專利名稱：廢硫酸再循環(huán)裝置的制作方法
技術(shù)領(lǐng)域：
本發(fā)明涉及廢硫酸再循環(huán)裝置。
背景技術(shù)：
硫酸在各種的產(chǎn)業(yè)中以滿足其目的的級(jí)別(純度及濃度)被大量利用。這些硫酸在使用過后，通常進(jìn)行下述所示的處理。
(1)在產(chǎn)生工廠內(nèi)的廢水處理(中和處理)。
(2)由專業(yè)處理業(yè)者進(jìn)行收取、及廢水(中和)處理。
(3)在工廠內(nèi)作為中和劑再利用。
(4)在工廠內(nèi)或由再生處理專門業(yè)者進(jìn)行再生處理(蒸餾精制)。
(5)由專門業(yè)者進(jìn)行收取、及作為明礬(硫酸鋁)的原料再利用處理。
上述(1)的情況最多，但該情況下需要大量的堿性劑(消石灰)或各種廢水處理劑(例如無機(jī)凝聚劑、高分子凝聚劑或過氧化氫促分解劑等)，與之相伴，產(chǎn)生大量的污泥和廢水，因此在環(huán)境方面及資源方面不理想。關(guān)于上述(2)，除了在工廠以外處理廢硫酸以外，與上述(1)的情況同樣，產(chǎn)生大量的污泥和廢水，因此在環(huán)境方面及資源方面不理想。上述(3)的情況下，作為工廠內(nèi)的中和劑的需要少，結(jié)果對于多余部分需要與上述(1)或上述(2)的情況相同的處理，未必總是令人滿意的。另外，上述(4)的情況下，廢硫酸的再生需要大規(guī)模設(shè)備和能量，因此例如能量、成本、占地面積、安全性或操作等的實(shí)用方面的問題多，一般地幾乎未普及。上述(5)的情況下，廢硫酸幾乎未受到作為有價(jià)物質(zhì)的處理，通常有償出讓、或者以非常低的價(jià)格(約幾日元/Kg)銷售掉，而且該情況下的廢硫酸的使用率通常是廢硫酸的10質(zhì)量％以下，需要進(jìn)一步的改善。
上述的廢硫酸的處理方法由于廢硫酸的附加價(jià)值低，因此過去的廢硫酸的處理一般是在本公司工廠進(jìn)行、或向外部有償出讓。例如在半導(dǎo)體公司排出的廢硫酸中通常含有過氧化氫水百分之零點(diǎn)幾至百分之幾左右，因此，一般是在工廠內(nèi)(中和)廢水處理、或者作為中和劑利用，作為明礬的原料在工廠外被利用的情況也部分存在。無論哪種情況，即使再利用，也限于附加價(jià)值大幅度降低的逐級(jí)利用(僅為工業(yè)硫酸的替代物)。于是，期待在其他的制造工廠或公司能夠?qū)U硫酸有效利用作為附加價(jià)值高的材料的方法及其裝置。
本發(fā)明的目的是，提供以工業(yè)方式將廢硫酸有利地再循環(huán)、能夠作為附加價(jià)值高的再循環(huán)硫酸利用的廢硫酸再循環(huán)裝置。

發(fā)明內(nèi)容
本發(fā)明人為達(dá)到上述目的而刻苦研討的結(jié)果，成功地研制出廢硫酸再循環(huán)裝置，其特征是，該裝置是回收在排出源A排出的廢硫酸，用運(yùn)輸工具B將其運(yùn)輸，在利用點(diǎn)C使用從而將廢硫酸再循環(huán)的裝置，其具備收容(A)新鮮硫酸、和(B)與該新鮮硫酸的濃度不同的濃度的廢硫酸的接收容器，具備(1)混合機(jī)、(2)混合機(jī)及濃度測定裝置或冷卻裝置、或者(3)混合機(jī)、濃度測定裝置及冷卻裝置。在成功的同時(shí)，知道下述情況上述再循環(huán)裝置能夠以工業(yè)方式有利地用于廢硫酸的有效利用；采用該裝置再循環(huán)的硫酸的附加價(jià)值高；不是中和劑之類的在下游排出側(cè)利用，而是能夠作為種種工業(yè)制品的制造用原料再利用；以及能夠減輕環(huán)境負(fù)荷；等等，發(fā)現(xiàn)能夠一舉解決上述的傳統(tǒng)的課題。
本發(fā)明人得到所述的種種知識(shí)見解后，進(jìn)一步反復(fù)研討，完成了本發(fā)明。
