用于加熱cvd反應(yīng)器的基座的設(shè)備的制作方法
【專利摘要】本實(shí)用新型涉及一種用于加熱CVD反應(yīng)器(1)的基座(4)的設(shè)備，具有至少一個(gè)加熱件(9、19)，其中，加熱件(9、19)的部段或者不同的加熱件(9、19)并排延伸并且借助支撐件(10、20)相對(duì)于支撐板被位置固定，其中，支撐件(10、20)分別具有形狀接合地插入支撐板(29)的固定開(kāi)口內(nèi)的支腳(15、16、17；25、26、27)和與橫向于支撐板(29)的延伸面延伸的柄部(14、24)相連接的頭部(11、12、13；21、22、23)，加熱件(9、19)固定在頭部(11、12、13；21、22、23)上。為了改進(jìn)支撐件和連接件在加熱設(shè)備上的固定，建議支腳(15、16、17；25、26、27)通過(guò)形狀接合固定件(15、16、17；25、26、27)固定在支撐板(29)的固定開(kāi)口(38)內(nèi)，形狀接合固定件(15、16、17；25、26、27)將支撐件(10、20)束縛在支撐板(29)上。
【專利說(shuō)明】用于加熱CVD反應(yīng)器的基座的設(shè)備

【技術(shù)領(lǐng)域】
[0001]本發(fā)明涉及一種用于加熱尤其CVD (化學(xué)氣相沉積)反應(yīng)器的基座的設(shè)備，具有至少一個(gè)加熱件，其中，所述加熱件的部段或者不同的加熱件并排延伸并且借助支撐件相對(duì)于支撐板被位置固定，其中，所述支撐件分別具有形狀接合地、牢固地插入所述支撐板的固定開(kāi)口內(nèi)的支腳，并且其中與橫向于所述支撐板的延伸面延伸的柄部相連接的頭部固定在頸部件上。
[0002]本發(fā)明還涉及一種用于加熱尤其CVD反應(yīng)器的基座的設(shè)備，具有至少一個(gè)加熱件，所述加熱件與至少一個(gè)接觸板相連接，所述接觸板借助連接件相對(duì)于支撐板被位置固定。

【背景技術(shù)】
[0003]CVD反應(yīng)器具有反應(yīng)器殼體，處理室處于反應(yīng)器殼體內(nèi)。反應(yīng)器殼體將處理室氣密地與周?chē)h(huán)境相隔絕。進(jìn)氣機(jī)構(gòu)處于在反應(yīng)器殼體內(nèi)，氣體原料通過(guò)進(jìn)氣機(jī)構(gòu)被導(dǎo)入處理室中。待涂覆的基板安置在基座上?；鶚?gòu)成處理室的底板，氣體原料被輸入到處理室內(nèi)。為了在基板上沉淀層，基板表面必須被加熱到處理溫度，該處理溫度在1000°c范圍內(nèi)。這通過(guò)安置在基座下面的加熱設(shè)備實(shí)現(xiàn)。位于基座幾厘米之上的進(jìn)氣機(jī)構(gòu)常常例如通過(guò)冷卻液被冷卻。由此，在處理室內(nèi)產(chǎn)出了變化劇烈的垂直溫度差，其導(dǎo)致從基座到進(jìn)氣機(jī)構(gòu)的加大的放熱。因此為了達(dá)到處理溫度，需要加熱設(shè)備以較大的導(dǎo)熱率進(jìn)行輸入。加熱設(shè)備的加熱件必須將溫度加熱到約2000°C。此外還需要大面積的加熱。
[0004]US 7，645，342 B2描述了一種加熱設(shè)備，具有圍繞中心圓弧形布置的加熱絲。加熱絲借助支撐件與支撐板相連接。
[0005]在DE 26 30 466 Al或US 3，345，498中描述了一種沿螺旋線延伸的加熱件。US7，573，004也示出一種在圓弧線上延伸的加熱件。由US 3，567，906已知一種波紋形狀延伸的加熱件。
[0006]例如DE 10 2009 043 960 AU DE 10 2007 009 145 AU DE 103 29 107 Al、DE10 2005 056 536 AU DE 10 2006 018 515 Al 或 DE 10 2007 027 704 Al 示出一種用于加熱CVD反應(yīng)器的基座的設(shè)備。


【發(fā)明內(nèi)容】

[0007]按照本發(fā)明的設(shè)備的加熱件通過(guò)接通電流進(jìn)行加熱。各個(gè)加熱機(jī)構(gòu)的兩個(gè)端部與接觸板相連接。加熱件安置在至少一個(gè)平面內(nèi)。但是也可行的是，加熱件在相互不同的平行平面內(nèi)安置。加熱件在相應(yīng)的平面上沿圓弧形或螺旋形的線延伸。尤其規(guī)定，加熱件螺旋形地安置。這使得彼此不同的加熱器或同一個(gè)加熱器的不同的部段并排地延伸。為了如此固定并排延伸的加熱器的位置，使得即便在加熱或冷卻時(shí)加熱設(shè)備的部件劇烈移動(dòng)的情況下，它們也不會(huì)相接觸，因此設(shè)置有支撐件，其將加熱件在多個(gè)位置、尤其在相互均勻間隔的位置上與支撐板相連接。此外還設(shè)置有連接件，一個(gè)或多個(gè)接觸板通過(guò)連接件與支撐板相連接。所述連接件還具有的作用是，避免不同的接觸板在加熱設(shè)備加熱和冷卻時(shí)彼此接觸。
