放電面排列的排列方向上的自身的尺寸設(shè)為lb，則la≥lb。

在該結(jié)構(gòu)中，即便使放電部的排列方向上的尺寸變細(xì)，也可在放電面方向上確保其以上的尺寸，因此可抑制放電部中的導(dǎo)體電阻的增加。由此，能夠抑制臭氧生成裝置中的消耗電力和發(fā)熱。

所述電介質(zhì)部具備在所述排列方向上層疊的多個(gè)電介質(zhì)層，所述多個(gè)放電部分別由設(shè)置在電介質(zhì)層間的平面導(dǎo)體構(gòu)成。

該結(jié)構(gòu)僅通過在成為電介質(zhì)層的電介質(zhì)片形成成為放電部的平面導(dǎo)體并將多個(gè)電介質(zhì)片進(jìn)行堆積就能夠進(jìn)行制造。因此，即使是放電面方向上的尺寸比排列方向上的尺寸大的放電部，也能夠利用絲網(wǎng)印刷那樣的工法來形成。而對(duì)于以往的結(jié)構(gòu)，若利用絲網(wǎng)印刷那樣的加工精度低的工法，則不能將放電部的寬度、間隔做得太窄，此外，由于加工精度的影響，有時(shí)會(huì)產(chǎn)生放電部間的短路、放電部的斷線、由放電部間的間隔變窄的部位的電弧放電造成的損傷等問題。然而，對(duì)于上述本申請(qǐng)的結(jié)構(gòu)，能夠根據(jù)電介質(zhì)片、平面導(dǎo)體的厚度高精度地設(shè)定放電部的寬度、間隔，并能夠?qū)⒎烹姴康膶挾?、間隔做得極窄，且還能夠減少偏差。因此，幾乎不會(huì)發(fā)生在上述的以往結(jié)構(gòu)中產(chǎn)生的問題。

所述放電面優(yōu)選由所述多個(gè)電介質(zhì)層的端面構(gòu)成。由此，與將電介質(zhì)層設(shè)置為覆蓋放電端而構(gòu)成放電面的以往結(jié)構(gòu)相比，臭氧生成裝置的制造變得容易。

所述放電面與所述放電端的間隔優(yōu)選比所述多個(gè)放電部相鄰的間隔窄。由此，即使是較低的驅(qū)動(dòng)電壓，也能夠穩(wěn)定地產(chǎn)生沿面放電。

也可以是如下結(jié)構(gòu)，即，所述電介質(zhì)部具有包含一個(gè)所述放電面的多個(gè)外表面，所述放電部具有包含一個(gè)所述放電端的多個(gè)端部，所述放電端與所述放電面對(duì)置的間隔比其它端部與其它外表面對(duì)置的間隔窄。

此外，也可以是如下結(jié)構(gòu)，即，所述電介質(zhì)部具有包含兩個(gè)以上的放電面的多個(gè)外表面，所述放電部具有包含兩個(gè)以上的放電端的多個(gè)端部，各放電端與各放電面對(duì)置的間隔均相等。在該情況下，能夠?qū)㈦娊橘|(zhì)部的兩個(gè)以上的外表面作為放電面，從而增加放電面的總面積，能夠增加臭氧生成量。

此外，也可以是如下結(jié)構(gòu)，即，所述電介質(zhì)部具有相當(dāng)于所述放電面的周面，所述放電端在與所述電介質(zhì)部的周面保持固定的間隔的同時(shí)進(jìn)行延伸。在該情況下，能夠?qū)㈦娊橘|(zhì)部的周面整個(gè)面作為放電面，從而增加放電面的總面積，仍然能夠增加臭氧生成量。

優(yōu)選地，所述臭氧生成裝置具備驅(qū)動(dòng)電壓源，該驅(qū)動(dòng)電壓源輸出具有重復(fù)的圖案和循環(huán)的相位差的n(n≥3)相的驅(qū)動(dòng)電壓，所述多個(gè)放電部按照它們的排列順序從所述驅(qū)動(dòng)電壓源輸入第n(1≤n≤n)相的驅(qū)動(dòng)電壓。在該結(jié)構(gòu)中，放電面附近的電場(chǎng)強(qiáng)度的分布沿著排列方向循環(huán)地變化。由此，在放電面附近，空間中的氣體受到電場(chǎng)強(qiáng)度的影響而沿著排列方向移動(dòng)。因此，可促進(jìn)氧向放電面的供給和臭氧從放電面的脫離，能夠增加臭氧生成量。此外，通過產(chǎn)生氣體的流動(dòng)，從而灰塵等難以吸附在放電面，臭氧生成裝置的可靠性也提高。

