磁控濺射鍍膜線的屏蔽冷卻系統(tǒng)的制作方法
【技術(shù)領(lǐng)域】
[0001]本發(fā)明涉及一種磁控濺射鍍膜線的屏蔽冷卻系統(tǒng)，屬于大面積磁控濺射鍍膜生產(chǎn)設(shè)備。
【背景技術(shù)】
[0002]對(duì)于連續(xù)式真空磁控濺射鍍膜玻璃生產(chǎn)線來(lái)說，在鍍膜過程中，陰極濺射會(huì)產(chǎn)生一定的濺射物和熱量，而這些濺射物長(zhǎng)期積累在真空腔室內(nèi)不僅會(huì)影響熱量的傳導(dǎo)，而且還會(huì)影響鍍膜腔室內(nèi)的鍍膜環(huán)境，從而對(duì)鍍膜質(zhì)量產(chǎn)生一定的影響，所以在鍍膜時(shí)會(huì)希望將陰極產(chǎn)生的濺射物及時(shí)清理，同時(shí)也希望陰極產(chǎn)生的熱量盡快傳導(dǎo)出去。

【發(fā)明內(nèi)容】

[0003]本發(fā)明旨在解決鍍膜時(shí)陰極產(chǎn)生的濺射物的清理問題和陰極產(chǎn)生熱量的傳導(dǎo)問題。
[0004]為了達(dá)成上述目的，提供了一種磁控濺射鍍膜線的屏蔽冷卻系統(tǒng)，包括屏蔽板、銅編織帶、冷卻管、底架、及連接板，所述連接板通過螺釘將所述底架連接起來(lái)，所述冷卻管通過螺栓固定至所述底架，所述冷卻管固定有所述銅編織帶，所述屏蔽板通過螺釘安裝在所述冷卻管上，所述銅編織帶緊密壓在所述屏蔽板和所述冷卻管之間，由此，所述銅編織帶使所述屏蔽板和所述冷卻管緊密貼合，從而增加傳熱面積。
[0005]一些實(shí)施例中，所述連接板通過螺釘將所述底架連接在一起，由此保證該裝置兩側(cè)處于同一水平面以增加其支撐的穩(wěn)定性。
[0006]一些實(shí)施例中，所述冷卻管通過螺栓固定在所述底架的上表面。
[0007]—些實(shí)施例中，所述銅編織帶固定在所述冷卻管的上表面，由此有效增加傳熱面積。
[0008]—些實(shí)施例中，所述屏蔽板設(shè)為有效吸附陰極濺射物，同時(shí)隔絕陰極濺射物吸附在所述冷卻管的表面。
[0009]根據(jù)本發(fā)明的磁控濺射鍍膜線的屏蔽冷卻系統(tǒng)，屏蔽板吸附大量的熱量，通過銅編織帶傳導(dǎo)給冷卻管，利于鍍膜時(shí)的散熱。同時(shí)，屏蔽板也能吸附大量的陰極濺射物，防止濺射物擴(kuò)散至整個(gè)鍍膜室，污染鍍膜環(huán)境，保證了鍍膜的質(zhì)量，同時(shí)能有效的阻擋陰極濺射物吸附到冷卻管的表面，影響其散熱效果。
[0010]以下結(jié)合附圖，通過示例說明本發(fā)明主旨的描述，以清楚本發(fā)明的其他方面和優(yōu)點(diǎn)。
【附圖說明】
[0011]結(jié)合附圖，通過下文的詳細(xì)說明，可更清楚地理解本發(fā)明的上述及其他特征和優(yōu)點(diǎn)，其中:
[0012]圖1為根據(jù)本發(fā)明實(shí)施例的磁控濺射鍍膜線的屏蔽冷卻系統(tǒng)的結(jié)構(gòu)示意圖。
【具體實(shí)施方式】
[0013]參見本發(fā)明具體實(shí)施例的附圖，下文將更詳細(xì)地描述本發(fā)明。然而，本發(fā)明可以以許多不同形式實(shí)現(xiàn)，并且不應(yīng)解釋為受在此提出之實(shí)施例的限制。相反，提出這些實(shí)施例是為了達(dá)成充分及完整公開，并且使本技術(shù)領(lǐng)域的技術(shù)人員完全了解本發(fā)明的范圍。
[0014]現(xiàn)參考附圖詳細(xì)說明根據(jù)本發(fā)明實(shí)施例的磁控濺射鍍膜線的屏蔽冷卻系統(tǒng)。
[0015]如圖所示，根據(jù)本發(fā)明實(shí)施例的磁控濺射鍍膜線的屏蔽冷卻系統(tǒng)，包括屏蔽板1、銅編織帶2、，冷卻管3、底架4、連接板5。連接板5通過螺釘將底架4連接起來(lái)，冷卻管3通過螺栓固定在底架4上表面，在冷卻管3的上表面固定一層銅編織帶2，屏蔽板I通過螺釘安裝在冷卻管3上，銅編織帶2緊密壓在屏蔽板I和冷卻管3之間。其特征在于:銅編織帶2能有效的使屏蔽板I和冷卻管3緊密貼合，增加傳熱面積，達(dá)到更好的冷卻效果；
[0016]連接板5通過螺釘將底架4連接在一起，保證該裝置兩側(cè)處于同一水平面，并且能增加其支撐的穩(wěn)定性。冷卻管3通過螺栓固定在底架4上表面。
