本實(shí)用新型涉及研磨設(shè)備技術(shù)領(lǐng)域,具體是一種對硅棒的端面進(jìn)行研磨的裝置。
背景技術(shù):
硅棒在加工時需要將硅棒的兩端夾緊,然后在滾磨機(jī)上進(jìn)行研磨,得到圓柱狀結(jié)構(gòu)的硅棒。但是加工前的硅棒的兩個端面不是平面,而是不均勻的,與夾具接觸時不是面面接觸,而是點(diǎn)面接觸,這樣在研磨過程中硅棒固定不穩(wěn)定,導(dǎo)致研磨出來的硅棒的圓度不夠,甚至研磨出橫截面為橢圓狀的硅棒。因此在硅棒研磨之前需要將其兩個端面研磨成平面,以解決上述問題。本實(shí)用新型提供了一種對硅棒的端面進(jìn)行研磨的裝置,能夠穩(wěn)定的固定硅棒,可將硅棒的兩個端面研磨成平面,有利于后期加工出精度更高的硅棒。
技術(shù)實(shí)現(xiàn)要素:
有鑒于此,本實(shí)用新型旨在提供提供了一種結(jié)構(gòu)簡單,設(shè)計(jì)合理,使用方便,能夠穩(wěn)定的固定硅棒,可將硅棒的兩個端面研磨成平面,有利于后期加工出精度更高的硅棒的對硅棒的端面進(jìn)行研磨的裝置。
為達(dá)到上述目的,本實(shí)用新型的技術(shù)方案是這樣實(shí)現(xiàn)的:一種對硅棒的端面進(jìn)行研磨的裝置,包括一機(jī)架,所述機(jī)架上設(shè)有一研磨機(jī)構(gòu)和一夾持機(jī)構(gòu),所述研磨機(jī)構(gòu)位于機(jī)架的頂部,所述夾持機(jī)構(gòu)位于機(jī)架的底部,
所述研磨機(jī)構(gòu)包括汽缸一,所述汽缸一的缸體固定于機(jī)架的頂部,所述汽缸一的輸出端設(shè)有一砂輪,所述砂輪由一電機(jī)驅(qū)動;
所述夾持機(jī)構(gòu)包括一底盤,所述底盤上均勻分布有若干個滑軌,所述滑軌呈輻射狀分布,所述滑軌上滑動連接一滑塊,所述滑塊由汽缸二驅(qū)動,所述汽缸二的缸體固定于底盤的外側(cè),所述汽缸二的輸出端固定于滑塊的一端,所述滑塊的另一端設(shè)有一推桿。
進(jìn)一步地,所述砂輪為碗狀結(jié)構(gòu)。
進(jìn)一步地,所述砂輪的內(nèi)部為鋁基合金材質(zhì),外表面為金剛砂材質(zhì)。
進(jìn)一步地,所述滑塊為橫截面為燕尾型。
進(jìn)一步地,所述底盤上均勻分布有三個滑軌。
進(jìn)一步地,所述推桿的自由端設(shè)有一推板。
進(jìn)一步地,所述推板的橫截面為圓弧形結(jié)構(gòu),所述推板的凹面朝向底盤的圓心設(shè)置。
進(jìn)一步地,所述推板的凸面上設(shè)有一固定板,所述固定板上設(shè)有固定孔。
進(jìn)一步地,所述推桿的自由端設(shè)有一插槽和插孔,所述插孔貫穿插槽,所述插孔的方向垂直于插槽,所述固定板插入插槽內(nèi),并由螺栓穿過插孔與固定孔進(jìn)行固定。
進(jìn)一步地,所述底盤的中心設(shè)有一緩沖墊。
相對于現(xiàn)有技術(shù),本實(shí)用新型具有以下優(yōu)勢:
本實(shí)用新型對硅棒的端面進(jìn)行研磨的裝置,結(jié)構(gòu)簡單,設(shè)計(jì)合理,使用方便,能夠穩(wěn)定的固定硅棒,可將硅棒的兩個端面研磨成平面,有利于后期加工出精度更高的硅棒。
附圖說明
構(gòu)成本實(shí)用新型的一部分的附圖用來提供對本實(shí)用新型的進(jìn)一步理解,本實(shí)用新型的示意性實(shí)施例及其說明用于解釋本實(shí)用新型,并不構(gòu)成對本實(shí)用新型的不當(dāng)限定。在附圖中:
圖1為本實(shí)用新型的結(jié)構(gòu)示意圖。
圖2為本實(shí)用新型的夾持機(jī)構(gòu)的結(jié)構(gòu)示意圖。
圖3為本實(shí)用新型的滑軌與滑塊配合的結(jié)構(gòu)示意圖。
圖4為本實(shí)用新型的推桿的結(jié)構(gòu)示意圖。
圖5為本實(shí)用新型的推板的結(jié)構(gòu)示意圖。
圖6為本實(shí)用新型的推桿與推板配合的結(jié)構(gòu)示意圖。
圖中:
