專利名稱：從還原尾氣中回收氯化氫的系統(tǒng)的制作方法
技術(shù)領(lǐng)域：
本實(shí)用新型涉及從還原尾氣中回收氯化氫的系統(tǒng)。
背景技術(shù)：
在現(xiàn)有的西門子法干法回收エ藝中，副產(chǎn)物氯化氫絕大部分被損失。因而，目前從還原尾氣中回收氯化氫的エ藝仍有待改進(jìn)。

實(shí)用新型內(nèi)容本實(shí)用新型g在至少解決現(xiàn)有技術(shù)中存在的技術(shù)問題之一。為此，本實(shí)用新型的 ー個目的在于提出一種能夠有效從還原尾氣中回收氯化氫的方法。根據(jù)本實(shí)用新型的一些實(shí)施例，本實(shí)用新型還提出了一種從還原尾氣中回收氯化氫的系統(tǒng)，所述還原尾氣含有氫氣、氯化氫和氯硅烷，所述系統(tǒng)包括淋洗裝置，所述淋洗裝置中設(shè)置有淋洗液，用于將所述還原尾氣進(jìn)行淋洗處理，以便使得所述還原尾氣中的氯硅烷被所述淋洗液吸收，得到含有氯硅烷的淋洗液，以及含有氫氣和氯化氫的第一氣體混合物；吸收裝置，所述吸收裝置與所述淋洗裝置相連，并且所述吸收裝置中設(shè)置有吸收劑，以便從所述淋洗裝置接收所述第一氣體混合物并且利用所述吸收劑將所述第一氣體混合物進(jìn)行吸收處理，使得所述第一氣體混合物中的氯化氫被吸收，得到含有氯化氫的吸收產(chǎn)物，以及氫氣；以及解吸裝置，所述解吸裝置與所述吸收裝置相連，以便從所述吸收裝置中接收所述含有氯化氫的吸收產(chǎn)物，將所述含有氯化氫的吸收產(chǎn)物進(jìn)行解吸處理，以便使得所述吸收產(chǎn)物中的氯化氫被析出。利用根據(jù)本實(shí)用新型實(shí)施例的從還原尾氣中回收氯化氫的系統(tǒng)，能夠有效地實(shí)施前述的從還原尾氣中回收氯化氫的方法，從而有效地回收還原尾氣中的氯化氫。根據(jù)本實(shí)用新型的實(shí)施例，上述從還原尾氣中回收氯化氫的系統(tǒng)還可以包括下列附加技術(shù)特征根據(jù)本實(shí)用新型的一個實(shí)施例，所述淋洗液為氯硅烷。由此，能夠有效地將還原尾氣中所包含的氯硅烷與氫氣和氯化氫氣體進(jìn)行分離。根據(jù)本實(shí)用新型的一個實(shí)施例，所述淋洗裝置為適于進(jìn)行鼓泡淋洗處理的裝置。由此，能夠進(jìn)一歩提高淋洗處理的效果，從而提高從還原尾氣中回收氯化氫的效率。根據(jù)本實(shí)用新型的一個實(shí)施例，進(jìn)ー步包括冷凝裝置，所述冷凝裝置分別與所述淋洗裝置和吸收裝置相連，在將所述第一氣體混合物進(jìn)行吸收處理之前，將所述第一氣體混合物進(jìn)行冷凝處理，以便分離所述第一氣體混合物中殘余的氯硅烷。由此，能夠進(jìn)ー步提高所得到氯化氫的純度，并提高氯硅烷的回收效率。根據(jù)本實(shí)用新型的一個實(shí)施例，進(jìn)ー步包括將所分離的氯硅烷進(jìn)行提純，以便獲得聞純氣娃燒。由此，能夠進(jìn)一步提聞氣娃燒的純度和回收效率。根據(jù)本實(shí)用新型的一個實(shí)施例，所述冷凝設(shè)備為適于進(jìn)行加壓冷凝的裝置。由此，能夠有效地實(shí)現(xiàn)氯硅烷的冷凝，并降低冷凝處理的成本，從而降低還原尾氣的エ業(yè)成本。[0012]根據(jù)本實(shí)用新型的一個實(shí)施例，所述冷凝裝置內(nèi)的溫度為-35-45攝氏度，壓カ為O. 9-1. 