[0008]本發(fā)明所要解決的技術(shù)問(wèn)題是，改進(jìn)支撐件或連接件在加熱設(shè)備上的固定。
[0009]所述技術(shù)問(wèn)題通過(guò)按照本發(fā)明的用于加熱尤其CVD反應(yīng)器的基座的設(shè)備得以解決。
[0010]首先并且根本上建議，支撐件具有支腳，該支腳形狀接合地、牢固地插入支撐板的固定開(kāi)口中。支撐件具有柄部，所述柄部橫向于支撐板的延伸平面延伸。在柄部的端部上具有頭部，加熱件固定在所述頭部上。設(shè)置有形狀接合固定件，支腳借助該形狀接合固定件固定在支撐板上。所述形狀接合固定件將支撐件沿柄部的延伸方向束縛在支撐板上。支撐件由此沿柄部的延伸方向具有最小化的、優(yōu)選減小到零的移動(dòng)間隙。在此，設(shè)置有從上面夾持支撐板的形狀接合固定件和從下面夾持支撐板的形狀接合固定件。所述形狀接合固定件可以由從柄部上橫向于柄部的延伸方向突起的固持凸起或固定凸起構(gòu)成。優(yōu)選如此設(shè)計(jì)至少一個(gè)固持凸起，使得該固持凸起可穿過(guò)支撐板的固定開(kāi)口。通過(guò)旋轉(zhuǎn)和/或彎曲操作，至少一個(gè)固定凸起可以被置入束縛位置中。例如將支撐件在插入固定開(kāi)口后旋轉(zhuǎn)90°，由此可以實(shí)現(xiàn)上述操作。但還可行的是，僅彎曲至少一個(gè)固持凸起，使得固持凸起的部段可以支承在支撐板的底側(cè)上。固定凸起安置在支撐板的上側(cè)上。優(yōu)選分別設(shè)置有兩個(gè)固持凸起和兩個(gè)固定凸起。兩個(gè)凸起對(duì)可以設(shè)計(jì)為從柄部的側(cè)面凸起的接片。在固持凸起和固定凸起之間延伸著頸部，該頸部在支撐件的固定狀態(tài)下位于固定開(kāi)口中。固定凸起和/或固持凸起也可以支承在插入件上。插入件可以是絕緣體。在這種情況下，支撐板可以由金屬材料制造。支撐板能夠尤其由鎢或鑰構(gòu)成。但還可規(guī)定，支撐板由陶瓷材料制成。支撐板尤其是絕緣的。至少支撐件的支腳可以被設(shè)計(jì)為平板件。固定開(kāi)口可以是長(zhǎng)孔。該長(zhǎng)孔可以具有窄孔段，該窄孔段的寬度等于支撐件或支腳的材料厚度。支撐件可以由例如鎢或鑰構(gòu)成的金屬平板件制成。在此能夠是沖壓件。此外，固定開(kāi)口具有寬孔段，該寬孔段的寬度等于頸部的寬度，使得頸部可以在較寬的固定孔部段的內(nèi)部旋轉(zhuǎn)90 °，以便側(cè)向突出的固定凸起可以從下面扣住支撐板的底側(cè)。支撐件的頭部可以具有至少一個(gè)弧形延伸的支承面。側(cè)面的臂在側(cè)面設(shè)置在該支承面的兩側(cè)。支承面可以被設(shè)計(jì)為弧形的凹穴(Mulde)。但也可規(guī)定，支承面由四周封閉的開(kāi)口的邊緣構(gòu)成。開(kāi)口可以具有圓形的橫截面。支承面優(yōu)選可以具有齒紋。加熱件接觸地貼靠在支承面上。加熱件可以是一種螺旋盤(pán)繞的加熱線。優(yōu)選延伸有兩條并排的、設(shè)計(jì)為雙股螺旋線的加熱線。通過(guò)固定線，設(shè)計(jì)為加熱件的加熱線被固定在支撐件上。為了將固定線固定，支撐件和尤其支撐件的頭部具有至少一個(gè)凹槽。但也可以設(shè)置多個(gè)凹槽，在固定狀態(tài)下固定線置于凹槽中。
[0011]此外，本發(fā)明還涉及對(duì)連接件的改進(jìn)，一個(gè)或多個(gè)接觸板通過(guò)連接件與支撐板相連接。接觸板通過(guò)連接件被位置固定。通過(guò)連接件也可以將兩個(gè)平行平面安置的接觸板相互連接。由此，連接件也可以共同將在三個(gè)平行平面安置的板件、即支撐板和兩個(gè)接觸板相互連接。在此也設(shè)置有形狀接合固定件，該形狀接合固定件將連接件的部段分別固持在支撐件的開(kāi)口或接觸板的開(kāi)口中。形狀接合固定件也可以嵌接在插入開(kāi)口中的絕緣體上。當(dāng)支撐板由金屬制成或者當(dāng)兩個(gè)接觸板相互連接時(shí)，這尤其是有利的。形狀接合固定件如此設(shè)計(jì)，使得該形狀接合固定件將支撐板或至少一個(gè)接觸板沿連接件的延伸方向、也就是沿橫向于接觸板或支撐板的延伸平面束縛在連接件上。所述連接件按照本發(fā)明以最小化的移動(dòng)間隙被束縛在接觸板或支撐板上。為了將兩個(gè)接觸板相互連接至少設(shè)置有間隔體。在此這種間隔體能夠是一種套筒形狀的部件，其被連接件穿過(guò)。形狀接合固定件可以是支撐凸起，該支撐凸起嵌接在支撐板或接觸板上或者在插入開(kāi)口內(nèi)的絕緣體上。