[0017]銅編織帶2固定在冷卻管3的上表面，能有效的增加傳熱面積。屏蔽板I通過螺釘安裝在冷卻管3上，將銅編織帶2緊密壓在屏蔽板I和冷卻管3之間，屏蔽板I能有效的吸附陰極濺射物，同時(shí)也能隔絕陰極濺射物吸附在冷卻管3的表面，影響其散熱作用。
[0018]連接板5通過螺釘將底架4連接起來(lái)，增加整個(gè)結(jié)構(gòu)的穩(wěn)定性，冷卻管3通過螺栓固定在底架4上表面，保證其在同一水平面上，在冷卻管3的上表面固定一層銅編織帶2，屏蔽板I通過螺釘安裝在冷卻管3上，使銅編織帶2緊密壓在屏蔽板I和冷卻管3之間。
[0019]底架4通過螺釘將連接板5連接在其下表面，冷卻管3通過螺栓固定在底架4上表面，在冷卻管3的上表面固定一層銅編織帶2，屏蔽板I通過螺釘安裝在冷卻管3上，將銅編織帶2緊密壓在屏蔽板I和冷卻管3之間。底架4與連接板5的連接能保證該裝置的穩(wěn)定性，并且使其兩側(cè)處于同一水平面，利于屏蔽板I與銅編織帶2的貼合，同時(shí)銅編織帶2與屏蔽板I和冷卻管3的緊密貼合，能有效增加傳熱面積，達(dá)到更好的冷卻效果。
[0020]根據(jù)本發(fā)明的磁控濺射鍍膜線的屏蔽冷卻系統(tǒng)，屏蔽板吸附大量的熱量，通過銅編織帶傳導(dǎo)給冷卻管，利于鍍膜時(shí)的散熱。同時(shí)，屏蔽板也能吸附大量的陰極濺射物，防止濺射物擴(kuò)散至整個(gè)鍍膜室，污染鍍膜環(huán)境，保證了鍍膜的質(zhì)量，同時(shí)能有效的阻擋陰極濺射物吸附到冷卻管的表面，影響其散熱效果。
[0021]以上詳細(xì)描述了本發(fā)明的較佳具體實(shí)施例。應(yīng)當(dāng)理解，本領(lǐng)域的普通技術(shù)人員無(wú)需創(chuàng)造性勞動(dòng)就可以根據(jù)本發(fā)明的構(gòu)思做出諸多修改和變化。凡本技術(shù)領(lǐng)域中技術(shù)人員依本發(fā)明的構(gòu)思在現(xiàn)有技術(shù)的基礎(chǔ)上通過邏輯分析、推理或者有限的實(shí)驗(yàn)可以得到的技術(shù)方案，皆應(yīng)在由權(quán)利要求書所確定的保護(hù)范圍內(nèi)。
【主權(quán)項(xiàng)】
1.一種磁控濺射鍍膜線的屏蔽冷卻系統(tǒng)，其特征在于，包括屏蔽板、銅編織帶、冷卻管、底架、及連接板，所述連接板通過螺釘將所述底架連接起來(lái)，所述冷卻管通過螺栓固定至所述底架，所述冷卻管固定有所述銅編織帶，所述屏蔽板通過螺釘安裝在所述冷卻管上，所述銅編織帶緊密壓在所述屏蔽板和所述冷卻管之間，由此，所述銅編織帶使所述屏蔽板和所述冷卻管緊密貼合，從而增加傳熱面積。2.根據(jù)權(quán)利要求1所述的屏蔽冷卻系統(tǒng)，其特征在于，所述連接板通過螺釘將所述底架連接在一起，由此保證該裝置兩側(cè)處于同一水平面以增加其支撐的穩(wěn)定性。3.根據(jù)權(quán)利要求2所述的屏蔽冷卻系統(tǒng)，其特征在于，所述冷卻管通過螺栓固定在所述底架的上表面。4.根據(jù)權(quán)利要求3所述的屏蔽冷卻系統(tǒng)，其特征在于，所述銅編織帶固定在所述冷卻管的上表面，由此有效增加傳熱面積。5.根據(jù)權(quán)利要求4所述的屏蔽冷卻系統(tǒng)，其特征在于，所述屏蔽板有效吸附陰極濺射物，同時(shí)隔絕陰極濺射物吸附在所述冷卻管的表面。
【專利摘要】提供了一種磁控濺射鍍膜線的屏蔽冷卻系統(tǒng)，包括屏蔽板、銅編織帶、冷卻管、底架、及連接板，連接板通過螺釘將底架連接起來(lái)，冷卻管通過螺栓固定至底架，冷卻管固定有銅編織帶，屏蔽板通過螺釘安裝在冷卻管上，銅編織帶緊密壓在屏蔽板和冷卻管之間，由此，銅編織帶使屏蔽板和冷卻管緊密貼合，從而增加傳熱面積。根據(jù)本發(fā)明的磁控濺射鍍膜線的屏蔽冷卻系統(tǒng)，屏蔽板吸附大量的熱量，通過銅編織帶傳導(dǎo)給冷卻管，利于鍍膜時(shí)的散熱。同時(shí)，屏蔽板也能吸附大量的陰極濺射物，防止濺射物擴(kuò)散至整個(gè)鍍膜室，污染鍍膜環(huán)境，保證了鍍膜的質(zhì)量，同時(shí)能有效的阻擋陰極濺射物吸附到冷卻管的表面，影響其散熱效果。
【IPC分類】C23C14/35
【公開號(hào)】CN105063564
【申請(qǐng)?zhí)枴緾N201510478853
【發(fā)明人】井治, 張仰平, 劉銳, 羅松松, 張超群, 王程
【申請(qǐng)人】中國(guó)建材國(guó)際工程集團(tuán)有限公司
【公開日】2015年11月18日
【申請(qǐng)日】2015年8月7日