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一種多柱高精密拋光機(jī)的載盤(pán)定位裝置的制作方法

文檔序號(hào):40381701發(fā)布日期:2024-12-20 12:04閱讀:5來(lái)源:國(guó)知局
一種多柱高精密拋光機(jī)的載盤(pán)定位裝置的制作方法

本發(fā)明涉及拋光機(jī),具體為一種多柱高精密拋光機(jī)的載盤(pán)定位裝置。


背景技術(shù):

1、高精密拋光機(jī)是一種用于對(duì)工件表面進(jìn)行精密拋光處理的機(jī)械設(shè)備,它能夠?qū)崿F(xiàn)極高的拋光精度和表面質(zhì)量,而多柱高精密拋光機(jī)是一種專門(mén)用于精密拋光作業(yè)的機(jī)械設(shè)備,其特點(diǎn)在于擁有多個(gè)拋光柱(柱子或立柱),每個(gè)柱子可以獨(dú)立進(jìn)行拋光作業(yè),這使得機(jī)器可以同時(shí)處理多個(gè)工件,提高了生產(chǎn)效率。

2、多柱高精密拋光機(jī)的載盤(pán)定位裝置是確保拋光過(guò)程中載盤(pán)(工件)精確定位的關(guān)鍵部件,其設(shè)計(jì)和功能直接影響到拋光質(zhì)量、效率和穩(wěn)定性,這種多柱高精密拋光機(jī)的載盤(pán)定位裝置廣泛應(yīng)用于半導(dǎo)體、精密機(jī)械、光學(xué)元件、硬質(zhì)合金、陶瓷等行業(yè),用于加工各種高精度、高表面質(zhì)量的工件。

3、而現(xiàn)有的載盤(pán)在安裝時(shí),通常是通過(guò)螺栓、螺釘?shù)染o固件將其安裝到工作臺(tái)上,在對(duì)載盤(pán)上的工件進(jìn)行拋光時(shí),長(zhǎng)時(shí)間的旋轉(zhuǎn)會(huì)造成螺栓松動(dòng),從而影響對(duì)工件拋光的穩(wěn)定性,而通常在對(duì)工件進(jìn)行拋光時(shí)需要使用到拋光液,而使用后的拋光液無(wú)法得到有效的處理,不僅會(huì)對(duì)載盤(pán)定位裝置造成影響,會(huì)降低后續(xù)對(duì)工件進(jìn)行拋光時(shí)定位的準(zhǔn)確度,而且對(duì)拋光液的循環(huán)利用也不能有效的進(jìn)行,會(huì)提高使用成本,因此,提出一種多柱高精密拋光機(jī)的載盤(pán)定位裝置。


技術(shù)實(shí)現(xiàn)思路

1、本發(fā)明的目的在于提供一種多柱高精密拋光機(jī)的載盤(pán)定位裝置,以解決上述背景技術(shù)提出的問(wèn)題。

2、為實(shí)現(xiàn)上述目的,本發(fā)明提供如下技術(shù)方案:一種多柱高精密拋光機(jī)的載盤(pán)定位裝置,包括工作臺(tái)、支腿、驅(qū)動(dòng)器、控制面板,所述支腿呈四角分布在工作臺(tái)的底部設(shè)置有四組,所述驅(qū)動(dòng)器設(shè)置在工作臺(tái)的正上方,且控制面板設(shè)置在驅(qū)動(dòng)器的一側(cè),所述工作臺(tái)的內(nèi)部設(shè)置有定位組件,所述定位組件的下方設(shè)置有用于對(duì)冷卻液進(jìn)行處理的輔助組件;

3、所述定位組件包括液壓缸和載盤(pán),所述定位組件用于對(duì)載盤(pán)進(jìn)行準(zhǔn)確定位工作,所述液壓缸一端與工作臺(tái)為固定連接,所述液壓缸的內(nèi)部滑動(dòng)連接有液壓桿,所述液壓桿的一端固定連接有推桿,所述推桿的兩端通過(guò)銷(xiāo)軸轉(zhuǎn)動(dòng)連接有擺動(dòng)桿,所述擺動(dòng)桿中間位置通過(guò)銷(xiāo)軸轉(zhuǎn)動(dòng)連接有支撐板,所述支撐板下方固定連接有外殼,所述外殼與工作臺(tái)為固定連接;

4、所述輔助組件包括電動(dòng)機(jī),所述電動(dòng)機(jī)與外殼為固定連接,所述電動(dòng)機(jī)的輸出端固定連接有轉(zhuǎn)動(dòng)軸,所述轉(zhuǎn)動(dòng)軸的上端固定連接有下旋轉(zhuǎn)盤(pán),所述轉(zhuǎn)動(dòng)軸的表面固定連接有推盤(pán),所述推盤(pán)的一側(cè)設(shè)置有移動(dòng)桿。

