一種可自轉(zhuǎn)公轉(zhuǎn)的仿行星式鍍膜治具及其使用方法
【專利摘要】本發(fā)明涉及一種大型鍍膜機(jī)腔內(nèi)蒸發(fā)鍍膜的鍍膜治具，尤指一種應(yīng)用在大型鍍膜機(jī)腔中實(shí)現(xiàn)產(chǎn)品均勻鍍膜效果的一種可自轉(zhuǎn)公轉(zhuǎn)的仿行星式鍍膜治具及其使用方法，一種可自轉(zhuǎn)公轉(zhuǎn)的仿行星式鍍膜治具，所述的鍍膜治具安裝在鍍膜機(jī)腔內(nèi)部上方，所述的鍍膜治具主要包括治具本體、公轉(zhuǎn)系統(tǒng)和自轉(zhuǎn)系統(tǒng)，所述的治具本體包括三個(gè)治具盤，治具盤為傘形，傘形治具盤中部的尖端處設(shè)置有連接柱；本發(fā)明利用行星運(yùn)動(dòng)的原理，根據(jù)行星自轉(zhuǎn)和公轉(zhuǎn)的運(yùn)動(dòng)規(guī)律使治具盤在鍍膜機(jī)腔內(nèi)實(shí)現(xiàn)獨(dú)立自轉(zhuǎn)并整體公轉(zhuǎn)的效果，達(dá)到鍍膜時(shí)產(chǎn)品表面的保護(hù)膜層均勻沉積的目的，且不僅鍍膜產(chǎn)品的主體部分可均勻鍍膜，鍍膜產(chǎn)品的邊緣及棱角亦可達(dá)到最佳的鍍膜效果，實(shí)現(xiàn)整體鍍膜的均勻性。
【專利說明】一種可自轉(zhuǎn)公轉(zhuǎn)的仿行星式鍍膜治具及其使用方法

【技術(shù)領(lǐng)域】
[0001]本發(fā)明涉及一種大型鍍膜機(jī)腔內(nèi)蒸發(fā)鍍膜的鍍膜治具，尤指一種應(yīng)用在大型鍍膜機(jī)腔中實(shí)現(xiàn)產(chǎn)品在蒸發(fā)源作用下達(dá)到均勻鍍膜效果的一種可自轉(zhuǎn)公轉(zhuǎn)的仿行星式鍍膜治具及其使用方法。

【背景技術(shù)】
[0002]工業(yè)上常用真空鍍膜設(shè)備進(jìn)行蒸發(fā)鍍膜以完成基片表面沉積膜層形成保護(hù)膜的工作，真空蒸發(fā)鍍膜需要一定的真空條件和蒸發(fā)條件，蒸發(fā)鍍膜技術(shù)在物理氣相沉積技術(shù)中發(fā)展較早且因?yàn)槠鋬?yōu)越的特點(diǎn)使其持之以恒地被廣泛應(yīng)用，真空蒸發(fā)鍍膜設(shè)備與工藝相對(duì)比較簡(jiǎn)單，即可沉積非常純凈的膜層，又可制備具有特定結(jié)構(gòu)和性質(zhì)的膜層等，而在真空蒸發(fā)鍍膜設(shè)備中的主要部件之一是鍍膜治具；為提高鍍膜工作的效率，真空鍍膜設(shè)備一般為大型機(jī)腔，因此，鍍膜治具也以大型治具為設(shè)計(jì)宗旨，目前，除小型鍍膜治具或特殊形狀鍍膜治具外，常用的大型鍍膜治具為傘形，傘形比平面的鍍膜治具面積更大，而分布在治具表面鍍膜產(chǎn)品量相應(yīng)增大，但是，傘形治具由于傘形具有一定傾斜度，鍍膜產(chǎn)品在傘形治具表面的位置各不相同，因此所涂覆的膜層厚度也各不相同，影響膜層的均勻性，同時(shí)還會(huì)導(dǎo)致鍍膜產(chǎn)品的邊緣、棱角處無法完全沉積膜層，直接影響鍍膜效果；為解決以上問題，人們將鍍膜治具改造為在鍍膜作業(yè)過程中可轉(zhuǎn)動(dòng)的傘形鍍膜治具，鍍膜治具以其中軸為中心軸并繞中心軸轉(zhuǎn)動(dòng)，經(jīng)過改進(jìn)的鍍膜治具在作業(yè)時(shí)鍍膜效果大為好轉(zhuǎn)，產(chǎn)品的棱角邊緣也能順利涂覆上膜層，但由于治具的形狀依然存在鍍膜均勻性問題，此為鍍膜作業(yè)造成了或大或小的影響。


