本發(fā)明涉及堿金屬平面靶材綁定，具體涉及一種堿金屬平面靶材綁定方法及堿金屬靶材組件。

背景技術(shù)：

1、近年來，隨著電子信息和高新技術(shù)產(chǎn)業(yè)的蓬勃發(fā)展，對新型薄膜材料的需求日益提高，薄膜材料的應(yīng)用直接影響到我國信息技術(shù)的發(fā)展進程。

2、濺射靶材是制備薄膜的原料，靶材的綜合質(zhì)量會對薄膜性能產(chǎn)生重要影響。在實際應(yīng)用中，需要將濺射靶材與金屬合金背板結(jié)合起來制成靶材組件進行濺射。如果靶材與背板之間的結(jié)合度較差，會導致靶材在濺射過程中變形、開裂、脫靶，不僅會影響濺射薄膜的性能，嚴重時會造成濺射機臺的損壞。

3、中國專利申請201910015776.3公開了一種鋰靶材組件的制造方法，其制造方法為提供鋰靶坯，所述鋰靶坯具有第一主表面和與第一主表面相反的第一背面；提供背板，所述背板具有第二主表面和與第二主表面相反的第二背面；對所述背板的第二主表面進行鍍鋰處理，形成鍍鋰層；將所述鋰靶坯的第一主表面與所述背板的第二主表面上的鍍鋰層相對設(shè)置并貼合，形成初始組件；在真空環(huán)境中，向所述初始組件施加壓力，使所述鋰靶坯與所述鍍鋰層結(jié)合，完成鋰靶坯與背板的綁定，從而形成鋰靶材組件。

4、該方案中所采用的綁定技術(shù)就是擴散焊技術(shù)，利用鋰靶與鋰鍍層在溫度和壓力的作用下，鋰原子相互擴散形成新的擴散層從而實現(xiàn)焊接綁定。在現(xiàn)有的綁定技術(shù)中，關(guān)于鋰靶材的綁定技術(shù)較少。

5、本方案需要解決的問題：如何提出一種降本增效的堿金屬平面靶材的綁定方法。

技術(shù)實現(xiàn)思路

1、本發(fā)明的目的是提出一種堿金屬平面靶材的綁定方法，通過導電膠里面的環(huán)氧樹脂以及導電介質(zhì)，提高與靶材直接的粘結(jié)力，并降低兩者之間的電阻。

2、為實現(xiàn)上述目的，本申請公開了一種堿金屬平面靶材綁定方法，包括以下步驟：

3、步驟1：將堿金屬平面靶材、背板烘干；

4、步驟2：分別將導電膠涂覆至堿金屬平面靶材綁定面以及背板綁定面；

5、步驟3：將涂有導電膠的堿金屬平面靶材綁定面放置于涂有導電膠的背板綁定面上，靜置、擠壓、固化，完成堿金屬平面靶材的綁定；

6、所述導電膠按質(zhì)量份數(shù)計由20～50份環(huán)氧樹脂、20～50份銅粉、5～20份石墨、1～10份二氧化硅、1～10份氧化鋁、1～10份碳酸鈣組成。

7、優(yōu)選地，所述堿金屬平面靶材為鋰靶材。

8、優(yōu)選地，所述步驟2的背板綁定面放置有兩根平行的由導電膠固化的銅絲，且銅絲直徑為0.1～0.5mm；

9、優(yōu)選地，所述堿金屬平面靶材綁定面涂覆導電膠的操作為：在堿金屬平面靶材綁定面上均勻涂布導電膠、靜置、使用硅膠片刮除表面殘留導電膠，并重復上述操作兩次，完成導電膠的涂覆。

