專利名稱：多晶或單晶硅廢料回用去膠工藝專用退火爐的制作方法
技術(shù)領(lǐng)域：
本實(shí)用新型涉及一種太陽能級(jí)硅原料處理裝置技術(shù)領(lǐng)域，尤其是一種多晶或單晶硅廢料回用去膠工藝專用退火爐。
背景技術(shù)：
多晶硅鑄錠和拉制單晶硅需要純度較高的原料，單晶硅錠和多晶硅錠切片過程中會(huì)產(chǎn)生單晶碎片和多晶碎片，單晶碎片和多晶碎片經(jīng)處理后可用于再次鑄造成多晶硅錠或拉制單晶硅，實(shí)現(xiàn)廢料的再次利用，有利于減少廢料污染，提高硅原料利用率，節(jié)約生產(chǎn)成本。單晶碎片和多晶碎片與其他原料有區(qū)別，碎片上具有切片工藝中殘留的膠水和粘膠條， 若不完全去除將導(dǎo)致多晶硅錠純度不達(dá)標(biāo)等問題。針對(duì)單晶碎片和多晶碎片，第一步進(jìn)行預(yù)清洗，去除灰塵等雜質(zhì)；第二步進(jìn)行去膠處理；第三步進(jìn)行堿洗；完成單晶碎片和多晶碎片的預(yù)處理，之后再通過酸洗、漂洗、超聲波溢流漂洗等工藝完成整個(gè)處理。常規(guī)的去膠處理，用水洗等方法，或用退火爐加熱燃燒去除可燃性雜質(zhì)?，F(xiàn)有的退火爐去膠效果差，不能完全去除可燃雜質(zhì)。

實(shí)用新型內(nèi)容本實(shí)用新型要解決的技術(shù)問題是為了解決現(xiàn)有技術(shù)中的不足，本實(shí)用新型提供一種多晶或單晶硅廢料回用去膠工藝專用退火爐，能充分去除廢料中的可燃性雜質(zhì)，達(dá)到投爐鑄錠或拉制單晶的生產(chǎn)要求。本實(shí)用新型解決其技術(shù)問題所采用的技術(shù)方案是一種多晶或單晶硅廢料回用去膠工藝專用退火爐，包括爐體及密封裝置、設(shè)置在爐體上的爐門及啟閉壓緊裝置、設(shè)置在爐體內(nèi)的臺(tái)車及臺(tái)車牽引機(jī)構(gòu)、加熱元件及固定裝置、風(fēng)冷裝置和溫度自動(dòng)控制系統(tǒng)，所述的爐體內(nèi)具有爐襯，爐體下方具有供臺(tái)車移動(dòng)的軌道；所述的爐門通過啟閉壓緊裝置安裝在爐體上；所述的臺(tái)車包括車架、堆砌在車架上的護(hù)襯砌體和放置原料的料盤，車架上具有在軌道上移動(dòng)的輪組和驅(qū)動(dòng)輪組的臺(tái)車牽引機(jī)構(gòu)，護(hù)襯砌體通過臺(tái)車的進(jìn)入與爐體的爐襯接觸密封連接，爐襯、護(hù)襯砌體和爐門組成密閉的爐腔；所述的加熱元件包括加熱爐絲，加熱爐絲通過固定裝置安裝在爐襯上和臺(tái)車的料盤下方；所述的風(fēng)冷裝置包括引風(fēng)機(jī)和管道， 爐體上具有開孔，開孔內(nèi)安裝與爐腔相通的管道，管道連接引風(fēng)機(jī)；所述的溫度自動(dòng)控制系統(tǒng)包括設(shè)置在爐體內(nèi)的測溫點(diǎn)和設(shè)置在爐體外部的監(jiān)控設(shè)備，監(jiān)控設(shè)備通過測溫點(diǎn)采集的數(shù)據(jù)信息控制加熱元件工作。所述的爐體內(nèi)的爐襯為全纖維折疊塊鑲裝結(jié)構(gòu)，爐襯的厚度為MO士20mm，所述的臺(tái)車的車架包括底板和包圍在底板四圍的側(cè)板，所述的護(hù)襯砌體包括底板上混合平鋪的硅藻土和輕質(zhì)磚，在硅藻土和輕質(zhì)磚上還砌筑有耐火層以及側(cè)板周圍砌筑的異型磚，耐火層上具有放置加熱爐絲的槽，耐火層上放置料盤。為使?fàn)t門更方便的啟閉，所述的啟閉壓緊裝置采用電動(dòng)葫蘆升降爐門，爐門傾斜設(shè)置通過自身重力與爐體壓緊密封連接。