【發(fā)明內(nèi)容】

[0003]為解決上述問題，本發(fā)明旨在公開一種大型鍍膜機(jī)腔內(nèi)蒸發(fā)鍍膜的鍍膜治具，尤指一種應(yīng)用在大型鍍膜機(jī)腔中實(shí)現(xiàn)產(chǎn)品在蒸發(fā)源作用下達(dá)到均勻鍍膜效果的一種可自轉(zhuǎn)公轉(zhuǎn)的仿行星式鍍膜治具及其使用方法。
[0004]為實(shí)現(xiàn)上述目的，本發(fā)明采用的技術(shù)方案是:一種可自轉(zhuǎn)公轉(zhuǎn)的仿行星式鍍膜治具，所述的鍍膜治具安裝在鍍膜機(jī)腔內(nèi)部上方，所述的鍍膜治具主要包括治具本體、公轉(zhuǎn)系統(tǒng)和自轉(zhuǎn)系統(tǒng)，所述的治具本體包括三個(gè)治具盤，治具盤為傘形，傘形治具盤中部的尖端處設(shè)置有連接柱；
所述的公轉(zhuǎn)系統(tǒng)主要包括連接座、公轉(zhuǎn)支架、公轉(zhuǎn)中軸和公轉(zhuǎn)導(dǎo)軌，連接座安裝在鍍膜機(jī)腔的外頂面，公轉(zhuǎn)中軸穿過鍍膜機(jī)腔頂面貫通的通孔分別與連接座、公轉(zhuǎn)支架軸向安裝，并使公轉(zhuǎn)支架安裝在鍍膜機(jī)腔內(nèi)頂面；連接座內(nèi)部安裝有回轉(zhuǎn)驅(qū)動(dòng)裝置，可驅(qū)動(dòng)公轉(zhuǎn)中軸繞中心軸水平旋轉(zhuǎn)；公轉(zhuǎn)支架的主支架為類輪轂的鏤空?qǐng)A盤狀，且在中軸處開設(shè)有中軸孔，公轉(zhuǎn)支架的分支架連接在主支架邊緣，公轉(zhuǎn)支架包括三個(gè)分支架，三個(gè)分支架均為一端連接主支架邊緣處，另一端從主支架邊緣處向下傾斜延展，三個(gè)分支架以主支架為基面呈圓周陣列分布，分支架與主支架邊緣的凸出端為固定裝配，且分支架末端開設(shè)有通孔；公轉(zhuǎn)中軸下端軸套安裝在與之匹配的主支架所開設(shè)的中軸孔內(nèi)，公轉(zhuǎn)中軸上端與連接座內(nèi)部的回轉(zhuǎn)驅(qū)動(dòng)裝置電性連接，當(dāng)回轉(zhuǎn)驅(qū)動(dòng)裝置驅(qū)動(dòng)公轉(zhuǎn)中軸旋轉(zhuǎn)時(shí)可帶動(dòng)公轉(zhuǎn)支架旋轉(zhuǎn)；公轉(zhuǎn)導(dǎo)軌為環(huán)繞在自轉(zhuǎn)系統(tǒng)外的圓形軌道，公轉(zhuǎn)導(dǎo)軌處于公轉(zhuǎn)系統(tǒng)的底端，由三根“L”形支撐柱一端連接公轉(zhuǎn)導(dǎo)軌下表面，另一端安裝在鍍膜機(jī)腔內(nèi)頂面使公轉(zhuǎn)導(dǎo)軌固定在鍍膜機(jī)腔內(nèi)；所述的自轉(zhuǎn)系統(tǒng)主要包括三個(gè)自轉(zhuǎn)導(dǎo)輪，自轉(zhuǎn)導(dǎo)輪上半部分為凸起的連接塊，下半部分為滑輪，自轉(zhuǎn)導(dǎo)輪的滑動(dòng)輪廓與公轉(zhuǎn)導(dǎo)軌的輪廓相匹配，自轉(zhuǎn)導(dǎo)輪通過連接塊與公轉(zhuǎn)支架分支架的連接使其與公轉(zhuǎn)系統(tǒng)相連接，連接塊的形狀為兩端凸起中間下凹的階梯軸狀，連接塊的中間軸段套設(shè)在公轉(zhuǎn)支架的分支架通孔中，且自轉(zhuǎn)導(dǎo)輪的中軸處開設(shè)有貫穿連接塊與滑輪的中軸孔，所述治具盤的連接柱套裝在自轉(zhuǎn)導(dǎo)輪的中軸孔內(nèi)，與自轉(zhuǎn)導(dǎo)輪和公轉(zhuǎn)支架分支架軸向配合安裝，治具盤安裝在公轉(zhuǎn)支架的內(nèi)側(cè)，自轉(zhuǎn)導(dǎo)輪繞中心軸旋轉(zhuǎn)時(shí)帶動(dòng)治具盤繞中心軸旋轉(zhuǎn)。
