專利名稱：一種多晶硅精餾系統(tǒng)尾氣回收裝置的制作方法
技術(shù)領(lǐng)域：
CN 202729813 U書明說1/3頁—種多晶硅精餾系統(tǒng)尾氣回收裝置技術(shù)領(lǐng)域[0001]本實(shí)用新型涉及一種多晶娃尾氣回收裝置，特別是一種多晶娃精懼系統(tǒng)尾氣回收裝置，屬于多晶硅生產(chǎn)技術(shù)領(lǐng)域。
背景技術(shù)：
[0002]在改良西門子法多晶硅生產(chǎn)系統(tǒng)中，⑶I工序回收的液態(tài)還原氯硅烷、氫化氯硅烷及合成氯硅烷中，含有三氯氫硅、四氯化硅和二氯二氫硅、氯化氫、B的低沸化合物等輕組分雜質(zhì)，需要送往精餾工序進(jìn)行精餾處理后才能繼續(xù)投入系統(tǒng)中使用。[0003]在精餾系統(tǒng)中，還原精餾尾氣冷凝液和氫化精餾尾氣冷凝液可以循環(huán)使用，而粗餾尾氣冷凝液、合成精餾尾氣冷凝液和脫輕塔塔頂采出液則作為工業(yè)三氯氫硅外送處理。 還原精餾尾氣冷凝液和氫化精餾尾氣冷凝液的連續(xù)循環(huán)使用會造成B雜質(zhì)富集而嚴(yán)重影響多晶硅產(chǎn)品的質(zhì)量，同時在循環(huán)使用過程中還會造成粗餾尾氣和合成精餾尾氣排放量增大，導(dǎo)致尾氣處理成本增加，處理負(fù)荷甚至超出系統(tǒng)的處理能力，在處理過程中還存在巨大的安全隱患和不可避免的環(huán)境污染；工業(yè)三氯氫硅外送處理不但造成原料三氯氫硅的浪費(fèi)，增加了生產(chǎn)成本，由于其中含有25%左右二氯二氫娃,給儲存和運(yùn)輸帶來很大的安全隱串·■/Qi、O發(fā)明內(nèi)容[0004]本實(shí)用新型的發(fā)明目的在于針對上述存在的問題，提供一種多晶硅精餾系統(tǒng)尾氣回收裝置，該裝置能夠?qū)ρh(huán)使用的還原精餾尾氣冷凝液、氫化精餾尾氣冷凝液和作為工業(yè)三氯氫硅外送處理的粗餾尾氣冷凝液、合成精餾尾氣冷凝液和脫輕塔塔頂采出液進(jìn)行處理，除去其中的二氯二氫硅、氯化氫、B的低沸化合物等輕組分雜質(zhì)以滿足重新投入生產(chǎn)的工藝要求，以降低原料連續(xù)循環(huán)使用對系統(tǒng)生產(chǎn)質(zhì)量的不利影響，減少精餾系統(tǒng)尾氣處理量，同時降低工業(yè)三氯氫硅外送處理的費(fèi)用，提高原料利用率，減少環(huán)境污染，降低安全隱患。[0005]本實(shí)用新型采用的技術(shù)方案如下[0006]一種多晶硅精餾系統(tǒng)尾氣回收裝置，主要包括冷凝器組、儲罐組和精餾塔；所述冷凝器組的進(jìn)口與精餾系統(tǒng)各個尾氣排放管道連接，冷凝器組的出口與儲罐組連接，所述儲罐組的出口與精餾塔的進(jìn)料口連接，所述儲罐組與精餾塔的連接管道上還設(shè)置有泵。[0007]進(jìn)一步的，所述冷凝器組包括相互并列的第一冷凝器、第二冷凝器、第三冷凝器和第四冷凝器。[0008]所述儲罐組包括相互并列的第一儲罐和第二儲罐。[0009]進(jìn)一步的，所述第一冷凝器和第二冷凝器的出口均與第一儲罐連接，所述第三冷凝器和第四冷凝器的出口均與第二儲罐連接。[0010]所述第一儲罐還與精餾系統(tǒng)中脫輕塔的頂部采出管道連接。