所述驅(qū)動(dòng)電壓優(yōu)選為矩形波信號(hào)或脈沖波信號(hào)。由此，與交變信號(hào)為正弦波信號(hào)的情況相比，能夠?qū)㈤_始放電的電壓低電壓化。

發(fā)明效果

根據(jù)本發(fā)明的臭氧生成裝置，即使在使放電部在排列方向上變細(xì)那樣的情況下，也能夠在放電面方向上充分確保放電部的尺寸，能夠抑制導(dǎo)體電阻的增加。因此，能夠抑制臭氧生成裝置中的消耗電力和發(fā)熱的增加，即使設(shè)置許多的放電部來提高臭氧生成效率，也能夠防止由于熱而促進(jìn)臭氧分解反應(yīng)的情況。

附圖說明

圖1是本發(fā)明的第一實(shí)施方式涉及的臭氧生成裝置的立體圖。

圖2是本發(fā)明的第一實(shí)施方式涉及的臭氧生成裝置的左視圖、俯視圖、右視圖以及仰視圖。

圖3是說明本發(fā)明的第一實(shí)施方式涉及的臭氧生成裝置的制造方法的圖。

圖4是本發(fā)明的第二實(shí)施方式涉及的臭氧生成裝置的左視圖以及主視圖。

圖5是本發(fā)明的第三實(shí)施方式涉及的臭氧生成裝置的左視圖以及俯視圖。

圖6是本發(fā)明的第四實(shí)施方式涉及的臭氧生成裝置的左視圖以及俯視圖。

圖7是本發(fā)明的第五實(shí)施方式涉及的臭氧生成裝置的布線圖以及驅(qū)動(dòng)信號(hào)的時(shí)間波形圖。

圖8是以往的臭氧生成裝置的立體圖。

具體實(shí)施方式

《第一實(shí)施方式》

圖1是本發(fā)明的第一實(shí)施方式涉及的臭氧生成裝置10的立體圖。

臭氧生成裝置10具備電介質(zhì)部11、內(nèi)部平面導(dǎo)體12、13、端子電極14、端子電極15、以及驅(qū)動(dòng)電壓源16。

電介質(zhì)部11是具備頂面11a、底面11b、左側(cè)面11c、右側(cè)面11d、正面11e和背面11f的長方體形狀。

內(nèi)部平面導(dǎo)體12、13分別設(shè)置有多個(gè)，在電介質(zhì)部11的內(nèi)部，從左側(cè)面11c側(cè)到右側(cè)面11d側(cè)交替地排列設(shè)置。內(nèi)部平面導(dǎo)體12在電介質(zhì)部11的內(nèi)部為如下形狀，即，靠近頂面11a從正面11e側(cè)向背面11f側(cè)延伸，靠近背面11f從頂面11a側(cè)向底面11b側(cè)延伸。內(nèi)部平面導(dǎo)體13在電介質(zhì)部11的內(nèi)部為如下形狀，即，靠近頂面11a從背面11f側(cè)向正面11e側(cè)延伸，靠近正面11e從頂面11a側(cè)向底面11b側(cè)延伸。

端子電極14、15設(shè)置在底面11b，由從左側(cè)面11c側(cè)向右側(cè)面11d側(cè)延伸的帶狀的平面導(dǎo)體構(gòu)成。端子電極14設(shè)置為靠近底面11b中的正面11e側(cè)的邊，并與多個(gè)內(nèi)部平面導(dǎo)體13連接。端子電極15設(shè)置為靠近底面11b中的背面11f側(cè)的邊，并與多個(gè)內(nèi)部平面導(dǎo)體12連接。

驅(qū)動(dòng)電壓源16在端子電極14與端子電極15之間施加驅(qū)動(dòng)電壓，從而使內(nèi)部平面導(dǎo)體12與內(nèi)部平面導(dǎo)體13之間產(chǎn)生交變電場(chǎng)。

