1.一種帶涂膜切削工具的成膜裝置，具備在切削工具上形成涂膜的成膜室、經(jīng)由真空閥分別與所述成膜室連結(jié)的預(yù)處理室及后處理室、及從所述預(yù)處理室經(jīng)由所述成膜室向所述后處理室輸送所述切削工具的輸送路徑，且所述成膜裝置為使用沿輸送方向以豎立姿勢配置有支撐所述切削工具的多個桿的輸送載體的直列式的成膜裝置，其中，
所述成膜室具備在所述切削工具上形成所述涂膜的成膜區(qū)域、沿所述輸送路徑輸送所述輸送載體并使其通過所述成膜區(qū)域的輸送裝置、沿載體輸送方向與所述成膜區(qū)域相鄰配置且對所述切削工具進(jìn)行加熱的加熱區(qū)域、及在所述成膜區(qū)域與所述真空閥之間收容所述輸送載體的載體待機(jī)區(qū)域。
2.根據(jù)權(quán)利要求1所述的帶涂膜切削工具的成膜裝置，其中，
在所述成膜區(qū)域以隔著所述輸送載體的輸送路徑的方式設(shè)置有多個靶，
在所述加熱區(qū)域以隔著所述輸送載體的輸送路徑的方式設(shè)置有多個加熱裝置。
3.根據(jù)權(quán)利要求1或2所述的帶涂膜切削工具的成膜裝置，其中，
在所述載體輸送方向上的所述成膜區(qū)域的兩側(cè)分別設(shè)置有所述加熱區(qū)域。
4.根據(jù)權(quán)利要求1或2所述的帶涂膜切削工具的成膜裝置，其中，
沿所述載體輸送方向設(shè)置有多個所述成膜區(qū)域。
5.根據(jù)權(quán)利要求4所述的帶涂膜切削工具的成膜裝置，其中，
在多個所述成膜區(qū)域的所述載體輸送方向的兩側(cè)分別設(shè)置有所述加熱區(qū)域。
6.根據(jù)權(quán)利要求4所述的帶涂膜切削工具的成膜裝置，其中，
沿所述載體輸送方向交替配置有多個所述加熱區(qū)域及多個所述成膜區(qū)域，在所述載體輸送方向上的所述成膜區(qū)域的兩側(cè)分別設(shè)置有所述加熱區(qū)域。
7.根據(jù)權(quán)利要求3、5或6所述的帶涂膜切削工具的成膜裝置，其中，
設(shè)置在一個或多個所述成膜區(qū)域的兩側(cè)的兩個加熱區(qū)域之間的長度小于所述輸送載體的所述輸送方向的長度。
8.根據(jù)權(quán)利要求1至7中任一項(xiàng)所述的帶涂膜切削工具的成膜裝置，其中，
在所述輸送載體上設(shè)置有使所述切削工具旋轉(zhuǎn)的旋轉(zhuǎn)機(jī)構(gòu)。
9.根據(jù)權(quán)利要求1至8中任一項(xiàng)所述的帶涂膜切削工具的成膜裝置，其中，
在所述加熱區(qū)域與所述真空閥之間設(shè)置有收容至少一個所述輸送載體的載體待機(jī)區(qū)域。
10.根據(jù)權(quán)利要求1至9中任一項(xiàng)所述的帶涂膜切削工具的成膜裝置，其中，
所述加熱區(qū)域的所述輸送方向的寬度小于所述輸送載體的所述輸送方向的長度。
11.一種切削工具用涂膜的成膜方法，其使用直列式的成膜裝置而在所述切削工具的表面形成涂膜，所述成膜裝置具備在切削工具上形成涂膜的成膜室、經(jīng)由真空閥分別與所述成膜室連結(jié)的預(yù)處理室及后處理室、及從所述預(yù)處理室經(jīng)由所述成膜室向所述后處理室輸送所述切削工具的輸送路徑，且所述成膜裝置為使用沿輸送方向以豎立姿勢配置有支撐所述切削工具的多個桿的輸送載體的直列式的成膜裝置，其中，
所述切削工具用涂膜的成膜方法包含以下步驟：
將所述切削工具搭載于輸送載體上；
向所述成膜室搬入所述輸送載體；及
在所述成膜室內(nèi)沿所述輸送路徑輸送所述輸送載體，并且使其依次通過對所述切削工具進(jìn)行加熱的加熱區(qū)域及形成所述涂膜的成膜區(qū)域。
12.根據(jù)權(quán)利要求11所述的切削工具用涂膜的成膜方法，其中，
在所述加熱區(qū)域從隔著所述輸送路徑的兩側(cè)對所述切削工具進(jìn)行加熱，在所述成膜區(qū)域從隔著所述輸送路徑的兩側(cè)進(jìn)行所述涂膜的成膜。
13.根據(jù)權(quán)利要求11或12所述的切削工具用涂膜的成膜方法，其中，
對所述成膜區(qū)域在所述輸送載體的輸送方向的兩側(cè)分別配置所述加熱區(qū)域，并使所述輸送載體相對于包含多個所述加熱區(qū)域及所述成膜區(qū)域的區(qū)域往復(fù)移動，以在所述切削工具上形成多層的涂膜。
14.根據(jù)權(quán)利要求11或12所述的切削工具用涂膜的成膜方法，其中，
沿所述輸送載體的輸送方向配置多個所述成膜區(qū)域，并使所述輸送載體依次通過多個所述成膜區(qū)域，以在所述切削工具上形成多層的所述涂膜。
15.根據(jù)權(quán)利要求14所述的切削工具用涂膜的成膜方法，其中，
使所述輸送載體沿所述輸送載體的輸送方向交替通過多個所述加熱區(qū)域及多個所述成膜區(qū)域。
16.根據(jù)權(quán)利要求11至15中任一項(xiàng)所述的切削工具用涂膜的成膜方法，其中，
使所述切削工具在所述輸送載體上旋轉(zhuǎn)并且進(jìn)行所述涂膜的成膜。