亚洲成年人黄色一级片,日本香港三级亚洲三级,黄色成人小视频,国产青草视频,国产一区二区久久精品,91在线免费公开视频,成年轻人网站色直接看

脈沖激光淀積裝置的制作方法

文檔序號(hào):3398852閱讀:384來(lái)源:國(guó)知局
專利名稱:脈沖激光淀積裝置的制作方法
技術(shù)領(lǐng)域
本實(shí)用新型涉及新型薄膜制備技術(shù),具體地說(shuō)是一種脈沖激光淀積設(shè)備。
脈沖激光淀積(PLD)是80年代后發(fā)展起來(lái)的新型薄膜制作技術(shù),80年代末期,脈沖寬度為幾十個(gè)納米,瞬時(shí)功率可達(dá)GW的準(zhǔn)分子紫外激光器已經(jīng)問(wèn)世,強(qiáng)激光能將固態(tài)物質(zhì)熔化并蒸發(fā),蒸發(fā)物淀積在襯底上沉積成膜,通常采用的設(shè)備為筒形,轉(zhuǎn)靶不分公轉(zhuǎn)、自轉(zhuǎn),效率低,噪聲大,經(jīng)常出現(xiàn)“卡死”現(xiàn)象。
為了克服上述不足,本實(shí)用新型的目的是提供一種設(shè)計(jì)合理、工作方便、效率高、噪聲低的脈沖激光淀積裝置。
為了實(shí)現(xiàn)上述目的,本實(shí)用新型的技術(shù)方案是由真空室、轉(zhuǎn)靶機(jī)構(gòu)、樣品架、加熱爐、離子槍和真空抽氣裝置組成,其特征在于其中所述真空室為球形,所述轉(zhuǎn)靶機(jī)構(gòu)和樣品架分別通過(guò)法蘭安裝在真空室里,其樣品架與轉(zhuǎn)靶機(jī)構(gòu)相對(duì)放置,并在一個(gè)中心線上,所述真空室球體上設(shè)有多個(gè)法蘭窗,其中兩個(gè)法蘭窗在激光入射束與轉(zhuǎn)靶機(jī)構(gòu)靶面相交45°角處,于樣品架兩側(cè),另安裝一把清洗樣品用離子槍于轉(zhuǎn)靶機(jī)構(gòu)一側(cè)的真空室球體上,所述加熱爐通過(guò)穿過(guò)真空室球體上的法蘭設(shè)在樣品架兩個(gè)磁力軸中間,真空室底部與真空抽氣裝置接通;所述轉(zhuǎn)靶機(jī)構(gòu)由公轉(zhuǎn)機(jī)械軸、自轉(zhuǎn)磁力軸、固定支架、公轉(zhuǎn)架、靶位和靶檔板組成,其中所述由電機(jī)驅(qū)動(dòng)的自轉(zhuǎn)磁力軸與公轉(zhuǎn)機(jī)械軸分別通過(guò)真空室球體上的法蘭安裝在固定支架上,于真空室球體內(nèi),在公轉(zhuǎn)機(jī)械軸末端設(shè)有公轉(zhuǎn)架,公轉(zhuǎn)架上通過(guò)加裝齒輪軸周向均布靶位多個(gè),所述自轉(zhuǎn)磁力軸末端通過(guò)齒輪與公轉(zhuǎn)架上的齒輪嚙合,所述靶檔板安裝在自轉(zhuǎn)磁力軸上,于靶位前方;所述加裝加熱爐的樣品架由安裝在真空室球體上的兩個(gè)磁力軸、樣品檔板、傳遞軸、樣品托組成,其中一個(gè)磁力軸在加熱爐一側(cè),與加熱爐用支桿相連,其末端設(shè)樣品檔板于裝在爐殼上的樣品托前方,另一個(gè)由電機(jī)驅(qū)動(dòng)的磁力軸通過(guò)軸承座裝有傳遞軸,所述傳遞軸通過(guò)其上的齒輪與爐殼上的齒輪嚙合,所述爐殼與加熱爐爐體軸承安裝;所述真空抽氣裝置為加裝機(jī)械泵的渦輪分子泵,所述渦輪分子泵用閘板閥與真空室相連;所述靶位數(shù)量為2~8個(gè);所述真空室球體上設(shè)法蘭窗數(shù)量在于2~23個(gè)范圍內(nèi)。
本實(shí)用新型具有如下優(yōu)點(diǎn)1.設(shè)計(jì)合理,工作方便。本實(shí)用新型采用球形真空室,使得轉(zhuǎn)靶、樣品架和激光入射口法蘭相對(duì)位置比較容易布置,它可以設(shè)置2個(gè)激光入射口,球形真空室上又可以開(kāi)出多個(gè)法蘭窗口,這為用戶在其內(nèi)做工作提供了方便的條件。
2.具有離子束清洗功能。本實(shí)用新型設(shè)置了考夫曼(Kaufman)離子槍,具有離子束清洗樣品的功能,用φ25mm離子束低能量300~1500ev轟擊清洗樣品,區(qū)別于其他激光淀積設(shè)備。
