1.一種七塔低壓吸附真空解吸制備氧氣的裝置，其特征在于，包括3個(gè)鼓風(fēng)機(jī)、3個(gè)真空泵、7個(gè)吸附塔、2個(gè)均壓罐和氧氣緩沖罐，其中7個(gè)吸附塔的進(jìn)口相連，并連接到3個(gè)鼓風(fēng)機(jī)和3個(gè)真空泵，7個(gè)吸附塔的出口相連，并連接到氧氣緩沖罐，7個(gè)吸附塔通過(guò)管道分別都與2個(gè)均壓罐連接，其中，
3個(gè)鼓風(fēng)機(jī)用于將原料空氣壓縮后通過(guò)管道輸入7個(gè)吸附塔；
3個(gè)真空泵用于抽取7個(gè)吸附塔內(nèi)的氣體；
7個(gè)吸附塔用于吸附產(chǎn)氧、順向放壓、真空解吸、清洗和充壓，輸出富氧氣體到第一均壓罐，輸出貧氧氣體到第二均壓罐，輸出氧氣到氧氣緩沖罐；
第一均壓罐用于存儲(chǔ)從7個(gè)吸附塔輸入的富氧氣體，并輸出給7個(gè)吸附塔進(jìn)行充壓；
第二均壓罐用于存儲(chǔ)從7個(gè)吸附塔輸入的貧氧氣體，并輸出給7個(gè)吸附塔進(jìn)行充壓；
氧氣緩沖罐用于收集從7個(gè)吸附塔輸入的氧氣，并輸出給7個(gè)吸附塔進(jìn)行清洗。
2.根據(jù)權(quán)利要求1所述的一種七塔低壓吸附真空解吸制備氧氣的裝置，其特征在于，還包括57個(gè)閥門(mén)。
3.根據(jù)權(quán)利要求2所述的一種七塔低壓吸附真空解吸制備氧氣的裝置，其特征在于，所述57個(gè)閥門(mén)是氣動(dòng)切換閥。
4.根據(jù)權(quán)利要求2所述的一種七塔低壓吸附真空解吸制備氧氣的裝置，其特征在于，還包括7個(gè)止回閥，7個(gè)止回閥的一端分別連通7個(gè)吸附塔，另一端連通氧氣緩沖罐。
5.根據(jù)權(quán)利要求4所述的一種七塔低壓吸附真空解吸制備氧氣的裝置，其特征在于，還包括可編程邏輯控制器，可編程邏輯控制器用于輸出電信號(hào)控制閥門(mén)。
6.一種七塔低壓吸附真空解吸制備氧氣的方法，其特征在于，7個(gè)吸附塔在每個(gè)周期內(nèi)，每個(gè)吸附塔依次進(jìn)行吸附產(chǎn)氧、順向放壓、真空解吸、清洗和充壓五個(gè)步驟，每個(gè)步驟中，三個(gè)吸附塔進(jìn)行吸附產(chǎn)氧，另外三個(gè)吸附塔進(jìn)行真空解吸。
7.根據(jù)權(quán)利要求6所述的一種七塔低壓吸附真空解吸制備氧氣的方法，其特征在于，每個(gè)周期進(jìn)一步包括以下步驟：
第一吸附塔進(jìn)行吸附產(chǎn)氧，同階段第二吸附塔進(jìn)行真空解吸，第三吸附塔進(jìn)行吸附產(chǎn)氧，第四吸附塔進(jìn)行真空解吸，第五吸附塔進(jìn)行吸附產(chǎn)氧，第六吸附塔進(jìn)行清洗，第七吸附塔進(jìn)行順向放壓，將富氧氣體輸入第一均壓罐；
第一吸附塔進(jìn)行吸附產(chǎn)氧，同階段第二吸附塔進(jìn)行真空解吸，第三吸附塔進(jìn)行吸附產(chǎn)氧，第四吸附塔進(jìn)行真空解吸，第五吸附塔進(jìn)行吸附產(chǎn)氧，第六吸附塔進(jìn)行清洗，第七吸附塔進(jìn)行順向放壓，將貧氧氣體輸入第二均壓罐；