但是還可以規(guī)定，形狀接合固定件被設(shè)計(jì)為連接件的橫向開(kāi)口，固定件的銷(xiāo)插入該橫向開(kāi)口中。所述固定件能夠是一種盤(pán)狀的部件，其通過(guò)一個(gè)舌片形成插入連接件開(kāi)口中的固定銷(xiāo)。連接件的兩個(gè)端部尤其分別具有橫向開(kāi)口，所述銷(xiāo)插入該橫向開(kāi)口中。通過(guò)插入或穿透所述開(kāi)口而實(shí)現(xiàn)連接件的裝配。所述開(kāi)口具有足夠的開(kāi)口尺寸，使得支撐凸起可以在此穿過(guò)。然而為了可以實(shí)現(xiàn)支撐件的支承，支撐件可以支承在墊片上。墊片可以具有一條縫隙，使得墊片隨之可以安置在支撐凸起的下面。插入件、尤其絕緣體可以被分為兩部件，使得所述插入件同樣可以在穿過(guò)連接件之后能夠穿過(guò)開(kāi)口裝配。尤其兩部件形式的絕緣體具有直徑較小的部段，該部段可以插入接觸板的開(kāi)口中。插入件的直徑較大的部段支撐在接觸板的上表面上。
[0012]前述支撐件不僅可以由導(dǎo)電材料制造。還規(guī)定，支撐件或連接件由陶瓷材料制造或者所述支撐件或連接件具有絕緣層、例如以30至40 μ m的層厚度被涂層。即可以將絕緣的支撐件/連接件涂層，也可以將導(dǎo)電的支撐件/連接件涂層。使用絕緣的支撐件或連接件的優(yōu)點(diǎn)是，支撐板可以由導(dǎo)電材料、如鑰制成，并且為了連接接觸板不需要設(shè)置絕緣體。
[0013]還建議，支撐板由金屬制造并且具有30至40 μ m的涂層。在前述支撐板的涂層中，支撐件或連接件可以是一種碳化硅。金屬的支撐件或連接件優(yōu)選被涂覆有碳化硅涂層，因?yàn)檫@種保護(hù)層阻止了由陶瓷材料、如氮化硼(Bohrnitrit)制成的支撐板與金屬的、可由鑰構(gòu)成的支撐件或連接件之間的反應(yīng)。

【專利附圖】

【附圖說(shuō)明】
[0014]以下結(jié)合附圖對(duì)本發(fā)明的實(shí)施例進(jìn)行說(shuō)明。在附圖中:
[0015]圖1示出CVD反應(yīng)器的結(jié)構(gòu)示意圖，
[0016]圖2示出多區(qū)加熱器的側(cè)視圖，
[0017]圖3示出多區(qū)加熱器的俯視圖，
[0018]圖4示出沿剖切線IV-1V剖切支撐件的第一實(shí)施例所得的剖面圖，
[0019]圖5示出在插入孔內(nèi)置入的第一階段的第一支撐件的立體圖，
[0020]圖6示出根據(jù)圖5的在插入孔內(nèi)固定插入件的第二階段的示意圖，
[0021]圖7示出根據(jù)圖5的支撐件10在支撐板29上形狀接合地束縛后的示意圖，
[0022]圖8示出加熱件9借助固定線14在支撐件10上的固定，
[0023]圖9示出支撐件10的第二實(shí)施例，
[0024]圖10示出支撐件10的第三實(shí)施例，
[0025]圖11示出支撐件10的第四實(shí)施例，
[0026]圖12示出支撐件10的第五實(shí)施例，
[0027]圖13示出在根據(jù)圖5的視圖內(nèi)支撐件的固定，但是具有變化的插入孔38，
[0028]圖14示出支撐件10的第六實(shí)施例，
[0029]圖15示出根據(jù)圖3的剖切線XV-XV剖切所得的視圖內(nèi)，支撐件的第七實(shí)施例，
[0030]圖16示出圖15所示支撐件20的立體圖，
[0031]圖17示出沿圖3的剖切線XVI1-XVII剖切所得的剖面圖，
[0032]圖18示出圖17的剖面圖區(qū)域的立體圖，
[0033]圖19示出根據(jù)圖18的視圖，但是具有完整的間隔體37、絕緣體35和固定件36，
[0034]圖20示出沿圖17的剖切線XX-XX剖切所得的剖面圖，和
[0035]圖21示出連接件30的第二實(shí)施例。

【具體實(shí)施方式】
[0036]圖1示意性地示出CVD反應(yīng)器的粗略結(jié)構(gòu)。該CVD反應(yīng)器具有向外氣密的例如由不銹鋼制成的殼體，在殼體內(nèi)接合未示出的供氣管道。供氣管道接合在進(jìn)氣機(jī)構(gòu)3的空腔內(nèi)，進(jìn)氣機(jī)構(gòu)3具有排氣面，該排氣面構(gòu)成處理室2的遮蓋面。處理氣體通過(guò)排氣板內(nèi)的出氣孔流入處理室2內(nèi)。處理室2的底板由基座4構(gòu)成，在該基座4上放置有待涂覆的基板、例如硅基板，但也能是由III和IV主族元素構(gòu)成的基板。由石墨制成的基座4借助加熱設(shè)備5從底側(cè)被加熱。
[0037]圖2示出按照本發(fā)明的加熱設(shè)備的側(cè)視圖。圖3示出其俯視圖。加熱設(shè)備5由三個(gè)相互分隔的加熱器6、7、8構(gòu)成。中央的加熱器6位于中心并且構(gòu)成第一加熱區(qū)域。第一加熱區(qū)域被圍繞中央加熱器6的環(huán)形的加熱器7所環(huán)繞，該加熱器7構(gòu)成第二加熱區(qū)域。第三加熱區(qū)域由外圍環(huán)形構(gòu)成，其形成外側(cè)的加熱器8。加熱器6、7、8中的每一個(gè)都具有布置為螺旋曲線的加熱件9、19。在一條螺旋曲線上相繼安置有多個(gè)加熱件。