[0005]所述鍍膜治具中，以一治具盤與一自轉(zhuǎn)導(dǎo)輪、一公轉(zhuǎn)支架分支架形成一組并配合安裝，三個(gè)治具盤分別與三個(gè)自轉(zhuǎn)導(dǎo)輪、三個(gè)公轉(zhuǎn)支架分支架對(duì)應(yīng)成組并配合安裝。
[0006]所述的自轉(zhuǎn)導(dǎo)輪的連接塊與公轉(zhuǎn)支架分支架之間安裝有軸承，通過軸承作用使連接塊在公轉(zhuǎn)支架分支架通孔內(nèi)旋轉(zhuǎn)，即自轉(zhuǎn)導(dǎo)輪旋轉(zhuǎn)，而治具盤的連接柱套裝在自轉(zhuǎn)導(dǎo)輪的中軸孔內(nèi)，治具盤同時(shí)旋轉(zhuǎn)，實(shí)現(xiàn)自轉(zhuǎn)系統(tǒng)的轉(zhuǎn)動(dòng)以實(shí)現(xiàn)治具盤的自轉(zhuǎn)。
[0007]所述的公轉(zhuǎn)系統(tǒng)的回轉(zhuǎn)驅(qū)動(dòng)裝置設(shè)置有軸承，軸承安裝在公轉(zhuǎn)中軸與鍍膜機(jī)腔之間，通過軸承作用帶動(dòng)公轉(zhuǎn)中軸在鍍膜機(jī)腔通孔內(nèi)旋轉(zhuǎn)，即帶動(dòng)公轉(zhuǎn)支架的主支架和分支架同時(shí)旋轉(zhuǎn)，實(shí)現(xiàn)公轉(zhuǎn)系統(tǒng)的轉(zhuǎn)動(dòng)。
[0008]所述的自轉(zhuǎn)導(dǎo)輪架設(shè)在公轉(zhuǎn)導(dǎo)軌的表面，當(dāng)公轉(zhuǎn)支架轉(zhuǎn)動(dòng)時(shí)，與分支架連接的自轉(zhuǎn)導(dǎo)輪同步繞公轉(zhuǎn)支架中心軸轉(zhuǎn)動(dòng)，當(dāng)自轉(zhuǎn)導(dǎo)輪由于轉(zhuǎn)動(dòng)而發(fā)生位置偏移時(shí)，架設(shè)在公轉(zhuǎn)導(dǎo)軌上的自轉(zhuǎn)導(dǎo)輪由于與公轉(zhuǎn)導(dǎo)軌外輪廓相貼合而沿公轉(zhuǎn)導(dǎo)軌運(yùn)動(dòng)從而產(chǎn)生自轉(zhuǎn)。
[0009]一種可自轉(zhuǎn)公轉(zhuǎn)的仿行星式鍍膜治具的使用方法，所述的使用方法包括以下步驟:
1)公轉(zhuǎn)系統(tǒng)裝配:打開鍍膜機(jī)的外殼使操作員能在鍍膜機(jī)腔內(nèi)進(jìn)行裝配工作，首先將公轉(zhuǎn)支架的主支架安裝在鍍膜機(jī)腔內(nèi)頂面，安裝時(shí)先將公轉(zhuǎn)中軸套設(shè)在主支架的中軸孔內(nèi)并加以固定，固定完成后使公轉(zhuǎn)中軸從鍍膜機(jī)腔內(nèi)頂面穿過外頂面，再在鍍膜機(jī)腔的通孔處安裝與公轉(zhuǎn)中軸適配的軸承，公轉(zhuǎn)中軸頂端安裝在連接座之內(nèi)；然后將其中一個(gè)分支架安裝在主支架邊緣，分支架與主支架邊緣的凸出端連接，分支架的傾斜度可為與主支架呈100-130度相交，用螺釘將主支架和分支架連接后再在主支架和分支架之間加上加強(qiáng)肋使分支架固定安裝，重復(fù)上述步驟，將另外兩個(gè)分支架安裝在主支架上；最后安裝公轉(zhuǎn)導(dǎo)軌，將三根“L “形支撐架焊接在公轉(zhuǎn)導(dǎo)軌的下表面，隨即用螺釘螺母將支撐架固定在鍍膜機(jī)腔的內(nèi)壁；