在該結(jié)構(gòu)中，若從驅(qū)動(dòng)電壓源16對(duì)端子電極14與端子電極15之間施加驅(qū)動(dòng)電壓，則在內(nèi)部平面導(dǎo)體12和內(nèi)部平面導(dǎo)體13都靠近的電介質(zhì)部11的頂面11a，沿著對(duì)左側(cè)面11c與右側(cè)面11d之間進(jìn)行連結(jié)的方向產(chǎn)生沿面放電。通過該沿面放電，在電介質(zhì)部11的頂面11a，用與頂面11a對(duì)置的空間中的氣體包含的氧來生成臭氧。頂面11a是本發(fā)明中的放電面。

在此，對(duì)電介質(zhì)部11的內(nèi)部構(gòu)造進(jìn)行詳細(xì)說明。以下，將從電介質(zhì)部11的左側(cè)面11c朝向右側(cè)面11d的方向稱為排列方向。此外，將從正面11e朝向背面11f的方向稱為延伸方向。此外，將從底面11b朝向頂面11a的方向稱為放電面方向。電介質(zhì)部11的排列方向上的長度例如為3.2mm，延伸方向上的長度例如為2.5mm，放電面方向上的長度例如為2.5mm。

圖2(a)是臭氧生成裝置10的左視圖。圖2(b)是臭氧生成裝置10的俯視圖。圖2(c)是臭氧生成裝置10的右視圖。圖2(d)是臭氧生成裝置10的主視圖。

電介質(zhì)部11具備多個(gè)電介質(zhì)層21。多個(gè)電介質(zhì)層21分別是將與左側(cè)面11c以及右側(cè)面11d對(duì)置的面作為主面的薄的平膜狀，從電介質(zhì)部11的左側(cè)面11c層疊到右側(cè)面11d，從而構(gòu)成電介質(zhì)部11。電介質(zhì)層21的厚度例如為20μm。另外，電介質(zhì)層21的厚度優(yōu)選為1μm以上且20μm以下的厚度。

關(guān)于各內(nèi)部平面導(dǎo)體12、13，在電介質(zhì)部11的內(nèi)部，在各電介質(zhì)層21的主面，即，在電介質(zhì)層21間的層疊面各配置有一個(gè)，并按相鄰的每個(gè)層疊面交替地配置。

內(nèi)部平面導(dǎo)體12、13具備放電部12a、13a和引出部12b、13b。放電部12a、13a是在延伸方向上延伸的長方體板狀的圖案部分。引出部12b、13b是在放電面方向上延伸的帶狀的圖案部分。

放電部12a、13a的頂面11a側(cè)的邊緣從頂面11a分開固定的尺寸lc而與頂面11a對(duì)置。尺寸lc例如為10μm。放電部12a、13a的正面11e側(cè)以及背面11f側(cè)的邊緣從正面11e或背面11f分開固定的尺寸le而對(duì)置。在此，尺寸lc小于尺寸le。即，在放電部12a、13a中，與正面11e側(cè)以及背面11f側(cè)的邊緣相比，頂面11a側(cè)的邊緣更靠近電介質(zhì)部11的外表面。在放電部12a、13a之間產(chǎn)生的電場(chǎng)容易泄漏到與放電部12a、13a距離最近的電介質(zhì)部11的外表面。因此，在該電介質(zhì)部11中，不是在正面11e、背面11f，而是在頂面11a產(chǎn)生沿面放電。因此，電介質(zhì)部11的頂面11a作為產(chǎn)生臭氧的放電面發(fā)揮功能，放電部12a、13a的頂面11a側(cè)的邊緣作為放電端12c、13c發(fā)揮功能。另外，在本實(shí)施方式中，不會(huì)在頂面11a以外進(jìn)行放電。

此外，放電部12a與放電部13a的配置間隔為尺寸ld。尺寸ld例如為20μm。該尺寸ld根據(jù)電介質(zhì)層21的厚度來決定。在以往的臭氧生成裝置100中，通過細(xì)線印刷來形成第一平面導(dǎo)體104以及第二平面導(dǎo)體105，因此第一平面導(dǎo)體與第二平面導(dǎo)體的間隔窄的部位容易短路，難以將尺寸ld形成為50μm以下。但是，因?yàn)楸緦?shí)施方式涉及的臭氧生成裝置10像上述那樣構(gòu)成，所以能夠?qū)⒎烹姴?2a與放電部13a的配置間隔做得即使與以往結(jié)構(gòu)相比也足夠窄。尺寸ld越窄，越能夠降低臭氧生成裝置10的放電開始電壓。此外，與以往結(jié)構(gòu)相比，能夠提高在放電部12a與放電部13a之間產(chǎn)生的交變電場(chǎng)的電場(chǎng)強(qiáng)度。因此，在本實(shí)施方式涉及的臭氧生成裝置10中，即使與以往相比將驅(qū)動(dòng)電壓源16的驅(qū)動(dòng)電壓低電壓化，也能夠在電介質(zhì)部11的頂面11a穩(wěn)定地產(chǎn)生沿面放電。