5、作為優(yōu)選的,所述擺動(dòng)桿的一端通過(guò)銷(xiāo)軸轉(zhuǎn)動(dòng)連接有定位夾板,所述定位夾板的內(nèi)側(cè)面轉(zhuǎn)動(dòng)連接有多組滑動(dòng)柱,所述液壓桿的表面固定連接有固定桿,所述固定桿的一側(cè)固定連接有滑槽板,所述滑槽板的內(nèi)部開(kāi)設(shè)有斜槽。

6、作為優(yōu)選的,所述滑槽板通過(guò)內(nèi)部的斜槽滑動(dòng)設(shè)置有滑柱,所述滑柱的兩端固定連接有頂板,所述頂板的上端固定連接有輔助板,所述輔助板的上表面與下旋轉(zhuǎn)盤(pán)的底面為轉(zhuǎn)動(dòng)連接,所述下旋轉(zhuǎn)盤(pán)與外殼之間設(shè)置有間隙。

7、作為優(yōu)選的,所述移動(dòng)桿的一端固定連接有上擦板,所述移動(dòng)桿與外殼為滑動(dòng)連接,且移動(dòng)桿表面設(shè)置有復(fù)位元件,所述上擦板與外殼為滑動(dòng)連接,所述移動(dòng)桿的表面還固定連接有連接桿,所述連接桿的下端固定連接有下擦板。

8、作為優(yōu)選的,所述下擦板的下方設(shè)置有收集箱,所述收集箱的內(nèi)部可拆卸連接有過(guò)濾網(wǎng),所述過(guò)濾網(wǎng)表面開(kāi)設(shè)有多組過(guò)濾孔,所述下擦板與過(guò)濾網(wǎng)的接觸位置設(shè)置有毛刷,所述收集箱的表面固定連通有兩組輸送管,所述輸送管的內(nèi)部設(shè)置有閥門(mén)。

9、作為優(yōu)選的,所述外殼的下端固定連通有多組排液柱,所述排液柱下端與收集箱內(nèi)部貫通,所述收集箱呈四角分布在外殼的下方設(shè)置有四組,所述上擦板與外殼的滑動(dòng)位置設(shè)置有擦條,擦條采用材質(zhì)較硬的材料制成。

10、作為優(yōu)選的,所述載盤(pán)兩側(cè)的定位夾板在下旋轉(zhuǎn)盤(pán)的上方設(shè)置有兩組,所述外殼與工作臺(tái)為固定連接,所述下旋轉(zhuǎn)盤(pán)的上方還設(shè)置有限位盤(pán),且限位盤(pán)的底面呈梯形形狀設(shè)置,所述限位盤(pán)的上方可拆卸連接有限位桿,所述限位桿的上端與驅(qū)動(dòng)器為固定連接。

11、作為優(yōu)選的,所述驅(qū)動(dòng)器的下方設(shè)置有拋光柱,所述拋光柱的下方安裝有上旋轉(zhuǎn)盤(pán),所述上旋轉(zhuǎn)盤(pán)位于多組載盤(pán)的正上方,所述限位盤(pán)位于四組載盤(pán)的正中心,所述限位盤(pán)與定位夾板選用耐磨損的材料制成。

12、與現(xiàn)有技術(shù)相比,本發(fā)明的有益效果如下:

13、1、本發(fā)明通過(guò)定位組件中的液壓缸運(yùn)動(dòng)帶動(dòng)液壓桿運(yùn)動(dòng),液壓桿運(yùn)動(dòng)能帶動(dòng)推桿運(yùn)動(dòng),推桿運(yùn)動(dòng)能通過(guò)銷(xiāo)軸帶動(dòng)擺動(dòng)桿繞銷(xiāo)軸擺動(dòng),擺動(dòng)桿擺動(dòng)能通過(guò)銷(xiāo)軸帶動(dòng)兩組定位夾板對(duì)載盤(pán)進(jìn)行適當(dāng)?shù)膴A緊,能對(duì)載盤(pán)進(jìn)行定位工作,同時(shí)由于定位夾板的內(nèi)部設(shè)置有多組滑動(dòng)柱,能使載盤(pán)被夾緊限位的同時(shí)進(jìn)行流暢的轉(zhuǎn)動(dòng),能穩(wěn)定的對(duì)工件進(jìn)行拋光處理,同時(shí)液壓桿的運(yùn)動(dòng)還能通過(guò)固定桿帶動(dòng)滑槽板運(yùn)動(dòng),滑槽板運(yùn)動(dòng)會(huì)通過(guò)斜槽帶動(dòng)滑柱向上運(yùn)動(dòng),滑柱運(yùn)動(dòng)能通過(guò)兩組頂板帶動(dòng)輔助板向上運(yùn)動(dòng),輔助板運(yùn)動(dòng)能推動(dòng)下旋轉(zhuǎn)盤(pán)向上運(yùn)動(dòng),能對(duì)載盤(pán)的高度位置進(jìn)行調(diào)整,能對(duì)載盤(pán)的位置進(jìn)行準(zhǔn)確定位,方便對(duì)工件進(jìn)行打磨拋光處理。