即，本發(fā)明涉及(1)一種廢硫酸再循環(huán)裝置，其特征在于，該裝置是為了回收在排出源A排出的廢硫酸，用運(yùn)輸工具B將其運(yùn)輸，在利用點(diǎn)C使用，而將廢硫酸再循環(huán)的裝置，其具備收容(A)新鮮硫酸、和(B)與該新鮮硫酸的濃度不同濃度的廢硫酸的接收容器，具備(1)混合機(jī)、(2)混合機(jī)及濃度測定裝置或冷卻裝置、或者(3)混合機(jī)、濃度測定裝置及冷卻裝置。
(2)根據(jù)上述(1)記載的廢硫酸再循環(huán)裝置，其特征在于，接收容器是從同一或不同的接收口收容(A)新鮮硫酸、和(B)與該新鮮硫酸的濃度不同濃度的廢硫酸的容器，進(jìn)一步具備用于(A)上述新鮮硫酸和(B)上述廢硫酸的混合的循環(huán)管。
(3)根據(jù)上述(2)記載的廢硫酸再循環(huán)裝置，其特征在于，循環(huán)管進(jìn)一步具備冷卻裝置。
另外，本發(fā)明涉及(4)根據(jù)上述(1)記載的廢硫酸再循環(huán)裝置，其特征在于，廢硫酸的濃度是50-90質(zhì)量％，新鮮硫酸的濃度是70質(zhì)量％以上。
(5)根據(jù)上述(1)記載的廢硫酸再循環(huán)裝置，其特征在于，排出源A是半導(dǎo)體制造工廠或公司。
(6)根據(jù)上述(1)記載的廢硫酸再循環(huán)裝置，其特征在于，運(yùn)輸工具B是車輛或船舶。
(7)根據(jù)上述(1)記載的廢硫酸再循環(huán)裝置，其特征在于，利用點(diǎn)C是電氣·電子制品制造工廠或公司。
另外，本發(fā)明涉及(8)根據(jù)上述(1)記載的廢硫酸再循環(huán)裝置，進(jìn)一步設(shè)置了將(i)新鮮硫酸和廢硫酸的混合硫酸、和(ii)過氧化氫水和/或水混合的混合槽。
(9)一種廢硫酸的再循環(huán)方法，其特征在于，使用上述(1)記載的廢硫酸再循環(huán)裝置將廢硫酸再利用。
(10)一種再循環(huán)硫酸，其特征在于，是用上述(1)記載的廢硫酸再循環(huán)裝置再循環(huán)的硫酸。
(11)上述(10)記載的再循環(huán)硫酸用于工業(yè)制品制造的用途。
附圖的簡單說明圖1表示出以將上述廢硫酸和上述新鮮硫酸收容在同一接收容器中為特征的上述廢硫酸再循環(huán)裝置的優(yōu)選方案。
圖2表示出以在收容上述廢硫酸和上述新鮮硫酸的接收容器3中設(shè)置攪拌機(jī)為特征的上述廢硫酸再循環(huán)裝置的優(yōu)選方案。
圖3表示出以在獨(dú)立的接收容器3中收容上述廢硫酸和上述新鮮硫酸為特征的上述廢硫酸再循環(huán)裝置的優(yōu)選方案。
圖4表示出上述廢硫酸再循環(huán)裝置的優(yōu)選方案，其特征在于，是收容著廢硫酸的單獨(dú)的專用容器和接收容器的距離長的情況下，使用循環(huán)管混合上述廢硫酸和上述新鮮硫酸，在接收容器3中設(shè)置著冷卻裝置6。
實(shí)施發(fā)明的最佳方案本發(fā)明是一種廢硫酸再循環(huán)裝置，其特征在于，該裝置是回收在排出源A排出的廢硫酸，用運(yùn)輸工具B將其運(yùn)輸，在利用點(diǎn)C使用從而將廢硫酸再循環(huán)的裝置，具備收容(A)新鮮硫酸、和(B)與該新鮮硫酸的濃度不同濃度的廢硫酸的接收容器，具備(1)混合機(jī)、(2)混合機(jī)及濃度測定裝置或冷卻裝置、或者(3)混合機(jī)、濃度測定裝置及冷卻裝置。
本發(fā)明的裝置的優(yōu)點(diǎn)是，在回收在排出源A排出的廢硫酸，用運(yùn)輸工具B將其運(yùn)輸，在利用點(diǎn)C將其再利用的系統(tǒng)中使用。上述排出源A如果是排出上述廢硫酸的場所則無論怎樣的場所都可以。例如列舉出各種工業(yè)的工廠或公司等。作為上述各種工業(yè)，例如列舉出包括半導(dǎo)體在內(nèi)的電氣·電子、鋼鐵、藥品(例如無機(jī)藥品、有機(jī)藥品或醫(yī)藥品等)、纖維、肥料、金屬、礦山、造紙、純堿、機(jī)械、蓄電池或中和石膏等各種工業(yè)。在本發(fā)明中，上述排出源A優(yōu)選是廢硫酸的排出量多的工廠或公司，更優(yōu)選是電氣·電子工業(yè)、或者無機(jī)藥品、有機(jī)藥品或醫(yī)藥品等化學(xué)工業(yè)中的制品制造工廠或公司，最優(yōu)選是半導(dǎo)體制造工廠或公司。