[0038]加熱器6、7、8的加熱件是電氣并聯(lián)的。每個(gè)加熱件9、19通過(guò)連接觸點(diǎn)與接觸板39、40相連接。在兩個(gè)內(nèi)側(cè)加熱器6、7內(nèi)，兩個(gè)接觸板39、40安置在同一個(gè)平面內(nèi)。在外側(cè)的加熱器8內(nèi)，接觸板39、40安置在兩個(gè)不同的水平面上，也就是安置在兩個(gè)彼此間隔的平面內(nèi)。接觸板39、40或加熱件9、19的通電通過(guò)向下突起的接觸銷(xiāo)45實(shí)現(xiàn)。
[0039]加熱件9、19出于簡(jiǎn)要的原因在圖2至7中被顯示為在螺旋曲線上延伸的實(shí)心圓柱體。圖8示出加熱件的詳細(xì)視圖。每個(gè)加熱件9、19都由螺旋盤(pán)繞的加熱絲構(gòu)成。這種絲由鎢構(gòu)成。在圖8中示出的加熱件9由單一的、螺旋盤(pán)繞的鎢絲制成。但也可以由兩條或多條加熱線形成螺旋線圈。這些加熱線并排延伸。
[0040]圖4示出支撐件10的第一實(shí)施例，加熱件9、尤其是加熱螺旋線圈通過(guò)該支撐件10與支撐板29保持確定的間距。支撐板29由非導(dǎo)熱材料、如陶瓷制成，并且在承載加熱器
6、7、8的整個(gè)表面上延伸。中央加熱器6的支撐板具有圓盤(pán)形狀。兩個(gè)外側(cè)加熱器7、8的支撐板具有圓環(huán)形狀。支撐板29也可以由多個(gè)單獨(dú)的板件組合而成。
[0041]支撐件10具有由兩個(gè)臂11、12構(gòu)成的頭部，在兩個(gè)臂之間延伸著弧形的支承面13。支撐件10由平坦的金屬件、如鎢件或鑰件制成。支承面13具有齒紋，其通過(guò)在弧形的支承面加工的刻槽制成。支承面13的弧線延伸走向與加熱件9的螺旋線圈的曲率變化相—致。
[0042]在頭部區(qū)域內(nèi)設(shè)置鉤形的凹槽18、18’。這些凹槽設(shè)置用于借助固定絲線將加熱件9固定在支撐件10的頭部上。
[0043]支撐件10具有柄部14，其一個(gè)端部延伸至頭部?jī)?nèi)，并且其另一個(gè)端部延伸至支腳內(nèi)。支撐件10的支腳形狀接合地與支撐板29相固定。為此設(shè)置有形狀接合固定件。該形狀接合固定件包括兩個(gè)彼此背向的支撐凸起15。該支承凸起15橫向于柄部14的延伸方向從支撐件10上突出，用于自身支承在支撐板29的上側(cè)面上。支撐件10的與頭部相對(duì)置的端部由兩個(gè)彼此背向的固持凸起16構(gòu)成。該固持凸起16同樣是橫向于柄部14的延伸方向從支撐件10上突出的接片。在兩個(gè)固持凸起16和支撐凸起15之間延伸著頸部17，該頸部17的長(zhǎng)度與支撐板29的材料厚度一致，使得在裝配狀態(tài)下，支撐板29被固持凸起16從下端夾持并且被支撐凸起15從上端夾住。
[0044]由圖4還可以看到，支撐板29在與蓋板47和置于蓋板下的接觸板40平行的平面內(nèi)延伸。
[0045]圖5至7示出插入孔38的第一變型方案，該插入孔38設(shè)置在支撐板29內(nèi)，用于束縛支撐件10。在支撐板29內(nèi)設(shè)置有多個(gè)這種插入孔38，每個(gè)插入孔相應(yīng)地與一個(gè)支撐件10裝配，使得加熱件9、10可以在多個(gè)圓周位置上被束縛在支撐板29上。
[0046]插入孔38具有窄部段38’和寬部段38”。窄部段38’具有大約等于支撐件10的支腳的材料厚度的縫隙寬度。插入孔38的長(zhǎng)度被如此足夠地定尺寸，使得支撐件10的支腳連同支撐件的固持凸起16可以插進(jìn)穿過(guò)插入孔38。這由圖5詳細(xì)示出。如果固持凸起16插進(jìn)穿過(guò)插入孔38，則支撐件10可以側(cè)向移入圖6所示的位置中，在該位置上頸部17位于插入孔38的較寬的、具有圓形輪廓的部段38”內(nèi)。較寬的圓形部段38”的直徑等于頸部17的寬度，使得頸部17可以在孔部段38”內(nèi)旋轉(zhuǎn)，直至達(dá)到圖7所示的位置，在該位置上支撐凸起15以及固持凸起16橫向于插入孔38的窄部段的延伸方向地延伸。插入孔38當(dāng)前具有固定孔38的功能，因?yàn)椴迦肟孜恢霉潭ǖ厍覚M向于柄部14的延伸方向地將支撐件10束縛在支撐板29上。支撐件10的轉(zhuǎn)動(dòng)位置通過(guò)被支撐件10支撐的加熱件9所固定。
