專利名稱：拋光器的制作方法
技術(shù)領(lǐng)域：
本實(shí)用新型涉及一種拋光器。
本實(shí)用新型更具體地涉及一種拋光(及研磨)器，特別用作磨光各種各樣物質(zhì)的平坦的表面，例如石英、合金陶瓷、鐵氧體、壓電元素半導(dǎo)體晶片、氧化物晶片、碳、金屬和超硬化合物。拋光器典型地包括一個(gè)下圓形平坦研磨盤和一個(gè)相對(duì)的上圓形平坦研磨盤，該研磨繞一個(gè)共同的軸盤相對(duì)地旋轉(zhuǎn)。該兩個(gè)相對(duì)表面蓋滿著或涂上砂布或其他類似物料，待拋光的元件支承在一個(gè)托架中，該托架安排成由于研磨盤的相對(duì)旋轉(zhuǎn)，而以行星方式旋轉(zhuǎn)。這樣的結(jié)構(gòu)是為人所知。
在拋光期間，從元件表面去掉的微粒和研磨膏的剩余物或其他流體堆積在研磨盤的砂布表面上。已知的是提供一個(gè)剛毛托架(替換該元件托架)作為清潔研磨盤表面之用。目前的剛毛托架具有多個(gè)剛毛叢，剛毛叢伸出在每個(gè)托架表面以外(頂端和底部表面)并螺旋陣列方式設(shè)置在托架中。當(dāng)拋光器操作時(shí)，驅(qū)使剛毛托架以行星方式擦掃清研磨盤的蓋著表面。剛毛是永久依附在托架上，當(dāng)剛毛被磨低或換句話說(shuō)變成無(wú)可用時(shí)，剛毛托架要整個(gè)地丟棄。這造成更換該托架相對(duì)地費(fèi)用浩大。有時(shí)希望用不同的剛毛以應(yīng)付不同的應(yīng)用場(chǎng)合(例如有時(shí)需要較堅(jiān)硬/強(qiáng)度較高的剛毛)，這意味每個(gè)目前的剛毛托架通用性很低。
本實(shí)用新型目標(biāo)是克服或至少減少這個(gè)問(wèn)題。
本實(shí)用新型提供一種剛毛托架，該剛毛托架用于具有一個(gè)上和下研磨盤的拋光器上，該研磨盤安排成繞一個(gè)共同的軸相對(duì)地旋轉(zhuǎn)，使在上下研磨盤之間通常地驅(qū)動(dòng)一個(gè)元件托架以行星方式進(jìn)行元件拋光。該剛毛托架具有一個(gè)齒輪周邊邊緣和多個(gè)徑向槽，每個(gè)槽設(shè)置成接收一個(gè)具有中央縱向軸的伸長(zhǎng)輔助構(gòu)架，其中剛毛鑲嵌成大概沿著縱向軸分開(kāi)和分布。其中，一些輔助構(gòu)架鑲嵌在剛毛托架的上表面上，其余輔助構(gòu)架就鑲嵌在剛毛托架的下表面上。
該輔助構(gòu)架最好可分離地固定在該徑向槽中。
該輔助構(gòu)架可通過(guò)整體地形成的彈簧夾固定在該徑向槽中。
現(xiàn)在，本實(shí)用新型的拋光器剛毛托架通過(guò)附圖的例子而描述。


圖1為一個(gè)已知拋光器的等角透視圖。
圖2為本實(shí)用新型的剛毛托架的平面圖。
圖3為剛毛托架的俯視等角透視圖，僅顯示頂端面上的剛毛。
圖4為一個(gè)該托架的輔助構(gòu)架的雙重截面?zhèn)纫晥D。
圖5為另一個(gè)剛毛托架的平面圖。
圖6為該另一個(gè)剛毛托架的截面圖。
參考附圖，一個(gè)拋光器包括包括一個(gè)上圓形的研磨盤10和一個(gè)下圓形的研磨盤11，這些研磨盤可繞一個(gè)共同軸12相對(duì)地旋轉(zhuǎn)。一個(gè)元件托架13具有一個(gè)齒輪周邊邊緣，該邊緣與一個(gè)內(nèi)接齒輪14和一個(gè)恒星齒15嚙合。當(dāng)拋光器操作時(shí)，托架13以行星方式移動(dòng)，以致在托架上的元件的平坦表面通過(guò)上和下研磨盤的相對(duì)蓋著表面所拋光。這樣的拋光器是為人所知。
在圖2中，一個(gè)塑膠剛毛托架16具有一個(gè)齒輪周邊邊緣17和多個(gè)徑向槽18，每個(gè)該徑向槽接收一個(gè)延長(zhǎng)構(gòu)架元件19。每個(gè)構(gòu)架攜帶一個(gè)或多個(gè)剛毛陣列20(在這實(shí)施例中為三個(gè)陣列)，該剛毛陣列大概沿著或平行每個(gè)構(gòu)架的中央縱向軸分離和延伸。也就是說(shuō)，該剛毛陣列大概位于沿著托架16的各自的半徑。一半的槽18具有剛毛“朝”向上的構(gòu)架元件和其余則具有剛毛“朝”向下的構(gòu)架元件(在圖2中看不見(jiàn))，從而在組合剛毛托架中，剛毛對(duì)稱地朝向上和向下?？墒?，在圖3中，為了方便起見(jiàn)，僅顯示托架的一個(gè)上表面而朝向下的輔助構(gòu)架槽則已被省略。