[0011]進(jìn)一步的，所述第一儲罐底部的出口管道設(shè)置有第一控制閥，所述第二儲罐底部3的出口管道設(shè)置有第二控制閥。[0012]所述精餾塔的頂部尾氣管道上設(shè)置有第三控制閥，頂部采出管道上設(shè)置有第四控制閥，底部采出管道上設(shè)置有第五控制閥。[0013]所述第一冷凝器、第二冷凝器、第三冷凝器和第四冷凝器均為立式列管冷凝器，所述精餾塔為篩板塔。[0014]在上述技術(shù)方案中，所述冷凝器組分別對精餾系統(tǒng)中的各個尾氣排放點(diǎn)的尾氣進(jìn)行冷凝，冷凝得到的氯硅烷液體進(jìn)入儲罐組中進(jìn)行儲存，再通過泵將儲罐組中的氯硅烷液體送入精餾塔中進(jìn)行精餾處理，得到合格的回收氯硅烷。[0015]冷凝器組的各個冷凝器能夠與精餾系統(tǒng)中尾氣排放口一一對應(yīng)，第一冷凝器與精餾系統(tǒng)中的粗餾尾氣連接，第二冷凝器與精餾系統(tǒng)中的合成精餾尾氣連接，第三冷凝器與精餾系統(tǒng)中的還原精餾尾氣連接，第四冷凝器與精餾系統(tǒng)中的合成精餾尾氣連接，分別進(jìn)行尾氣冷凝的單獨(dú)處理，便于優(yōu)化各個冷凝器的冷凝參數(shù)達(dá)到最佳冷凝效果；第一儲罐和第二儲罐實(shí)現(xiàn)了多晶硅精餾系統(tǒng)尾氣回收裝置中冷凝器組回收的氯硅烷分類回收和處理， 同時將精餾系統(tǒng)中脫輕塔的頂部采出引入第一儲罐，將以前需要循環(huán)使用的回收氯硅烷和外送處理的工業(yè)三氯氫硅分開儲存，便于精餾塔分別對兩類原料進(jìn)行單獨(dú)處理，提高了精餾質(zhì)量和生產(chǎn)操作工藝的靈活性，也可以實(shí)際情況只采用一個或者更多的儲罐來儲存精餾系統(tǒng)各個尾氣排放口回收的物料，冷凝器組中冷凝器個數(shù)也可以根據(jù)生產(chǎn)的實(shí)際需求做增減，不同精餾塔中的尾氣共用一個冷凝器進(jìn)行冷凝。[0016]所述第一控制閥和第二控制閥便于分別控制各個儲罐的出料，所述第三控制閥、 第四控制閥和第五控制閥是對精餾塔實(shí)現(xiàn)操作控制，在生產(chǎn)中第四控制閥一般是常關(guān)狀態(tài)，即精餾塔全回流不進(jìn)行塔頂?shù)牟沙霾僮?，精餾塔進(jìn)料中的二氯二氫硅、氯化氫和B的低沸化合物等輕組分雜質(zhì)通過塔頂冷凝器的所述第三控制閥尾氣排放口進(jìn)入尾氣處理工序處理，精餾塔的塔釜進(jìn)行產(chǎn)品的采出。[0017]綜上所述，由于采用了上述技術(shù)方案，本實(shí)用新型的有益效果是[0018]本實(shí)用新型的多晶硅精餾系統(tǒng)尾氣回收裝置，能夠?qū)ρh(huán)使用的還原精餾尾氣冷凝液、氫化精餾尾氣冷凝液和作為工業(yè)三氯氫硅外送處理的粗餾尾氣冷凝液、合成精餾尾氣冷凝液和脫輕塔塔頂采出液進(jìn)行處理，除去其中的二氯二氫硅、氯化氫、B的低沸化合物等輕組分雜質(zhì)，提高了循環(huán)使用的回收氯硅烷的質(zhì)量，保證了多晶硅的生產(chǎn)質(zhì)量，減少了精餾系統(tǒng)尾氣處理量，同時提高了原料利用率，節(jié)省了工業(yè)三氯氫硅外送處理的費(fèi)用，減少了環(huán)境污染和安全隱患。