[0047]圖8示出線44形式的束縛件，加熱螺旋線圈9通過(guò)該線44被拴在支撐件10的頭部上。支撐件10具有兩個(gè)不同長(zhǎng)度的臂11、12。此外，較短的臂12被設(shè)計(jì)為比較長(zhǎng)的臂11更窄。這種被減小的橫向延伸量使得兩個(gè)相鄰延伸的加熱件9的徑向間距被最小化。
[0048]在圖9所示的實(shí)施例中，支承面13被設(shè)計(jì)為在支撐件10頭部?jī)?nèi)的圓形封閉開(kāi)口的環(huán)形開(kāi)口邊緣表面。圖9還示出，通過(guò)將支撐凸起15以及固持凸起16從支撐件10的延伸平面向外彎曲可以實(shí)現(xiàn)附加的形狀接合的束縛。
[0049]圖10示出支撐件10的第三實(shí)施例，其中兩個(gè)臂11被設(shè)計(jì)為具有相同長(zhǎng)度。支承面13構(gòu)成U型開(kāi)口的底面，該支承面13在此也由被凹槽相互分割的肋板構(gòu)成。
[0050]圖11示出支撐件的第四實(shí)施例，并且圖12示出支撐件的第五實(shí)施例。在此，支撐件也由平面部件構(gòu)成，并且本質(zhì)上通過(guò)短臂12的結(jié)構(gòu)設(shè)計(jì)與前述支撐件相區(qū)別。
[0051]圖13示出固定開(kāi)口或插入孔38的變型方案。固定開(kāi)口 38在此具有兩個(gè)窄部段38’，它們相對(duì)于寬部段38”彼此對(duì)置。在此，支撐件10也可以實(shí)現(xiàn)與具有插入孔38的支撐板29的插接形式的連接。但是在此，在插入后支撐件10無(wú)需側(cè)向移位。
[0052]圖14示出支撐件的第六實(shí)施例，其中固持凸起16由彈簧臂構(gòu)成，在支撐件10的支腳插入后，該彈簧臂可以在支撐位置中彈性?shī)A緊。在該實(shí)施例中，支撐板29由金屬制成。在插入孔38中置入絕緣體35。絕緣體35分別具有凸緣，該凸緣貼靠在支撐板29的上側(cè)或底側(cè)上。在該凸緣上支承著支撐凸起15或固持凸起16。由金屬構(gòu)成的支撐件10由此相對(duì)于支撐板29被絕緣。
[0053]圖15示出支撐件20的第七實(shí)施例和背景中的連接件30，支撐板29通過(guò)連接件30與兩個(gè)接觸板39、40相連接。在圖1至14中示出的支撐件配屬于內(nèi)側(cè)加熱器6、7，同時(shí)圖15所示的支撐件20配屬于外側(cè)加熱器8。加熱件19在此也被顯示為圓柱體。然而，力口熱件實(shí)際的結(jié)構(gòu)設(shè)計(jì)與圖8所示相一致。加熱件可以是一種螺旋盤(pán)繞的鎢絲。在此，螺旋線圈也可以由鎢絲或多條相互平行延伸的加熱線構(gòu)成。支撐件20在此總共支承著五個(gè)加熱件19。加熱件19可以相互接觸。加熱件19位于不同的、相互間隔的平面內(nèi)，這些平面平行于支撐板29的平面延伸。由此，支撐件20的頭部被設(shè)計(jì)為多個(gè)相疊布置的分別容納加熱件19的凹穴23。在此，也可以通過(guò)固定線實(shí)現(xiàn)加熱件19在凹穴23內(nèi)的固定。為了系住固定線，所述支撐件20具有凹槽28。
[0054]支撐件20的支腳在此也固定在支撐板29的孔38內(nèi)，其可以依據(jù)上述實(shí)施例進(jìn)行結(jié)構(gòu)設(shè)計(jì)。從支撐件20的柄部24上突出有支撐凸起25和固持凸起26。支撐凸起25與前述實(shí)施例中的支撐凸起15相一致。固持凸起26與前述實(shí)施例中的固持凸起16相一致，從而可引用上述相關(guān)的設(shè)計(jì)方案，實(shí)施支撐件20的支腳在插入孔38內(nèi)的固定。在此也通過(guò)插接-轉(zhuǎn)動(dòng)操作實(shí)現(xiàn)所述固定。
[0055]圖17至20示出連接件30的第一實(shí)施例，支撐板29通過(guò)該連接件30與接觸板39或40相連接。設(shè)置有多個(gè)在加熱器8的基礎(chǔ)面上的相互不同的位置上延伸的連接件30。外側(cè)加熱件8具有在兩個(gè)不同的平面上安置的接觸板39、40。為了使兩個(gè)接觸板39、40保持恒定的間距，設(shè)置有套筒形狀的、由陶瓷材料制成的間隔體37。在套筒形狀的間隔體37的空腔內(nèi)，相應(yīng)延伸有連接件30。連接件30在兩個(gè)接觸板39、40上的束縛通過(guò)形狀接合固定件實(shí)現(xiàn)。兩個(gè)彼此背離指向的支撐凸起31支撐在絕緣體35上，該絕緣體35在與間隔體37相對(duì)置的一側(cè)上部分地插入接觸板39的開(kāi)口 42內(nèi)。絕緣體35可以由兩個(gè)半部件構(gòu)成，它們互補(bǔ)成圓柱體。支撐凸起31可以支撐在墊片46上，該墊片46不是側(cè)向在連接件30上隆起就是插入穿過(guò)開(kāi)口 42。
[0056]套筒狀的間隔體37的軸向長(zhǎng)度限定了兩個(gè)接觸板39、40的間距。間隔體37的端部邊緣支撐在下部接觸板40的上側(cè)上。間隔體37的上端部邊緣支承著上部接觸板39。