此外，放電部12a、13a在排列方向上具有尺寸lb。尺寸lb例如為5μm。該尺寸lb與內(nèi)部平面導(dǎo)體12、13的厚度大致相等，關(guān)于放電部12a、13a，即使與以往結(jié)構(gòu)相比，也能夠?qū)⑴帕蟹较蛏系膶挾茸龅米銐蛘?。像這樣，因?yàn)槟軌蚴狗烹姴?2a、13a的寬度和配置間隔足夠窄，所以在本實(shí)施方式涉及的臭氧生成裝置10中，能夠增多能夠與電介質(zhì)部11的放電面(頂面11a)對(duì)置地配置的每單位面積的放電部12a、13a的根數(shù)。由此，能夠使放電面(頂面11a)中的每單位面積的臭氧生成效率高。

此外，放電部12a、13a在放電面方向上具有尺寸la。尺寸la例如為50μm。在此，該尺寸la為前述的放電部12a、13a的排列方向上的尺寸lb以上。即，la≥lb。因此，在放電部12a、13a中，即使排列方向上的尺寸lb顯著地小，也能夠?qū)⒎烹娒娣较蛏系某叽鏻a確保為其以上。因此，放電部12a、13a的導(dǎo)體電阻不會(huì)變得顯著地大。因此，在本實(shí)施方式涉及的臭氧生成裝置10中，即使為了提高放電部中的每單位面積的臭氧生成效率而使放電部12a、13a的排列方向上的尺寸lb顯著地小，也能夠抑制臭氧生成裝置10中的消耗電力和發(fā)熱。由此，能夠抑制放電面(頂面11a)處的臭氧分解反應(yīng)的加劇，能夠防止臭氧生成效率由于熱的影響而下降。

此外，放電部12a與放電部13a的配置間隔的尺寸ld大于前述的放電面(頂面11a)與放電部12a、13a的間隔的尺寸lc。即，關(guān)于放電部12a、13a，與彼此相鄰的間隔相比，放電部12a、13a與頂面11a的距離更近，因此在放電部12a、13a之間產(chǎn)生的電場(chǎng)成為容易泄漏到頂面11a的狀態(tài)。由此，在本實(shí)施方式涉及的臭氧生成裝置10中，也能夠降低使電介質(zhì)部11的頂面11a產(chǎn)生沿面放電所需的驅(qū)動(dòng)電壓(放電開始電壓)，此外，能夠使電介質(zhì)部11的頂面11a穩(wěn)定地產(chǎn)生沿面放電。

進(jìn)而，放電部12a、13a和電介質(zhì)層21能夠高精度地設(shè)定各自的厚度(排列方向上的尺寸)。因此，能夠使放電部12a、13a的排列方向上的尺寸lb、以及放電部12a、13a的配置間隔的尺寸ld在放電面方向上大致均勻。因此，在本實(shí)施方式涉及的臭氧生成裝置10中，幾乎不會(huì)發(fā)生在以往結(jié)構(gòu)中產(chǎn)生的由加工偏差造成的各種問題。具體地，在本實(shí)施方式涉及的臭氧生成裝置10中，幾乎不會(huì)產(chǎn)生放電部12a、13a間的短路、放電部12a、13a的斷線、放電部12a、13a間的電弧放電的產(chǎn)生。因此，臭氧生成裝置10具有高可靠性。

接著，作為臭氧生成裝置10的制造方法的一個(gè)例子，對(duì)由低溫?zé)商沾苫鍢?gòu)成電介質(zhì)部11的情況下的制造方法進(jìn)行說明。另外，電介質(zhì)部11也能夠由其它的電介質(zhì)材料，例如氧化鋁等構(gòu)成。圖3是示出臭氧生成裝置10的制造工序的一個(gè)例子的流程圖的圖。