14、2、本發(fā)明通過(guò)輔助組件中的電動(dòng)機(jī)帶動(dòng)轉(zhuǎn)動(dòng)軸轉(zhuǎn)動(dòng),轉(zhuǎn)動(dòng)軸帶動(dòng)推盤(pán)轉(zhuǎn)動(dòng),推盤(pán)轉(zhuǎn)動(dòng)能推動(dòng)移動(dòng)桿往復(fù)運(yùn)動(dòng),移動(dòng)桿運(yùn)動(dòng)能帶動(dòng)兩組上擦板在外殼的內(nèi)部滑動(dòng),能將使用后的廢液與碎屑一同推至排液柱的上方排出,能避免碎屑與廢液堆積在外殼的內(nèi)部,長(zhǎng)久以往對(duì)設(shè)備造成侵蝕,影響后續(xù)對(duì)載盤(pán)定位的準(zhǔn)確度,移動(dòng)桿的移動(dòng)帶動(dòng)下擦板在過(guò)濾網(wǎng)的表面滑動(dòng),下擦板能將排液柱排放下來(lái)的廢液等進(jìn)行刮拭,防止其對(duì)過(guò)濾網(wǎng)的過(guò)濾孔造成堵塞,影響后續(xù)的廢液進(jìn)行過(guò)濾的效果。



技術(shù)特征:

1.一種多柱高精密拋光機(jī)的載盤(pán)定位裝置,包括工作臺(tái)(1)、支腿(2)、驅(qū)動(dòng)器(3)、控制面板(4),其特征在于:所述支腿(2)呈四角分布在工作臺(tái)(1)的底部設(shè)置有四組,所述驅(qū)動(dòng)器(3)設(shè)置在工作臺(tái)(1)的正上方,且控制面板(4)設(shè)置在驅(qū)動(dòng)器(3)的一側(cè),所述工作臺(tái)(1)的內(nèi)部設(shè)置有定位組件(100),所述定位組件(100)的下方設(shè)置有用于對(duì)冷卻液進(jìn)行處理的輔助組件(200);

2.根據(jù)權(quán)利要求1所述的一種多柱高精密拋光機(jī)的載盤(pán)定位裝置,其特征在于:所述擺動(dòng)桿(104)的一端通過(guò)銷(xiāo)軸轉(zhuǎn)動(dòng)連接有定位夾板(106),所述定位夾板(106)的內(nèi)側(cè)面轉(zhuǎn)動(dòng)連接有多組滑動(dòng)柱(113),所述液壓桿(102)的表面固定連接有固定桿(108),所述固定桿(108)的一側(cè)固定連接有滑槽板(109),所述滑槽板(109)的內(nèi)部開(kāi)設(shè)有斜槽。

3.根據(jù)權(quán)利要求2所述的一種多柱高精密拋光機(jī)的載盤(pán)定位裝置,其特征在于:所述滑槽板(109)通過(guò)內(nèi)部的斜槽滑動(dòng)設(shè)置有滑柱(110),所述滑柱(110)的兩端固定連接有頂板(111),所述頂板(111)的上端固定連接有輔助板(112),所述輔助板(112)的上表面與下旋轉(zhuǎn)盤(pán)(9)的底面為轉(zhuǎn)動(dòng)連接,所述下旋轉(zhuǎn)盤(pán)(9)與外殼(10)之間設(shè)置有間隙。

4.根據(jù)權(quán)利要求3所述的一種多柱高精密拋光機(jī)的載盤(pán)定位裝置,其特征在于:所述移動(dòng)桿(204)的一端固定連接有上擦板(205),所述移動(dòng)桿(204)與外殼(10)為滑動(dòng)連接,且移動(dòng)桿(204)表面設(shè)置有復(fù)位元件,所述上擦板(205)與外殼(10)為滑動(dòng)連接,所述移動(dòng)桿(204)的表面還固定連接有連接桿(207),所述連接桿(207)的下端固定連接有下擦板(208)。

