專利名稱：利用脈石英生產(chǎn)超純石英砂的方法及高溫氯化裝置的制作方法
技術(shù)領(lǐng)域：
本發(fā)明涉及超純石英砂的生產(chǎn)方法及裝置，具體是利用脈石英生產(chǎn)超純石英砂的方法及高溫氯化裝置。背景技術(shù)：
高純石英砂，按我國原機(jī)械電子工業(yè)部的標(biāo)準(zhǔn)SJ32^，1-10中的規(guī)定=SiA含量一級SiA彡99. 95% ；二級SiA彡99. 90%，而超純石英砂的SiR含量 ^ 99. 999%，在天然石英砂品種中純度最高、質(zhì)量最好。超純石英砂具有耐高溫性能好、膨脹系數(shù)極小等特點(diǎn)，同時(shí)具有高度絕緣、耐腐蝕、壓電效應(yīng)好、諧振效應(yīng)好以及獨(dú)特的光學(xué)特性的優(yōu)點(diǎn)，主要應(yīng)用在光纖通信用石英管以及石英坩堝、航空航天、半導(dǎo)體石英玻璃、IT 核心技術(shù)產(chǎn)品-計(jì)算機(jī)芯片等領(lǐng)域；世界超純石英砂主要的生產(chǎn)廠家是美國的尤尼明公司 (UNIMIN)和通用電氣公司(GE)，其市場也被這兩家公司所壟斷；我國對超純石英砂需求量較大，目前還不具備工業(yè)化生產(chǎn)加工的能力。而超純石英砂是重要的戰(zhàn)略材料之一，直接關(guān)系到國家通信技術(shù)和產(chǎn)業(yè)、航空航天技術(shù)等的發(fā)展，各國限制技術(shù)出口。我國有大量石英砂資源，但是目前生產(chǎn)的高純石英砂，SiO2最高只能達(dá)到99. 996%，其生產(chǎn)工藝是原礦分選一破碎一煅燒一水淬一晾干一干法制砂一篩分一浮選一酸洗一水洗一烘干一磁選一檢驗(yàn)合格-產(chǎn)品。并且產(chǎn)品質(zhì)量不穩(wěn)、產(chǎn)量不高。要發(fā)展我國的相關(guān)高科技產(chǎn)業(yè)，突破外國在該領(lǐng)域的技術(shù)壁壘限制，防止優(yōu)質(zhì)資源大量浪費(fèi)，我國必須盡快進(jìn)行超純石英砂的生產(chǎn)工藝和設(shè)備進(jìn)行研究，并早日完成工業(yè)化生產(chǎn)，以滿足國內(nèi)對超純石英材料的需求。
發(fā)明內(nèi)容本發(fā)明的目的就是提供一種利用脈石英生產(chǎn)超純石英砂的方法及高溫氯化裝置，該方法從原料開始嚴(yán)格把關(guān)，并杜絕生產(chǎn)過程中的雜質(zhì)污染，采用專用的氯化裝置，從而確保其產(chǎn)品達(dá)到超純級。本發(fā)明中的超純石英砂生產(chǎn)方法是通過下列步驟實(shí)現(xiàn)的a.先對天然脈石英礦石用自來水進(jìn)行人工精選去雜、精洗，然后對其化學(xué)分析，選用二氧化硅含量大于99. 80% ；鋁含量小于0. 0050% ；灼燒失量小于0. 15%的潔白無可見雜質(zhì)的礦石作為原料；此料為精料1 ；b、對精料1進(jìn)行破碎，選取長度為30-50毫米大小的塊料置于酸洗池中，用重量百分濃度為18-25%鹽酸液浸沒浸泡M小時(shí)，放掉酸液，先用自來水沖洗礦石到pH = 6. 5-7. 