2MPa。能夠有效地實(shí)現(xiàn)氯硅烷的冷凝，并降低冷凝處理的成本，從而降低還原尾氣的エ業(yè)成本。根據(jù)本實(shí)用新型的一個實(shí)施例，進(jìn)ー步包括氯硅烷純化裝置，所述氯硅烷純化裝置分別與所述淋洗裝置和冷凝裝置相連，以便從所述淋洗裝置和冷凝裝置接收并純化氯硅烷。由此，能夠進(jìn)ー步提高氯硅烷的純度和回收效率。根據(jù)本實(shí)用新型的一個實(shí)施例，所述吸收劑為氯硅烷。由此，能夠有效地實(shí)現(xiàn)對氯化氫的吸收，從而提高對還原尾氣進(jìn)行處理的效率。根據(jù)本實(shí)用新型的一個實(shí)施例，所述解吸裝置為適于進(jìn)行加壓蒸餾的裝置。由此，能夠進(jìn)ー步提高回收氯化氫的效率。根據(jù)本實(shí)用新型的一個實(shí)施例，所述解吸裝置內(nèi)的壓カ為O. 8-0. 9MPa，溫度為70-80攝氏度。由此，能夠進(jìn)ー步提高氯化氫解吸的效率，從而提高回收氯化氫的效率。本實(shí)用新型的附加方面和優(yōu)點(diǎn)將在下面的描述中部分給出，部分將從下面的描述中變得明顯，或通過本實(shí)用新型的實(shí)踐了解到。

本實(shí)用新型的上述和/或附加的方面和優(yōu)點(diǎn)從結(jié)合下面附圖對實(shí)施例的描述中將變得明顯和容易理解，其中圖I是根據(jù)本實(shí)用新型一個實(shí)施例的從還原尾氣中回收氯化氫的方法的流程示意圖。圖2是根據(jù)本實(shí)用新型又一個實(shí)施例的從還原尾氣中回收氯化氫的方法的流程示意圖。圖3是根據(jù)本實(shí)用新型一個實(shí)施例的從還原尾氣中回收氯化氫的系統(tǒng)的示意圖。圖4是根據(jù)本實(shí)用新型又一個實(shí)施例的從還原尾氣中回收氯化氫的系統(tǒng)的示意圖。
具體實(shí)施方式
下面詳細(xì)描述本實(shí)用新型的實(shí)施例，所述實(shí)施例的示例在附圖中示出，其中自始至終相同或類似的標(biāo)號表示相同或類似的元件或具有相同或類似功能的元件。下面通過參考附圖描述的實(shí)施例是示例性的，僅用于解釋本實(shí)用新型，而不能理解為對本實(shí)用新型的限制。在本實(shí)用新型的描述中，需要理解的是，術(shù)語“中心”、“縱向”、“橫向”、“上”、“下”、“前”、“后”、“左”、“右”、“豎直”、“水平”、“頂”、“底”、“內(nèi)”、“外”等指示的方位或位置關(guān)系為
基于附圖所示的方位或位置關(guān)系，僅是為了便于描述本實(shí)用新型和簡化描述，而不是指示或暗示所指的裝置或元件必須具有特定的方位、以特定的方位構(gòu)造和操作，因此不能理解為對本實(shí)用新型的限制。此外，術(shù)語“第一”、“第二”僅用于描述目的，而不能理解為指示或暗示相對重要性。在本實(shí)用新型的描述中，需要說明的是，除非另有明確的規(guī)定和限定，術(shù)語“安裝”、“相連”、“連接”應(yīng)做廣義理解，例如，可以是固定連接，也可以是可拆卸連接，或一體地連接；可以是機(jī)械連接，也可以是電連接；可以是直接相連，也可以通過中間媒介間接相連，可以是兩個元件內(nèi)部的連通。