專利名稱：真空鍍膜室的薄殼結(jié)構的制作方法
技術領域：
本實用新型涉及一種用于玻璃鍍膜的真空鍍膜室結(jié)構，特別是涉及一種能在高溫下(250℃～350℃)實現(xiàn)磁控濺射工藝制備液晶顯示器件用透明導電材料的真空鍍膜室的薄殼結(jié)構。
大型連續(xù)自動化真空鍍膜設備均由若干個盒型真空室串聯(lián)而成，并采用直立方式傳輸，用于在多種基體上鍍膜，如在用于液晶顯示的玻璃上鍍導電膜等。目前國內(nèi)外在立式盒形殼體真空鍍膜室的結(jié)構設計方面，大多采用中厚板(厚度約在20～30mm)焊接成盒形殼體。為防止設備在高溫下(其中介面溫度達450℃)所耐受壓力載荷達1萬工程大氣壓/M2時產(chǎn)生變形，通常在殼體外壁上敷設實心加強筋以達到補強目的。它們的明顯缺陷是中厚板殼體的制造工藝復雜，耗費金屬材料多，生產(chǎn)成本高。此外，現(xiàn)有真空鍍膜室的冷卻水道大都敷設于殼體外壁上，其冷卻效果較差，還影響設備整體造型的美觀。
本實用新型就是針對目前真空鍍膜室結(jié)構上的不足進行了改進，其目在于提供一種能大幅度節(jié)省金屬材料，減輕設備重量，降低生產(chǎn)成本，提高水冷卻效率的真空鍍膜室的薄殼結(jié)構。
本實用新型的目的是按如下方式實現(xiàn)的真空鍍膜室的薄殼結(jié)構包括殼體11、門框12、法蘭2及門體3，其上敷設有加強筋4和冷卻水道5，其特征在于殼體11是由薄鋼板經(jīng)折邊而成的由頂板、背板及底板所圍成的三面體和兩個連接短邊構成的一體化結(jié)構，殼體11與門框12連接構成盒形殼體1，盒形殼體兩側(cè)裝有法蘭2，其前部裝有拱形門體3，加強筋2和冷卻水道3并設于盒形殼體內(nèi)、外。
所述的薄鋼板的厚度為4～6mm。
在盒形殼體1的頂板及底板內(nèi)壁上設有條形加強筋41，在背板的內(nèi)、外壁上設有U形槽筋42、43，頂板外壁上和背板外壁上的槽筋內(nèi)設有冷卻水道51、52，門框12密封部位的內(nèi)側(cè)周邊焊接有筋體同水道合一的實體筋44、53，在法蘭的密封部位也敷設有冷卻水道54，拱形門體3的內(nèi)側(cè)也敷設有冷卻水道55。盒形殼體1是由殼體11的連接短邊同焊有實體筋44的門框12搭接之后以二條平焊縫焊成一體。盒形殼體外壁上的U形槽筋43呈豎向排列并焊接固定于外壁上，其內(nèi)壁上的U形槽筋42則呈橫向焊接固定于內(nèi)壁上，其頂板和底板上的條形加強筋41也呈橫向焊接固定于內(nèi)壁上。
從理論上講，真空室薄殼應滿足下列條件S/Ds≤0.04其中S-殼體壁厚(mm)Ds-殼體內(nèi)徑本實用新型正是按照上述條件設計的。
本實用新型將現(xiàn)有的真空鍍膜室厚壁結(jié)構改為薄壁敷筋結(jié)構，并采用折邊工藝將薄鋼板加工成一體化的薄壁殼體結(jié)構，不但保證了穩(wěn)定的盒體設計，而且采用薄板后，可節(jié)約1/3的金屬材料，并因此大大減輕了設備重量，也使生產(chǎn)成本大大降低。同時，將原來殼體制造中的四條角焊縫變?yōu)閮蓷l平焊縫，大大改善了焊接難度，可更加有效地控制焊接變形。此外，在殼體內(nèi)外同時敷設冷卻水道，可使來自加熱器的幅射熱量直接被冷卻水道帶走，提高了散熱效率。


圖1是本實用新型正面立體示意圖。
圖2是本實用新型背側(cè)立體示意圖。
圖3是本實用新型主視圖。
圖4是本實用新型俯視圖。
圖5是本實用新型側(cè)視圖。
下面將結(jié)合附圖及實施例對本實用新型作進一步說明。