0，再用去離子水洗至氯離子小于20ppm，浙干，再進(jìn)行人工精選去雜，此料為精料2 ；C、把精料2裝入以高純石英玻璃或高純石墨或鉬金或鉬銠合金材料作內(nèi)襯的煅燒爐中，先用氮?dú)獬M爐內(nèi)的空氣，在950-1450°C煅燒2-4小時(shí)；再把煅燒好后的塊料迅速送入有循環(huán)冷卻水的冷水池中進(jìn)行水淬；撈取水淬后的物料，再進(jìn)行人工精選去雜，此料為精料3 ；d、把精料3用鐵質(zhì)輪碾機(jī)或鐵質(zhì)磨砂機(jī)進(jìn)行濕法制砂、磁選、分級、重力選、精洗， 收集30-140目粒度區(qū)間的物料脫水；此料為精料4。e、把精料4放入專用的耐酸耐溫流化態(tài)提純酸洗裝置中的酸洗罐中，填裝量不超過酸洗罐容積的60-80%，以重量百分濃度為10%的氫氟酸或者是氫氟酸和重量百分濃度為30%的鹽酸的混合酸液，其中鹽酸氫氟酸=9 1(體積份比)循環(huán)酸洗運(yùn)行2-8小時(shí)，脫酸，酸洗后的物料為精料5 ；f、再把精料5放入水洗裝置中，先用自來水清洗至中性，然后用去離子水進(jìn)行精洗2-3次后脫水干燥；干燥后的物料為精料6 ；g、把精料6放入石英或石墨或鉬金或鉬銠合金作內(nèi)襯的煅燒爐中，用氮?dú)廒s盡爐內(nèi)的空氣，在950-1000°C的溫度下煅燒1-2小時(shí)，再放入循環(huán)的冷水池中水淬；然后進(jìn)行脫水，干燥，此料為精料7;h、把精料7再放入耐酸耐溫流化態(tài)提純酸洗裝置中的酸洗罐中，以重量百分濃度為20%的鹽酸或硝酸；或鹽酸和硝酸等份的混合酸液為酸洗液，在微負(fù)壓和80-100°C的溫度下，在流化態(tài)的狀態(tài)下保溫提純2-4小時(shí)，脫酸，水洗至中性，再分別用去離子水和電子級純水洗滌到其洗水的電阻率與電子級純水的電阻率相同后，脫水干燥；干燥后的物料為純度不低于 99. 99%，雜質(zhì) Al，F(xiàn)e，Cu，Ca，Mg，Co，Ni，Mn，K，Na，Li，B，P，Cr 的總含量小于 IOOppm的石英砂；此料為精料8 ；i、把精料8送入高溫氯化裝置中的流化態(tài)預(yù)熱罐中預(yù)熱，先用高純氮?dú)廒s盡罐內(nèi)的空氣，在微負(fù)壓的狀態(tài)下，通過啟動(dòng)罐體外石墨電極層加熱，當(dāng)溫度達(dá)600-800度時(shí)，將物料放入至已用高純氮?dú)廒s盡空氣的氯化罐中；并繼續(xù)給氯化罐加熱，當(dāng)氯化罐內(nèi)溫度達(dá)到1000度時(shí)，開啟真空系統(tǒng)，并開始通入氯氣氯化氫=1 1的混合氣體，開啟氣體除塵裝置，在1000-1250°C的溫度下氯化0. 5-2小時(shí)，再將氯化好的物料放入至流化冷卻罐中， 用鼓風(fēng)機(jī)送入經(jīng)多級凈化的潔凈的新鮮空氣對其流化冷卻至室溫后，用萬級潔凈度的容器包裝，即可得純度不低于99. 999%的超純石英砂；14種雜質(zhì)Al，F(xiàn)e，Cu，Ca，Mg，Co，Ni，Mn， K，Na，Li，B, P，Cr 的總含量不大于 10PPM ；其中 Al ( 6ppm。本發(fā)明中所用的耐酸耐溫流化態(tài)提純酸洗裝置，已于2011.5. 12向中國專利局提出發(fā)明專利申請，申請名稱為“一種高純度石英砂提純酸洗裝置”，申請?zhí)枮?201110121881. 9 ；目前該裝置已在企業(yè)順利實(shí)施。本發(fā)明中所用的所使用的高溫氯化裝置，包括氯化罐，在氯化罐上部設(shè)有預(yù)熱罐， 預(yù)熱罐頂部設(shè)有料倉，底部的出料管與氯化罐頂部的進(jìn)料管相連；在氯化罐下部設(shè)有冷卻罐，氯化罐底部的出料管與冷卻罐頂部的進(jìn)料管相連；所述的預(yù)熱管、氯化罐及冷卻罐上裝有真空管，并分別與各自的真空系統(tǒng)相連；氯化罐、預(yù)熱罐及冷卻罐外壁均設(shè)有保溫層； 所述氯化罐上還連接有氣體除塵裝置；其特征在于a.