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真空磁控濺射鍍膜線真空保壓箱過渡室快速換氣裝置的制作方法

文檔序號:11126692閱讀:來源:國知局

技術特征:

1.一種真空磁控濺射鍍膜線真空保壓箱過渡室快速換氣裝置,包括保壓箱本體(1),所述保壓箱本體(1)的前段為過度室,其特征在于:在所述保壓箱本體(1)的過度室的頂面分布有至少兩個進氣口,在進氣口上安裝空氣管(2),所述空氣管(2)上設置有空氣自動流量調(diào)節(jié)閥(5),進氣筒(3)的一端封閉,另一端開口,所述空氣管(2)與進氣筒(3)的開口端相連,所述進氣筒(3)的筒壁上分布有若干進氣孔(3a),所述進氣筒(3)內(nèi)周向分布有若干過濾筒(4),所述過濾筒(4)由過濾棉圍成,所述過濾筒(4)沿進氣筒(3)的軸線延伸;所述保壓箱本體(1)的側(cè)面設置有抽氣管(6),所述抽氣管(6)與抽氣泵(7)相連。

2.根據(jù)權(quán)利要求1所述真空磁控濺射鍍膜線真空保壓箱過渡室快速換氣裝置,其特征在于:所述保壓箱本體(1)的頂面設置有四個進氣口,四個進氣口上均安裝有有空氣管(2)。

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