一種晶片漿料預(yù)處理裝置制造方法
【專利摘要】本實用新型涉及一種晶片漿料預(yù)處理裝置，其包括箱型機(jī)體，箱型機(jī)體上設(shè)置有漿料入口與漿料出口；所述漿料入口通過漿料流入管道連通至設(shè)置在箱型機(jī)體內(nèi)部的漿料桶內(nèi)，漿料桶上設(shè)置有連通至漿料出口的漿料流出管道，漿料流出管道內(nèi)部設(shè)置有漿料流出閥，漿料流出閥與漿料桶之間設(shè)置有漿料抽取泵；所述漿料桶內(nèi)部設(shè)置有漿料攪拌裝置；采用上述技術(shù)方案的晶片漿料預(yù)處理裝置，其可在漿料倒入研磨機(jī)臺之前對其進(jìn)行攪拌、加熱等處理工作，使其的均勻度、溫度均有所改善，從而在后續(xù)的研磨工作中研磨效率得以顯著提高；同時，上述晶片漿料預(yù)處理裝置僅需將漿料導(dǎo)入漿料入口即可自行工作，無需繁雜人工，達(dá)到便捷精確的加工效果。
【專利說明】—種晶片漿料預(yù)處理裝置
【技術(shù)領(lǐng)域】
[0001]本實用新型涉及一種機(jī)械設(shè)備，尤其是一種晶片漿料預(yù)處理裝置。
【背景技術(shù)】
[0002]晶片研磨中往往采用研磨漿料對其進(jìn)行處理?，F(xiàn)有技術(shù)中往往直接將研磨漿料導(dǎo)入晶片研磨機(jī)臺中對其進(jìn)行研磨，但研磨漿料由于質(zhì)量、氣候、環(huán)境等原因，其內(nèi)部研磨粉料可能出現(xiàn)結(jié)塊，分布不均勻等現(xiàn)象，其均會影響晶片研磨的效率與質(zhì)量；同時在寒冷環(huán)境下，研磨漿料的溫度過低往往亦會對晶片造成一定的非正常破壞。
實用新型內(nèi)容
[0003]本發(fā)明要解決的技術(shù)問題是提供一種晶片漿料預(yù)處理裝置，其可在晶片研磨漿料倒入研磨機(jī)臺之前對其進(jìn)行預(yù)處理，使其內(nèi)部研磨粉料分布更為均勻。
[0004]為解決上述技術(shù)問題，本實用新型提供了一種晶片漿料預(yù)處理裝置，其包括箱型機(jī)體，箱型機(jī)體上設(shè)置有漿料入口與漿料出口 ；所述漿料入口通過漿料流入管道連通至設(shè)置在箱型機(jī)體內(nèi)部的漿料桶內(nèi)，漿料桶上設(shè)置有連通至漿料出口的漿料流出管道，漿料流出管道內(nèi)部設(shè)置有漿料流出閥，漿料流出閥與漿料桶之間設(shè)置有漿料抽取泵；所述漿料桶內(nèi)部設(shè)置有漿料攪拌裝置。
[0005]作為本實用新型的一種改進(jìn)，所述漿料攪拌裝置由設(shè)置在箱型機(jī)體內(nèi)部的電機(jī)，與電機(jī)相連接的攪拌棒，以及設(shè)置在攪拌棒上的多片攪拌葉片構(gòu)成。
[0006]作為本實用新型的一種改進(jìn)，所述攪拌棒采用T型攪拌棒；所述T型攪拌棒上至少設(shè)置有3片攪拌葉片，其沿攪拌棒軸向均勻分布。采用上述設(shè)計，攪拌棒的T型結(jié)構(gòu)與攪拌葉片同時對漿料進(jìn)行攪拌，攪拌葉片沿攪拌棒軸向分布可有效對漿料箱內(nèi)的漿料進(jìn)行攪拌，以使其內(nèi)部研磨粉料分布更為均勻。
[0007]作為本實用新型的一種改進(jìn)，所述漿料桶內(nèi)壁設(shè)置有溫度傳感器，以及與溫度傳感器電性連接的加熱器，加熱器可根據(jù)溫度傳感器檢測到的漿料溫度適時的對漿料進(jìn)行加熱，避免漿料過冷在后續(xù)研磨工作中研磨效率下降，甚至有損晶片。
[0008]作為本實用新型的另一種改進(jìn)，所述漿料桶內(nèi)壁設(shè)置有壓力傳感器，漿料桶外壁設(shè)置有漿料余量報警器；所述壓力傳感器與漿料余量報警器之間采用電性連接，其可在漿料桶內(nèi)漿料過少時進(jìn)行警報，避免研磨機(jī)臺在少漿甚至無漿狀態(tài)下工作，從而損壞機(jī)臺。
[0009]作為本實用新型的另一種改進(jìn)，所述壓力傳感器與漿料桶底部間的距離至少為漿料桶高度的1/4，其可有效確保漿料桶內(nèi)漿料的體積，并在對其添加漿料之前足以持續(xù)向研磨機(jī)臺輸送衆(zhòng)料。
[0010]作為本實用新型的另一種改進(jìn)，所述漿料抽取泵、溫度傳感器以及加熱器、壓力傳感器以及漿料余量報警器均由設(shè)置在箱型機(jī)體底部的電源裝置對其進(jìn)行控制。
