專利名稱：一種應(yīng)用于三溴化硼尾氣處理的冷凝瓶的制作方法
技術(shù)領(lǐng)域：
[0001]本實(shí)用新型涉及尾氣處理的冷凝瓶領(lǐng)域，更具體的說，是涉及一種應(yīng)用于三溴化硼尾氣處理的冷凝瓶。
背景技術(shù)：
目前針對三溴化硼(一種硼的擴(kuò)散源，高溫時(shí)為氣態(tài)，冷凝后形成白色粉塵固體狀的氧化硼)的尾氣處理還沒有專門設(shè)計(jì)的冷凝瓶結(jié)構(gòu)，主流是采用的是傳統(tǒng)的三氯氧磷(高溫時(shí)為氣態(tài)，冷凝后形成偏磷酸的液體)尾氣處理的冷凝瓶結(jié)構(gòu)。該冷凝瓶結(jié)構(gòu)為立式圓柱形，中下部有ー塊中空擋板V，上部充滿上百個(gè)內(nèi)徑為5. 0mm、外徑為7. 0mm、長度為10_的小石英圓管3'，中空擋板4'下邊空置。其冷凝材料為石英，由于石英是非常穩(wěn)定的材料，經(jīng)過高溫差與其他物質(zhì)也不發(fā)生反應(yīng)，所以其冷凝效果會非常的好。請參考附圖I和附圖2，其冷凝過程如下三氯氧磷氣體從進(jìn)氣ロ I'進(jìn)入，沿進(jìn)氣管道進(jìn)入冷凝瓶內(nèi)的中空擋板4'下方，氣體在向出氣ロ 2'移動(dòng)的過程中，經(jīng)過上百個(gè)小石英圓管3'后被慢慢冷凝，逐漸形成液態(tài)，再流入中空擋板4'的下方空置的空間，此為上述冷凝瓶的冷凝過程。但是，當(dāng)三溴化硼氣體也采用這種冷凝瓶時(shí)，就會出現(xiàn)很大的問題。三溴化硼在中空擋板4'上方被逐漸冷凝后，就會直接形成白色粉固體狀的氧化硼，大量囤積在小石英圓管3'上，隨著時(shí)間的推移，大量氧化硼固體就會對中空擋板4'上方的小石英管形成的間隙造成堵塞，造成氣體排放不暢，進(jìn)而管內(nèi)壓カ迅速増大，致使整個(gè)冷凝過程癱瘓，后續(xù)擴(kuò)散エ藝出現(xiàn)問題。綜上所述，在現(xiàn)有的尾氣冷凝瓶在作業(yè)時(shí)，每三天(連續(xù)作業(yè))就需要對其進(jìn)行清洗，維護(hù)周期時(shí)間短，對生產(chǎn)的連續(xù)進(jìn)行造成影響，且容易引起后續(xù)擴(kuò)散エ藝異常。因此，如何提供一種應(yīng)用于三溴化硼尾氣處理的冷凝瓶，從而使其能夠保證連續(xù)生產(chǎn)中后續(xù)エ藝正常運(yùn)行，是本領(lǐng)域技術(shù)人員亟需解決的問題。

實(shí)用新型內(nèi)容有鑒于此，本實(shí)用新型提供了一種應(yīng)用于三溴化硼尾氣處理的冷凝瓶，以克服現(xiàn)有技術(shù)中三溴化硼尾氣處理時(shí)冷凝瓶容易堵塞的問題。為實(shí)現(xiàn)上述目的，本實(shí)用新型提供如下技術(shù)方案一種應(yīng)用于三溴化硼尾氣處理的冷凝瓶，包括瓶體；在所述瓶體一側(cè)開設(shè)進(jìn)氣ロ ；在所述瓶體對應(yīng)另ー側(cè)頂端開設(shè)出氣ロ ；在所述瓶體內(nèi)采用迷宮式排列的冷凝壁。優(yōu)選的，在上述應(yīng)用于三溴化硼尾氣處理的冷凝瓶中，所述瓶體為臥式圓柱形。優(yōu)選的，在上述應(yīng)用于三溴化硼尾氣處理的冷凝瓶中，所述進(jìn)氣ロ添加進(jìn)氣管道。優(yōu)選的，在上述應(yīng)用于三溴化硼尾氣處理的冷凝瓶中，所述冷凝壁為石英壁。優(yōu)選的，在上述應(yīng)用于三溴化硼尾氣處理的冷凝瓶中，所述冷凝壁采用ー上一下交替的順序排列。優(yōu)選的，在上述應(yīng)用于三溴化硼尾氣處理的冷凝瓶中，所述冷凝壁之間的距離相等。 經(jīng)由上述的技術(shù)方案可知，本實(shí)用新型公開了ー種應(yīng)用于三溴化硼尾氣處理的冷凝瓶，包括瓶體；在所述瓶體左側(cè)開設(shè)進(jìn)氣ロ ；在所述瓶體右側(cè)頂端開設(shè)出氣ロ ；在所述瓶體內(nèi)采用迷宮式排列的冷凝壁。 