本發(fā)明涉及蝕刻液技術(shù)領(lǐng)域，具體涉及一種抑制tft液晶顯示屏減薄后凹點(diǎn)的ito-ag-ito蝕刻液。
背景技術(shù)：
tft液晶顯示屏朝著輕薄化方向不斷發(fā)展，但是由于tft液晶顯示屏原始基材的問題，通過化學(xué)方法進(jìn)行減薄處理后會(huì)形成若干凹點(diǎn)，大大降低了產(chǎn)品的合格率。雖然通過研磨拋光的方法可以去除部分凹點(diǎn)，但是拋光過程可能導(dǎo)致tft產(chǎn)品產(chǎn)生zara和按壓不良的問題。同時(shí)，現(xiàn)有蝕刻液中甘油和乙二醇的粘度受溫度影響明顯，蝕刻過程本身為放熱反應(yīng)，對(duì)銀蝕刻時(shí)大量的熱積聚在時(shí)刻表面，溫度升高會(huì)導(dǎo)致甘油粘度增大，且粘度增加幅度較大，進(jìn)而導(dǎo)致局部氫氟酸和硝酸揮發(fā)，影響蝕刻液的ph值和蝕刻主體酸硝酸的含量。因此，亟需一種基于化學(xué)手段的凹點(diǎn)抑制方法，在保證產(chǎn)品性能的基礎(chǔ)上降低tft液晶顯示屏基板減薄過程中凹點(diǎn)的發(fā)生率。現(xiàn)有技術(shù)中有研究者進(jìn)行過諸多嘗試，但目前仍未取得理想的效果。
技術(shù)實(shí)現(xiàn)要素：
本發(fā)明旨在提供了一種抑制tft液晶顯示屏減薄后凹點(diǎn)的ito-ag-ito蝕刻液。
本發(fā)明提供如下技術(shù)方案：
一種抑制tft液晶顯示屏減薄后凹點(diǎn)的ito-ag-ito蝕刻液，其是由如下重量份數(shù)的原料組成：氫氟酸13-16份、硝酸18-22份、醋氟化氨9-14份、四氫呋喃6-10份、高氯酸鈉4-9份、乙二胺四乙酸二鈉5-12份、鉬酸鉀3-8份、菊酯4-8份、磷酸一氫鉀8-14份、非離子表面活性劑7-11份、添加劑3-6份、消泡劑5-9份、去離子水50-60份。
所述蝕刻液中每1000kg顆粒度大于0.2μm的不超過200個(gè)。
所述添加劑為有機(jī)膦磺酸。
所述有機(jī)膦磺酸的結(jié)構(gòu)通式為ho3s(ch2)m-n-(ch2po3h2)n中的至少一種，m為1-2，n為1-2。
所述消泡劑為選自二乙基己醇、異辛醇、異戊醇、二異丁基甲醇中的至少一種。
所述添加劑是氯化鉀或硝酸鉀或者兩者混合物。
與現(xiàn)有技術(shù)相比，本發(fā)明的有益效果是：本發(fā)明高氯酸鈉和乙二胺四乙酸二鈉的加入可以適當(dāng)增加蝕刻液的粘度，保證蝕刻過程中蝕刻表面具有合理的反應(yīng)物和生成物濃度梯度，可適當(dāng)降低銀蝕刻速率，有利于實(shí)現(xiàn)均勻蝕刻、得到可控的電極形狀；同時(shí)可明顯減少蝕刻過程中氫氟酸、硝酸的分解，有助于實(shí)現(xiàn)蝕刻過程的綠色生產(chǎn)；本發(fā)明蝕刻液用于在tft液晶顯示屏基板進(jìn)行酸蝕減薄前進(jìn)行蝕刻預(yù)處理，該蝕刻液對(duì)凹點(diǎn)抑制效果突出，顯著提升了產(chǎn)品合格率，同時(shí)成本較低、易于制備，因此具有良好的規(guī)?；瘧?yīng)用前景。
具體實(shí)施方式
下面將結(jié)合本發(fā)明實(shí)施例，對(duì)本發(fā)明實(shí)施例中的技術(shù)方案進(jìn)行清楚、完整地描述，顯然，所描述的實(shí)施例僅僅是本發(fā)明一部分實(shí)施例，而不是全部的實(shí)施例?；诒景l(fā)明中的實(shí)施例，本領(lǐng)域普通技術(shù)人員在沒有做出創(chuàng)造性勞動(dòng)前提下所獲得的所有其他實(shí)施例，都屬于本發(fā)明保護(hù)的范圍。