[0011]作為本實用新型的另一種改進(jìn)，所述漿料出口處設(shè)置有過濾網(wǎng)，所述漿料流出管道在過濾網(wǎng)對應(yīng)位置設(shè)置有掀蓋，其可過濾去研磨漿料中的較大粉末顆粒，以避免其研磨效果不佳，同時可通過掀蓋對過濾網(wǎng)過濾下的研磨粉料進(jìn)行清理，避免其堵塞管道。
[0012]上述晶片漿料預(yù)處理裝置，其漿料出口與晶片研磨機(jī)臺相連接；將研磨漿料自漿料入口導(dǎo)入后，其沿漿料流入管道流入漿料桶內(nèi)，漿料攪拌裝置對其進(jìn)行攪拌；同時，溫度傳感器實時監(jiān)測漿料溫度，當(dāng)其溫度過低時對其加熱；壓力傳感器可檢測漿料體積，并通過報警器提醒添加漿料。當(dāng)漿料處理完成后，漿料流出閥開啟，漿料抽取泵將漿料桶內(nèi)的漿料輸送至研磨機(jī)臺內(nèi)。
[0013]采用上述技術(shù)方案的晶片漿料預(yù)處理裝置，其可在漿料倒入研磨機(jī)臺之前對其進(jìn)行攪拌、加熱等處理工作，使其的均勻度、溫度均有所改善，從而在后續(xù)的研磨工作中研磨效率得以顯著提高；同時，上述晶片漿料預(yù)處理裝置僅需將漿料導(dǎo)入漿料入口即可自行工作，無需繁雜人工，達(dá)到便捷精確的加工效果。
【專利附圖】

【附圖說明】
[0014]圖1為本實用新型示意圖；
[0015]圖2為本實用新型中箱型機(jī)體后視圖；
[0016]圖3為本實用新型中漿料攪拌裝置示意圖；
[0017]圖4為本實用新型中攪拌棒截面圖；
[0018]附圖標(biāo)記說明:
[0019]I一箱型機(jī)體、2—衆(zhòng)料入口、3—衆(zhòng)料出口、4一漿料流入管道、5—漿料桶、6—衆(zhòng)料流出管道、7—衆(zhòng)料流出閥、8—漿料抽取泵、9一電機(jī)、IO—攪拌棒、11一攪拌葉片、12—溫度傳感器、13—加熱器、14 一壓力傳感器、15—漿料余量報警器、16—電源裝置、17—過濾網(wǎng)、18—掀蓋。
【具體實施方式】
[0020]下面結(jié)合附圖和【具體實施方式】，進(jìn)一步闡明本實用新型，應(yīng)理解下述【具體實施方式】僅用于說明本實用新型而不用于限制本實用新型的范圍。
[0021]如圖1所示的一種晶片漿料預(yù)處理裝置，其包括箱型機(jī)體1，箱型機(jī)體I上設(shè)置有漿料入口 2與漿料出口 3 ;所述漿料入口 2通過漿料流入管道4連通至設(shè)置在箱型機(jī)體I內(nèi)部的漿料桶5內(nèi)，漿料桶5上設(shè)置有連通至漿料出口 3的漿料流出管道6，漿料流出管道6內(nèi)部設(shè)置有漿料流出閥7，漿料流出閥7與漿料桶5之間設(shè)置有漿料抽取泵8 ;所述漿料桶5內(nèi)部設(shè)置有漿料攪拌裝置。
[0022]作為本實用新型的一種改進(jìn)，所述漿料攪拌裝置由設(shè)置在箱型機(jī)體內(nèi)部的電機(jī)9，與電機(jī)9相連接的攪拌棒10，以及設(shè)置在攪拌棒10上的多片攪拌葉片11構(gòu)成，其如圖3所
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[0023]作為本實用新型的一種改進(jìn)，所述攪拌棒10采用T型攪拌棒，其如圖4所示；所述T型攪拌棒上至少設(shè)置有3片攪拌葉片11，其沿攪拌棒9軸向均勻分布。采用上述設(shè)計，攪拌棒的T型結(jié)構(gòu)與攪拌葉片同時對漿料進(jìn)行攪拌，攪拌葉片沿攪拌棒軸向分布可有效對漿料箱內(nèi)的漿料進(jìn)行攪拌，以使其內(nèi)部研磨粉料分布更為均勻。
[0024]作為本實用新型的一種改進(jìn)，所述漿料桶5內(nèi)壁設(shè)置有溫度傳感器12，以及與溫度傳感12器電性連接的加熱器13，加熱器可根據(jù)溫度傳感器檢測到的漿料溫度適時的對漿料進(jìn)行加熱，避免漿料過冷在后續(xù)研磨工作中研磨效率下降，甚至有損晶片。