在三溴化硼氣體從進(jìn)氣ロ進(jìn)入瓶體后，沿著由冷凝壁排列成的迷宮式通道向出氣ロ移動(dòng)，在三溴化硼氣體移動(dòng)過程中，逐漸被冷凝壁冷卻成白色粉塵固體的氧化硼，灑落到瓶底。由于下方形成的通道很大，這樣就不會造成冷凝瓶的堵塞現(xiàn)象，保證了后續(xù)的エ藝正常進(jìn)行。本冷凝瓶對三溴化硼的冷凝效果解決了大規(guī)模的生產(chǎn)維護(hù)周期短的難題，保證了連續(xù)的生產(chǎn)；同時(shí)由于冷凝材料由石英壁替代了原來上百數(shù)量的小巧石英圓管，所以成本上也就比原來的冷凝瓶有所降低。

為了更清楚地說明本實(shí)用新型實(shí)施例或現(xiàn)有技術(shù)中的技術(shù)方案，下面將對實(shí)施例或現(xiàn)有技術(shù)描述中所需要使用的附圖作簡單地介紹，顯而易見地，下面描述中的附圖僅僅是本實(shí)用新型的實(shí)施例，對于本領(lǐng)域普通技術(shù)人員來講，在不付出創(chuàng)造性勞動(dòng)的前提下，還可以根據(jù)提供的附圖獲得其他的附圖。圖I為現(xiàn)有技術(shù)中應(yīng)用于三溴化硼尾氣處理的冷凝瓶外觀主視圖；圖2為現(xiàn)有技術(shù)中應(yīng)用于三溴化硼尾氣處理的冷凝瓶截面左視圖；圖3為本實(shí)用新型應(yīng)用于三溴化硼尾氣處理的冷凝瓶截面主視圖；圖4為本實(shí)用新型應(yīng)用于三溴化硼尾氣處理的冷凝瓶左視圖。其中，圖I至圖4中Γ為進(jìn)氣ロ、2'為出氣ロ、3'為小石英圓管、4'為中空擋板、I為進(jìn)氣ロ、2為出氣ロ、3為冷凝壁、4為瓶體。
具體實(shí)施方式
請參閱附圖3和附圖4，為本實(shí)用新型公開的ー種臥式圓柱形冷凝瓶，在三溴化硼氣體從進(jìn)氣ロ進(jìn)入到從出氣ロ出去的過程中，利用瓶內(nèi)的設(shè)置的多塊石英壁形成的迷宮式通道對三溴化硼進(jìn)行冷凝，反應(yīng)生成的氧化硼固定灑落到瓶底，不會對冷凝瓶造成堵塞等影響后續(xù)エ藝的現(xiàn)象。下面將結(jié)合本實(shí)用新型實(shí)施例中的附圖，對本實(shí)用新型實(shí)施例中的技術(shù)方案進(jìn)行清楚、完整地描述，顯然，所描述的實(shí)施例僅僅是本實(shí)用新型一部分實(shí)施例，而不是全部的實(shí)施例。基于本實(shí)用新型中的實(shí)施例，本領(lǐng)域普通技術(shù)人員在沒有做出創(chuàng)造性勞動(dòng)前提下所獲得的所有其他實(shí)施例，都屬于本實(shí)用新型保護(hù)的范圍。請參考附圖3，本實(shí)用新型實(shí)施例提供的應(yīng)用于三溴化硼尾氣處理的冷凝瓶，包括瓶體4 ;在瓶體4 ー側(cè)開設(shè)進(jìn)氣ロ I ;在瓶體4對應(yīng)另ー側(cè)頂端開設(shè)出氣ロ 2 ;在瓶體4內(nèi)采用迷宮式排列的冷凝壁3。[0028]本實(shí)施例中提供的冷凝瓶工作過程如下氣體從進(jìn)氣ロ I進(jìn)入冷凝瓶瓶體4內(nèi)，三溴化硼氣體順著由冷凝壁3上下不定序排列組成的迷宮通道向出氣ロ 2移動(dòng)，在這個(gè)過程中，三溴化硼氣體逐漸被冷凝壁3冷卻，冷凝成氧化硼固體散落到瓶底。這樣不會對后續(xù)的氣體產(chǎn)生堵塞現(xiàn)象，很好的解決了該問題。為了進(jìn)一步優(yōu)化上述技術(shù)方案，上述實(shí)施例的冷凝瓶瓶體4采用臥式圓柱形。首先，臥式的放置方法可以使氣體通過該冷凝瓶的通道增長，冷凝時(shí)間更長，使冷凝更加充分；其次的圓柱形結(jié)構(gòu)制作成本也比其他長方形等結(jié)構(gòu)低。為了固定此臥式圓柱形結(jié)構(gòu)，可以制作一個(gè)穩(wěn)定半圓形結(jié)構(gòu)的底托。為了進(jìn)一步優(yōu)化上述技術(shù)方案，上述實(shí)施例的冷凝瓶在進(jìn)氣ロ I添加一段進(jìn)氣管道。