對于本領(lǐng)域的普通技術(shù)人員而言，可以具體情況理解上述術(shù)語在本實(shí)用新型中的具體含義。此外，在本實(shí)用新型的描述中，除非另有說明，“多個”的含義是兩個或兩個以上。為了方便理解，首先參考圖I描述根據(jù)本實(shí)用新型實(shí)施例的從還原尾氣中回收氯化氫的方法。如圖I所示，根據(jù)本實(shí)用新型實(shí)施例的從還原尾氣中回收氯化氫的方法包括下列步驟SlOO淋洗處理首先，利用淋洗液將還原尾氣進(jìn)行淋洗處理，以便使得還原尾氣中的氯硅烷被淋洗液吸收，得到含有氯硅烷的淋洗液，以及含有氫氣和氯化氫的第一氣體混合物。在本文中 所使用的術(shù)語“還原尾氣”是指在多晶硅生產(chǎn)エ業(yè)中所產(chǎn)生的含有氫氣、氯化氫和氯硅烷的氣體混合物。根據(jù)本實(shí)用新型的實(shí)施例，淋洗液的類型不受特別限制，只要能夠使得氯硅烷溶解在該淋洗液中，而氫氣和氯化氫不能溶解在其中即可。根據(jù)本實(shí)用新型的一個實(shí)施例，可以使用氯硅烷作為淋洗液。由此，能夠有效地將還原尾氣中所包含的氯硅烷與氫氣和氯化氫氣體進(jìn)行分離，并且可以降低エ業(yè)化成本。根據(jù)本實(shí)用新型的實(shí)施例，可以采用的淋洗處理的方式不受特別限制。根據(jù)ー個具體的示例，可以采用鼓泡淋洗處理。由此，能夠進(jìn)ー步提高淋洗處理的效果，從而提高從還原尾氣中回收氯化氫的效率。在將氯硅烷進(jìn)行分離之后，可以將第一氣體混合物進(jìn)行吸收處理，以便將氫氣和氯化氫氣體進(jìn)行分離。參考圖2，根據(jù)本實(shí)用新型的一個實(shí)施例，在將第一氣體混合物進(jìn)行吸收處理之前，將第一氣體混合物進(jìn)行冷凝處理(S400)，以便分離所述第一氣體混合物中殘余的氯硅烷。由此，能夠進(jìn)ー步提高所得到氯化氫的純度，并提高氯硅烷的回收效率。根據(jù)本實(shí)用新型的ー些示例，所述冷凝處理為加壓冷凝處理。由此，能夠有效地實(shí)現(xiàn)氯硅烷的冷凝，并降低冷凝處理的成本，從而降低還原尾氣的エ業(yè)成本。根據(jù)本實(shí)用新型的ー個具體示例，所述加壓冷凝處理是在O. 9-1. 2MPa的壓カ下，-35—45攝氏度的溫度下進(jìn)行的。由此，能夠有效地實(shí)現(xiàn)氯硅烷的冷凝，并降低冷凝處理的成本，從而降低還原尾氣的エ業(yè)成本。S20吸收處理接下來，利用吸收劑將第一氣體混合物進(jìn)行吸收處理，以便使得第一氣體混合物中的氯化氫被吸收，得到含有氯化氫的吸收產(chǎn)物，以及氫氣。由于氯化氫和氫氣在吸收劑中的溶解度不同，因而，氯化氫會溶解在吸收劑中，而氫氣則可作為氣體排出，由此，實(shí)現(xiàn)了氯化氫與氫氣的分離。根據(jù)本實(shí)用新型的實(shí)施例，可以采用的吸收劑的類型不受特別限制。根據(jù)本實(shí)用新型的具體示例，可以采用氯硅烷作為吸收劑。由此，能夠有效地實(shí)現(xiàn)對氯化氫的吸收，從而提高對還原尾氣進(jìn)行處理的效率。同時不會在吸收過程中引入其他多晶硅生產(chǎn)行業(yè)中不存在的物質(zhì)。S300解吸處理將所述含有氯化氫的吸收產(chǎn)物進(jìn)行解吸處理，以便使得所述吸收產(chǎn)物中的氯化氫被析出，并回收所述氯化氫。