在臭氧生成裝置10的制造中，首先，進(jìn)行電介質(zhì)片形成工序(s1)。在電介質(zhì)片形成工序中，例如，通過將玻璃粉體、填料粉末、結(jié)晶度調(diào)整劑、溶劑、分散劑、有機(jī)粘合劑、增塑劑等進(jìn)行混合，從而得到玻璃陶瓷漿料。然后，使用刮刀等用玻璃陶瓷漿料制作后面成為電介質(zhì)層21的玻璃陶瓷生片。另外，為了一次制造多個(gè)臭氧生成裝置10，期望與成為單體的臭氧生成裝置10的電介質(zhì)層21的尺寸相比，玻璃陶瓷生片形成為大型。

接著，在臭氧生成裝置10的制造中，進(jìn)行平面導(dǎo)體形成工序(s2)。在平面導(dǎo)體形成工序中，通過將銀、銅、鎢等金屬粉末、溶劑、有機(jī)粘合劑等進(jìn)行混合，并使用輥軋機(jī)等進(jìn)行分散處理，從而得到導(dǎo)體膏。然后，將后面成為內(nèi)部平面導(dǎo)體12或內(nèi)部平面導(dǎo)體13的導(dǎo)體膏的圖案絲網(wǎng)印刷在玻璃陶瓷生片上。另外，為了一次制造多個(gè)臭氧生成裝置10，期望不是僅在大型的玻璃陶瓷生片印刷成為單體的臭氧生成裝置10的內(nèi)部平面導(dǎo)體12、13的導(dǎo)體膏的圖案，而是印刷多個(gè)導(dǎo)體膏的圖案。

接著，在臭氧生成裝置10的制造中，進(jìn)行層疊工序(s3)。在層疊工序中，例如，通過堆積多片形成了平面導(dǎo)體的玻璃陶瓷生片并施加壓力，從而制作層疊了多層未燒成的平面導(dǎo)體圖案和玻璃陶瓷生片的層疊體。

接著，在臭氧生成裝置10的制造中，進(jìn)行燒成工序(s4)。在燒成工序中，例如在氧化環(huán)境中對(duì)未燒成的層疊體進(jìn)行燒成，使得成為給定的溫度分布。由此，制作電介質(zhì)部11與內(nèi)部平面導(dǎo)體12、13的層疊體(臭氧生成裝置10)。

通過以上的制造方法，能夠制造本實(shí)施方式的臭氧生成裝置10。另外，為了一次制造多個(gè)臭氧生成裝置10，期望在燒成工序的前后的任一工序中進(jìn)行用大型的陶瓷生片的層疊體切出成為多個(gè)臭氧生成裝置10的單片的工序。

通過采用這樣的制造方法，從而即使是具有與排列方向相比在放電面方向上尺寸更大的特殊的截面形狀的放電部12a、13a的臭氧生成裝置10，也能夠僅通過對(duì)形成了平面導(dǎo)體的電介質(zhì)層21的片材進(jìn)行層疊而容易地制造。

即，根據(jù)該制造方法，因?yàn)樾纬稍陔娊橘|(zhì)片的平面導(dǎo)體的厚度與平面方向上的尺寸相比極薄，所以即使是絲網(wǎng)印刷工法那樣的加工精度低的工法，也能夠使放電部12a、13a的排列方向上的寬度極窄。此外，電介質(zhì)片的厚度與平面方向上的尺寸相比也極薄，因此放電部12a、13a的配置間隔也能夠做得極窄。因此，在本實(shí)施方式的臭氧生成裝置10中，即使使用絲網(wǎng)印刷工法那樣的加工精度低的工法，也能夠顯著提高臭氧生成效率。

進(jìn)而，根據(jù)該制造方法，電介質(zhì)片、平面導(dǎo)體的厚度以極高精度變得均勻，因此能夠格外地抑制放電部12a、13a的排列方向上的放電部12a、13a的寬度、放電部12a、13a的配置間隔的偏差。因此，在本實(shí)施方式的臭氧生成裝置10中，能夠防止在放電部12a、13a產(chǎn)生斷線的情況、在放電部12a、13a之間產(chǎn)生短路的情況、由于放電部12a、13a之間的電弧放電而在放電部12a、13a產(chǎn)生破損的情況等。