一般該冷凝瓶出氣ロ I都與電偶配套管離得很近，進(jìn)氣ロ I就必須去避開電偶配套管，使進(jìn)氣ロI的開設(shè)位置相対死板。所以為進(jìn)氣ロ I添加一段較長的進(jìn)氣管道，這樣的結(jié)構(gòu)對開設(shè)ロ的位置就沒有了相対死板的要求。為了進(jìn)一步優(yōu)化上述技術(shù)方案，上述實(shí)施例的冷凝瓶的冷凝壁3材料采用石英材料，是由于石英是非常穩(wěn)定的材料，經(jīng)過高溫差與其他物質(zhì)也不發(fā)生反應(yīng)，所以冷凝效果會非常的穩(wěn)定。為了進(jìn)一步優(yōu)化上述技術(shù)方案，上述實(shí)施例的冷凝瓶的冷凝壁3結(jié)構(gòu)采用一上一下的交替順序排列，這樣的排列順序就可以使氣體在兩個(gè)冷凝壁3形成的空間的最上端到后續(xù)空間的最下端，再到最上端，如此循環(huán)，這樣就使氣體最長路線地通過整個(gè)冷凝瓶，使氣體經(jīng)過冷凝壁的冷凝時(shí)間也最長，進(jìn)而使冷凝效果達(dá)到最大化的發(fā)揮。為了進(jìn)一步優(yōu)化上述技術(shù)方案，上述實(shí)施例的冷凝瓶的冷凝壁3之間的距離相等，這樣使氣體的流速穩(wěn)定，不會因過短的冷凝壁3間距使氣體流速過急，冷凝時(shí)間過短，達(dá)不到冷凝充分的效果；也不會因過長的冷凝壁間3距使氣體的流速過緩，使冷凝時(shí)間過長，致使冷凝浪費(fèi)的結(jié)果。只有相同的間距，才會使其氣體流速相對平穩(wěn)，使冷凝效果達(dá)到最佳。對所公開的實(shí)施例的上述說明，使本領(lǐng)域?qū)I(yè)技術(shù)人員能夠?qū)崿F(xiàn)或使用本實(shí)用新 型。對這些實(shí)施例的多種修改對本領(lǐng)域的專業(yè)技術(shù)人員來說將是顯而易見的，本文中所定義的一般原理可以在不脫離本實(shí)用新型的精神或范圍的情況下，在其它實(shí)施例中實(shí)現(xiàn)。因此，本實(shí)用新型將不會被限制于本文所示的這些實(shí)施例，而是要符合與本文所公開的原理和新穎特點(diǎn)相一致的最寬的范圍。
權(quán)利要求1.一種應(yīng)用于三溴化硼尾氣處理的冷凝瓶，其特征在于，包括 瓶體⑷； 在所述瓶體(4) 一側(cè)開設(shè)進(jìn)氣口(I)； 在所述瓶體(4)對應(yīng)另一側(cè)頂端開設(shè)出氣口(2)； 在所述瓶體(4)內(nèi)采用迷宮式排列的冷凝壁(3)。
2.根據(jù)權(quán)利要求I所述的冷凝瓶，其特征在于，所述瓶體(4)為臥式圓柱形。
3.根據(jù)權(quán)利要求I所述的冷凝瓶，其特征在于，所述進(jìn)氣口(I)添加進(jìn)氣管道。
4.根據(jù)權(quán)利要求I所述的冷凝瓶，其特征在于，所述冷凝壁(3)為石英壁。
5.根據(jù)權(quán)利要求I所述的冷凝瓶，其特征在于，所述冷凝壁(3)采用一上一下交替的順序排列。
6.根據(jù)權(quán)利要求I和/或5所述的冷凝瓶，其特征在于，所述冷凝壁(3)之間的距離相等。
專利摘要本實(shí)用新型公開了一種應(yīng)用于三溴化硼尾氣處理的冷凝瓶，包括瓶體(4)；在所述瓶體(4)一側(cè)開設(shè)進(jìn)氣口(1)；在所述瓶體(4)對應(yīng)另一側(cè)頂端開設(shè)出氣口(2)；在所述瓶體(4)內(nèi)采用迷宮式排列的冷凝壁(3)。本冷凝瓶對三溴化硼的冷凝效果解決了大規(guī)模的生產(chǎn)維護(hù)周期短的難題，保證了連續(xù)的生產(chǎn)；同時(shí)由于冷凝材料由石英壁替代了原來上百數(shù)量的小巧石英圓管，所以成本上也就比原來的冷凝瓶有所降低。
文檔編號C01B35/06GK202376792SQ20112055584
公開日2012年8月15日 申請日期2011年12月27日 優(yōu)先權(quán)日2011年12月27日
發(fā)明者王志超 申請人:浚鑫科技股份有限公司