[0007]為實(shí)現(xiàn)臺(tái)車的移動(dòng)，所述的臺(tái)車牽引機(jī)構(gòu)包括電機(jī)、減速器和輸出齒輪，電機(jī)與減速器傳動(dòng)連接，輸出齒輪安裝在減速器的輸出軸上，車架上的輪組中的一個(gè)為主動(dòng)輪，所述的主動(dòng)輪上同軸安裝有從動(dòng)齒輪，輸出齒輪與從動(dòng)齒輪傳動(dòng)連接。作為優(yōu)選，所述的輸出齒輪與從動(dòng)齒輪通過鏈條傳動(dòng)連接。為防止臺(tái)車超出行程，所述的軌道的行程兩端極限處分別設(shè)有避免超行程行走的限位開關(guān)。為使臺(tái)車上的加熱爐絲接通電源，所述的臺(tái)車的車架上具有一對(duì)與臺(tái)車上加熱爐絲電連接的電極，爐體下方具有在臺(tái)車完全進(jìn)入爐體內(nèi)時(shí)與車架上的電極接通形成回路的供電電極。優(yōu)選加熱爐絲的固定方式，所述的加熱爐絲通過瓷螺釘均勻懸掛在爐體中兩側(cè)和后側(cè)的爐襯上。本實(shí)用新型的有益效果是，本實(shí)用新型的多晶或單晶硅廢料回用去膠工藝專用退火爐，節(jié)省了大量勞動(dòng)力，多晶或單晶硅廢料經(jīng)高溫退火處理后徹底去除粘膠條和膠水等可燃性雜質(zhì)，達(dá)到多晶硅鑄錠和拉制單晶硅的要求；具有冷卻裝置，排出爐體內(nèi)的熱量及已灰化的膠條和膠水，達(dá)到速冷的目的。
以下結(jié)合附圖和實(shí)施例對(duì)本實(shí)用新型進(jìn)一步說明。


圖1是本實(shí)用新型的多晶或單晶硅廢料回用去膠工藝專用退火爐的剖視圖；圖2是本實(shí)用新型的多晶或單晶硅廢料回用去膠工藝專用退火爐主視圖的半剖圖。圖中1.爐體，11.爐襯，12.軌道，13.供電電極，2.爐門，3.啟閉壓緊裝置，31.電動(dòng)葫蘆，4.臺(tái)車，41.車架，42.護(hù)襯砌體，43.料盤，44.輪組，45.電極，5.臺(tái)車牽引機(jī)構(gòu)， 51.鏈條，6.風(fēng)冷裝置，61.引風(fēng)機(jī)，62.管道。
具體實(shí)施方式
現(xiàn)在結(jié)合附圖對(duì)本實(shí)用新型作進(jìn)一步詳細(xì)的說明。這些附圖均為簡化的示意圖， 僅以示意方式說明本實(shí)用新型的基本結(jié)構(gòu)，因此其僅顯示與本實(shí)用新型有關(guān)的構(gòu)成。
圖1圖2是本實(shí)用新型的多晶或單晶硅廢料回用去膠工藝專用退火爐的最佳實(shí)施例，包括爐體1及密封裝置、設(shè)置在爐體1上的爐門2及啟閉壓緊裝置3、設(shè)置在爐體1內(nèi)的臺(tái)車4及臺(tái)車牽引機(jī)構(gòu)5、加熱元件及固定裝置、風(fēng)冷裝置6和溫度自動(dòng)控制系統(tǒng)，爐體1內(nèi)具有爐襯11，爐體1下方具有供臺(tái)車4移動(dòng)的軌道12 ；爐門2通過啟閉壓緊裝置3安裝在爐體1上；臺(tái)車4包括車架41、堆砌在車架41上的護(hù)襯砌體42和放置原料的料盤43，車架 41上具有在軌道12上移動(dòng)的輪組44和驅(qū)動(dòng)輪組44的臺(tái)車牽引機(jī)構(gòu)5，護(hù)襯砌體42通過臺(tái)車4的進(jìn)入與爐體1的爐襯11接觸密封連接，爐襯11、護(hù)襯砌體42和爐門2組成密閉的爐腔；加熱元件包括加熱爐絲，加熱爐絲通過 固定裝置均勻的安裝在爐襯11上和臺(tái)車4的料盤43下方；風(fēng)冷裝置6包括引風(fēng)機(jī)61和管道62，爐體1上具有開孔，開孔內(nèi)安裝與爐腔相通的管道62，管道62連接引風(fēng)機(jī)61 ；溫度自動(dòng)控制系統(tǒng)包括設(shè)置在爐體1內(nèi)的測溫點(diǎn)和設(shè)置在爐體1外部的監(jiān)控設(shè)備，監(jiān)控設(shè)備通過測溫點(diǎn)采集的數(shù)據(jù)信息控制加熱元件工作。