上述廢硫酸如果是含有用H2SO4表示的化合物的則沒有限制。既可以是混有雜質(zhì)的硫酸，也可以是完全不混雜雜質(zhì)的硫酸。在本發(fā)明中，上述廢硫酸優(yōu)選是雜質(zhì)少的硫酸，更優(yōu)選是含有的重金屬的含量為約1ppm以下、含有的氯化物的含量為約10ppm以下的硫酸，最優(yōu)選是含有的重金屬的含量為約100ppb以下、含有的氯化物的含量為約1ppm以下的硫酸。上述廢硫酸的濃度只要不損害本發(fā)明目的就不特別限定。可以是超過0至100質(zhì)量％的范圍內(nèi)。在本發(fā)明中，廢硫酸的濃度高為好，更優(yōu)選是約50-90質(zhì)量％，最優(yōu)選是約60-90質(zhì)量％。
上述運(yùn)輸工具B如果是能運(yùn)輸上述廢硫酸的則可以是任何的運(yùn)輸工具。例如列舉出管線、車輛、船舶或航空器等。上述車輛如果是能在陸地上行走的則可以是任何的車輛。例如列舉出火車(例如貨物列車等)、電車(例如新干線等)或者汽車(例如油罐車、卡車或藥品集裝箱(drug container)運(yùn)輸車等)等。上述船舶如果是能在水上航行的則可以是任何的船舶。例如列舉出油輪、渡輪或艇等。上述航空器如果是能飛行的則可以是任何的航空器。例如舉出大型噴氣式飛機(jī)、貨機(jī)、輕型飛機(jī)、水上飛機(jī)或氣球等。在本發(fā)明中，上述運(yùn)輸工具B優(yōu)選是作為運(yùn)輸裝置適用范圍寬的運(yùn)輸工具，更優(yōu)選是車輛或船舶，最優(yōu)選是油罐車、卡車或藥品集裝箱運(yùn)輸車。
在本發(fā)明中使用的新鮮硫酸如果是精制的硫酸則可以是任何的硫酸。既可以是濃硫酸，也可以是稀硫酸。例如舉出電子工業(yè)級(jí)、醫(yī)藥級(jí)、試劑級(jí)、工業(yè)級(jí)或精制硫酸級(jí)等。在本發(fā)明中，上述新鮮硫酸優(yōu)選與上述廢硫酸有并用性、有低成本、均一/恒定的品質(zhì)，更優(yōu)選電子工業(yè)級(jí)、試劑級(jí)或精制硫酸級(jí)，最優(yōu)選電子工業(yè)級(jí)或試劑級(jí)。上述等級(jí)是指例如按照公知的方法精制了根據(jù)各種工業(yè)而使用的廢硫酸的精制硫酸。在本發(fā)明中，上述新鮮硫酸的濃度優(yōu)選是約70質(zhì)量％以上，更優(yōu)選是約75-98質(zhì)量％，最優(yōu)選是約80-98質(zhì)量％。在本發(fā)明中作為上述新鮮硫酸能夠使用市售品。作為這樣的市售品，能夠從位于東京都中央?yún)^(qū)的住友化學(xué)工業(yè)株式會(huì)社以硫酸的商品名得到。
在本發(fā)明中使用的接收容器只要是能夠收容(A)上述新鮮硫酸、和(B)與該新鮮硫酸的濃度不同濃度的上述廢硫酸的，則可以是任何的接收容器?？梢允菑耐换虿煌慕邮湛谑杖萆鲜鲂迈r硫酸和上述廢硫酸的容器。例如舉出槽、箱、盒、罐或瓶等。在本發(fā)明中，上述接收容器優(yōu)選是即使裝入液體也不變形的容器，進(jìn)一步優(yōu)選是上述接收容器的材質(zhì)不因酸而變化的容器，最優(yōu)選是材質(zhì)不因硫酸而劣化或不容易劣化的容器。另外，在本發(fā)明中能夠使用多個(gè)上述接收容器。