第一吸附塔進(jìn)行吸附產(chǎn)氧，同階段第二吸附塔進(jìn)行真空解吸，第三吸附塔進(jìn)行吸附產(chǎn)氧，第四吸附塔進(jìn)行真空解吸，第五吸附塔進(jìn)行吸附產(chǎn)氧，第六吸附塔從第二均壓罐獲得貧氧氣體進(jìn)行充壓，并利用大氣充壓，第七吸附塔進(jìn)行真空解吸；
第一吸附塔進(jìn)行吸附產(chǎn)氧，同階段第二吸附塔進(jìn)行真空解吸，第三吸附塔進(jìn)行吸附產(chǎn)氧，第四吸附塔進(jìn)行真空解吸，第五吸附塔進(jìn)行吸附產(chǎn)氧，第六吸附塔從第一均壓罐獲得富氧氣體進(jìn)行充壓，并利用大氣充壓，第七吸附塔進(jìn)行真空解吸；
第一吸附塔進(jìn)行吸附產(chǎn)氧，同階段第二吸附塔進(jìn)行真空解吸，第三吸附塔進(jìn)行吸附產(chǎn)氧，第四吸附塔進(jìn)行清洗，第五吸附塔進(jìn)行順向放壓，將富氧氣體輸入第一均壓罐，第六吸附塔進(jìn)行吸附產(chǎn)氧，第七吸附塔進(jìn)行真空解吸；
第一吸附塔進(jìn)行吸附產(chǎn)氧，同階段第二吸附塔進(jìn)行真空解吸，第三吸附塔進(jìn)行吸附產(chǎn)氧，第四吸附塔進(jìn)行清洗，第五吸附塔進(jìn)行順向放壓，將貧氧氣體輸入第二均壓罐，第六吸附塔進(jìn)行吸附產(chǎn)氧，第七吸附塔進(jìn)行真空解吸；
第一吸附塔進(jìn)行吸附產(chǎn)氧，同階段第二吸附塔進(jìn)行真空解吸，第三吸附塔進(jìn)行吸附產(chǎn)氧，第四吸附塔從第二均壓罐獲得貧氧氣體進(jìn)行充壓，并利用大氣充壓，第五吸附塔進(jìn)行真空解吸，第六吸附塔進(jìn)行吸附產(chǎn)氧，第七吸附塔進(jìn)行真空解吸；
第一吸附塔進(jìn)行吸附產(chǎn)氧，同階段第二吸附塔進(jìn)行真空解吸，第三吸附塔進(jìn)行吸附產(chǎn)氧，第四吸附塔從第一均壓罐獲得富氧氣體進(jìn)行充壓，并利用大氣充壓，第五吸附塔進(jìn)行真空解吸，第六吸附塔進(jìn)行吸附產(chǎn)氧，第七吸附塔進(jìn)行真空解吸；
第一吸附塔進(jìn)行吸附產(chǎn)氧，同階段第二吸附塔進(jìn)行清洗，第三吸附塔進(jìn)行順向放壓，將富氧氣體輸入第一均壓罐，第四吸附塔進(jìn)行吸附產(chǎn)氧，第五吸附塔進(jìn)行真空解吸，第六吸附塔進(jìn)行吸附產(chǎn)氧，第七吸附塔進(jìn)行真空解吸；
第一吸附塔進(jìn)行吸附產(chǎn)氧，同階段第二吸附塔進(jìn)行清洗，第三吸附塔進(jìn)行順向放壓，將貧氧氣體輸入第二均壓罐，第四吸附塔進(jìn)行吸附產(chǎn)氧，第五吸附塔進(jìn)行真空解吸，第六吸附塔進(jìn)行吸附產(chǎn)氧，第七吸附塔進(jìn)行真空解吸；
第一吸附塔進(jìn)行吸附產(chǎn)氧，同階段第二吸附塔從第二均壓罐獲得貧氧氣體進(jìn)行充壓，并利用大氣充壓，第三吸附塔進(jìn)行真空解吸，第四吸附塔進(jìn)行吸附產(chǎn)氧，第五吸附塔進(jìn)行真空解吸，第六吸附塔進(jìn)行吸附產(chǎn)氧，第七吸附塔進(jìn)行真空解吸；
第一吸附塔進(jìn)行吸附產(chǎn)氧，同階段第二吸附塔從第一均壓罐獲得富氧氣體進(jìn)行充壓，并利用大氣充壓，第三吸附塔進(jìn)行真空解吸，第四吸附塔進(jìn)行吸附產(chǎn)氧，第五吸附塔進(jìn)行真空解吸，第六吸附塔進(jìn)行吸附產(chǎn)氧，第七吸附塔進(jìn)行真空解吸；