根據(jù)本實(shí)用新型的一些實(shí)施例，進(jìn)行解吸處理的方法并不受特別限制。根據(jù)本實(shí)用新型的一個實(shí)施例，可以通過加壓蒸餾進(jìn)行解吸處理。由此，能夠簡單、容易地對吸收氯化氫的吸收產(chǎn)物進(jìn)行解析處理。根據(jù)本實(shí)用新型的ー些示例，所述解吸處理是通過加壓蒸餾進(jìn)行的。由此，能夠進(jìn)ー步提高回收氯化氫的效率。根據(jù)本實(shí)用新型的ー個具體示例，所述加壓蒸餾是在O. 8-0. 9MPa的壓カ下，70-80攝氏度的溫度下進(jìn)行的。由此，能夠進(jìn)ー步提高氯化氫解吸的效率，從而提高回收氯化氫的效率。通過利用根據(jù)本實(shí)用新型實(shí)施例的從還原尾氣中回收氯化氫的方法，可以有效地從還原尾氣中回收氯化氫，提高了氯化氫的利用效率，降低了多晶硅行業(yè)的生產(chǎn)成本，避免了污染問題。為了方便理解，下面對可以用于實(shí)施上述從還原尾氣中回收氯化氫的方法的系統(tǒng)進(jìn)行描述。根據(jù)本實(shí)用新型的另一方面，本實(shí)用新型提出了一種從還原尾氣中回收氯化氫的系統(tǒng)。參考圖3，根據(jù)本實(shí)用新型實(shí)施例的從還原尾氣中回收氯化氫的系統(tǒng)1000包括淋洗裝置100、吸收裝置200、以及解吸裝置300。根據(jù)本實(shí)用新型的實(shí)施例，淋洗裝置100中設(shè)置有淋洗液，用于將還原尾氣進(jìn)行淋洗處理，以便使得所述還原尾氣中的氯硅烷被所述淋洗液吸收，得到含有氯硅烷的淋洗 液，以及含有氫氣和氯化氫的第一氣體混合物。根據(jù)本實(shí)用新型的實(shí)施例，淋洗液的類型不受特別限制，只要能夠使得氯硅烷溶解在該淋洗液中，而氫氣和氯化氫不能溶解在其中即可。根據(jù)本實(shí)用新型的一個實(shí)施例，可以使用氯硅烷作為淋洗液。由此，能夠有效地將還原尾氣中所包含的氯硅烷與氫氣和氯化氫氣體進(jìn)行分離，并且可以降低エ業(yè)化成本。根據(jù)本實(shí)用新型的實(shí)施例，可以采用的淋洗處理的方式不受特別限制。根據(jù)ー個具體的示例，可以采用鼓泡淋洗處理。由此，能夠進(jìn)一歩提高淋洗處理的效果，從而提高從還原尾氣中回收氯化氫的效率。在將氯硅烷進(jìn)行分離之后，可以將第一氣體混合物進(jìn)行吸收處理，以便將氫氣和氯化氫氣體進(jìn)行分離。參考圖4，根據(jù)本實(shí)用新型的一個實(shí)施例，進(jìn)ー步包括冷凝裝置400，冷凝裝置400分別與淋洗裝置100和吸收裝置200相連，以便分離第一氣體混合物中殘余的氯硅烷。由此，能夠進(jìn)ー步提高所得到氯化氫的純度，并提高氯硅烷的回收效率。根據(jù)本實(shí)用新型的ー些示例，冷凝設(shè)備400為適于進(jìn)行加壓冷凝的裝置。由此，能夠有效地實(shí)現(xiàn)氯硅烷的冷凝，并降低冷凝處理的成本，從而降低還原尾氣的エ業(yè)成本。根據(jù)本實(shí)用新型的ー個具體示例，冷凝裝置400內(nèi)的溫度為-35—45攝氏度，壓カ為O. 9-1. 2MPa。由此，能夠有效地實(shí)現(xiàn)氯硅烷的冷凝，并降低冷凝處理的成本，從而降低還原尾氣的エ業(yè)成本。