在本發(fā)明中使用的混合機(jī)只要能夠混合上述新鮮硫酸和上述廢硫酸則可以是任何的混合機(jī)。也可以是公知的混合機(jī)。例如舉出容器旋轉(zhuǎn)型、機(jī)械攪拌型、流動(dòng)攪拌型或無攪拌型等的混合機(jī)。作為上述容器旋轉(zhuǎn)型的混合機(jī)，例如舉出使用容器自身旋轉(zhuǎn)和/或振動(dòng)而混合的裝置的混合機(jī)等。作為上述機(jī)械攪拌型的混合機(jī)，例如舉出使用采用攪拌葉片攪拌、混合的裝置的混合機(jī)或者使用循環(huán)泵的混合機(jī)等。機(jī)械攪拌型混合機(jī)包括管道混合器。作為上述流動(dòng)攪拌型例如舉出使用采用空氣或氣體攪拌而混合的裝置的混合機(jī)等。作為上述無攪拌型的混合機(jī)，例如舉出利用并流的混合機(jī)、利用重力流動(dòng)和分流板或管分割流路而混合的混合機(jī)等。在本發(fā)明中，優(yōu)選是采用循環(huán)管進(jìn)行的混合。
在本發(fā)明中使用的濃度測定裝置只要能夠測定硫酸的濃度則可以是任何的測定裝置。也可以是公知的測定裝置。例如舉出使用從折射率測定、中和滴定、水分測定(例如Karl Fischer法或蒸發(fā)殘余物法等)、超聲波(音速)測定、吸光度測定、比重(密度)測定、粘度測定、pH測定及電位差滴定等中選擇的1種以上的測定裝置的濃度計(jì)等。在本發(fā)明中，上述濃度測定裝置從測定的快慢和精度、測定裝置的價(jià)格及大小、或者操作性方面考慮優(yōu)選是使用從超聲波(音速)、密度(振動(dòng)型)、折射率、比重、pH及吸光度中選擇的至少1種以上的測定裝置的濃度計(jì)。另外，上述濃度測定裝置也可以是便攜型的濃度計(jì)。在本發(fā)明中，可以使用多個(gè)上述濃度測定裝置，使用多個(gè)上述濃度測定裝置的場合，也可以分別在多個(gè)部位使用。既可以在排出廢硫酸的工廠或公司(排出源A)使用上述濃度測定裝置，也可以在運(yùn)輸廢硫酸的運(yùn)輸工具B上使用上述濃度測定裝置。如果是排出廢硫酸的工廠或公司則無論哪里都可以使用上述濃度測定裝置。另外，能夠采用上述濃度測定裝置調(diào)查上述廢硫酸和上述新鮮硫酸在混合時(shí)的濃度變化。
在本發(fā)明中使用的冷卻裝置，只要能夠冷卻上述廢硫酸和上述新鮮硫酸的混合物則可以是任何的冷卻裝置。也可以是使用公知的冷卻裝置的冷卻裝置。例如舉出冷卻器等。作為上述公知的冷卻裝置，例如舉出使用水、冰水或液氮等液體狀態(tài)冷卻材料、或者冰或干冰等固體冷卻材料等的冷卻裝置或自然冷卻(例如包括循環(huán)空冷)等。在本發(fā)明中，上述冷卻裝置優(yōu)選是使用液態(tài)冷卻材料的冷卻裝置，更優(yōu)選是使用水的冷卻裝置。冷卻裝置可以在循環(huán)管和容器或混合槽的任一方上具備，但最優(yōu)選在循環(huán)管上具備。能夠利用上述冷卻裝置抑制濃度不同的硫酸的混合導(dǎo)致的水合熱等的發(fā)熱。
在本發(fā)明中，上述再循環(huán)裝置優(yōu)選是進(jìn)一步具備選自泵、管、閥及混合槽的1種以上的再循環(huán)裝置。上述泵如果是在壓力的作用下吸取或送出液體或氣體的機(jī)械則可以是任何的機(jī)械。也可以是公知的泵，例如舉出往復(fù)泵、旋轉(zhuǎn)泵、離心泵、軸流泵或噴射泵等。上述管如果是管狀的則怎樣的都可以。也可以是公知的，例如舉出金屬管、塑料管、橡膠管或陶管等。上述閥例如如果是能夠調(diào)節(jié)在管等中流動(dòng)的氣體或液體的出入或流動(dòng)方向的裝置則怎樣的都可以，也可以是公知的閥。上述混合槽如果是能夠混合(i)新鮮硫酸和廢硫酸的混合硫酸、和(ii)過氧化氫水或/和水的混合槽則怎樣的都可以。也可以是公知的，例如舉出槽、箱、盒、罐或瓶等。在本發(fā)明中，優(yōu)選采用上述混合槽，根據(jù)利用點(diǎn)C的要求，調(diào)整上述新鮮硫酸和上述廢硫酸的混合硫酸的硫酸濃度，更優(yōu)選在該濃度的調(diào)整中使用過氧化氫水或/和水作為稀釋劑，最優(yōu)選在該濃度的調(diào)整中使用過氧化氫水或水作為稀釋劑。