[0057]從置于間隔體37的空腔內(nèi)的連接件30的部段上突出有兩個(gè)側(cè)翼32，該側(cè)翼32使間隔體定心在相對(duì)于開(kāi)口 42的同心位置上。
[0058]連接件30的端部部段穿過(guò)下部接觸板40的開(kāi)口 43。在接觸板40的開(kāi)口 43內(nèi)插入絕緣體35。在此，該絕緣體35局部從與間隔體37相對(duì)置的開(kāi)口側(cè)突出。在絕緣體35的端側(cè)上安置有墊片46，固定件36支承在該墊片46上。固定件36具有設(shè)計(jì)為銷(xiāo)的舌片，其穿過(guò)連接件30的橫向開(kāi)口 34。借助支撐凸起31和固定件36將連接件30軸向束縛在兩個(gè)接觸板40上。
[0059]支撐板29與上部接觸板39相間隔地延伸。支撐板29具有開(kāi)口 41，連接件30的端部部段穿過(guò)該開(kāi)口 41。在支撐板29的底側(cè)區(qū)域內(nèi)存在連接件30的支撐凸起31，支撐板29在中間安置有墊片的情況下支承在該支撐凸起31上。
[0060]從支撐板29的上側(cè)突起的連接件30的端部通過(guò)固定件36被束縛在支撐板29上。該固定件36構(gòu)成舌片，其穿過(guò)連接件30的橫向開(kāi)口 33。在支撐板29的上側(cè)和固定件36之間在此具有墊片46。
[0061]通過(guò)將插進(jìn)入開(kāi)口 33或34的舌片的端部彎曲，從而實(shí)現(xiàn)固定件36的穩(wěn)定的固定。
[0062]圖21示出連接件30的剖面圖，該連接件用于兩個(gè)內(nèi)側(cè)加熱器6、7。因?yàn)樵谠搶?shí)施例中兩個(gè)接觸板39、40在一個(gè)平面內(nèi)延伸，所以為了將接觸板40與支撐板29相連接，設(shè)置有連接件30。在此，支撐板29的底側(cè)也支撐在支撐凸起31上，其中在此也設(shè)置有墊片46。在此也通過(guò)固定件36的舌片實(shí)現(xiàn)連接件30與支撐板29的上側(cè)的固定，該固定件穿過(guò)連接件30的橫向開(kāi)口。
[0063]向下指向的支撐凸起支撐在墊片46上，該墊片46安置在絕緣體35上，該絕緣體35嵌入蓋板47的開(kāi)口中。插入蓋板開(kāi)口中的絕緣體35也具有間隔體的功能，因?yàn)榻^緣體35使蓋板47與接觸板40保持一定間距。另一個(gè)絕緣體35從底側(cè)插入接觸板40的開(kāi)口中，該另一個(gè)絕緣體借助固定件36固定。在此，固定件36的舌片也穿過(guò)連接件30的橫向開(kāi)口。
[0064]前述實(shí)施方式用于描述在本申請(qǐng)中整體包含的
【發(fā)明內(nèi)容】
，其通過(guò)以下技術(shù)特征組合相對(duì)于現(xiàn)有技術(shù)相應(yīng)獨(dú)立地進(jìn)行改進(jìn)，其特征包括:
[0065]一種設(shè)備，其特征在于，支腳15、16、17 ;25、26、27通過(guò)形狀接合固定件15、16、17 ；25、26、27固定在支撐板29的固定開(kāi)口 38內(nèi)，所述形狀接合固定件15、16、17 ;25、26、27將支撐件10、20沿柄部14、24的延伸方向束縛在支撐板29上。
[0066]一種設(shè)備，其特征在于，形狀接合固定件15、16、17 ;25、26、27具有至少一個(gè)橫向于柄部14、24的延伸方向延伸的固持凸起16、26，在安裝支撐件10、20時(shí)，所述固持凸起16、26能夠穿過(guò)固定開(kāi)口 38并且在轉(zhuǎn)動(dòng)支撐件10、20和/或固持凸起16、26變形后從下端扣住支撐板29或插入固定開(kāi)口 38內(nèi)的插入件35，并且形狀接合固定件15、16、17 ;25、26、27還具有至少一個(gè)橫向于柄部14、24的延伸方向延伸的固定凸起15、25。
[0067]一種設(shè)備，其特征在于，插入件35是絕緣體，并且支撐板29由金屬構(gòu)成。
[0068]一種設(shè)備，其特征在于，支腳15、16、17 ;25、26、27至少被設(shè)計(jì)為平面部件，并且固定開(kāi)口 38至少被設(shè)計(jì)為長(zhǎng)孔，所述長(zhǎng)孔具有窄孔段38’和寬孔段38”，所述窄孔段38’的寬度基本上等于固持凸起16的材料厚度，所述寬孔段38”基本上等于在支撐凸起15和固持凸起16之間延伸的頸部17的寬度。
[0069]一種設(shè)備，其特征在于，頭部11、12、13 ;21、22、23具有至少一個(gè)弧形走向的支承面13、23，尤其由螺旋盤(pán)繞的加熱線構(gòu)成的加熱件9、19貼靠在支承面13、23上，其中尤其規(guī)定，所述支承面13、23被設(shè)計(jì)為凹穴23或環(huán)形封閉的孔并且尤其具有貼靠在加熱件9、19上的齒紋表面。