根據(jù)本實(shí)用新型的一個實(shí)施例，進(jìn)ー步包括氯硅烷純化裝置(圖中未示出)，氯硅烷純化裝置分別與淋洗裝置100和冷凝裝置200相連，以便從淋洗裝置100和冷凝裝置300接收從還原尾氣和第一氣體混合物中分離的氯硅烷，并且對所接受的氯硅烷進(jìn)行純化。由此，能夠進(jìn)ー步提高氯硅烷的純度和回收效率。根據(jù)本實(shí)用新型的實(shí)施例，吸收裝置200與淋洗裝置100相連，并且吸收裝置200中設(shè)置有吸收劑，以便從淋洗裝置100接收第一氣體混合物并且利用吸收劑將所述第一氣體混合物進(jìn)行吸收處理，使得所述第一氣體混合物中的氯化氫被吸收，得到含有氯化氫的吸收產(chǎn)物，以及氫氣。由于氯化氫和氫氣在吸收劑中的溶解度不同，因而，氯化氫會溶解在吸收劑中，而氫氣則可作為氣體排出，由此，實(shí)現(xiàn)了氯化氫與氫氣的分離。根據(jù)本實(shí)用新型的實(shí)施例，可以采用的吸收劑的類型不受特別限制。根據(jù)本實(shí)用新型的具體示例，可以采用氯硅烷作為吸收劑。由此，能夠有效地實(shí)現(xiàn)對氯化氫的吸收，從而提高對還原尾氣進(jìn)行處理的效率。同時不會在吸收過程中引入其他多晶硅生產(chǎn)行業(yè)中不存在的物質(zhì)。根據(jù)本實(shí)用新型的實(shí)施例，解吸裝置300與吸收裝置200相連，以便從吸收裝置200中接收含有氯化氫的吸收產(chǎn)物，將含有氯化氫的吸收產(chǎn)物進(jìn)行解吸處理，以便使得吸收產(chǎn)物中的氯化氫被析出。利用根據(jù)本實(shí)用新型實(shí)施例的從還原尾氣中回收氯化氫的系統(tǒng)1000，能夠有效地實(shí)施前述的從還原尾氣中回收氯化氫的方法，從而有效地回收還原尾氣中的氯化氫。利用根據(jù)本實(shí)用新型實(shí)施例的一種從還原尾氣中回收氯化氫的系統(tǒng)，能夠有效地從多晶硅生產(chǎn)エ藝中產(chǎn)生的還原尾氣中回收氯化氫，并且成本低、操作簡單，同時不會產(chǎn)生任何污染，符合國家環(huán)保的要求。在本說明書的描述中，參考術(shù)語“ー個實(shí)施例”、“一些實(shí)施例”、“示意性實(shí)施例”、“示例”、“具體示例”、或“ー些示例”等的描述意指結(jié)合該實(shí)施例或示例描述的具體特征、結(jié)構(gòu)、材料或者特點(diǎn)包含于本實(shí)用新型的至少ー個實(shí)施例或示例中。在本說明書中，對上述術(shù)語的示意性表述不一定指的是相同的實(shí)施例或示例。而且，描述的具體特征、結(jié)構(gòu)、材料或者特點(diǎn)可以在任何的一個或多個實(shí)施例或示例中以合適的方式結(jié)合。盡管已經(jīng)示出和描述了本實(shí)用新型的實(shí)施例，本領(lǐng)域的普通技術(shù)人員可以理解在不脫離本實(shí)用新型的原理和宗g的情況下可以對這些實(shí)施例進(jìn)行多種變化、修改、替換 和變型，本實(shí)用新型的范圍由權(quán)利要求及其等同物限定。
