技術(shù)總結(jié)
本發(fā)明公開了一種用于MOCVD設備的噴淋頭，包括多個互相隔離的進氣室、相應的進氣管道以及位于噴淋頭中心的尾氣導管。由于噴淋頭同時具有進氣導管和尾氣導管，反應氣體經(jīng)噴淋頭的進氣導管從上向下噴入反應腔，最終經(jīng)噴淋頭中心的尾氣導管從下向上抽出，反應腔內(nèi)氣體沿徑向從外側(cè)向中心流動，可大幅減少反應物沿程損耗的不利影響，有利于獲得良好的外延生長均勻性。多個相互隔離的進氣腔可選擇性地輸運第一、第二或者第三反應氣體，通過選擇進氣腔合適的排列組合可以大幅提升金屬有機氣體的利用率，基本消除反應腔的側(cè)壁的反應物沉積。

技術(shù)研發(fā)人員：曹盛;徐龍權(quán);張建立;全知覺;趙鵬;羅磊;江風益
受保護的技術(shù)使用者：南昌大學;南昌黃綠照明有限公司
文檔號碼：201611022509
技術(shù)研發(fā)日：2016.11.21
技術(shù)公布日：2017.03.15