[0070]一種設(shè)備，其特征在于，支撐件10、20具有至少一個(gè)凹槽18、18’、28、28’，線44設(shè)置在凹槽18、18’、28、28’內(nèi)，加熱件9、19借助凹槽18、18’、28、28’固定在支撐件10、20上。
[0071]一種設(shè)備，其特征在于，支撐件10、20由平坦的尤其由鎢或鑰構(gòu)成的金屬件制成，并且尤其被設(shè)計(jì)為沖壓件。
[0072]一種設(shè)備，其特征在于，連接件30分別插入支撐板29的開(kāi)口 41中和接觸板39、40的開(kāi)口 42、43中，并且在此通過(guò)形狀接合固定件31、32、34、36被固定。
[0073]一種設(shè)備，其特征在于，形狀接合固定件32、34、36固定在插入開(kāi)口 42、43內(nèi)的絕緣體35上。
[0074]一種設(shè)備，其特征在于，至少一個(gè)接觸板39、40、支撐板29和至少一個(gè)加熱件9、19在三個(gè)彼此平行延伸的平面內(nèi)延伸，并且支撐板29支撐著支撐件10、20，至少一個(gè)加熱件
9、19借助支撐件10、20相對(duì)于支撐板29被位置固定。
[0075]—種設(shè)備，其特征在于，連接件30將兩個(gè)在平行平面內(nèi)彼此間隔布置的接觸板39,40相互連接，其中，連接件30尤其穿過(guò)由絕緣材料制成的間隔體37。
[0076]一種設(shè)備，其特征在于，連接件30是由金屬、尤其鎢或鑰構(gòu)成的扁平體，并且形狀接合件31、32被設(shè)計(jì)為凸起，所述凸起支承在支撐件29或接觸板39、40的表面上或插入開(kāi)口 41、42、43之一內(nèi)的插入件35上，和/或形狀接合固定件由連接件30的橫向開(kāi)口 33、34和插入其中的固定件36的銷(xiāo)構(gòu)成。
[0077]所有公開(kāi)的特征(本身及其相互組合)都有發(fā)明意義或發(fā)明價(jià)值。在本申請(qǐng)的公開(kāi)文件中，所屬/附屬的優(yōu)先權(quán)文本(在先申請(qǐng)文件)的公開(kāi)內(nèi)容也被完全包括在內(nèi)，為此也將該優(yōu)先權(quán)文本中的特征納入本申請(qǐng)的權(quán)利要求書(shū)中。從屬權(quán)利要求的特征都是對(duì)于現(xiàn)有技術(shù)有獨(dú)立發(fā)明意義或價(jià)值的改進(jìn)設(shè)計(jì)，尤其可以這些從屬權(quán)利要求為基礎(chǔ)提出分案申請(qǐng)。
[0078]附圖標(biāo)記列表
[0079]I CVD 反應(yīng)器
[0080]2 處理時(shí)
[0081]3 進(jìn)氣機(jī)構(gòu)
[0082]4 基座
[0083]5 加熱設(shè)備
[0084]6 加熱器
[0085]7 加熱器
[0086]8 加熱器
[0087]9 加熱件
[0088]10 支撐件
[0089]11 臂
[0090]12 臂
[0091]13 支承面
[0092]14 柄部
[0093]15 支撐凸起
[0094]16 固持凸起
[0095]17 頸部
[0096]18 凹槽
[0097]18’ 凹槽
[0098]19 加熱件
[0099]20 支撐件
[0100]21 臂
[0101]22 臂
[0102]23 凹穴
[0103]24 柄部
[0104]25 支撐凸起
[0105]26 固持凸起
[0106]27 頸部
[0107]28凹槽
[0108]28，凹槽
[0109]29支撐板
[0110]30連接件
[0111]31支撐凸起
[0112]32側(cè)翼
[0113]33橫向孔
[0114]34橫向孔
[0115]35絕緣體
[0116]36固定件
[0117]37間隔體
[0118]38插入孔
[0119]38’窄插入孔
[0120]38”寬插入孔
[0121]39接觸板
[0122]40接觸板
[0123]41開(kāi)口
[0124]42開(kāi)口
[0125]43開(kāi)口
[0126]44線
[0127]45接觸銷(xiāo)
[0128]46墊片
[0129]47蓋板
【權(quán)利要求】
1.一種用于加熱CVD反應(yīng)器(I)的基座(4)的設(shè)備，具有至少一個(gè)加熱件(9、19)，其中，所述加熱件(9、19)的部段或者不同的加熱件(9、19)并排延伸并且借助支撐件(10、20)相對(duì)于支撐板被位置固定，其中，所述支撐件(10、20)分別具有形狀接合地、牢固地插入所述支撐板(29)的固定開(kāi)口內(nèi)的支腳和與橫向于所述支撐板(29)的延伸面延伸的柄部(14、24)相連接的頭部(11、12、13;21、22、23)，所述加熱件(9、19)固定在所述頭部(11、12、13;21、22、23)上，其特征在于，所述支腳通過(guò)形狀接合固定件固定在所述支撐板(29)的固定開(kāi)口(38)內(nèi)，所述形狀接合固定件將所述支撐件(10、20)沿所述柄部(14、24)的延伸方向束縛在所述支撐板(29)上。