1、機(jī)架;2、汽缸一;3、砂輪;4、電機(jī);5、底盤;6、滑軌;7、滑塊;8、汽缸二;9、推桿;10、推板;11、固定板;12、固定孔;13、插槽;14、插孔;15、螺栓;16、緩沖墊。
具體實(shí)施方式
需要說明的是,在不沖突的情況下,本實(shí)用新型中的實(shí)施例及實(shí)施例中的特征可以相互組合。
在本實(shí)用新型的描述中,需要理解的是,術(shù)語“中心”、“縱向”、“橫向”、“上”、“下”、“前”、“后”、“左”、“右”、“豎直”、“水平”、“頂”、“底”、“內(nèi)”、“外”等指示的方位或位置關(guān)系為基于附圖所示的方位或位置關(guān)系,僅是為了便于描述本實(shí)用新型和簡化描述,而不是指示或暗示所指的裝置或元件必須具有特定的方位、以特定的方位構(gòu)造和操作,因此不能理解為對本實(shí)用新型的限制。此外,術(shù)語“第一”、“第二”等僅用于描述目的,而不能理解為指示或暗示相對重要性或者隱含指明所指示的技術(shù)特征的數(shù)量。由此,限定有“第一”、“第二”等的特征可以明示或者隱含地包括一個或者更多個該特征。在本實(shí)用新型的描述中,除非另有說明,“多個”的含義是兩個或兩個以上。
在本實(shí)用新型的描述中,需要說明的是,除非另有明確的規(guī)定和限定,術(shù)語“安裝”、“相連”、“連接”應(yīng)做廣義理解,例如,可以是固定連接,也可以是可拆卸連接,或一體地連接;可以是機(jī)械連接,也可以是電連接;可以是直接相連,也可以通過中間媒介間接相連,可以是兩個元件內(nèi)部的連通。對于本領(lǐng)域的普通技術(shù)人員而言,可以通過具體情況理解上述術(shù)語在本 實(shí)用新型中的具體含義。
下面將參考附圖并結(jié)合實(shí)施例來詳細(xì)說明本實(shí)用新型。
如圖1-6所示,一種對硅棒的端面進(jìn)行研磨的裝置,包括一機(jī)架1,機(jī)架1上設(shè)有一研磨機(jī)構(gòu)和一夾持機(jī)構(gòu),研磨機(jī)構(gòu)位于機(jī)架1的頂部,夾持機(jī)構(gòu)位于機(jī)架1的底部,研磨機(jī)構(gòu)包括汽缸一2,汽缸一2的缸體固定于機(jī)架1的頂部,汽缸一2的輸出端設(shè)有一砂輪3,砂輪3為碗狀結(jié)構(gòu),砂輪3的內(nèi)部為鋁基合金材質(zhì),外表面為金剛砂材質(zhì),砂輪3由一電機(jī)4驅(qū)動;
夾持機(jī)構(gòu)包括一底盤5,底盤5的中心設(shè)有一緩沖墊16,底盤5上均勻分布有三個滑軌6,滑軌6呈輻射狀分布,滑軌6上滑動連接一滑塊7,滑塊7為橫截面為燕尾型,滑塊7由汽缸二8驅(qū)動,汽缸二8的缸體固定于底盤5的外側(cè),汽缸二8的輸出端固定于滑塊7的一端,滑塊7的另一端設(shè)有一推桿9,推桿9的自由端設(shè)有一推板10,推板10的橫截面為圓弧形結(jié)構(gòu),推板10的凹面朝向底盤5的圓心設(shè)置,推板10的凸面上設(shè)有一固定板11,固定板11上設(shè)有固定孔12,推桿9的自由端設(shè)有一插槽13和插孔14,插孔14貫穿插槽13,插孔14的方向垂直于插槽13,固定板11插入插槽13內(nèi),并由螺栓15穿過插孔14與固定孔12進(jìn)行固定。
本實(shí)施例的工作過程:使用時,將硅棒置于底盤5中心的緩沖墊16上,啟動三個汽缸二8,汽缸二8驅(qū)動滑塊7向硅棒移動,推板10的圓弧面與硅棒的外表面接觸,硅棒在三個推板10的作用下處于垂直穩(wěn)定的狀態(tài),此時啟動汽缸一2,汽缸一2驅(qū)動砂輪3與硅棒的上端面接觸,啟動電機(jī)4,電機(jī)4驅(qū)動砂輪3對硅棒的上端面進(jìn)行研磨,上端面研磨完畢之后,將硅棒的上下端反過來安裝,采用上述同樣的方法,對硅棒的另一端面進(jìn)行研磨。
以上所述僅為本實(shí)用新型的較佳實(shí)施例而已,并不用以限制本實(shí)用新型,凡在本實(shí)用新型的精神和原則之內(nèi),所作的任何修改、等同替換、改進(jìn)等,均應(yīng)包含在本實(shí)用新型的保護(hù)范圍之內(nèi)。