如附圖2～4所示，本實用新型包括殼體11、門框12、法蘭2及門體3。殼體1由厚度為5mm的薄鋼板經(jīng)折邊加工折出頂板、底板、背板及兩條短邊所圍成的三面體，使之形成一體化的結(jié)構，殼體11的連接短邊同焊有實體筋44的門框12搭接之后以二條平焊縫焊接構成盒形殼體1。盒形殼體兩側(cè)焊接有法蘭2，并在其前部裝有拱形門體3，就構成了薄殼型真空鍍膜室體。在盒形殼體1的內(nèi)、外壁上均敷設有加強筋4和冷卻水道5，其中在殼體11的頂板及底板內(nèi)壁上焊接有若干橫向條形加強筋41，分別用于吊裝加熱器和固定分流罩，在背板的內(nèi)壁上焊接有兩條橫向U形槽筋42，分別用于安裝熱輻射屏和導向裝置。在背板的外壁上焊接有若干豎向排列的U形槽筋43，其作用除了補強外，還可暗藏冷卻水道。為了將加熱器的輻射熱量導出真空室，在頂板外壁上敷設有方形焊接冷卻水道51，在背板外壁上的各槽筋內(nèi)壓接有冷卻水管52，該冷卻水管內(nèi)藏于U形槽筋內(nèi)使結(jié)構更加緊湊，并使外觀整潔美觀。在門框12密封部位的內(nèi)側(cè)周邊焊接有實體筋44，實體筋內(nèi)開有水槽53，因此實體筋44既用于穩(wěn)固門框，又用作門框密封圈的水冷卻。在法蘭與殼體的真空密封部位也敷設有冷卻水道54，在拱形門體3的內(nèi)側(cè)也敷設有冷卻水管55。
權利要求1.一種真空鍍膜室的薄殼結(jié)構，它包括殼體(11)、門框(12)、法蘭(2)及門體(3)，其上敷設有加強筋(4)和冷卻水道(5)，其特征在于殼體(11)是由薄鋼板經(jīng)折邊而成的由頂板、背板及底板所圍成的三面體和兩個連接短邊構成的一體化結(jié)構，殼體(11)與門框(12)連接構成盒形殼體(1)，盒形殼體兩側(cè)裝有法蘭(2)，其前部裝有拱形門體(3)，加強筋(2)和冷卻水道(3)并設于盒形殼體內(nèi)、外。
2.根據(jù)權利要求1所述的真空鍍膜室的薄殼結(jié)構，其特征在于所述的薄鋼板的厚度為4～6mm。
3.根據(jù)權利要求1所述的真空鍍膜室的薄殼結(jié)構，其特征在于在盒形殼體(1)的頂板及底板內(nèi)壁上設有條形加強筋(41)，在背板的內(nèi)、外壁上設有U形槽筋(42)、(43)，頂板外壁上和背板外壁上的槽筋內(nèi)設有冷卻水道(51)、(52)，門框(12)密封部位的內(nèi)側(cè)周邊焊接有筋體同水道合一的實體筋(44)、(53)，在法蘭的密封部位也敷設有冷卻水道(54)，拱形門體(3)的內(nèi)側(cè)也敷設有冷卻水道(55)。
4.根據(jù)權利要求1所述的真空鍍膜室的薄殼結(jié)構，其特征在于盒形殼體(1)是由殼體(11)的連接短邊同焊有實體筋(44)的門框(12)搭接之后以二條平焊縫焊成一體。
5.根據(jù)權利要求1所述的真空鍍膜室的薄殼結(jié)構，其特征在于盒形殼體外壁上的U形槽筋(43)呈豎向排列并焊接固定于外壁上，其內(nèi)壁上的U形槽筋(42)則呈橫向焊接固定于內(nèi)壁上，其頂板和底板上的條形加強筋(41)也呈橫向焊接固定于內(nèi)壁上。
專利摘要本實用新型涉及一種真空鍍膜室的薄殼結(jié)構,它包括殼體11、門框12、法蘭2及門體3,其上敷設有加強筋4和冷卻水道5,其特征在于殼體11是由薄鋼板經(jīng)折邊而成的由頂板、背板及底板所圍成的三面體和兩個連接短邊構成的一體化結(jié)構,殼體11與門框12連接構成盒形殼體1,盒形殼體兩側(cè)裝有法蘭2,其前部裝有拱形門體3,加強筋2和冷卻水道3并設于盒形殼體內(nèi)、外。本實用新型能大幅度節(jié)省金屬材料,減輕設備重量,降低生產(chǎn)成本,提高水冷卻效率。
文檔編號C23C14/56GK2326612SQ9821052
公開日1999年6月30日 申請日期1998年1月12日 優(yōu)先權日1998年1月12日
發(fā)明者許生, 李貴和 申請人:深圳威士達真空系統(tǒng)工程有限公司