實(shí)施例1一種抑制tft液晶顯示屏減薄后凹點(diǎn)的ito-ag-ito蝕刻液，其是由如下重量份數(shù)的原料組成：氫氟酸13份、硝酸18份、醋氟化氨9份、四氫呋喃6份、高氯酸鈉4份、乙二胺四乙酸二鈉5份、鉬酸鉀3份、菊酯4份、磷酸一氫鉀8份、非離子表面活性劑7份、添加劑3份、消泡劑5份、去離子水50份。
所述蝕刻液中每1000kg顆粒度大于0.2μm的不超過200個(gè)。
所述添加劑為有機(jī)膦磺酸。
所述有機(jī)膦磺酸的結(jié)構(gòu)通式為ho3s(ch2)m-n-(ch2po3h2)n中的至少一種，m為1-2，n為1-2。
所述消泡劑為選自二乙基己醇、異辛醇、異戊醇、二異丁基甲醇中的至少一種。
所述添加劑是氯化鉀或硝酸鉀或者兩者混合物。
實(shí)施例2一種抑制tft液晶顯示屏減薄后凹點(diǎn)的ito-ag-ito蝕刻液，其是由如下重量份數(shù)的原料組成：氫氟酸16份、硝酸22份、醋氟化氨14份、四氫呋喃10份、高氯酸鈉9份、乙二胺四乙酸二鈉12份、鉬酸鉀8份、菊酯8份、磷酸一氫鉀14份、非離子表面活性劑11份、添加劑6份、消泡劑9份、去離子水60份。
所述蝕刻液中每1000kg顆粒度大于0.2μm的不超過200個(gè)。
所述添加劑為有機(jī)膦磺酸。
所述有機(jī)膦磺酸的結(jié)構(gòu)通式為ho3s(ch2)m-n-(ch2po3h2)n中的至少一種，m為1-2，n為1-2。
所述消泡劑為選自二乙基己醇、異辛醇、異戊醇、二異丁基甲醇中的至少一種。
所述添加劑是氯化鉀或硝酸鉀或者兩者混合物。
實(shí)施例3一種抑制tft液晶顯示屏減薄后凹點(diǎn)的ito-ag-ito蝕刻液，其是由如下重量份數(shù)的原料組成：氫氟酸14份、硝酸20份、醋氟化氨11份、四氫呋喃8份、高氯酸鈉7份、乙二胺四乙酸二鈉8份、鉬酸鉀5份、菊酯6份、磷酸一氫鉀11份、非離子表面活性劑9份、添加劑4份、消泡劑7份、去離子水55份。
所述蝕刻液中每1000kg顆粒度大于0.2μm的不超過200個(gè)。
所述添加劑為有機(jī)膦磺酸。
所述有機(jī)膦磺酸的結(jié)構(gòu)通式為ho3s(ch2)m-n-(ch2po3h2)n中的至少一種，m為1-2，n為1-2。
所述消泡劑為選自二乙基己醇、異辛醇、異戊醇、二異丁基甲醇中的至少一種。
所述添加劑是氯化鉀或硝酸鉀或者兩者混合物。
對(duì)于本領(lǐng)域技術(shù)人員而言，顯然本發(fā)明不限于所述示范性實(shí)施例的細(xì)節(jié)，而且在不背離本發(fā)明的精神或基本特征的情況下，能夠以其他的具體形式實(shí)現(xiàn)本發(fā)明。因此，無論從哪一點(diǎn)來看，均應(yīng)將實(shí)施例看作是示范性的，而且是非限制性的，本發(fā)明的范圍由所附權(quán)利要求而不是所述說明限定，因此旨在將落在權(quán)利要求的等同要件的含義和范圍內(nèi)的所有變化囊括在本發(fā)明內(nèi)。此外，應(yīng)當(dāng)理解，雖然本說明書按照實(shí)施方式加以描述，但并非每個(gè)實(shí)施方式僅包含一個(gè)獨(dú)立的技術(shù)方案，說明書的這種敘述方式僅僅是為清楚起見，本領(lǐng)域技術(shù)人員應(yīng)當(dāng)將說明書作為一個(gè)整體，各實(shí)施例中的技術(shù)方案也可以經(jīng)適當(dāng)組合，形成本領(lǐng)域技術(shù)人員可以理解的其他實(shí)施方式。