[0025]作為本實用新型的另一種改進(jìn)，所述漿料桶5內(nèi)壁設(shè)置有壓力傳感器14，漿料桶5外壁設(shè)置有漿料余量報警器15，其如圖2所示；所述壓力傳感器14與漿料余量報警器15之間采用電性連接，其可在漿料桶內(nèi)漿料過少時進(jìn)行警報，避免研磨機(jī)臺在少漿甚至無漿狀態(tài)下工作，從而損壞機(jī)臺。
[0026]作為本實用新型的另一種改進(jìn)，所述壓力傳感器14與漿料桶5底部間的距離至少為漿料桶5高度的1/4，其可有效確保漿料桶內(nèi)漿料的體積，并在對其添加漿料之前足以持續(xù)向研磨機(jī)臺輸送衆(zhòng)料。
[0027]作為本實用新型的另一種改進(jìn)，所述漿料抽取泵8、溫度傳感器12以及加熱器13、壓力傳感器14以及漿料余量報警器15均由設(shè)置在箱型機(jī)體底部的電源裝置16對其進(jìn)行控制。
[0028]作為本實用新型的另一種改進(jìn)，所述漿料出口 3處設(shè)置有過濾網(wǎng)17，所述漿料流出管道6在過濾網(wǎng)17對應(yīng)位置設(shè)置有掀蓋18，其可過濾去研磨漿料中的較大粉末顆粒，以避免其研磨效果不佳，同時可通過掀蓋對過濾網(wǎng)過濾下的研磨粉料進(jìn)行清理，避免其堵塞管道。
[0029]上述晶片漿料預(yù)處理裝置，其漿料出口與晶片研磨機(jī)臺相連接；將研磨漿料自漿料入口導(dǎo)入后，其沿漿料流入管道流入漿料桶內(nèi)，漿料攪拌裝置對其進(jìn)行攪拌；同時，溫度傳感器實時監(jiān)測漿料溫度，當(dāng)其溫度過低時對其加熱；壓力傳感器可檢測漿料體積，并通過報警器提醒添加漿料。當(dāng)漿料處理完成后，漿料流出閥開啟，漿料抽取泵將漿料桶內(nèi)的漿料輸送至研磨機(jī)臺內(nèi)。
[0030]采用上述技術(shù)方案的晶片漿料預(yù)處理裝置，其可在漿料倒入研磨機(jī)臺之前對其進(jìn)行攪拌、加熱等處理工作，使其的均勻度、溫度均有所改善，從而在后續(xù)的研磨工作中研磨效率得以顯著提高；同時，上述晶片漿料預(yù)處理裝置僅需將漿料導(dǎo)入漿料入口即可自行工作，無需繁雜人工，達(dá)到便捷精確的加工效果。
[0031]本實用新型方案所公開的技術(shù)手段不僅限于上述實施方式所公開的技術(shù)手段，還包括由以上技術(shù)特征任意組合所組成的技術(shù)方案。
【權(quán)利要求】
1.一種晶片漿料預(yù)處理裝置，其特征在于，所述晶片漿料預(yù)處理裝置包括箱型機(jī)體，箱型機(jī)體上設(shè)置有漿料入口與漿料出口 ；所述漿料入口通過漿料流入管道連通至設(shè)置在箱型機(jī)體內(nèi)部的漿料桶內(nèi)，漿料桶上設(shè)置有連通至漿料出口的漿料流出管道，漿料流出管道內(nèi)部設(shè)置有漿料流出閥，漿料流出閥與漿料桶之間設(shè)置有漿料抽取泵；所述漿料桶內(nèi)部設(shè)置有漿料攪拌裝置；所述漿料攪拌裝置由設(shè)置在箱型機(jī)體內(nèi)部的電機(jī)，與電機(jī)相連接的攪拌棒，以及設(shè)置在攪拌棒上的多片攪拌葉片構(gòu)成；所述攪拌棒采用T型攪拌棒；所述T型攪拌棒上至少設(shè)置有3片攪拌葉片，其沿攪拌棒軸向均勻分布；所述漿料桶內(nèi)壁設(shè)置有壓力傳感器，漿料桶外壁設(shè)置有漿料余量報警器；所述壓力傳感器與漿料余量報警器之間采用電性連接；所述壓力傳感器與漿料桶底部間的距離至少為漿料桶高度的1/4 ;所述漿料出口處設(shè)置有過濾網(wǎng)，所述漿料流出管道在過濾網(wǎng)對應(yīng)位置設(shè)置有掀蓋。
2.按照權(quán)利要求1所述的晶片漿料預(yù)處理裝置，其特征在于，所述漿料桶內(nèi)壁設(shè)置有溫度傳感器，以及與溫度傳感器電性連接的加熱器。
3.按照權(quán)利要求2所述的晶片漿料預(yù)處理裝置，其特征在于，所述漿料抽取泵、溫度傳感器以及加熱器、壓力傳感器以及漿料余量報警器均由設(shè)置在箱型機(jī)體底部的電源裝置對其進(jìn)行控制。
【文檔編號】B24B57/02GK203622218SQ201420064527
【公開日】2014年6月4日 申請日期:2014年2月13日 優(yōu)先權(quán)日:2014年2月13日
【發(fā)明者】廖波, 林文杰, 李燁 申請人:南京京晶光電科技有限公司