10、所述堿金屬平面靶材綁定面的導電膠厚度為0.1～0.5mm。

11、優(yōu)選地，所述步驟3的靜置時間為3～10min。

12、優(yōu)選地，所述步驟3中固化溫度為60～100℃，固化時間為2～4h。

13、優(yōu)選地，所述導電膠內(nèi)還添加有二甲苯，且二甲苯為導電膠總質(zhì)量的25～75％。

14、優(yōu)選地，所述環(huán)氧樹脂選自雙酚a型環(huán)氧樹脂、雙酚f型環(huán)氧樹脂、多酚型縮水甘油醚中的至少一種。

15、優(yōu)選地，所述堿金屬平面靶材綁定方法需在水氧值低于0.1ppm的環(huán)境中進行。

16、此外，還公開一種堿金屬靶材組件，所述堿金屬靶材組件通過上述任一所述的堿金屬平面靶材綁定方法將堿金屬平面靶材綁定至背板得到。

17、本發(fā)明的有益效果是：

18、本發(fā)明提供了一種堿金屬平面靶材的綁定方法，通過導電膠里面的環(huán)氧樹脂以及導電介質(zhì)，提高與靶材之間的粘結(jié)力，并降低兩者之間的電阻，而且在導電膠中添加石墨進行輔助，可以提高靶材界面的導電性；該綁定工藝不僅設(shè)備、制備工藝簡單、成品率可達90％以上，而且還不會使堿金屬發(fā)生劇烈的化學反應(yīng)，擁有良好穩(wěn)定性。

技術(shù)特征：

1.一種堿金屬平面靶材綁定方法，其特征在于，包括以下步驟：

2.根據(jù)權(quán)利要求1所述的堿金屬平面靶材綁定方法，其特征在于，所述堿金屬平面靶材為鋰靶材。

3.根據(jù)權(quán)利要求1所述的堿金屬平面靶材綁定方法，其特征在于，所述步驟2的背板綁定面放置有兩根平行的由導電膠固化的銅絲，且銅絲直徑為0.1～0.5mm。

4.根據(jù)權(quán)利要求1所述的堿金屬平面靶材綁定方法，其特征在于，所述堿金屬平面靶材綁定面涂覆導電膠的操作為：在堿金屬平面靶材綁定面上涂布導電膠、靜置、使用硅膠片刮除表面殘留導電膠，并重復上述操作兩次，完成導電膠的涂覆；

5.根據(jù)權(quán)利要求1所述的堿金屬平面靶材綁定方法，其特征在于，所述步驟3的靜置時間為3～10min。

6.根據(jù)權(quán)利要求1所述的堿金屬平面靶材綁定方法，其特征在于，所述步驟3中固化溫度為60～100℃，固化時間為2～4h。

7.根據(jù)權(quán)利要求1所述的堿金屬平面靶材綁定方法，其特征在于，所述導電膠內(nèi)還添加有二甲苯，且二甲苯為導電膠總質(zhì)量的25～75％。

8.根據(jù)權(quán)利要求1所述的堿金屬平面靶材綁定方法，其特征在于，所述環(huán)氧樹脂選自雙酚a型環(huán)氧樹脂、雙酚f型環(huán)氧樹脂、多酚型縮水甘油醚中的至少一種。

9.根據(jù)權(quán)利要求1所述的堿金屬平面靶材綁定方法，其特征在于，所述堿金屬平面靶材綁定方法需在水氧值低于0.1ppm的環(huán)境中進行。

10.一種堿金屬靶材組件，其特征在于，所述堿金屬靶材組件通過權(quán)利要求1-9任一所述的堿金屬平面靶材綁定方法將堿金屬平面靶材綁定至背板得到。

技術(shù)總結(jié)
本發(fā)明屬于堿金屬平面靶材綁定技術(shù)領(lǐng)域，公開了一種堿金屬平面靶材綁定方法，通過在預(yù)處理好的堿金屬靶坯和背板之間，利用導電膠進行粘合，同時導電膠內(nèi)摻有導電介質(zhì)，在提供良好的粘附性的同時也降低堿金屬靶材與背板之間的電阻；此外，本申請還公開了一種導電膠，該導電膠中添加石墨代替?zhèn)鹘y(tǒng)的炭黑，提升靶材界面的導電性；此外，本申請還提供了一種鋰靶材組件，通過上述導電膠與堿金屬平面靶材綁定方法制得。

技術(shù)研發(fā)人員：程明羅,黃宇彬,童培云
受保護的技術(shù)使用者：先導薄膜材料（廣東）有限公司
技術(shù)研發(fā)日：
技術(shù)公布日：2024/12/19