3.具有轉(zhuǎn)靶公轉(zhuǎn)換位,單靶位自轉(zhuǎn)功能。本實(shí)用新型的轉(zhuǎn)靶機(jī)械設(shè)計(jì)成多個(gè)靶位,均可安裝不同靶材,轉(zhuǎn)靶手動(dòng)公轉(zhuǎn)進(jìn)行換位,單靶位采用直流力矩電機(jī)控制實(shí)現(xiàn)自轉(zhuǎn),即只激光入射的靶位自轉(zhuǎn),其余5個(gè)靶位的轉(zhuǎn)動(dòng)減少齒輪磨損,減少噪音,功耗小,節(jié)能。
4.制備薄膜均勻。采用本實(shí)用新型加熱爐不轉(zhuǎn)、樣品自轉(zhuǎn),樣品轉(zhuǎn)軸不通過(guò)加熱爐體,既保證所制備薄膜的均勻性,又克服了原圓筒形設(shè)備加熱轉(zhuǎn)軸受熱卡死的弊病。


圖1為本實(shí)用新型俯視圖。
圖2為本實(shí)用新型主視圖。
圖3為圖2中轉(zhuǎn)靶機(jī)構(gòu)結(jié)構(gòu)示意圖。
圖4為圖2中樣品架結(jié)構(gòu)示意圖。
以下結(jié)合附圖對(duì)本實(shí)用新型的結(jié)構(gòu)及工作原理作進(jìn)一步詳細(xì)說(shuō)明。
如圖1、2所示,由真空室1、轉(zhuǎn)靶機(jī)構(gòu)2、樣品架3、加熱爐4、離子槍5和真空抽氣裝置6組成,其中所述真空室1為球形,所述轉(zhuǎn)靶機(jī)構(gòu)2和樣品架3分別通過(guò)法蘭安裝在真空室1里,其樣品架3與轉(zhuǎn)靶機(jī)構(gòu)2相對(duì)放置,并在一個(gè)中心線上,所述真空室1球體上設(shè)有18個(gè)法蘭窗,其中兩個(gè)法蘭窗在激光入射束與轉(zhuǎn)靶機(jī)構(gòu)2靶面相交45°角處,于樣品架3兩側(cè),另安裝一把清洗樣品用考夫曼(Kaufman)離子槍5于轉(zhuǎn)靶機(jī)構(gòu)2一側(cè)的真空室1球體上,所述加熱爐4通過(guò)穿過(guò)真空室1球體上的法蘭設(shè)在樣品架3兩個(gè)磁力軸31中間,真空室1底部與真空抽氣裝置6接通;所述真空抽氣裝置6為加裝2XZ-8機(jī)械泵的FB600渦輪分子泵,所述渦輪分子泵用閘板閥與真空室1相連;如圖3所示,所述轉(zhuǎn)靶機(jī)構(gòu)2由公轉(zhuǎn)機(jī)械軸21、自轉(zhuǎn)磁力軸22、固定支架23、公轉(zhuǎn)架24、靶位25和靶檔板26組成,其中所述由電機(jī)驅(qū)動(dòng)的自轉(zhuǎn)磁力軸22與公轉(zhuǎn)機(jī)械軸21分別通過(guò)真空室1球體上的法蘭安裝在固定支架23上,于真空室1球體內(nèi),在公轉(zhuǎn)機(jī)械軸21末端設(shè)有公轉(zhuǎn)架24,公轉(zhuǎn)架24上通過(guò)加裝齒輪軸周向均布靶位6個(gè),所述自轉(zhuǎn)磁力軸22末端通過(guò)齒輪與公轉(zhuǎn)架24上的齒輪嚙合,所述靶檔板26安裝在自轉(zhuǎn)磁力軸22上,于靶位25前方;如圖4所示,所述加裝加熱爐4的樣品架3由安裝在真空室1球體上的兩個(gè)磁力軸31、樣品檔板32、傳遞軸33、樣品托34組成,其中一個(gè)磁力軸31在加熱爐4一側(cè),與加熱爐4用支桿35相連,其末端設(shè)樣品檔板32于裝在爐殼41上的樣品托34前方,另一個(gè)由電機(jī)驅(qū)動(dòng)的磁力軸31通過(guò)軸承座36裝有傳遞軸33,所述傳遞軸33通過(guò)其上的齒輪與爐殼41上的齒輪嚙合,所述爐殼41與加熱爐4爐體軸承安裝。
本實(shí)用新型的基本工作原理如下當(dāng)一束超強(qiáng)的脈沖激光經(jīng)透鏡聚焦后投射到靶位置25上時(shí),靶材就會(huì)被激光所加熱、熔化、氣化直至變?yōu)榈入x子體,所述等離子體從靶向襯底傳輸,最后輸運(yùn)到樣品上的燒蝕物,在所述樣品上凝聚、成核到形成一層薄膜。