2)自轉(zhuǎn)系統(tǒng)裝配:將軸承安裝在自轉(zhuǎn)導(dǎo)輪的連接塊的中軸段，接著將裝配好軸承的自轉(zhuǎn)導(dǎo)輪套設(shè)在公轉(zhuǎn)支架分支架的通孔中并加以固定，將治具盤的連接柱套設(shè)在自轉(zhuǎn)導(dǎo)輪的中軸孔中以完成治具盤、自轉(zhuǎn)導(dǎo)輪和公轉(zhuǎn)支架分支架的軸向安裝，在公轉(zhuǎn)支架的另一側(cè)安裝回轉(zhuǎn)驅(qū)動(dòng)裝置并鎖緊裝置，自轉(zhuǎn)導(dǎo)輪的滑動(dòng)輪廓底端架設(shè)在公轉(zhuǎn)導(dǎo)軌之上，治具盤的盤口朝內(nèi)；
3)鍍膜治具運(yùn)行:完成機(jī)組裝配后，當(dāng)啟動(dòng)公轉(zhuǎn)系統(tǒng)的回轉(zhuǎn)驅(qū)動(dòng)裝置時(shí)，以三個(gè)治具盤為一個(gè)整體式的治具本體，治具本體繞公轉(zhuǎn)系統(tǒng)的中軸轉(zhuǎn)動(dòng)，且由于自轉(zhuǎn)導(dǎo)輪架設(shè)在公轉(zhuǎn)導(dǎo)軌的表面，治具本體轉(zhuǎn)動(dòng)后，自轉(zhuǎn)導(dǎo)輪隨即沿公轉(zhuǎn)導(dǎo)軌運(yùn)行，當(dāng)自轉(zhuǎn)導(dǎo)輪被帶動(dòng)而運(yùn)行時(shí)，與自動(dòng)導(dǎo)輪連接的治具盤也同時(shí)繞中心軸轉(zhuǎn)動(dòng)，從而實(shí)現(xiàn)了治具盤在作公轉(zhuǎn)運(yùn)動(dòng)時(shí)同時(shí)作自轉(zhuǎn)運(yùn)動(dòng)；
4)蒸發(fā)鍍膜:啟動(dòng)蒸發(fā)器，通過蒸發(fā)源使蒸發(fā)物質(zhì)經(jīng)加熱后汽化從而產(chǎn)生膜材蒸氣，膜材蒸氣直線飛行運(yùn)動(dòng)到待鍍膜產(chǎn)品表面，氣態(tài)粒子在產(chǎn)品表面凝聚形核后生長(zhǎng)成固相薄膜，即在待鍍膜產(chǎn)品表面沉積一層固態(tài)薄膜形成保護(hù)膜層。
[0010]本發(fā)明的有益效果體現(xiàn)在:本發(fā)明利用行星運(yùn)動(dòng)的原理，并根據(jù)行星自轉(zhuǎn)和公轉(zhuǎn)的運(yùn)動(dòng)規(guī)律使得治具盤在鍍膜機(jī)腔內(nèi)實(shí)現(xiàn)獨(dú)立自轉(zhuǎn)并整體公轉(zhuǎn)的效果，并達(dá)到鍍膜時(shí)產(chǎn)品表面的保護(hù)膜層均勻沉積的目的，且不僅僅是鍍膜產(chǎn)品的主體部分可均勻鍍膜，鍍膜產(chǎn)品的邊緣及棱角亦可達(dá)到最佳的鍍膜效果，實(shí)現(xiàn)整體鍍膜的均勻性；本發(fā)明采用三個(gè)傘形治具盤結(jié)合用于同一鍍膜機(jī)腔內(nèi)，傘形治具盤可依據(jù)鍍膜機(jī)腔大小靈活放置，也增大了鍍膜產(chǎn)品的放置空間，隨即也增加了一次工作的鍍膜產(chǎn)品量，又因?yàn)橹尉弑P既可自轉(zhuǎn)又可公轉(zhuǎn)，使得鍍膜效果不受空間布局的影響而影響膜層涂覆效果，因此本發(fā)明在空間布局的改造上提高了產(chǎn)能與工作效率；自轉(zhuǎn)導(dǎo)輪與公轉(zhuǎn)導(dǎo)軌的搭配，自轉(zhuǎn)系統(tǒng)可由啟動(dòng)的公轉(zhuǎn)系統(tǒng)運(yùn)動(dòng)帶動(dòng)其運(yùn)動(dòng)，從而使鍍膜產(chǎn)品進(jìn)行全方位沉積膜層，使鍍膜產(chǎn)品邊緣或棱角處也能充分沉積膜層。