在圖4中，兩個(gè)整體地形成的彈簧夾21互相面對(duì)構(gòu)架元件19末端，可分離地固定構(gòu)架元件在該托架16的各自徑向槽18中。
因此，本實(shí)用新型的剛毛托架是可再使用的，因?yàn)楫?dāng)剛毛被磨低或換句話說(shuō)變成不能用時(shí)，構(gòu)架元件19可用具有新剛毛的輔助構(gòu)件所替換。并且，同一個(gè)托架16可使用具有不同特性的剛毛，當(dāng)需要時(shí)，只要簡(jiǎn)單地更換具有不同種類或特征的剛毛的輔助構(gòu)件即可。
還要注意到剛毛20陣列位置是采用沿托架16的各自的半徑延伸。在現(xiàn)有技術(shù)，剛毛以同心的陣列方式支撐。該徑向布置已被發(fā)現(xiàn)拋光布或研磨盤10、11墊提供較平均和滿意的清潔作用。
在圖5和圖6中，另一種剛毛托架22具有多個(gè)附加窄槽23，一個(gè)附加窄槽沿著每個(gè)槽18的一邊延伸。該槽23提供定位和固定一個(gè)各自由適當(dāng)物料如NEOPRENE或EVA制成的橡膠清潔器24(可參閱圖6)。當(dāng)構(gòu)架元件19夾在槽18中(如較早的描述)時(shí)，該橡膠清潔器通?？煞畔禄蚧M(jìn)各自的槽中并固定在適當(dāng)位置。只有剛毛托架的上面的槽可在圖5中看到，只有上示意剛毛和橡膠清潔器顯示在圖6中。通常橡膠清潔器鑲嵌在剛毛托架的上和下面。
典型地，橡膠清潔器寬度為4毫米并具有幾分削尖頂邊，而支架凸出于剛毛托架18的表面約9毫米高。在正常使用時(shí)，橡膠清潔器向剛毛托架的外表面方向壓落至約如同剛毛20的有效使用高度一樣。橡膠清潔器可作掃除碎屑和進(jìn)一步清潔正在拋光的表面之用。
首選的結(jié)構(gòu)如所描述的，但應(yīng)理解在使用時(shí)，不是全部槽23都要提供，或如果提供，不需要全部裝有橡膠清潔器。橡膠清潔器可安裝在該剛毛托架的兩面上，或如果需要，可只裝在剛毛托架的一面上。在圖5和圖6中已描述的結(jié)構(gòu)，橡膠清潔器槽23是在每個(gè)槽18的一側(cè)或可以是槽的一部分?？梢岳斫?，該槽23可以隔開(kāi)并甚至相當(dāng)離開(kāi)該槽18。并且，槽23可與徑向方向成一少許角度，以致當(dāng)使用時(shí)，已收集碎屑被掃到遠(yuǎn)離剛毛托架的中央軸的方向。
權(quán)利要求1.一種拋光器包括一個(gè)上和下研磨盤，該研磨盤安排成繞一個(gè)共同的軸相對(duì)地旋轉(zhuǎn)，并在它們之間通常以行星方式驅(qū)動(dòng)一個(gè)元件托架，以對(duì)所述元件托架上的元件拋光；一個(gè)剛毛托架包括一個(gè)托架底座，該托架底座具有一個(gè)齒輪周邊邊緣和多個(gè)徑向槽，每個(gè)所述槽設(shè)置成接收一個(gè)具有中央縱向軸的伸長(zhǎng)輔助構(gòu)架，每個(gè)所述輔助構(gòu)架具有大致沿著所述縱向軸分離和分布的剛毛；所述輔助構(gòu)架的第二部分鑲嵌在所述剛毛托架的上表面上，所述輔助構(gòu)架的第一部分就鑲嵌在所述剛毛托架的下表面上。
2.如權(quán)利要求1所述的拋光器，其特征在于，所述輔助構(gòu)架是可分離地固定在所述徑向槽中。
3.如權(quán)利要求2所述的拋光器，其特征在于，所述輔助構(gòu)架可通過(guò)整體地形成的彈簧夾固定在所述徑向槽中。
4.如權(quán)利要求1所述的拋光器，其特征在于，所述托架底座具有多個(gè)徑向附加槽和在部份或全部所述附加槽中的橡膠清潔器。
5.如權(quán)利要求4所述的拋光器，其特征在于，所述附加槽設(shè)在所述托架底座的上和下表面上。
6.如權(quán)利要求4所述的拋光器，其特征在于，每個(gè)所述附加槽設(shè)置在緊靠近各自徑向槽的位置。
專利摘要一種用于清潔拋光器的剛毛托架16,它包括若干徑向槽18,載有剛毛20的輔助構(gòu)架19可分離地鑲嵌在所述徑向槽中,所述剛毛托架16用于代替通常拋光時(shí)使用的元件托架,剛毛托架以行星方式被驅(qū)動(dòng)在蓋著拋光面上以清潔這些表面;即使當(dāng)剛毛因磨損而需更換時(shí),所述同一托架16可通過(guò)更換具有新剛毛的輔助構(gòu)架19而繼續(xù)使用。
文檔編號(hào)B24D13/14GK2386919SQ9921291
公開(kāi)日2000年7月12日 申請(qǐng)日期1999年6月19日 優(yōu)先權(quán)日1998年10月21日
發(fā)明者C·羅斯, M·克里斯托福 申請(qǐng)人:常耀有限公司