《第二實(shí)施方式》

接著，對(duì)本發(fā)明的第二實(shí)施方式涉及的臭氧生成裝置30進(jìn)行說明。

圖4(a)是臭氧生成裝置30的左視圖。圖4(b)是臭氧生成裝置30的主視圖。

在臭氧生成裝置30中，與前述的第一實(shí)施方式不同，不僅電介質(zhì)部的頂面作為放電面發(fā)揮功能，而且底面也作為放電面發(fā)揮功能。

具體地，本發(fā)明的第二實(shí)施方式涉及的臭氧生成裝置30與第一實(shí)施方式的不同點(diǎn)在于，代替內(nèi)部平面導(dǎo)體12、13以及端子電極14、15，具備內(nèi)部平面導(dǎo)體32、33和端子電極34、35。關(guān)于其它結(jié)構(gòu)則相同，因此標(biāo)注與第一實(shí)施方式相同的附圖標(biāo)記并省略結(jié)構(gòu)說明。

內(nèi)部平面導(dǎo)體32、33分別設(shè)置有多個(gè)，在電介質(zhì)部11的內(nèi)部，從左側(cè)面11c側(cè)到右側(cè)面11d側(cè)交替地排列設(shè)置。內(nèi)部平面導(dǎo)體32、33具備長方體板狀的放電部32a、33a和從放電部32a、33a向正面?zhèn)然虮趁鎮(zhèn)妊由斓木€路狀的引出部32b、33b。

端子電極34設(shè)置為覆蓋正面11e，并與多個(gè)內(nèi)部平面導(dǎo)體32連接。端子電極35設(shè)置為覆蓋背面11f，并與多個(gè)內(nèi)部平面導(dǎo)體33連接。

在該結(jié)構(gòu)中，內(nèi)部平面導(dǎo)體32、33相對(duì)于電介質(zhì)部11的頂面11a和底面11b以相同的間隔對(duì)置。因此，內(nèi)部平面導(dǎo)體32、33的頂面11a側(cè)的邊緣和底面11b側(cè)的邊緣均作為放電端32c、33c發(fā)揮功能，電介質(zhì)部11的頂面11a和底面11b均作為放電面發(fā)揮功能。

因此，若在端子電極34與端子電極35之間施加驅(qū)動(dòng)電壓，則會(huì)在內(nèi)部平面導(dǎo)體32、33之間產(chǎn)生交變電場(chǎng)，會(huì)在與內(nèi)部平面導(dǎo)體32、33的放電端32c、33c靠近并對(duì)置的電介質(zhì)部11的頂面11a和底面11b的雙方產(chǎn)生沿面放電。通過該沿面放電，能夠在頂面11a和底面11b處用對(duì)置的空間中的氣體包含的氧來生成臭氧。像這樣，根據(jù)本實(shí)施方式涉及的臭氧生成裝置30，能夠增加放電面，因此，能夠增加每單位時(shí)間的臭氧生成量。

《第三實(shí)施方式》

接著，對(duì)本發(fā)明的第三實(shí)施方式涉及的臭氧生成裝置40進(jìn)行說明。

圖5(a)是臭氧生成裝置40的左視圖。圖5(b)是臭氧生成裝置40的俯視圖。

在臭氧生成裝置40中，與前述的第一實(shí)施方式、第二實(shí)施方式不同，將電介質(zhì)部的頂面、底面、正面以及背面構(gòu)成為放電面。

具體地，本發(fā)明的第三實(shí)施方式涉及的臭氧生成裝置40與第一實(shí)施方式的不同點(diǎn)在于，代替內(nèi)部平面導(dǎo)體12、13以及端子電極14、15，具備內(nèi)部平面導(dǎo)體42、43和端子電極44、45。關(guān)于其它結(jié)構(gòu)則相同，因此標(biāo)注與第一實(shí)施方式相同的附圖標(biāo)記并省略結(jié)構(gòu)說明。

內(nèi)部平面導(dǎo)體42、43分別設(shè)置有多個(gè)，在電介質(zhì)部11的內(nèi)部，從左側(cè)面11c側(cè)到右側(cè)面11d側(cè)交替地排列設(shè)置。內(nèi)部平面導(dǎo)體42、43具備矩形環(huán)狀的放電部42a、43a和在放電部42a、43a的內(nèi)側(cè)開口延伸的線路狀的引出部42b、43b。而且，在放電部42a、43a的內(nèi)側(cè)開口，與引出部42b、43b連接地設(shè)置有層間連接導(dǎo)體42d、43d。

端子電極44設(shè)置為覆蓋左側(cè)面11c，并經(jīng)由層間連接導(dǎo)體42d與多個(gè)內(nèi)部平面導(dǎo)體42連接。端子電極45設(shè)置為覆蓋右側(cè)面11d，并經(jīng)由層間連接導(dǎo)體43d與多個(gè)內(nèi)部平面導(dǎo)體43連接。

