1.一種提高耐熱材料抗蒸汽氧化性能的表面預(yù)氧化裝置，其特征在于：包括氣體混合器(5)，與氣體混合器(5)入口連通的臭氧發(fā)生器(1)和惰性氣體存儲罐(2)，分別設(shè)置在氣體混合器(5)與臭氧發(fā)生器(1)和惰性氣體存儲罐(2)連通的管路上的一號流量計(jì)(3)和二號流量計(jì)(4)，與氣體混合器(5)出口通過循環(huán)管道(8)連通的耐熱鋼或合金管屏(6)，設(shè)置在耐熱鋼或合金管屏(6)出口處的臭氧檢測器(7)，所述氣體混合器(5)的出口與耐熱鋼或合金管屏(6)的入口通過循環(huán)管道(8)連通為回路。
2.根據(jù)權(quán)利要求1所述的提高耐熱材料抗蒸汽氧化性能的表面預(yù)氧化裝置，其特征在于：所述臭氧發(fā)生器(1)中直接得到的以氧氣為氧源產(chǎn)生的臭氧，滿足其新鮮程度且保證所產(chǎn)生臭氧的半衰期不少于表面預(yù)氧化裝置運(yùn)行時間的2～3倍。
3.根據(jù)權(quán)利要求1所述的提高耐熱材料抗蒸汽氧化性能的表面預(yù)氧化裝置，其特征在于：所述耐熱鋼或合金管屏(6)為過熱器或再熱器的耐熱鋼或合金管屏。