所述的氯化罐及預(yù)熱罐保溫層與罐體外壁之間設(shè)置有一石墨電極層；b.在氯化罐、預(yù)熱罐及冷卻罐內(nèi)下部均水平設(shè)置有微孔板，該微孔板與罐底之間形成一封閉空間，空間內(nèi)設(shè)有若干支撐柱；同時(shí)，氯化罐下部的封閉空間與C12、HC1氣體及N2輸送管相連通；預(yù)熱罐下部的封閉空間與N2輸送管相連通；冷卻罐下部的封閉空間與潔凈新鮮空氣管相連通。所述的微孔板是微孔石墨板或微孔石英玻璃板。預(yù)熱管、氯化罐及冷卻罐均用高純石英玻璃或高純石墨或鉬或鉬銠合金材料作內(nèi)襯。上述的石墨電極層，上部為正板，下部為負(fù)板，石墨電極層上裝有電源線；上述氯化罐所連接的氣體除塵裝置包括收塵器，及噴淋循環(huán)吸收裝置，本裝置是專門針對氯化過程中排出的石英粉和金屬氯化物而安裝的；為現(xiàn)有技術(shù)，吸收裝置內(nèi)裝有飽和Ca(OH)2溶液。
上述冷卻罐底部封閉空間內(nèi)進(jìn)入的潔凈新鮮空氣是經(jīng)過空氣過濾器處理后再由鼓風(fēng)機(jī)送入其內(nèi)的。本發(fā)明方法具有以下優(yōu)點(diǎn)1.先對脈石英礦物的化學(xué)成分進(jìn)行測試分析，杜絕了不合格的原料流入下一生產(chǎn)工序，從而確保了原礦的品質(zhì)，也為下道工序打好了質(zhì)量保證基礎(chǔ)。2.對破碎后的礦石進(jìn)行酸處理，減小了鐵質(zhì)和其他雜質(zhì)污染。3.用高純石英玻璃、 高純石墨、鉬金或鉬銠合金等材料作內(nèi)襯的煅燒爐，減小了煅燒過程中的污染。4.所用水淬池帶循環(huán)冷卻水裝置，確保了水淬的溫度。5.用鐵質(zhì)材料制砂，加上磁選和重力選，把鐵質(zhì)粉末和硫化礦物及其重金屬礦物控制在一定的范圍，減小了后處理的難度。6.用專用耐酸耐溫流化態(tài)提純酸洗裝置，不僅提高了酸洗的速度和效率，也確保了酸洗的質(zhì)量，還把溢出的酸性氣體進(jìn)行合理的回收和利用，使其生產(chǎn)過程無有毒有害氣體污染。7. 二次煅燒和酸洗確保了產(chǎn)品中的氣體包裹體及雜質(zhì)在可控制的范圍內(nèi)。8.最后用專用的高溫氯化裝置除雜的方法解決了酸洗除雜無法除去的堿金屬、堿土金屬和過渡元素金屬等的問題，從而確保其產(chǎn)品達(dá)到超純級。


圖1是本發(fā)明中使用的高溫氯化裝置結(jié)構(gòu)示意圖；圖2是本發(fā)明中使用的耐酸耐溫流化態(tài)提純酸洗裝置的總體結(jié)構(gòu)示意圖。圖1中，1-氯化罐，2-預(yù)熱罐，3-料倉，4-出料管，5_進(jìn)料管，6_冷卻罐，7_真空管， 8-保溫層，9-收塵器，10-噴淋循環(huán)吸收裝置，11-電極層，12-微孔板，13-支撐柱，H-Cl2, HCl氣體及隊(duì)輸送管，15-N2輸送管，16-潔凈新鮮空氣管，17-空氣過濾器，18-鼓風(fēng)機(jī)；圖2中，19-儲(chǔ)酸罐，20-酸液輸送管，21-耐酸泵，22-加熱裝置，23-防砂管，24-排放管，25-真空泵，26-緩沖罐，27-真空管，28-篩孔板，29-濾布，30-沖洗裝置，31-酸洗罐， 32-溢流管，33-沉砂池，34-排砂管，35-回流管。