在該結(jié)構(gòu)中，內(nèi)部平面導(dǎo)體42、43相對(duì)于電介質(zhì)部11的頂面11a、底面11b、正面11e以及背面11f分別以相同的間隔對(duì)置。因此，內(nèi)部平面導(dǎo)體42、43的外周側(cè)的邊緣，即，頂面11a側(cè)的邊緣、底面11b側(cè)的邊緣、正面11e側(cè)的邊緣以及背面11f側(cè)的邊緣均作為放電端42c、43c發(fā)揮功能，電介質(zhì)部11的頂面11a、底面11b、正面11e以及背面11f均作為放電面發(fā)揮功能。

因此，若在端子電極44與端子電極45之間施加驅(qū)動(dòng)電壓，則會(huì)在內(nèi)部平面導(dǎo)體42、43間產(chǎn)生交變電場(chǎng)，在與內(nèi)部平面導(dǎo)體42、43的放電端42c、43c靠近并對(duì)置的電介質(zhì)部11的頂面11a、底面11b、正面11e以及背面11f均產(chǎn)生沿面放電。通過該沿面放電，能夠在頂面11a、底面11b、正面11e以及背面11f處用對(duì)置的空間中的氣體包含的氧來生成臭氧。像這樣，根據(jù)本實(shí)施方式涉及的臭氧生成裝置40，能夠進(jìn)一步增加放電面，因此，仍然能夠增加每單位時(shí)間的臭氧生成量。

《第四實(shí)施方式》

接著，對(duì)本發(fā)明的第四實(shí)施方式涉及的臭氧生成裝置50進(jìn)行說明。

圖6(a)是臭氧生成裝置50的左視圖。圖6(b)是臭氧生成裝置50的俯視圖。

在臭氧生成裝置50中，與前述的第一至第三實(shí)施方式不同，電介質(zhì)部是具有周面的圓柱狀，并將周面的整個(gè)面構(gòu)成為放電面。

具體地，本發(fā)明的第四實(shí)施方式涉及的臭氧生成裝置50與第一實(shí)施方式的不同點(diǎn)在于，代替電介質(zhì)部11、內(nèi)部平面導(dǎo)體12、13以及端子電極14、15，具備電介質(zhì)部51、內(nèi)部平面導(dǎo)體52、53以及端子電極54、55。關(guān)于其它結(jié)構(gòu)則相同，因此標(biāo)注與第一實(shí)施方式相同的附圖標(biāo)記并省略結(jié)構(gòu)說明。

電介質(zhì)部51是柱軸沿著排列方向延伸的圓柱狀，作為外表面具有周面51a、左側(cè)面11c以及右側(cè)面11d(未圖示)。

內(nèi)部平面導(dǎo)體52、53分別設(shè)置有多個(gè)，在電介質(zhì)部51的內(nèi)部，從左側(cè)面11c側(cè)到右側(cè)面11d側(cè)交替地排列設(shè)置。內(nèi)部平面導(dǎo)體52、53具備圓環(huán)狀的放電部52a、53a和在放電部52a、53a的內(nèi)側(cè)開口延伸的線路狀的引出部52b、53b。而且，在放電部52a、53a的內(nèi)側(cè)開口，與引出部52b、53b連接地設(shè)置有層間連接導(dǎo)體52d、53d。

端子電極54設(shè)置為覆蓋左側(cè)面11c，并經(jīng)由層間連接導(dǎo)體52d與多個(gè)內(nèi)部平面導(dǎo)體52連接。端子電極55設(shè)置為覆蓋右側(cè)面11d，并經(jīng)由層間連接導(dǎo)體53d與多個(gè)內(nèi)部平面導(dǎo)體53連接。

在該結(jié)構(gòu)中，內(nèi)部平面導(dǎo)體52、53相對(duì)于電介質(zhì)部51的周面51a的整個(gè)面以相同的間隔對(duì)置。因此，內(nèi)部平面導(dǎo)體52、53的外周側(cè)的邊緣作為放電端52c、53c發(fā)揮功能，電介質(zhì)部51的周面51a的整個(gè)面作為放電面發(fā)揮功能。