5.根據(jù)權(quán)利要求4所述的一種多柱高精密拋光機(jī)的載盤(pán)定位裝置,其特征在于:所述下擦板(208)的下方設(shè)置有收集箱(209),所述收集箱(209)的內(nèi)部可拆卸連接有過(guò)濾網(wǎng)(211),所述過(guò)濾網(wǎng)(211)表面開(kāi)設(shè)有多組過(guò)濾孔,所述下擦板(208)與過(guò)濾網(wǎng)(211)的接觸位置設(shè)置有毛刷,所述收集箱(209)的表面固定連通有兩組輸送管(210),所述輸送管(210)的內(nèi)部設(shè)置有閥門(mén)。

6.根據(jù)權(quán)利要求5所述的一種多柱高精密拋光機(jī)的載盤(pán)定位裝置,其特征在于:所述外殼(10)的下端固定連通有多組排液柱(206),所述排液柱(206)下端與收集箱(209)內(nèi)部貫通,所述收集箱(209)呈四角分布在外殼(10)的下方設(shè)置有四組,所述上擦板(205)與外殼(10)的滑動(dòng)位置設(shè)置有擦條,擦條采用材質(zhì)較硬的材料制成。

7.根據(jù)權(quán)利要求6所述的一種多柱高精密拋光機(jī)的載盤(pán)定位裝置,其特征在于:所述載盤(pán)(107)兩側(cè)的定位夾板(106)在下旋轉(zhuǎn)盤(pán)(9)的上方設(shè)置有兩組,所述外殼(10)與工作臺(tái)(1)為固定連接,所述下旋轉(zhuǎn)盤(pán)(9)的上方還設(shè)置有限位盤(pán)(7),且限位盤(pán)(7)的底面呈梯形形狀設(shè)置,所述限位盤(pán)(7)的上方可拆卸連接有限位桿(6),所述限位桿(6)的上端與驅(qū)動(dòng)器(3)為固定連接。

8.根據(jù)權(quán)利要求7所述的一種多柱高精密拋光機(jī)的載盤(pán)定位裝置,其特征在于:所述驅(qū)動(dòng)器(3)的下方設(shè)置有拋光柱(5),所述拋光柱(5)的下方安裝有上旋轉(zhuǎn)盤(pán)(8),所述上旋轉(zhuǎn)盤(pán)(8)位于多組載盤(pán)(107)的正上方,所述限位盤(pán)(7)位于四組載盤(pán)(107)的正中心,所述限位盤(pán)(7)與定位夾板(106)選用耐磨損的材料制成。


技術(shù)總結(jié)
本發(fā)明公開(kāi)了一種多柱高精密拋光機(jī)的載盤(pán)定位裝置,具體涉及拋光機(jī)相關(guān)技術(shù)領(lǐng)域,包括工作臺(tái)、支腿、驅(qū)動(dòng)器、控制面板,所述工作臺(tái)的內(nèi)部設(shè)置有定位組件,所述定位組件的下方設(shè)置有用于對(duì)冷卻液進(jìn)行處理的輔助組件,通過(guò)擺動(dòng)桿擺動(dòng)能通過(guò)銷(xiāo)軸帶動(dòng)兩組定位夾板對(duì)載盤(pán)進(jìn)行適當(dāng)?shù)膴A緊,能對(duì)載盤(pán)進(jìn)行定位工作,同時(shí)由于定位夾板的內(nèi)部設(shè)置有多組滑動(dòng)柱,能使載盤(pán)被夾緊限位的同時(shí)進(jìn)行流暢的轉(zhuǎn)動(dòng),能穩(wěn)定的對(duì)工件進(jìn)行拋光處理,同時(shí)滑槽板運(yùn)動(dòng)會(huì)通過(guò)斜槽帶動(dòng)滑柱向上運(yùn)動(dòng),滑柱運(yùn)動(dòng)能通過(guò)兩組頂板帶動(dòng)輔助板向上運(yùn)動(dòng),輔助板運(yùn)動(dòng)能推動(dòng)下旋轉(zhuǎn)盤(pán)向上運(yùn)動(dòng),能對(duì)載盤(pán)的高度位置進(jìn)行調(diào)整,能對(duì)載盤(pán)的位置進(jìn)行準(zhǔn)確定位,方便對(duì)工件進(jìn)行打磨拋光處理。

技術(shù)研發(fā)人員:歐陽(yáng)喜林
受保護(hù)的技術(shù)使用者:福州沁園科技服務(wù)有限公司
技術(shù)研發(fā)日:
技術(shù)公布日:2024/12/19
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