在本發(fā)明中，通過將上述廢硫酸再循環(huán)裝置設(shè)置收容(A)上述新鮮硫酸、和(B)與該新鮮硫酸的濃度不同濃度的上述廢硫酸的上述接收容器，并使該容器具備(1)上述混合機(jī)、(2)上述混合機(jī)及上述濃度測定裝置或上述冷卻裝置、或者(3)上述混合機(jī)、上述濃度測定裝置及上述冷卻裝置，能夠制造非常適合于回收在上述排出源A排出的廢硫酸，將其用上述運(yùn)輸工具B運(yùn)輸，在利用點(diǎn)C使用的系統(tǒng)的廢硫酸再循環(huán)裝置。
所述裝置可以設(shè)置在上述排出源A、運(yùn)輸工具B或利用點(diǎn)C的任何一方，但優(yōu)選設(shè)置在利用點(diǎn)C。
以下用


本發(fā)明的優(yōu)選方案。
圖1表示出上述廢硫酸再循環(huán)裝置，其特征在于，是具備接收容器3、泵2a、2b、閥5a、5b、濃度計(jì)7、冷卻裝置6及槽8的上述廢硫酸再循環(huán)裝置，將上述廢硫酸和上述新鮮硫酸收容在同一接收容器中。圖1的廢硫酸再循環(huán)裝置所使用的上述新鮮硫酸的硫酸濃度優(yōu)選是約80-100質(zhì)量％，更優(yōu)選是約85-99.9999質(zhì)量％，最優(yōu)選是約95-99質(zhì)量％。另外，圖1的廢硫酸再循環(huán)裝置所使用的上述廢硫酸的硫酸濃度優(yōu)選是約0-99質(zhì)量％，更優(yōu)選是約40-99質(zhì)量％，最優(yōu)選是約60-99質(zhì)量％。
在圖1中，設(shè)置著泵2a及接收容器3，用上述管連結(jié)。因此，能夠用泵2a將通過運(yùn)輸工具1運(yùn)輸?shù)纳鲜鰪U硫酸收容在接收容器3中，另外，上述新鮮硫酸也能夠通過泵2a收容在接收容器3中。在接收容器3上設(shè)置著溫度計(jì)4。用上述管連結(jié)著接收容器3、泵2b、閥5a、5b及槽8，這些連結(jié)體構(gòu)成循環(huán)管。通過使泵2b工作、開啟閥5a、關(guān)閉閥5b，使接收容器3所收容的上述廢硫酸及上述新鮮硫酸循環(huán)，利用此循環(huán)管使上述新鮮硫酸和上述廢硫酸循環(huán)，可均勻混合。在從閥5a到接收容器3為止的上述管上設(shè)置著冷卻裝置6及濃度計(jì)7，能夠在混合過程中進(jìn)行冷卻及濃度測定。當(dāng)用溫度計(jì)4測定的溫度高于設(shè)定溫度時(shí)，能夠采用冷卻裝置6進(jìn)行冷卻。在本發(fā)明中，也可以采用CPU等自動(dòng)控制溫度計(jì)4和冷卻裝置6。上述設(shè)定溫度可以是根據(jù)上述接收容器的種類等適宜設(shè)定的溫度。
當(dāng)用濃度計(jì)7測定的硫酸的濃度達(dá)到所規(guī)定的濃度時(shí)，通過開啟閥5b、關(guān)閉閥5a，上述廢硫酸和上述新鮮硫酸的混合液從閥5b通過，可將通過閥5b的上述混合液收容在槽8中。上述所規(guī)定的濃度可以是根據(jù)上述廢硫酸的再利用用途等適宜設(shè)定的濃度。另外，在本發(fā)明中，優(yōu)選使用用濃度計(jì)7測定的測定結(jié)果作為計(jì)算用其他的藥品或水等混合時(shí)的藥品供給量的參考。用上述循環(huán)管混合后，根據(jù)要求用槽8進(jìn)行硫酸濃度的調(diào)整。該硫酸濃度的調(diào)整中，如果硫酸濃度高于預(yù)先設(shè)定的濃度，則混合過氧化氫水或/和水稀釋硫酸。稀釋所使用的過氧化氫水或/和水的添加量優(yōu)選是以來自于設(shè)置在上述循環(huán)泵上的濃度計(jì)的數(shù)據(jù)為基礎(chǔ)算出的量。添加上述稀釋劑時(shí)，優(yōu)選進(jìn)行上述混合液和上述過氧化氫水或/和水的混合。從上述說明明確，槽8為貯存槽，同時(shí)是混合槽。另外，在本發(fā)明中，優(yōu)選槽8通過上述管等與制造管線連結(jié)。