權(quán)利要求1.一種從還原尾氣中回收氯化氫的系統(tǒng)，所述還原尾氣含有氫氣、氯化氫和氯硅烷，其特征在于，所述系統(tǒng)包括 淋洗裝置，所述淋洗裝置中設(shè)置有淋洗液，用于將所述還原尾氣進(jìn)行淋洗處理，以便使得所述還原尾氣中的氯硅烷被所述淋洗液吸收，得到含有氯硅烷的淋洗液，以及含有氫氣和氯化氫的第一氣體混合物； 吸收裝置，所述吸收裝置與所述淋洗裝置相連，并且所述吸收裝置中設(shè)置有吸收劑，以便從所述淋洗裝置接收所述第一氣體混合物并且利用所述吸收劑將所述第一氣體混合物進(jìn)行吸收處理，使得所述第一氣體混合物中的氯化氫被吸收，得到含有氯化氫的吸收產(chǎn)物，以及氫氣； 解吸裝置，所述解吸裝置與所述吸收裝置相連，以便從所述吸收裝置中接收所述含有氯化氫的吸收產(chǎn)物，將所述含有氯化氫的吸收產(chǎn)物進(jìn)行解吸處理，以便使得所述吸收產(chǎn)物中的氯化氫被析出。
2.根據(jù)權(quán)利要求I所述的系統(tǒng)，其特征在于，所述淋洗液為氯硅烷。
3.根據(jù)權(quán)利要求I所述的系統(tǒng)，其特征在于，所述淋洗裝置為適于進(jìn)行鼓泡淋洗處理的裝置。
4.根據(jù)權(quán)利要求I所述的系統(tǒng)，其特征在干，進(jìn)ー步包括冷凝裝置，所述冷凝裝置分別與所述淋洗裝置和吸收裝置相連，在將所述第一氣體混合物進(jìn)行吸收處理之前，將所述第ー氣體混合物進(jìn)行冷凝處理，以便分離所述第一氣體混合物中殘余的氯硅烷。
5.根據(jù)權(quán)利要求4所述的系統(tǒng)，其特征在于，所述冷凝設(shè)備為適于進(jìn)行加壓冷凝的裝置。
6.根據(jù)權(quán)利要求5所述的系統(tǒng)，其特征在于，所述冷凝裝置內(nèi)的溫度為-35-45攝氏度，壓カ為 O. 9-1. 2MPa。
7.根據(jù)權(quán)利要求4所述的系統(tǒng)，其特征在干，進(jìn)ー步包括氯硅烷純化裝置，所述氯硅烷純化裝置分別與所述淋洗裝置和冷凝裝置相連，以便從所述淋洗裝置和冷凝裝置接收并純化氯硅烷。
8.根據(jù)權(quán)利要求I所述的系統(tǒng)，其特征在于，所述吸收劑為氯硅烷。
9.根據(jù)權(quán)利要求I所述的系統(tǒng)，其特征在于，所述解吸裝置為適于進(jìn)行加壓蒸餾的裝置。
10.根據(jù)權(quán)利要求8所述的系統(tǒng)，其特征在于，所述解吸裝置內(nèi)的壓ヵ為O.8-0. 9MPa，溫度為70-80攝氏度。
專利摘要本實(shí)用新型提出了從還原尾氣中回收氯化氫的系統(tǒng)，包括淋洗裝置，淋洗裝置中設(shè)置有淋洗液，用于將還原尾氣進(jìn)行淋洗處理，以便使得還原尾氣中的氯硅烷被淋洗液吸收，得到含有氯硅烷的淋洗液，以及含有氫氣和氯化氫的第一氣體混合物；吸收裝置，吸收裝置中設(shè)置有吸收劑，從淋洗裝置接收第一氣體混合物并且利用吸收劑將第一氣體混合物進(jìn)行吸收處理，使得第一氣體混合物中的氯化氫被吸收，得到含有氯化氫的吸收產(chǎn)物，以及氫氣；以及解吸裝置，以便從吸收裝置中接收含有氯化氫的吸收產(chǎn)物，將含有氯化氫的吸收產(chǎn)物進(jìn)行解吸處理，以便使得吸收產(chǎn)物中的氯化氫被析出。利用該系統(tǒng)，能夠有效地從還原尾氣中回收氯化氫。
文檔編號C01B7/07GK202625835SQ20122015192
公開日2012年12月26日 申請日期2012年4月11日 優(yōu)先權(quán)日2012年4月11日
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