一種拋光機用修正輪的制作方法
【專利摘要】本實用新型公開了一種拋光機用修正輪，包括球墨鑄鐵輪體和金剛石磨片，輪體的中間設(shè)有軸孔，輪體的外緣設(shè)有輪齒，六個金剛石磨片間隔均布呈倒三角形構(gòu)成一個修正單元，輪體的一側(cè)環(huán)形表面上周向間隔均勻設(shè)置有若干個修正單元。其通過優(yōu)化結(jié)構(gòu)，可對用于拋光晶片工藝上的拋光革盤面進行效果極佳的修整，保證修整后的盤面平整度好，修整效率高。
【專利說明】
一種拋光機用修正輪
技術(shù)領(lǐng)域
[0001]本實用新型涉及拋光機的修整裝置技術(shù)領(lǐng)域，尤其是涉及一種拋光機用修正輪。
【背景技術(shù)】
[0002]金剛石或者鑄鐵修整輪用于修正磨盤的平面度及平整度，經(jīng)過一段時間的研磨拋光之后，需要對磨盤進行修正，以保持磨盤的質(zhì)量。金剛石修整輪的底座多采用不銹鋼，表面鑲嵌有金剛石顆粒。鑄鐵修正輪采用球墨鑄鐵材質(zhì)，外緣帶有輪齒，正反面開有刮研槽，多用于鑄鐵平臺的修磨。在拋光晶片工藝上，晶片的平面度和平行度很大程度上取決于拋光盤面的平整度，如果采用普通的球墨鑄鐵修正輪對粘有拋光革的盤面進行修整，則獲得的盤面平整度相當(dāng)差，修整效率極低。
【實用新型內(nèi)容】
[0003]本實用新型針對現(xiàn)有技術(shù)的不足，所要解決的技術(shù)問題是提供一種拋光機用修正輪，其通過優(yōu)化結(jié)構(gòu)，可對用于拋光晶片工藝上的拋光革盤面進行效果極佳的修整，保證修整后的盤面平整度好，修整效率高。
[0004]本實用新型是通過以下技術(shù)方案使上述技術(shù)問題得以解決。
[0005]—種拋光機用修正輪，包括球墨鑄鐵輪體和金剛石磨片，輪體的中間設(shè)有軸孔，輪體的外緣設(shè)有輪齒，六個金剛石磨片間隔均布呈倒三角形構(gòu)成一個修正單元，輪體的一側(cè)環(huán)形表面上周向間隔均勻設(shè)置有若干個修正單元。
[0006]作為優(yōu)選，修正單元設(shè)有12個。
[0007]作為優(yōu)選，輪體的另一側(cè)環(huán)形表面上周向均勻開設(shè)有若干個刮研槽。進一步優(yōu)選，刮研槽設(shè)有六個。
[0008]作為優(yōu)選，輪體的厚度為25mm至40mm。
[0009]作為優(yōu)選，金剛石磨片通過兩液混合硬化膠粘接在輪體上。
[0010]本實用新型的有益效果:
[0011]1.在球墨鑄鐵輪體的環(huán)形表面上設(shè)置由金剛石磨片構(gòu)成的修正單元，通過特殊結(jié)構(gòu)設(shè)計的倒三角形修正單元能夠?qū)τ糜趻伖饩に嚿系膾伖飧锉P面進行效果極佳的修整，提高了修整效率，實現(xiàn)了高質(zhì)量的盤面平整度。
[0012]2.采用兩液混合硬化膠粘接結(jié)構(gòu)，環(huán)保無毒，粘接強度高，韌性好，耐油、耐水性優(yōu)良，耐高低溫，耐大氣老化。
[0013]3.輪體的另一側(cè)設(shè)有刮研槽，可實現(xiàn)原有對鑄鐵平臺的修磨功能。
【附圖說明】
[0014]圖1是本實用新型的主視結(jié)構(gòu)不意圖；
[00?5]圖2是本實用新型的側(cè)視結(jié)構(gòu)不意圖。
[0016]圖中:1-輪體，2-金剛石磨片，3-軸孔，4-輪齒。
【具體實施方式】
[0017]下面通過實施例并結(jié)合附圖對本實用新型進行詳細的說明。
[0018]如圖1和圖2所示的本實用新型一種拋光機用修正輪，包括球墨鑄鐵輪體I和金剛石磨片2，輪體I的厚度優(yōu)選在25_至40mm，輪體I的中間設(shè)有軸孔3，輪體I的外緣設(shè)有輪齒
4。六個金剛石磨片2間隔均布呈倒三角形構(gòu)成一個修正單元，輪體I的一側(cè)環(huán)形表面上周向間隔均勻設(shè)置有若干個修正單元，圖中所示實施例為修正單元設(shè)有12個。可選擇將金剛石磨片2通過兩液混合硬化膠粘接在輪體I上，這種結(jié)構(gòu)粘接強度高，韌性好，環(huán)保無毒。通過特殊結(jié)構(gòu)設(shè)計的倒三角形修正單元能夠?qū)τ糜趻伖饩に嚿系膾伖飧锉P面進行效果極佳的修整，提高了修整效率，實現(xiàn)了高質(zhì)量的盤面平整度。還可以在輪體I的另一側(cè)環(huán)形表面上周向均勻開設(shè)若干個刮研槽，優(yōu)選設(shè)置刮研槽為六個。這樣可以實現(xiàn)對鑄鐵平臺的修磨功能，使得該修正輪具有一物兩用的多功能性，應(yīng)用靈活。
[0019]本實用新型不局限于以上所述的優(yōu)選實施方式，基于本領(lǐng)域的技術(shù)人員所能夠獲知的公知技術(shù)或者采用現(xiàn)有技術(shù)中所能夠等效替換的各種變形及更改的實施方式，凡是基于本實用新型的精神或者技術(shù)構(gòu)思，均應(yīng)包含在本實用新型的保護范圍之內(nèi)。
【主權(quán)項】
1.一種拋光機用修正輪，其特征是:包括球墨鑄鐵輪體(I)和金剛石磨片(2)，輪體(I)的中間設(shè)有軸孔(3)，輪體(I)的外緣設(shè)有輪齒(4)，六個金剛石磨片(2)間隔均布呈倒三角形構(gòu)成一個修正單元，輪體(I)的一側(cè)環(huán)形表面上周向間隔均勻設(shè)置有若干個修正單元。2.根據(jù)權(quán)利要求1所述的拋光機用修正輪，其特征是:修正單元設(shè)有12個。3.根據(jù)權(quán)利要求1所述的拋光機用修正輪，其特征是:輪體(I)的另一側(cè)環(huán)形表面上周向均勻開設(shè)有若干個刮研槽。4.根據(jù)權(quán)利要求3所述的拋光機用修正輪，其特征是:刮研槽設(shè)有六個。5.根據(jù)權(quán)利要求1所述的拋光機用修正輪，其特征是:輪體(I)的厚度為25mm至40mmo6.根據(jù)權(quán)利要求1所述的拋光機用修正輪，其特征是:金剛石磨片(2)通過兩液混合硬化膠粘接在輪體(I)上。
【文檔編號】B24B53/06GK205520954SQ201620227482
【公開日】2016年8月31日
【申請日】2016年3月23日
【發(fā)明人】陳時興, 丁國平, 唐新桂
【申請人】嘉興百盛光電有限公司