圖2表示出上述廢硫酸再循環(huán)裝置，其特征在于，是具備接收容器3、泵2c、2d、攪拌機(jī)9、冷卻裝置6、濃度計(jì)7及閥5c的上述廢硫酸再循環(huán)裝置，在收容上述廢硫酸和上述新鮮硫酸的接收容器3中設(shè)置著濃度計(jì)7、攪拌機(jī)9及冷卻裝置6。圖2的廢硫酸再循環(huán)裝置所使用的上述新鮮硫酸的硫酸濃度與上述圖1的場合同樣。另外，圖2的廢硫酸再循環(huán)裝置所使用的上述廢硫酸的硫酸濃度通常是約80質(zhì)量％以下。
在圖2中，用上述管連結(jié)著泵2c和接收容器3。因此，能夠用泵2c將通過運(yùn)輸工具1運(yùn)輸?shù)纳鲜鰪U硫酸收容在接收容器3中，上述新鮮硫酸也能夠使用泵2c收容在接收容器3中。在接收容器3中設(shè)置著冷卻裝置6、濃度計(jì)7及攪拌機(jī)9。因此，在接收容器中，能夠采用攪拌機(jī)9進(jìn)行混合，能夠采用冷卻裝置6進(jìn)行冷卻，能夠采用濃度計(jì)7進(jìn)行濃度測定。另外，接收容器3用上述管與閥5c連結(jié)，當(dāng)采用濃度計(jì)7測定的硫酸濃度達(dá)到所規(guī)定的濃度時(shí)，通過使泵2d工作、開啟閥5c，被再循環(huán)的廢硫酸通過閥5c被再利用。上述所規(guī)定的濃度與上述圖1同樣。在本發(fā)明中，優(yōu)選使用上述管等從閥5c與利用點(diǎn)C的制造管線等連結(jié)。
圖3表示出上述廢硫酸再循環(huán)裝置，其特征在于，是具備接收容器3、泵2e、2d、2f、2g、管、閥5d、5e、槽8、冷卻裝置6及濃度計(jì)7的上述再循環(huán)裝置，上述廢硫酸和上述新鮮硫酸被收容在獨(dú)立的接收容器3中。圖3的廢硫酸再循環(huán)裝置所使用的上述廢硫酸及新鮮硫酸的硫酸濃度與上述圖1的場合同樣。另外，圖3的廢硫酸再循環(huán)裝置所使用的上述廢硫酸的硫酸濃度與上述圖2的場合同樣。
在圖3中，用上述管連結(jié)著泵2e、2d、接收容器3、閥5d及槽8。另外，用上述管連結(jié)著泵2f、2g、接收容器3、閥5e及槽8。因此，使泵2e工作，能夠?qū)⑼ㄟ^運(yùn)輸工具1運(yùn)輸?shù)纳鲜鰪U硫酸收容在接收容器3中，通過開啟閥5d，使泵2d工作，能夠?qū)⑸鲜鰪U硫酸收容在槽8中。另外，使泵2f工作，能夠?qū)⑸鲜鲂迈r硫酸收容在接收容器3中，通過開啟閥5e，使泵2g工作，能夠?qū)⑸鲜鲂迈r硫酸收容在槽8中。在本發(fā)明中，優(yōu)選在槽8中利用上述廢硫酸和上述新鮮硫酸的并流進(jìn)行混合。在槽8中設(shè)置著冷卻裝置6及濃度計(jì)7，當(dāng)溫度變高時(shí)，能夠采用冷卻裝置6進(jìn)行冷卻，能夠通過濃度計(jì)7的濃度測定確認(rèn)是否是所規(guī)定的濃度，如果是所規(guī)定的濃度，則被再循環(huán)的硫酸可被再利用。上述所規(guī)定的濃度與上述圖1同樣。在本發(fā)明中，優(yōu)選使用上述管等從槽8與制造管線等連結(jié)。槽8為混合槽，同時(shí)是貯存槽。
圖4表示出上述廢硫酸再循環(huán)裝置，其特征在于，是具備接收容器3、泵2h、2i、管、閥5f、5g、5h、5i、5j、濃度計(jì)7及冷卻裝置6的上述廢硫酸再循環(huán)裝置，使用循環(huán)管混合上述廢硫酸和上述新鮮硫酸，在接收容器3中設(shè)置著冷卻裝置6。圖4的廢硫酸再循環(huán)裝置所使用的上述新鮮硫酸的硫酸濃度及上述廢硫酸與上述圖1的場合同樣。
在圖4中，用上述管連結(jié)著泵2h、閥5f、5g、5h及接收容器3。因此，使泵2h工作，開啟閥5f、5g、5h，能夠?qū)⑼ㄟ^運(yùn)輸工具1運(yùn)輸?shù)纳鲜鰪U硫酸收容在接收容器3中。即使上述廢硫酸通過運(yùn)輸工具1用單獨(dú)的專用容器運(yùn)輸?shù)那闆r，即上述容器和接收容器的距離長的情況下，也能夠用上述管連結(jié)閥5f、5g、5h、泵2h及接收容器3。因此，使泵2h工作，開啟閥5f、5g、5h，能夠?qū)⑸鲜鲂迈r硫酸收容在接收容器3中。