1.一種處理M50NiL軸承鋼的方法,其特征在于,所述方法包括:
(1)采用離子束在所述M50NiL軸承鋼表面進(jìn)行氮離子和碳離子共滲;
(2)采用離子束在步驟(1)得到的M50NiL軸承鋼表面注入第一稀土離子;
(3)采用離子束在步驟(2)得到的M50NiL軸承鋼表面注入第二稀土離子;
(4)采用離子束對步驟(3)得到的M50NiL軸承鋼進(jìn)行注入處理;
(5)采用離子束在步驟(4)得到的M50NiL軸承鋼表面交替注入金屬離子和氣體離子,以便得到強(qiáng)化M50NiL軸承鋼。
2.根據(jù)權(quán)利要求1所述的方法,其特征在于,步驟(1)~步驟(5)是在真空度為3.0×10-4Pa~1.8×10-3Pa條件下進(jìn)行的。
3.根據(jù)權(quán)利要求1或2所述的方法,其特征在于,在步驟(1)中,采用離子束在所述M50NiL軸承鋼表面進(jìn)行氮離子和碳離子共滲的離子注入能量為70KeV~100KeV,時間為1~2小時。
4.根據(jù)權(quán)利要求1或2所述的方法,其特征在于,所述第一稀土離子為鈰離子,所述第二稀土離子為釔離子,所述第一稀土離子和所述第二稀土離子的注入劑量分別獨(dú)立地為0.3×1017ions/cm2~0.7×1017ions/cm2,優(yōu)選0.5×1017ions/cm2。
5.根據(jù)權(quán)利要求1所述的方法,其特征在于,在步驟(4)中,采用氮離子束對步驟(3)得到的M50NiL軸承鋼進(jìn)行注入處理,注入能量為40KeV~70KeV,時間為1~2小時,優(yōu)選注入能量為50KeV,時間為2小時。
6.根據(jù)權(quán)利要求1所述的方法,其特征在于,在步驟(5)中,所述金屬離子為鋯離子、鈦離子或鉻離子,所述氣體離子為氮離子。
7.根據(jù)權(quán)利要求6所述的方法,其特征在于,在步驟(5)中,注入所述氣體離子采用純度為99.99%的氣體源,注入能量為70KeV~100KeV,注入劑量為1.0×1017ions/cm2~4.0×1017ions/cm2,
注入所述金屬離子采用純度為99.98%的金屬靶材,注入能量為50KeV~80KeV,注入劑量為1.2×1017ions/cm2~4.5×1017ions/cm2。
8.根據(jù)權(quán)利要求1所述的方法,其特征在于,進(jìn)一步包括:采用離子束在所述M50NiL軸承鋼表面進(jìn)行氮離子和碳離子共滲之前,預(yù)先對所述M50NiL軸承鋼表面進(jìn)行去油脂、去銹點(diǎn)、去雜質(zhì)、去有機(jī)物殘留、超聲清洗。
9.一種強(qiáng)化M50NiL軸承鋼,其特征在于,所述強(qiáng)化M50NiL軸承鋼是采用權(quán)利要求1~8中任一項所述的方法得到的。
10.一種軸承,其特征在于,所述軸承是采用權(quán)利要求9所述的強(qiáng)化M50NiL軸承鋼制備得到的。