[0019]爐體1內(nèi)的爐襯11為全纖維折疊塊鑲裝結(jié)構(gòu)，爐襯11的厚度為240 士 20mm，臺(tái)車 4的車架41包括底板和包圍在底板四圍的側(cè)板，護(hù)襯砌體42包括底板上混合平鋪的硅藻土和輕質(zhì)磚、在硅藻土和輕質(zhì)磚上砌筑的耐火層以及側(cè)板周圍砌筑的異型磚，耐火層上具有放置加熱爐絲的槽，耐火層上放置料盤43。 啟閉壓緊裝置3采用電動(dòng)葫蘆31升降爐門2，爐門2傾斜設(shè)置通過自身重力與爐體1壓緊密封連接。臺(tái)車牽引機(jī)構(gòu)5包括電機(jī)、減速器和輸出齒輪，電機(jī)與減速器傳動(dòng)連接，輸出齒輪安裝在減速器的輸出軸上，車架41上的輪組44中的一個(gè)為主動(dòng)輪，主動(dòng)輪上同軸安裝有從動(dòng)齒輪，輸出齒輪與從動(dòng)齒輪通過鏈條51傳動(dòng)連接。軌道12的行程兩端極限處分別設(shè)有避免超行程行走的限位開關(guān)。臺(tái)車4的車架41上具有一對(duì)與臺(tái)車4上加熱爐絲電連接的電極45，爐體1下方具有在臺(tái)車4完全進(jìn)入爐體1內(nèi)時(shí)與車架41上的電極45接通形成回路的供電電極13。加熱爐絲通過瓷螺釘均勻懸掛在爐體1中兩側(cè)和后側(cè)的爐襯11上。以上述依據(jù)本實(shí)用新型的理想實(shí)施例為啟示，通過上述的說明內(nèi)容，相關(guān)工作人員完全可以在不偏離本項(xiàng)實(shí)用新型技術(shù)思想的范圍內(nèi)，進(jìn)行多樣的變更以及修改。本項(xiàng)實(shí)用新型的技術(shù)性范圍并不局限于說明書上的內(nèi)容，必須要根據(jù)權(quán)利要求范圍來確定其技術(shù)性范圍。
權(quán)利要求1.一種多晶或單晶硅廢料回用去膠工藝專用退火爐，其特征在于包括爐體(1)及密封裝置、設(shè)置在爐體(1)上的爐門(2)及啟閉壓緊裝置(3)、設(shè)置在爐體(1)內(nèi)的臺(tái)車(4) 及臺(tái)車牽引機(jī)構(gòu)(5)、加熱元件及固定裝置、風(fēng)冷裝置(6)和溫度自動(dòng)控制系統(tǒng)，所述的爐體(1)內(nèi)具有爐襯(11)，爐體(1)下方具有供臺(tái)車(4)移動(dòng)的軌道(12)；所述的爐門(2)通過啟閉壓緊裝置(3)安裝在爐體(1)上；所述的臺(tái)車(4)包括車架(41)、堆砌在車架(41)上的護(hù)襯砌體(42)和放置原料的料盤(43)，車架(41)上具有在軌道(12)上移動(dòng)的輪組(44)和驅(qū)動(dòng)輪組(44)的臺(tái)車牽引機(jī)構(gòu) (5)，護(hù)襯砌體(42)通過臺(tái)車(4)的進(jìn)入與爐體(1)的爐襯(11)接觸密封連接，爐襯(11)、 護(hù)襯砌體(42)和爐門(2)組成密閉的爐腔；所述的加熱元件包括加熱爐絲，加熱爐絲通過固定裝置安裝在爐襯(11)上和臺(tái)車(4) 的料盤(43)下方；所述的風(fēng)冷裝置(6)包括引風(fēng)機(jī)(61)和管道(62)，爐體(1)上具有開孔，開孔內(nèi)安裝與爐腔相通的管道(62)，管道(62)連接引風(fēng)機(jī)(61)；所述的溫度自動(dòng)控制系統(tǒng)包括設(shè)置在爐體(1)內(nèi)的測溫點(diǎn)和設(shè)置在爐體(1)外部的監(jiān)控設(shè)備，監(jiān)控設(shè)備通過測溫點(diǎn)采集的數(shù)據(jù)信息控制加熱元件工作。