[0019]圖I是本實(shí)用新型的連接示意圖。[0020]圖中標(biāo)記1_第一冷凝器、2-第二冷凝器、3-第三冷凝器、4-第四冷凝器、5-第一儲罐、6-第二儲罐、7-第一控制閥、8-第二控制閥、9-泵、10-精餾塔、11-第三控制閥、 12-第四控制閥、13-第五控制閥。
具體實(shí)施方式
[0021 ]
以下結(jié)合附圖，對本實(shí)用新型作詳細(xì)的說明。[0022]為了使本實(shí)用新型的目的、技術(shù)方案及優(yōu)點(diǎn)更加清楚明白，
以下結(jié)合附圖及實(shí)施例，對本實(shí)用新型進(jìn)行進(jìn)一步詳細(xì)說明。應(yīng)當(dāng)理解，此處所描述的具體實(shí)施例僅僅用以解釋本實(shí)用新型，并不用于限定本實(shí)用新型。實(shí)施例[0023]一種多晶硅精餾系統(tǒng)尾氣回收裝置，如圖I所示，主要冷凝器組主要由冷凝器組、 儲罐組和精餾塔組成，所述冷凝器組主要由第一冷凝器I、第二冷凝器2、第三冷凝器3和第四冷凝器4并列的冷凝器組成，所述第一冷凝器I與粗餾尾氣排放管道相連接，所述第二冷凝器2與精餾系統(tǒng)的合成精餾尾氣排放管道相連接，所述第三冷凝器3與精餾系統(tǒng)的還原尾精餾尾氣排放管道相連接，所述第四冷凝器4與精餾系統(tǒng)的氫化精餾尾氣排放管道相連接；所述儲罐組主要由并列的第一儲罐5和第二儲罐6組成；所述第一冷凝器I和第二冷凝器2的出口與第一儲罐5相連接，所述第三冷凝器3和第四冷凝器4的出口與第二儲罐 6相連接，精餾系統(tǒng)中脫輕塔的頂部采出管道與一第儲罐5相連接，第一儲罐5下部的出口管道設(shè)置有第一控制閥7，第二儲罐6下部的出口管道設(shè)置有第二控制閥8，第一儲罐5和第二儲罐6的出口管道通過三通管道與精餾塔10的中部進(jìn)口管道相連接，且精餾塔10的進(jìn)口總管道上還設(shè)置有泵9 ;所述精餾塔10的塔頂冷凝器尾氣管道與生產(chǎn)系統(tǒng)的尾氣殘液處理系統(tǒng)相連，且該連接管道上還設(shè)置有第三控制閥11，塔頂采出管道上設(shè)置有第四控制閥12，塔釜采出管道上設(shè)置有第五控制閥13，所述第五控制閥13管路上采出的是回收提純后的產(chǎn)品，作為粗餾系統(tǒng)原料送往粗餾系統(tǒng)的儲罐；本實(shí)用新型的多晶硅精餾系統(tǒng)尾氣回 收裝置，還包括管路中所需的必要的閥門和管件，所述第一冷凝器I、第二冷凝器2、第三冷凝器3和第四冷凝器4均采用立式列管冷凝器，所述精餾塔10為篩板塔。[0024]本實(shí)用新型的多晶硅精餾系統(tǒng)尾氣回收裝置，結(jié)構(gòu)簡單，單元操作可靠，能夠?qū)ρh(huán)使用的還原精餾尾氣冷凝液、氫化精餾尾氣冷凝液和作為工業(yè)三氯氫硅外送處理的粗餾尾氣冷凝液、合成精餾尾氣冷凝液和脫輕塔塔頂采出液進(jìn)行處理，除去其中的二氯二氫硅、 氯化氫和B的低沸化合物等輕組分雜質(zhì)，提高了循環(huán)使用的回收氯硅烷的質(zhì)量，保證了多晶硅的生產(chǎn)質(zhì)量，減少了精餾系統(tǒng)尾氣處理量，同時提高了原料利用率，節(jié)省了工業(yè)三氯氫硅外送處理的費(fèi)用，減少了環(huán)境污染和安全隱患。[0025]以上所述僅為本實(shí)用新型的較佳實(shí)施例而已，并不用以限制本實(shí)用新型，凡在本實(shí)用新型的精神和原則之內(nèi)所作的任何修改、等同替換和改進(jìn)等，均應(yīng)包含在本實(shí)用新型的保護(hù)范圍之內(nèi)。