具體實(shí)施例方式實(shí)施例1本實(shí)施例以湖南隆回鑫恒泰礦業(yè)有限公司所產(chǎn)的脈石英為原料。1.先對天然脈石英礦石用自來水進(jìn)行人工精選去雜、精洗后，對其主要理化指標(biāo)進(jìn)行化學(xué)分析，分析結(jié)果如下:Si02%:99. 82%,A1% :0. 0032%，灼燒失量:0. 12%外觀白色；此料為精料1 ；2.將精料1用顎式破碎機(jī)破碎，選取長度為30-50毫米的礦石放入酸洗池中，用重量百分濃度為18%的鹽酸浸沒浸泡M小時(shí)，如果是熱酸液，浸泡時(shí)間可以減少。放掉酸液，先用自來水沖洗礦石到PH = 6. 5-7. 0，再用去離子水洗至氯離子小于20ppm，浙干，再進(jìn)行人工精選去雜備用。此料為精料2 ；3.將精料2裝入高純石英玻璃做內(nèi)襯的煅燒爐中，用氮?dú)廒s盡爐內(nèi)的空氣，然后通電加熱，在溫度達(dá)到950度時(shí)開始計(jì)時(shí)，并在此溫度下保溫2小時(shí)，然后迅速打開出爐子底部出料口，讓煅燒好的物料，迅速流到有循環(huán)冷卻水的冷水池中進(jìn)行水淬，當(dāng)水淬池沒有水汽冒出，水溫不再上升時(shí)，水淬工序完成。水淬的物料含雜質(zhì)較多的地方炸裂且變得酥松，其硬度明顯降低；抽盡池中的水，取出水淬好的物料，再進(jìn)行人工精選去雜備用。此料為精料3 ； 4.將精料3用鐵質(zhì)輪碾機(jī)進(jìn)行濕法制砂，磁選，分級，重力選，精洗滌，收集30-140 目的石英砂，脫水后備用。此料為精料4;5.把精料4放入專用的耐酸(是指耐氫氟酸、氟硅酸、鹽酸、硝酸及其他們的復(fù)配的酸液)耐溫(是指在耐酸的前提下，在80-100°C能長期使用)流化態(tài)的提純酸洗裝置中的酸洗罐中(堆高60 80%即可)，(此裝置已于2011. 5. 12向中國專利局提出發(fā)明專利申請，申請名稱為“一種高純度石英砂提純酸洗裝置”，申請?zhí)枮?01110121881.9 ； 目前該裝置已在企業(yè)順利實(shí)施)，將重量百分濃度為10%的氫氟酸注入儲(chǔ)酸罐中，啟動(dòng)耐酸泵把儲(chǔ)酸罐中調(diào)配好的酸液送入加熱裝置中加熱后，經(jīng)輸送管進(jìn)入酸洗罐中的主管和分管，再經(jīng)多個(gè)噴頭噴入石英砂中，砂粒在酸液中呈時(shí)上時(shí)下的流化態(tài)運(yùn)動(dòng)，并在運(yùn)動(dòng)的過程中與熱酸液進(jìn)行直接熱量交換，同時(shí)熱酸液開始與雜質(zhì)進(jìn)行化學(xué)反應(yīng)，熱交換后的酸液繼續(xù)上升至酸洗罐的頂部通過溢流管流入沉砂池沉淀砂顆粒，除砂顆粒后的酸液從沉砂池的頂部的回流管進(jìn)入耐酸泵(或儲(chǔ)酸罐)，再經(jīng)酸泵送至加熱裝置加熱后進(jìn)入酸洗罐內(nèi)。如此循環(huán)的酸洗運(yùn)行2-8小時(shí)后，停止耐酸泵，用真空泵進(jìn)行真空脫除酸液，再把脫除酸液后的石英砂顆粒經(jīng)放砂管流出，脫除的熱酸液再重復(fù)使用。此時(shí)石英砂中所含的微量長石礦物、 氣體包裹體的二氧化硅外壁和其他雜質(zhì)等在熱酸液中加速溶解。脫酸后的物料為精料5。6.把脫除酸液后的砂子即精料5用自來水送到水洗裝置中，先用自來水洗至pH值為中性，再用去離子水精洗2-3次后脫水干燥。干燥后的物料為精料6 ；7.把精料6放入石英作內(nèi)襯的煅燒爐中，用氮?dú)廒s盡爐內(nèi)的空氣，在950°C的溫度下煅燒1小時(shí)，再迅速把砂子放入循環(huán)的冷水池中進(jìn)行第二次水淬，然后進(jìn)行脫水，干燥。 (此目的是使石英顆粒中的氣體包裹體在高溫下炸裂而使包裹的氣體溢出)此干燥料為精料7 ；8.把精料7再放入步驟5所述的流化態(tài)的提純酸洗裝置中，用重量百分濃度為 20%鹽酸為酸洗液，在微負(fù)壓和80°C的溫度下，在流化態(tài)的狀態(tài)下保溫提純2小時(shí)，然后停止供酸和加熱，開啟該裝置的真空脫酸系統(tǒng)脫除酸液；再把酸洗后的物料用自來水送入水洗裝置中洗至中性，再分別用去離子水和電子級純水進(jìn)行洗滌到其洗水的電阻率與電子級純水的電阻率相同后，脫水干燥。干燥后的石英砂為精料8;該精料8經(jīng)中國地質(zhì)大學(xué)(武漢)分析測試中心ICP-MS化學(xué)成分分析(ug/g)
權(quán)利要求
1.利用脈石英生產(chǎn)超純石英砂的方法，其特征在于包括下述步驟a、先對天然脈石英礦石用自來水進(jìn)行人工精選去雜、精洗，然后對其化學(xué)分析，選用二氧化硅含量大于99. 80% ；鋁含量小于0. 0050% ；灼燒失量小于0. 15%的潔白無可見雜質(zhì)的礦石作為原料；此料為精料1 ；b、對精料1進(jìn)行破碎，選取長度為30-50毫米大小的塊料置于酸洗池中，用重量百分濃度為18-25%鹽酸液浸沒浸泡M小時(shí)，放掉酸液，先用自來水沖洗礦石到pH=6. 5-7. 0，再用去離子水洗至氯離子小于20ppm，浙干，再進(jìn)行人工精選去雜，此料為精料2 ；c、把精料2裝入以高純石英玻璃或高純石墨或鉬金或鉬銠合金材料作內(nèi)襯的煅燒爐中，先用氮?dú)獬M爐內(nèi)的空氣，在950-1450°C煅燒2-4小時(shí)；再把煅燒好后的塊料迅速送入有循環(huán)冷卻水的冷水池中進(jìn)行水淬；撈取水淬后的物料，再進(jìn)行人工精選去雜，此料為精料 3 ；d、把精料3用鐵質(zhì)輪碾機(jī)或鐵質(zhì)磨砂機(jī)進(jìn)行濕法制砂、磁選、分級、重力選、精洗，收集 30-140目粒度區(qū)間的物料脫水；此料為精料4 ；e、把精料4放入專用的耐酸耐溫流化態(tài)提純酸洗裝置中的酸洗罐中，填裝量不超過酸洗罐容積的60-80%，以重量百分濃度為10%的氫氟酸或者是氫氟酸和重量百分濃度為30% 的鹽酸的混合酸液，其中鹽酸氫氟酸=9 1 (體積份比)循環(huán)酸洗運(yùn)行2-8小時(shí)，脫酸，酸洗后的物料為精料5;f、再把精料5放入水洗裝置中，先用自來水清洗至中性，然后用去離子水進(jìn)行精洗2-3 次后脫水干燥；干燥后的物料為精料6 ；g、把精料6放入石英或石墨或鉬金或鉬銠合金作內(nèi)襯的煅燒爐中，用氮?dú)廒s盡爐內(nèi)的空氣，在950-1000°C的溫度下煅燒1-2小時(shí)，再放入循環(huán)的冷水池中水淬；然后進(jìn)行脫水， 干燥，此料為精料7;h、把精料7再放入耐酸耐堿流化態(tài)提純酸洗裝置中的酸洗罐中，以重量百分濃度為 20%的鹽酸或硝酸；或鹽酸和硝酸等份的混合酸液為酸洗液，在微負(fù)壓和80-100°C的溫度下，在流化態(tài)的狀態(tài)下保溫提純2-4小時(shí)，脫酸，水洗至中性，再分別用去離子水和電子級純水洗滌到其洗水的電阻率與電子級純水的電阻率相同后，脫水干燥；干燥后的物料為純度不低于 99. 