用上述管連結(jié)著接收容器3、泵2i、閥5i、5j，這些連結(jié)體構(gòu)成循環(huán)管。通過使泵2i工作、開啟閥5i、關(guān)閉閥5j，使被接收容器3收容的上述廢硫酸及上述新鮮硫酸循環(huán)，通過該循環(huán)管使上述新鮮硫酸和上述廢硫酸混流，從而可混合。另外，在接收容器3中設(shè)置著冷卻裝置6及濃度計(jì)7，在接收容器3內(nèi)采用冷卻裝置6進(jìn)行冷卻，采用濃度計(jì)7進(jìn)行濃度測定。當(dāng)經(jīng)濃度計(jì)7測定確認(rèn)為所規(guī)定的濃度時(shí)，關(guān)閉閥5i、開啟閥5j，被再循環(huán)的硫酸可被再利用。上述所規(guī)定的濃度與上述圖1同樣。在本發(fā)明中，優(yōu)選使用上述管等從閥5j與利用點(diǎn)C的制造管線等連結(jié)。
上述廢硫酸再循環(huán)裝置，回收在上述排出源A排出的廢硫酸，將其用上述運(yùn)輸工具B運(yùn)輸，在利用點(diǎn)C使用，因此作為將廢硫酸再循環(huán)的裝置使用。
上述利用點(diǎn)C如果是能夠使用將上述廢硫酸再循環(huán)的硫酸的場所則怎樣的場所都可以。例如可舉出電氣·電子(包括顯象管、基片公司)、鋼鐵、無機(jī)藥品、有機(jī)藥品、醫(yī)藥品、纖維、肥料、金屬、礦山、造紙、純堿、機(jī)械、蓄電池或中和石膏等各種領(lǐng)域的制造工廠或公司等。在本發(fā)明中，上述利用點(diǎn)C優(yōu)選是電氣·電子、鋼鐵、無機(jī)藥品、有機(jī)藥品的各種工業(yè)的工廠或公司，更優(yōu)選是電氣·電子制品制造工廠或公司，最優(yōu)選是半導(dǎo)體制造工廠或公司。更具體講，上述用點(diǎn)C優(yōu)選是基片制造工廠(銅箔的蝕刻液)、顯象管制造工廠(光刻膠掩模用剝離液)、或鍍敷工廠，更優(yōu)選是將硫酸和過氧化氫水的混合液作為洗滌液或剝離液使用的基片制造工廠。在本發(fā)明中，優(yōu)選在上述利用點(diǎn)C將由上述廢硫酸再循環(huán)的上述廢硫酸作為金屬成分去除、光刻膠剝離、基片的蝕刻或表面處理劑利用，更優(yōu)選混合過氧化氫水及根據(jù)需要的水作為洗滌液或剝離液利用，而且，進(jìn)一步由于廢液的供給量有變化，故最優(yōu)選考慮到穩(wěn)定供給，與上述新鮮硫酸并用。
產(chǎn)業(yè)實(shí)用性根據(jù)本發(fā)明，能提供一種廢硫酸再循環(huán)裝置，可謀求用于處理廢硫酸的廢水處理劑的削減、和在廢水處理時(shí)產(chǎn)生的污泥和廢水的降低，能夠以工業(yè)方式有利地將廢硫酸再循環(huán)，作為附加價(jià)值高的再循環(huán)硫酸利用。
權(quán)利要求書(按照條約第19條的修改)1.一種廢硫酸再循環(huán)裝置，其特征在于，該裝置是為了回收在排出源A排出的廢硫酸，將其用運(yùn)輸工具B運(yùn)輸，在利用點(diǎn)C使用，而將廢硫酸再循環(huán)的裝置，其具備收容(A)新鮮硫酸、和(B)與該新鮮硫酸的濃度不同的濃度的廢硫酸的接收容器，具備(1)混合機(jī)、(2)混合機(jī)及濃度測定裝置或冷卻裝置、或者(3)混合機(jī)、濃度測定裝置及冷卻裝置。
2.根據(jù)權(quán)利要求1記載的廢硫酸再循環(huán)裝置，其特征在于，接收容器是從同一或不同的接收口收容(A)新鮮硫酸、和(B)與該新鮮硫酸的濃度不同濃度的廢硫酸的容器，進(jìn)一步具備用于(A)上述新鮮硫酸和(B)上述廢硫酸的混合的循環(huán)管。
3.根據(jù)權(quán)利要求2記載的廢硫酸再循環(huán)裝置，其特征在于，循環(huán)管進(jìn)一步具備冷卻裝置。
4.根據(jù)權(quán)利要求1記載的廢硫酸再循環(huán)裝置，其特征在于，廢硫酸的濃度是50-90質(zhì)量％，新鮮硫酸的濃度是70質(zhì)量％以上。