第一吸附塔進(jìn)行順向放壓，將富氧氣體輸入第一均壓罐，同階段第二吸附塔進(jìn)行吸附產(chǎn)氧，第三吸附塔進(jìn)行真空解吸，第四吸附塔進(jìn)行吸附產(chǎn)氧，第五吸附塔進(jìn)行真空解吸，第六吸附塔進(jìn)行吸附產(chǎn)氧，第七吸附塔進(jìn)行真空解吸；
第一吸附塔進(jìn)行順向放壓，將貧氧氣體輸入第二均壓罐，同階段第二吸附塔進(jìn)行吸附產(chǎn)氧，第三吸附塔進(jìn)行真空解吸，第四吸附塔進(jìn)行吸附產(chǎn)氧，第五吸附塔進(jìn)行真空解吸，第六吸附塔進(jìn)行吸附產(chǎn)氧，第七吸附塔進(jìn)行真空解吸；
第一吸附塔進(jìn)行真空解吸，同階段第二吸附塔進(jìn)行吸附產(chǎn)氧，第三吸附塔進(jìn)行真空解吸，第四吸附塔進(jìn)行吸附產(chǎn)氧，第五吸附塔進(jìn)行真空解吸，第六吸附塔進(jìn)行吸附產(chǎn)氧，第七吸附塔從第二均壓罐獲得貧氧氣體進(jìn)行充壓，并利用大氣充壓；
第一吸附塔進(jìn)行真空解吸，同階段第二吸附塔進(jìn)行吸附產(chǎn)氧，第三吸附塔進(jìn)行真空解吸，第四吸附塔進(jìn)行吸附產(chǎn)氧，第五吸附塔進(jìn)行真空解吸，第六吸附塔進(jìn)行吸附產(chǎn)氧，第七吸附塔從第一均壓罐獲得富氧氣體進(jìn)行充壓，并利用大氣充壓；
第一吸附塔進(jìn)行真空解吸，同階段第二吸附塔進(jìn)行吸附產(chǎn)氧，第三吸附塔進(jìn)行真空解吸，第四吸附塔進(jìn)行吸附產(chǎn)氧，第五吸附塔進(jìn)行清洗，第六吸附塔進(jìn)行順向放壓，將富氧氣體輸入第一均壓罐，第七吸附塔進(jìn)行吸附產(chǎn)氧；
第一吸附塔進(jìn)行真空解吸，同階段第二吸附塔進(jìn)行吸附產(chǎn)氧，第三吸附塔進(jìn)行真空解吸，第四吸附塔進(jìn)行吸附產(chǎn)氧，第五吸附塔進(jìn)行清洗，第六吸附塔進(jìn)行順向放壓，將貧氧氣體輸入第二均壓罐，第七吸附塔進(jìn)行吸附產(chǎn)氧；
第一吸附塔進(jìn)行真空解吸，同階段第二吸附塔進(jìn)行吸附產(chǎn)氧，第三吸附塔進(jìn)行真空解吸，第四吸附塔進(jìn)行吸附產(chǎn)氧，第五吸附塔從第二均壓罐獲得貧氧氣體進(jìn)行充壓，并利用大氣充壓，第六吸附塔進(jìn)行真空解吸，第七吸附塔進(jìn)行吸附產(chǎn)氧；
第一吸附塔進(jìn)行真空解吸，同階段第二吸附塔進(jìn)行吸附產(chǎn)氧，第三吸附塔進(jìn)行真空解吸，第四吸附塔進(jìn)行吸附產(chǎn)氧，第五吸附塔從第一均壓罐獲得富氧氣體進(jìn)行充壓，并利用大氣充壓，第六吸附塔進(jìn)行真空解吸，第七吸附塔進(jìn)行吸附產(chǎn)氧；
第一吸附塔進(jìn)行真空解吸，同階段第二吸附塔進(jìn)行吸附產(chǎn)氧，第三吸附塔進(jìn)行清洗，第四吸附塔進(jìn)行順向放壓，將富氧氣體輸入第一均壓罐，第五吸附塔進(jìn)行吸附產(chǎn)氧，第六吸附塔進(jìn)行真空解吸，第七吸附塔進(jìn)行吸附產(chǎn)氧；