99%，雜質(zhì) Al, Fe, Cu, Ca, Mg, Co, Ni, Mn, K, Na, Li, B, P, Cr 的總含量小于 IOOppm 的石英砂；此料為精料8;i、把精料8送入高溫氯化裝置中的流化態(tài)預(yù)熱罐中預(yù)熱，先用高純氮?dú)廒s盡罐內(nèi)的空氣，在微負(fù)壓的狀態(tài)下，通過啟動(dòng)罐體外石墨電極層加熱，當(dāng)溫度達(dá)600-800度時(shí)，將物料放入至已用高純氮?dú)廒s盡空氣的氯化罐中；并繼續(xù)給氯化罐加熱，當(dāng)氯化罐內(nèi)溫度達(dá)到 1000度時(shí)，開啟真空系統(tǒng)，并開始通入氯氣氯化氫=1:1的混合氣體，開啟氣體除塵裝置， 在1000-1250°C的溫度下氯化0. 5-2小時(shí)，再將氯化好的物料放入至流化冷卻罐中，用鼓風(fēng)機(jī)送入經(jīng)多級凈化的潔凈的新鮮空氣對其流化冷卻至室溫后，用萬級潔凈度的容器包裝， 即可得純度不低于99. 999%的超純石英砂；14種雜質(zhì)Al, Fe, Cu, Ca, Mg, Co, Ni, Mn, K, Na, Li ，B, P, Cr的總含量不大于10PPM ；其中Al ( 6ppm。
2.如權(quán)利要求1中所述的利用脈石英生產(chǎn)超純石英砂所使用的高溫氯化裝置，包括氯化罐，在氯化罐上部設(shè)有預(yù)熱罐，預(yù)熱罐頂部設(shè)有料倉，底部的出料管與氯化罐頂部的進(jìn)料管相連；在氯化罐下部設(shè)有冷卻罐，氯化罐底部的出料管與冷卻罐頂部的進(jìn)料管相連；所述的預(yù)熱管、氯化罐及冷卻罐上裝有真空管，并分別與各自的真空系統(tǒng)相連；氯化罐、預(yù)熱罐及冷卻罐外壁均設(shè)有保溫層；所述氯化罐上還連接有氣體除塵裝置；其特征在于a.所述的氯化罐及預(yù)熱罐保溫層與罐體外壁之間設(shè)置有一石墨電極層；b.在氯化罐、預(yù)熱罐及冷卻罐內(nèi)下部均水平設(shè)置有微孔板，該微孔板與罐底之間形成一封閉空間，空間內(nèi)設(shè)有若干支撐柱；同時(shí)，氯化罐下部的封閉空間與C12、HC1氣體及N2輸送管相連通；預(yù)熱罐下部的封閉空間與N2輸送管相連通；冷卻罐下部的封閉空間與潔凈新鮮空氣管相連通。
3.根據(jù)權(quán)利要求2所述的利用脈石英生產(chǎn)超純石英砂所使用的高溫氯化裝置，其特征在于所述的微孔板是微孔石墨板或微孔石英玻璃板。
4.根據(jù)權(quán)利要求2或3所述的利用脈石英生產(chǎn)超純石英砂所使用的高溫氯化裝置，其特征在于預(yù)熱管、氯化罐及冷卻罐均用高純石英玻璃或高純石墨或鉬或鉬銠合金材料作內(nèi)襯。
全文摘要
利用脈石英生產(chǎn)超純石英砂的方法及高溫氯化裝置，包括選用二氧化硅含量大于99.80%，鋁含量小于0.0050%，灼燒失量小于0.15%的潔白無可見雜質(zhì)的礦石作為原料；再酸浸，水洗晾干，煅燒，水淬，濕法制砂、磁選、分級、重力選、精洗，脫水，酸洗，水洗，干燥，煅燒，水淬，脫水；再放入流化態(tài)提純酸洗裝置中提純，得純度不低于99.99%的石英砂；將此石英砂置于高溫氯化裝置中氯化0.5-2小時(shí)，冷卻后，用萬級潔凈度的容器包裝，即可得純度不低于99.999%的超純石英砂；本發(fā)明從原料開始把關(guān)，每一步驟中嚴(yán)格控制雜質(zhì)污染，并用專用熱酸液流化態(tài)提純酸洗裝置及高溫氯化裝置提純除雜，從而確保其產(chǎn)品達(dá)到超純級。
文檔編號C01B33/12GK102432022SQ201110248028
公開日2012年5月2日 申請日期2011年8月26日 優(yōu)先權(quán)日2011年8月26日
發(fā)明者田輝明 申請人:田輝明