2.如權(quán)利要求1所述的多晶或單晶硅廢料回用去膠工藝專用退火爐，其特征是所述的爐體(1)內(nèi)的爐襯(11)為全纖維折疊塊鑲裝結(jié)構(gòu)，爐襯(11)的厚度為240 士 20mm，所述的臺(tái)車(4)的車架(41)包括底板和包圍在底板四圍的側(cè)板，所述的護(hù)襯砌體(42)包括底板上混合平鋪的硅藻土和輕質(zhì)磚、在硅藻土和輕質(zhì)磚上砌筑的耐火層以及側(cè)板周圍砌筑的異型磚，耐火層上具有放置加熱爐絲的槽，耐火層上放置料盤(43)。
3.如權(quán)利要求1所述的多晶或單晶硅廢料回用去膠工藝專用退火爐，其特征是所述的啟閉壓緊裝置(3)采用電動(dòng)葫蘆(31)升降爐門(2)，爐門(2)傾斜設(shè)置通過自身重力與爐體(1)壓緊密封連接。
4.如權(quán)利要求1所述的多晶或單晶硅廢料回用去膠工藝專用退火爐，其特征是所述的臺(tái)車牽引機(jī)構(gòu)(5)包括電機(jī)、減速器和輸出齒輪，電機(jī)與減速器傳動(dòng)連接，輸出齒輪安裝在減速器的輸出軸上，車架(41)上的輪組(44)中的一個(gè)為主動(dòng)輪，所述的主動(dòng)輪上同軸安裝有從動(dòng)齒輪，輸出齒輪與從動(dòng)齒輪傳動(dòng)連接。
5.如權(quán)利要求4所述的多晶或單晶硅廢料回用去膠工藝專用退火爐，其特征是所述的輸出齒輪與從動(dòng)齒輪通過鏈條(51)傳動(dòng)連接。
6.如權(quán)利要求1所述的多晶或單晶硅廢料回用去膠工藝專用退火爐，其特征是所述的軌道(12)的行程兩端極限處分別設(shè)有避免超行程行走的限位開關(guān)。
7.如權(quán)利要求1所述的多晶或單晶硅廢料回用去膠工藝專用退火爐，其特征是所述的臺(tái)車⑷的車架(41)上具有一對(duì)與臺(tái)車⑷上加熱爐絲電連接的電極(45)，爐體⑴下方具有在臺(tái)車(4)完全進(jìn)入爐體(1)內(nèi)時(shí)與車架(41)上的電極(45)接通形成回路的供電電極(13)。
8.如權(quán)利要求1所述的多晶或單晶硅廢料回用去膠工藝專用退火爐，其特征是所述的加熱爐絲通過瓷螺釘均勻懸掛在爐體(1)中兩側(cè)和后側(cè)的爐襯(11)上。
專利摘要本實(shí)用新型涉及一種多晶或單晶硅廢料回用去膠工藝專用退火爐，包括爐體及密封裝置、爐門及啟閉壓緊裝置、臺(tái)車及臺(tái)車牽引機(jī)構(gòu)、加熱元件及固定裝置、風(fēng)冷裝置和溫度自動(dòng)控制系統(tǒng)，本實(shí)用新型的多晶或單晶硅廢料回用去膠工藝專用退火爐，節(jié)省了大量勞動(dòng)力，碎片原料經(jīng)高溫退火處理后徹底去除粘膠條和膠水等可燃性雜質(zhì)，達(dá)到多晶硅鑄錠和拉制單晶硅的要求；具有冷卻裝置，排出爐體內(nèi)的熱量及已灰化的膠條和膠水，達(dá)到速冷的目的。
文檔編號(hào)C01B33/037GK202139059SQ20112027032
公開日2012年2月8日 申請(qǐng)日期2011年7月28日 優(yōu)先權(quán)日2011年7月28日
發(fā)明者周羅洪, 孫志蘭, 葛相麟 申請(qǐng)人:江蘇兆晶光電科技發(fā)展有限公司