第一吸附塔進(jìn)行真空解吸，同階段第二吸附塔進(jìn)行吸附產(chǎn)氧，第三吸附塔進(jìn)行清洗，第四吸附塔進(jìn)行順向放壓，將貧氧氣體輸入第二均壓罐，第五吸附塔進(jìn)行吸附產(chǎn)氧，第六吸附塔進(jìn)行真空解吸，第七吸附塔進(jìn)行吸附產(chǎn)氧；
第一吸附塔進(jìn)行真空解吸，同階段第二吸附塔進(jìn)行吸附產(chǎn)氧，第三吸附塔從第二均壓罐獲得貧氧氣體進(jìn)行充壓，并利用大氣充壓，第四吸附塔進(jìn)行真空解吸，第五吸附塔進(jìn)行吸附產(chǎn)氧，第六吸附塔進(jìn)行真空解吸，第七吸附塔進(jìn)行吸附產(chǎn)氧；
第一吸附塔進(jìn)行真空解吸，同階段第二吸附塔進(jìn)行吸附產(chǎn)氧，第三吸附塔從第一均壓罐獲得富氧氣體進(jìn)行充壓，并利用大氣充壓，第四吸附塔進(jìn)行真空解吸，第五吸附塔進(jìn)行吸附產(chǎn)氧，第六吸附塔進(jìn)行真空解吸，第七吸附塔進(jìn)行吸附產(chǎn)氧；
第一吸附塔進(jìn)行清洗，同階段第二吸附塔進(jìn)行順向放壓，將富氧氣體輸入第一均壓罐，第三吸附塔進(jìn)行吸附產(chǎn)氧，第四吸附塔進(jìn)行真空解吸，第五吸附塔進(jìn)行吸附產(chǎn)氧，第六吸附塔進(jìn)行真空解吸，第七吸附塔進(jìn)行吸附產(chǎn)氧；
第一吸附塔進(jìn)行清洗，同階段第二吸附塔進(jìn)行順向放壓，將貧氧氣體輸入第二均壓罐，第三吸附塔進(jìn)行吸附產(chǎn)氧，第四吸附塔進(jìn)行真空解吸，第五吸附塔進(jìn)行吸附產(chǎn)氧，第六吸附塔進(jìn)行真空解吸，第七吸附塔進(jìn)行吸附產(chǎn)氧；
第一吸附塔從第二均壓罐獲得貧氧氣體進(jìn)行充壓，并利用大氣充壓，同階段第二吸附塔進(jìn)行真空解吸，第三吸附塔進(jìn)行吸附產(chǎn)氧，第四吸附塔進(jìn)行真空解吸，第五吸附塔進(jìn)行吸附產(chǎn)氧，第六吸附塔進(jìn)行真空解吸，第七吸附塔進(jìn)行吸附產(chǎn)氧；
第一吸附塔從第一均壓罐獲得富氧氣體進(jìn)行充壓，并利用大氣充壓，同階段第二吸附塔進(jìn)行真空解吸，第三吸附塔進(jìn)行吸附產(chǎn)氧，第四吸附塔進(jìn)行真空解吸，第五吸附塔進(jìn)行吸附產(chǎn)氧，第六吸附塔進(jìn)行真空解吸，第七吸附塔進(jìn)行吸附產(chǎn)氧，
重復(fù)以上步驟。
8.根據(jù)權(quán)利要求7所述的一種七塔低壓吸附真空解吸制備氧氣的方法，其特征在于，7個(gè)吸附塔進(jìn)行吸附時(shí)，氣壓范圍為40千帕到50千帕；7個(gè)吸附塔完成順?lè)艜r(shí)，氣壓范圍為20千帕到25千帕；7個(gè)吸附塔進(jìn)行真空解吸時(shí)，氣壓范圍為-40千帕到-50千帕；7個(gè)吸附塔完成充壓時(shí)，氣壓范圍為0千帕到10千帕。
9.根據(jù)權(quán)利要求7所述的一種七塔低壓吸附真空解吸制備氧氣的方法，其特征在于，富氧氣體的氧氣濃度為80%到90%，貧氧氣體的氧氣濃度為60%到70%。
10.根據(jù)權(quán)利要求7所述的一種七塔低壓吸附真空解吸制備氧氣的方法，其特征在于，7個(gè)吸附塔中的吸附劑是三氧化二鋁、13X分子篩、鋰分子篩和/或沸石分子篩。