專利名稱：一種三氯氫硅生產(chǎn)過程中吸收后的液體純化工藝的制作方法
技術(shù)領(lǐng)域：
本發(fā)明涉及一種液體純化工藝，尤其是一種三氯氫硅生產(chǎn)過程中吸收后的 液體純化工藝。
背景技術(shù)：
目前，在四氯化硅(SiC14)生產(chǎn)的三氯氫硅(SiHC13)，大多數(shù)廠家都是 初步解決三氯氫硅的純化，達不到直接生產(chǎn)高純多晶硅的要求。

發(fā)明內(nèi)容
本發(fā)明為解決四氯化硅(SiC14)生產(chǎn)的三氯氫硅乂SiHC13)達到含硼(B) 小于等于0.05ppb、磷(P)小于等于O. lppb，不能直接生產(chǎn)高純多晶硅的要求 的問題，提出一種三氯氫硅生產(chǎn)過程中吸收后的液體純化工藝。
本發(fā)明的技術(shù)方案①沉淀淋洗后液體進入到四氯化硅進料罐，重液體 沉淀后送入沉淀液罐中；②一次精餾沉淀后的液體進入到精餾塔中進行精餾， 精餾后的液體大部分作為回流液重新回到精餾塔中，少部分液體作為產(chǎn)品進入 到一級產(chǎn)品罐中，精餾塔內(nèi)高沸物進入高沸物罐后送到四氯化硅貯罐中；③二 次精餾 一級產(chǎn)品罐中的液體經(jīng)進入二級精餾塔中進行精餾，精餾后的液體大 部分作為回流液重新回到精餾塔中，少部分液體作為產(chǎn)品進入到二級產(chǎn)品罐中， 精餾塔內(nèi)高沸物進入高沸物貯罐后送到四氯化硅進料罐中，二級產(chǎn)品罐中的液 體由屏蔽泵進入純?nèi)葰涔栀A罐中；④四氯化硅精餾四氯化硅進料罐中液體 送入四氯化硅精餾塔中進行精餾，精餾后的液體大部分作為回流重新回到精餾塔中，少部分液體作為產(chǎn)品進入到四氯化硅產(chǎn)品罐后送入冷氫化裝置中重新利 用，高沸物送入到三廢液罐中。.
本發(fā)明的有益效果是使三氯氫硅(SiHC13)達到含硼(B)小于等于0. 05ppb、
磷(P)小于等于0.1ppb直接可以用于高純多晶硅的生產(chǎn)。
具體實施例方式
以下實施例用于說明本發(fā)明，但不用于限制本發(fā)明的范圍。
①沉淀淋洗后液體進入到四氯化硅進料罐，重液體沉淀后送入沉淀液罐 中；②一次精餾沉淀后的液體進入到精餾塔中進行精餾，精餾后的液體大部 分作為回流液重新回到精餾塔中，少部分液體作為產(chǎn)品進入到一級產(chǎn)品罐中， 精餾塔內(nèi)高沸物進入高沸物罐后送到四氯化硅貯罐中；③二次精餾 一級產(chǎn)品 罐中的液體經(jīng)進入二級精餾塔中進行精餾，精餾后的液體,大部分作為回流液重 新回到精餾塔中，少部分液體作為產(chǎn)品進入到二級產(chǎn)品罐中，精餾塔內(nèi)高沸物 進入高沸物貯罐后送到四氯化硅進料罐中，二級產(chǎn)品罐中的液體由屏蔽泵進入 純?nèi)葰涔栀A罐中；④四氯化硅精餾四氯化硅進料罐中液體送入四氯化硅精
餾塔中進行精餾，精餾后的液體大部分作為回流重新回到精餾塔中，少部分液 體作為產(chǎn)品進入到四氯化硅產(chǎn)品罐后送入冷氫化裝置中重新利用，高沸物送入 到三廢液罐中。
實施例2:
將淋洗吸收后的三氯氫硅純化，使產(chǎn)品達到含硼小于等于0.05卯b、磷小于 等于O. lppb規(guī)格的三氯氫硅。
權(quán)利要求
1、一種三氯氫硅生產(chǎn)過程中吸收后的液體純化工藝，其特征在于①沉淀淋洗后液體進入到四氯化硅進料罐，重液體沉淀后送入沉淀液罐中；②一次精餾沉淀后的液體進入到精餾塔中進行精餾，精餾后的液體大部分作為回流液重新回到精餾塔中，少部分液體作為產(chǎn)品進入到一級產(chǎn)品罐中，精餾塔內(nèi)高沸物進入高沸物罐后送到四氯化硅貯罐中；③二次精餾一級產(chǎn)品罐中的液體經(jīng)進入二級精餾塔中進行精餾，精餾后的液體大部分作為回流液重新回到精餾塔中，少部分液體作為產(chǎn)品進入到二級產(chǎn)品罐中，精餾塔內(nèi)高沸物進入高沸物貯罐后送到四氯化硅進料罐中，二級產(chǎn)品罐中的液體由屏蔽泵進入純?nèi)葰涔栀A罐中；④四氯化硅精餾四氯化硅進料罐中液體送入四氯化硅精餾塔中進行精餾，精餾后的液體大部分作為回流重新回到精餾塔中，少部分液體作為產(chǎn)品進入到四氯化硅產(chǎn)品罐后送入冷氫化裝置中重新利用，高沸物送入到三廢液罐中。
2、 根據(jù)權(quán)利要求1所述的一種三氯氫硅生產(chǎn)過程中吸收后的液體純化工藝，其特征在于將淋洗吸收后的三氯氫硅純化，使產(chǎn)品達到含硼小于等于0. 05ppb、磷小于等于0. lppb規(guī)格的三氯氫硅。
全文摘要
一種三氯氫硅生產(chǎn)過程中吸收后的液體純化工藝，包括沉淀；一次精餾；二次精餾四氯化硅精餾；精餾后的液體大部分作為回流重新回到精餾塔中，少部分液體作為產(chǎn)品進入到四氯化硅產(chǎn)品罐后送入冷氫化裝置中重新利用，高沸物送入到三廢液罐中。本發(fā)明使三氯氫硅(SiHCl3)達到含硼(B)小于等于0.05ppb、磷(P)小于等于0.1ppb直接可以用于高純多晶硅的生產(chǎn)。
文檔編號C01B33/107GK101665255SQ20091017233
公開日2010年3月10日 申請日期2009年9月30日 優(yōu)先權(quán)日2009年9月30日
發(fā)明者劉玉芹, 揚 張, 李占青, 楊海建, 麟 馬 申請人:洛陽世紀新源硅業(yè)科技有限公司