權(quán)利要求1.一種多晶硅精餾系統(tǒng)尾氣回收裝置，其特征在于主要包括冷凝器組、儲罐組和精餾塔(10);所述冷凝器組的進(jìn)口與精餾系統(tǒng)各個尾氣排放管道連接，冷凝器組的出口與儲罐組連接，所述儲罐組的出口與精餾塔(10)的進(jìn)料口連接，所述儲罐組與精餾塔(10)的連接管道上還設(shè)置有泵(9 )。
2.如權(quán)利要求I所述的多晶硅精餾系統(tǒng)尾氣回收裝置，其特征在于所述冷凝器組包括相互并列的第一冷凝器(I)、第二冷凝器(2)、第三冷凝器(3)和第四冷凝器(4)。
3.如權(quán)利要求2所述的多晶硅精餾系統(tǒng)尾氣回收裝置，其特征在于所述儲罐組包括相互并列的第一儲罐(5)和第二儲罐(6)。
4.如權(quán)利要求3所述的多晶硅精餾系統(tǒng)尾氣回收裝置，其特征在于所述第一冷凝器(I)和第二冷凝器(2)的出口均與第一儲罐(5)連接，所述第三冷凝器(3)和第四冷凝器(4) 的出口均與第二儲罐(6)連接。
5.如權(quán)利要求4所述的多晶硅精餾系統(tǒng)尾氣回收裝置，其特征在于所述第一儲罐(5) 還與精餾系統(tǒng)中脫輕塔的頂部采出管道連接。
6.如權(quán)利要求3至5任一項(xiàng)所述的多晶硅精餾系統(tǒng)尾氣回收裝置，其特征在于所述第一儲罐(5 )底部的出口管道設(shè)置有第一控制閥(7 )，所述第二儲罐(6 )底部的出口管道設(shè)置有第二控制閥(8)。
7.如權(quán)利要求I至5任一項(xiàng)所述的多晶硅精餾系統(tǒng)尾氣回收裝置，其特征在于所述精餾塔(10)的頂部尾氣管道上設(shè)置有第三控制閥(11)，頂部采出管道上設(shè)置有第四控制閥(12)，底部采出管道上設(shè)置有第五控制閥(13)。
8.如權(quán)利要求2至5任一項(xiàng)所述的多晶硅精餾系統(tǒng)尾氣回收裝置，其特征在于所述第一冷凝器(I)、第二冷凝器(2)、第三冷凝器(3)和第四冷凝器(4)均為立式列管冷凝器， 所述精餾塔(10)為篩板塔。
專利摘要本實(shí)用新型公開了一種多晶硅精餾系統(tǒng)尾氣回收裝置，屬于多晶硅生產(chǎn)技術(shù)領(lǐng)域；所述多晶硅精餾系統(tǒng)尾氣回收裝置主要包括冷凝器組、儲罐組和精餾塔，所述冷凝器組的進(jìn)口與精餾系統(tǒng)各個尾氣排放管道連接，冷凝器組的出口與儲罐組連接，所述儲罐組的出口與精餾塔進(jìn)料口連接；本實(shí)用新型的多晶硅精餾系統(tǒng)尾氣回收裝置能夠有效的回收并分離提純多晶硅精餾系統(tǒng)尾氣中的三氯氫硅，提高原料利用率，有效的節(jié)約生產(chǎn)成本，減少環(huán)境污染。
文檔編號C01B33/107GK202729813SQ20122039527
公開日2013年2月13日 申請日期2012年8月10日 優(yōu)先權(quán)日2012年8月10日
發(fā)明者王喜良 申請人:四川瑞能硅材料有限公司