5.根據(jù)權(quán)利要求1記載的廢硫酸再循環(huán)裝置，其特征在于，排出源A是半導(dǎo)體制造工廠或公司。
6.根據(jù)權(quán)利要求1記載的廢硫酸再循環(huán)裝置，其特征在于，運(yùn)輸工具B是車輛或船舶。
7.根據(jù)權(quán)利要求1記載的廢硫酸再循環(huán)裝置，其特征在于，利用點(diǎn)C是電氣·電子制品制造工廠或公司。
8.根據(jù)權(quán)利要求1記載的廢硫酸再循環(huán)裝置，進(jìn)一步設(shè)置了將(i)新鮮硫酸和廢硫酸的混合硫酸、和(ii)過氧化氫水和/或水混合的混合槽。
9.一種廢硫酸的再循環(huán)方法，其特征在于，使用權(quán)利要求1記載的廢硫酸再循環(huán)裝置將廢硫酸再利用。
權(quán)利要求
1.一種廢硫酸再循環(huán)裝置，其特征在于，該裝置是為了回收在排出源A排出的廢硫酸，將其用運(yùn)輸工具B運(yùn)輸，在利用點(diǎn)C使用，而將廢硫酸再循環(huán)的裝置，其具備收容(A)新鮮硫酸、和(B)與該新鮮硫酸的濃度不同的濃度的廢硫酸的接收容器，具備(1)混合機(jī)、(2)混合機(jī)及濃度測定裝置或冷卻裝置、或者(3)混合機(jī)、濃度測定裝置及冷卻裝置。
2.根據(jù)權(quán)利要求1記載的廢硫酸再循環(huán)裝置，其特征在于，接收容器是從同一或不同的接收口收容(A)新鮮硫酸、和(B)與該新鮮硫酸的濃度不同濃度的廢硫酸的容器，進(jìn)一步具備用于(A)上述新鮮硫酸和(B)上述廢硫酸的混合的循環(huán)管。
3.根據(jù)權(quán)利要求2記載的廢硫酸再循環(huán)裝置，其特征在于，循環(huán)管進(jìn)一步具備冷卻裝置。
4.根據(jù)權(quán)利要求1記載的廢硫酸再循環(huán)裝置，其特征在于，廢硫酸的濃度是50-90質(zhì)量％，新鮮硫酸的濃度是70質(zhì)量％以上。
5.根據(jù)權(quán)利要求1記載的廢硫酸再循環(huán)裝置，其特征在于，排出源A是半導(dǎo)體制造工廠或公司。
6.根據(jù)權(quán)利要求1記載的廢硫酸再循環(huán)裝置，其特征在于，運(yùn)輸工具B是車輛或船舶。
7.根據(jù)權(quán)利要求1記載的廢硫酸再循環(huán)裝置，其特征在于，利用點(diǎn)C是電氣·電子制品制造工廠或公司。
8.根據(jù)權(quán)利要求1記載的廢硫酸再循環(huán)裝置，進(jìn)一步設(shè)置了將(i)新鮮硫酸和廢硫酸的混合硫酸、和(ii)過氧化氫水和/或水混合的混合槽。
9.一種廢硫酸的再循環(huán)方法，其特征在于，使用權(quán)利要求1記載的廢硫酸再循環(huán)裝置將廢硫酸再利用。
10.一種再循環(huán)硫酸，其特征在于，是用權(quán)利要求1記載的廢硫酸再循環(huán)裝置再循環(huán)的硫酸。
11.權(quán)利要求10記載的再循環(huán)硫酸用于工業(yè)制品制造的用途。
全文摘要
提供一種廢硫酸再循環(huán)裝置，其將廢硫酸以工業(yè)方式有利地再循環(huán)，能夠作為附加價(jià)值高的再循環(huán)硫酸利用。本發(fā)明的廢硫酸再循環(huán)裝置，其特征在于，該裝置是回收在排出源A排出的廢硫酸，將其用運(yùn)輸工具B運(yùn)輸，在利用點(diǎn)C使用從而將廢硫酸再循環(huán)的裝置，具備收容(A)新鮮硫酸、和(B)與該新鮮硫酸的濃度不同濃度的廢硫酸的接收容器，具備(1)混合機(jī)、(2)混合機(jī)及濃度測定裝置或冷卻裝置、或者(3)混合機(jī)、濃度測定裝置及冷卻裝置。
文檔編號(hào)C01B17/90GK1745035SQ20038010947
公開日2006年3月8日 申請日期2003年11月28日 優(yōu)先權(quán)日2002年12月2日
發(fā)明者稻垣靖史 申請人:索尼株式會(huì)社