因此，若在端子電極54與端子電極55之間施加驅(qū)動(dòng)電壓，則會(huì)在內(nèi)部平面導(dǎo)體52、53間產(chǎn)生交變電場(chǎng)，在與內(nèi)部平面導(dǎo)體52、53的放電端52c、53c靠近并對(duì)置的電介質(zhì)部51的周面51a的整個(gè)面產(chǎn)生沿面放電。通過該沿面放電，能夠在周面51a處用對(duì)置的空間中的氣體包含的氧來生成臭氧。像這樣，根據(jù)本實(shí)施方式涉及的臭氧生成裝置50，也能夠增加放電面，因此，仍然能夠增加每單位時(shí)間的臭氧生成量。

《第五實(shí)施方式》

接著，對(duì)本發(fā)明的第五實(shí)施方式涉及的臭氧生成裝置60進(jìn)行說明。

圖7(a)是臭氧生成裝置60的電連接圖。

本實(shí)施方式涉及的臭氧生成裝置60關(guān)于概要結(jié)構(gòu)與前述的實(shí)施方式的結(jié)構(gòu)相同，具備電介質(zhì)部61、多個(gè)放電部62以及驅(qū)動(dòng)電壓源63。多個(gè)放電部62劃分為4組，各組的放電部62依次進(jìn)行排列。而且，驅(qū)動(dòng)電壓源63構(gòu)成為輸出與組數(shù)相同的4相的驅(qū)動(dòng)電壓v1～v4。構(gòu)成為，在各組的放電部62輸入與組編號(hào)對(duì)應(yīng)的相編號(hào)的驅(qū)動(dòng)電壓v1～v4。

圖7(b)是驅(qū)動(dòng)電壓v1～v4的時(shí)間波形圖。驅(qū)動(dòng)電壓v1～v4分別具有相同的重復(fù)圖案，并按照相編號(hào)的順序具有相位差90°。因此，驅(qū)動(dòng)電壓v1～v4成為相位差按照相編號(hào)的順序進(jìn)行循環(huán)的關(guān)系。

由于像這樣構(gòu)成，所以在本實(shí)施方式涉及的臭氧生成裝置中，放電面附近的電場(chǎng)強(qiáng)度的分布沿著放電部62的排列方向循環(huán)地變化。由此，在放電面附近，空間中的氣體受到電場(chǎng)強(qiáng)度的影響而沿著排列方向移動(dòng)。因此，可促進(jìn)氧向放電面的供給和臭氧從放電面的脫離，能夠增加臭氧生成量。此外，通過產(chǎn)生氣體的流動(dòng)，從而灰塵等難以吸附在放電面，臭氧生成裝置60的可靠性也提高。

另外，雖然在本實(shí)施方式中示出了作為驅(qū)動(dòng)電壓v1～v4而使用脈沖波信號(hào)的例子，但是除此以外，驅(qū)動(dòng)電壓v1～v4還能夠使用正弦波信號(hào)、矩形波信號(hào)。如果使用脈沖波信號(hào)、矩形波信號(hào)，則與使用正弦波信號(hào)的情況相比，能夠?qū)㈤_始放電的電壓低電壓化，故而更加優(yōu)選。此外，雖然在本實(shí)施方式中示出了將驅(qū)動(dòng)電壓的相數(shù)設(shè)為4的例子，但是，驅(qū)動(dòng)電壓的相數(shù)只要是3以上，就能夠采用任意的整數(shù)。此外，雖然在本實(shí)施方式中示出了各驅(qū)動(dòng)電壓成為相同的圖案波形的例子，但是各驅(qū)動(dòng)電壓的圖案波形也可以不相同。例如也能夠使用振幅、重復(fù)的周期不同的驅(qū)動(dòng)電壓。

另外，上述的各實(shí)施方式只是例示，只要是權(quán)利要求書的結(jié)構(gòu)，無論是哪種結(jié)構(gòu)均能夠得到本發(fā)明的作用效果。此外，在各實(shí)施方式公開的結(jié)構(gòu)可以任意組合。

附圖標(biāo)記說明

10：臭氧生成裝置；

11：電介質(zhì)部；

11a：頂面；

11b：底面；

11c：左側(cè)面；

11d：右側(cè)面；

11e：正面；

11f：背面；

12、13：內(nèi)部平面導(dǎo)體；

12a、13a：放電部；

12b、13b：引出部；

12c、13c：放電端；

14、15：端子電極；

16：驅(qū)動(dòng)電壓源；

21：電介質(zhì)層。