權(quán)利要求1.一種脈沖激光淀積裝置,由真空室(1)、轉(zhuǎn)靶機(jī)構(gòu)(2)、樣品架(3)、加熱爐(4)、離子槍(5)和真空抽氣裝置(6)組成,其特征在于其中所述真空室(1)為球形,所述轉(zhuǎn)靶機(jī)構(gòu)(2)和樣品架(3)分別通過(guò)法蘭安裝在真空室(1)里,其樣品架(3)與轉(zhuǎn)靶機(jī)構(gòu)(2)相對(duì)放置,并在一個(gè)中心線上,所述真空室(1)球體上設(shè)有多個(gè)法蘭窗,其中兩個(gè)法蘭窗在激光入射束與轉(zhuǎn)靶機(jī)構(gòu)(2)靶面相交45°角處,于樣品架(3)兩側(cè),另安裝一把清洗樣品用離子槍(5)于轉(zhuǎn)靶機(jī)構(gòu)(2)一側(cè)的真空室(1)球體上,所述加熱爐(4)通過(guò)穿過(guò)真空室(1)球體上的法蘭設(shè)在樣品架(3)兩個(gè)磁力軸(31)中間,真空室(1)底部與真空抽氣裝置(6)接通。
2.按照權(quán)利要求1所述脈沖激光淀積裝置,其特征在于所述轉(zhuǎn)靶機(jī)構(gòu)(2)由公轉(zhuǎn)機(jī)械軸(21)、自轉(zhuǎn)磁力軸(22)、固定支架(23)、公轉(zhuǎn)架(24)、靶位(25)和靶檔板(26)組成,其中所述由電機(jī)驅(qū)動(dòng)的自轉(zhuǎn)磁力軸(22)與公轉(zhuǎn)機(jī)械軸(21)分別通過(guò)真空室(1)球體上的法蘭安裝在固定支架(23)上,于真空室(1)球體內(nèi),在公轉(zhuǎn)機(jī)械軸(21)末端設(shè)有公轉(zhuǎn)架(24),公轉(zhuǎn)架(24)上通過(guò)加裝齒輪軸周向均布靶位(25)多個(gè),所述自轉(zhuǎn)磁力軸(22)末端通過(guò)齒輪與公轉(zhuǎn)架(24)上的齒輪嚙合,所述靶檔板(26)安裝在自轉(zhuǎn)磁力軸(22)上,于靶位(25)前方。
3.按照權(quán)利要求1所述脈沖激光淀積裝置,其特征在于所述加裝加熱爐(4)的樣品架(3)由安裝在真空室(1)球體上的兩個(gè)磁力軸(31)、樣品檔板(32)、傳遞軸(33)、樣品托(34)組成,其中一個(gè)磁力軸(31)在加熱爐(4)一側(cè),與加熱爐(4)用支桿(35)相連,其末端設(shè)樣品檔板(32)于裝在爐殼(41)上的樣品托(34)前方,另一個(gè)由電機(jī)驅(qū)動(dòng)的磁力軸(31)通過(guò)軸承座(36)裝有傳遞軸(33),所述傳遞軸(33)通過(guò)其上的齒輪與爐殼(41)上的齒輪嚙合,所述爐殼(41)與加熱爐(4)爐體軸承安裝。
4.按照權(quán)利要求1所述脈沖激光淀積裝置,其特征在于所述真空抽氣裝置(6)為加裝機(jī)械泵的渦輪分子泵,所述渦輪分子泵用閘板閥與真空室(1)相連。
5.按照權(quán)利要求2所述脈沖激光淀積裝置,其特征在于所述靶位(25)數(shù)量為2~8個(gè)。
6.按照權(quán)利要求1所述脈沖激光淀積裝置,其特征在于所述真空室(1)球體上設(shè)法蘭窗數(shù)量在于2~23個(gè)范圍內(nèi)。
專利摘要本實(shí)用新型涉及一種脈沖激光淀積裝置。由真空室、轉(zhuǎn)靶機(jī)構(gòu)、樣品架、加熱爐、離子槍和真空抽氣裝置組成,其中真空室為球形,轉(zhuǎn)靶機(jī)構(gòu)和樣品架分別安裝在真空室里,相對(duì)設(shè)置,在一個(gè)中心線上,所述真空室球體上設(shè)有多個(gè)法蘭窗,其中兩個(gè)法蘭窗在激光入射束與轉(zhuǎn)靶機(jī)構(gòu)靶面相交45°角處,于樣品架兩側(cè),安裝離子槍于轉(zhuǎn)靶機(jī)構(gòu)一側(cè)的真空室球體上,加熱爐設(shè)在樣品架上的兩個(gè)磁力軸間,真空室底部與真空抽氣裝置接通。其設(shè)計(jì)合理、工作方便,效率高、噪聲低。
文檔編號(hào)C23C14/24GK2412019SQ9925078
公開(kāi)日2000年12月27日 申請(qǐng)日期1999年12月24日 優(yōu)先權(quán)日1999年12月24日
發(fā)明者李求恕, 馮彬, 呂祺, 孫榮昌, 曾志群, 潘福全, 戚暉, 金振奎, 閻佐健 申請(qǐng)人:中國(guó)科學(xué)院沈陽(yáng)科學(xué)儀器研制中心
網(wǎng)友詢問(wèn)留言 已有0條留言
  • 還沒(méi)有人留言評(píng)論。精彩留言會(huì)獲得點(diǎn)贊!
1