2.如權(quán)利要求1所述的設(shè)備，其特征在于，所述形狀接合固定件具有至少一個(gè)橫向于所述柄部(14、24)的延伸方向延伸的固持凸起，在安裝所述支撐件(10、20)時(shí)，所述固持凸起能夠穿過(guò)所述固定開(kāi)口(38)并且在轉(zhuǎn)動(dòng)所述支撐件(10、20)和/或所述固持凸起變形后從下端夾持所述支撐板(29)或插入所述固定開(kāi)口(38)內(nèi)的插入件(35)，并且所述形狀接合固定件還具有至少一個(gè)橫向于所述柄部(14、24)的延伸方向延伸的固定凸起。
3.如權(quán)利要求2所述的設(shè)備，其特征在于，所述插入件(35)是絕緣體，并且所述支撐板(29)由金屬構(gòu)成。
4.如權(quán)利要求2或3所述的設(shè)備，其特征在于，至少所述支腳被設(shè)計(jì)為平面部件，并且所述固定開(kāi)口(38)被設(shè)計(jì)為長(zhǎng)孔，所述長(zhǎng)孔具有窄孔段(38’ )和寬孔段(38”)，所述窄孔段(38’)的寬度基本上等于所述固持凸起的材料厚度，所述寬孔段(38”)基本上等于在所述支撐凸起和固持凸起之間延伸的頸部的寬度。
5.如權(quán)利要求1所述的設(shè)備，其特征在于，所述頭部(11、12、13;21、22、23)具有至少一個(gè)弧形走向的支承面(13、23)，由螺旋盤(pán)繞的加熱線構(gòu)成的所述加熱件(9、19)貼靠在所述支承面(13、23)上，和/或所述支承面(13、23)被設(shè)計(jì)為凹穴(23)或四周封閉的孔和/或具有貼靠在所述加熱件(9、19)上的齒紋表面。
6.如權(quán)利要求1所述的設(shè)備，其特征在于，所述支撐件(10、20)具有至少一個(gè)凹槽(18、18’、28、28’)，線(44)設(shè)置在所述凹槽(18、18’、28、28’)內(nèi)，所述加熱件(9、19)借助所述線(44)固定在所述支撐件(10、20)上。
7.如權(quán)利要求1所述的設(shè)備，其特征在于，所述支撐件(10、20)由平坦的金屬部件制成并且被設(shè)計(jì)為沖壓件。
8.一種用于加熱CVD反應(yīng)器(I)的基座(4)的設(shè)備，具有至少一個(gè)加熱件(9、19)，所述加熱件(9、19)與至少一個(gè)接觸板(39、40)相連接，所述接觸板(39、40)借助連接件(30)相對(duì)于支撐板(29)被位置固定，其特征在于，所述連接件(30)分別插入所述支撐板(29)的開(kāi)口(41)中和所述接觸板(39、40)的開(kāi)口(42、43)中，并且在此通過(guò)形狀接合固定件被固定。
9.如權(quán)利要求8所述的設(shè)備，其特征在于，所述形狀接合固定件固定在插入所述開(kāi)口(42、43)的絕緣體(35)中。
10.如權(quán)利要求8或9所述的設(shè)備，其特征在于，所述至少一個(gè)接觸板(39、40)、所述支撐板(29)和所述至少一個(gè)加熱件(9、19)在三個(gè)彼此平行延伸的平面內(nèi)延伸，并且所述支撐板(29)支撐著支撐件(10、20)，所述至少一個(gè)加熱件(9、19)借助所述支撐件(10、20)相對(duì)于所述支撐板(29)被位置固定。
11.如權(quán)利要求8所述的設(shè)備，其特征在于，所述連接件(30)將兩個(gè)在平行平面內(nèi)彼此間隔布置的接觸板(39、40)相互連接，其中，所述連接件(30)穿過(guò)由絕緣材料制成的間隔體(37)。
12.如權(quán)利要求11所述的設(shè)備，其特征在于，所述連接件(30)是由金屬構(gòu)成的扁平體，并且所述形狀接合件被設(shè)計(jì)為凸起，所述凸起支撐在所述支撐板(29)或所述接觸板(39、40)的表面上或插入所述開(kāi)口(41、42、43)之一內(nèi)的插入件(35)上，和/或所述形狀接合固定件由所述連接件(30)的橫向開(kāi)口和插入其中的固定件的銷(xiāo)構(gòu)成。
【文檔編號(hào)】C23C16/46GK204162789SQ201420247512
【公開(kāi)日】2015年2月18日 申請(qǐng)日期:2014年5月14日 優(yōu)先權(quán)日:2013年11月26日
【發(fā)明者】P-A.伯丁, M.E.奧彭, K.艾倫, F.M.A.克勞利 申請(qǐng)人:艾克斯特朗歐洲公司