【專利附圖】

【附圖說明】
[0011]圖1是本發(fā)明的結(jié)構(gòu)示意圖。
[0012]圖2是本發(fā)明的結(jié)構(gòu)分解圖。
[0013]圖3是本發(fā)明安裝在鍍膜機(jī)腔的結(jié)構(gòu)示意圖。
[0014]圖4是本發(fā)明的公轉(zhuǎn)系統(tǒng)結(jié)構(gòu)圖。
[0015]圖5是本發(fā)明的自轉(zhuǎn)系統(tǒng)分解圖。
[0016]圖6是本發(fā)明的公轉(zhuǎn)導(dǎo)軌與自轉(zhuǎn)導(dǎo)輪的配合示意圖。
[0017]附圖標(biāo)注說明:1-治具本體，2-公轉(zhuǎn)系統(tǒng)，3-自轉(zhuǎn)系統(tǒng)，4-鍍膜機(jī)腔，11-治具盤，12-連接柱，21-連接座，22-公轉(zhuǎn)支架，221-主支架，222-分支架，23-公轉(zhuǎn)中軸，24-公轉(zhuǎn)導(dǎo)軌，241- “L”形支撐柱，31-自轉(zhuǎn)導(dǎo)輪，32-連接塊，33-滑輪，34-軸承，5-蒸發(fā)源。

【具體實(shí)施方式】
[0018]下面結(jié)合附圖詳細(xì)說明本發(fā)明的【具體實(shí)施方式】:
一種可自轉(zhuǎn)公轉(zhuǎn)的仿行星式鍍膜治具，所述的鍍膜治具安裝在鍍膜機(jī)腔4內(nèi)部上方，所述的鍍膜治具主要包括治具本體1、公轉(zhuǎn)系統(tǒng)2和自轉(zhuǎn)系統(tǒng)3，所述的治具本體1包括三個(gè)治具盤11，治具盤11為傘形，傘形治具盤中部的尖端處設(shè)置有連接柱12 ;所述的公轉(zhuǎn)系統(tǒng)2主要包括連接座21、公轉(zhuǎn)支架22、公轉(zhuǎn)中軸23和公轉(zhuǎn)導(dǎo)軌24，連接座21安裝在鍍膜機(jī)腔4的外頂面，公轉(zhuǎn)中軸23穿過鍍膜機(jī)腔4頂面貫通的通孔分別與連接座21、公轉(zhuǎn)支架22軸向安裝，并使公轉(zhuǎn)支架22安裝在鍍膜機(jī)腔4內(nèi)頂面；連接座21內(nèi)部安裝有回轉(zhuǎn)驅(qū)動(dòng)裝置，可驅(qū)動(dòng)公轉(zhuǎn)中軸23繞中心軸水平旋轉(zhuǎn)；公轉(zhuǎn)支架的主支架221為類輪轂的鏤空?qǐng)A盤狀，且在中軸處開設(shè)有中軸孔，公轉(zhuǎn)支架的分支架222連接在主支架221邊緣，公轉(zhuǎn)支架22包括三個(gè)分支架222，三個(gè)分支架222均為一端連接主支架221邊緣處，另一端從主支架221邊緣處向下傾斜延展，三個(gè)分支架222以主支架221為基面呈圓周陣列分布，分支架222與主支架221邊緣的凸出端為固定裝配，且分支架222末端開設(shè)有通孔；公轉(zhuǎn)中軸23下端軸套安裝在與之匹配的主支架221所開設(shè)的中軸孔內(nèi)，公轉(zhuǎn)中軸23上端與連接座21內(nèi)部的回轉(zhuǎn)驅(qū)動(dòng)裝置電性連接，當(dāng)回轉(zhuǎn)驅(qū)動(dòng)裝置驅(qū)動(dòng)公轉(zhuǎn)中軸23旋轉(zhuǎn)時(shí)可帶動(dòng)公轉(zhuǎn)支架22旋轉(zhuǎn)；公轉(zhuǎn)導(dǎo)軌24為環(huán)繞在自轉(zhuǎn)系統(tǒng)3外的圓形軌道，公轉(zhuǎn)導(dǎo)軌24處于公轉(zhuǎn)系統(tǒng)2的底端，由三根”L”形支撐柱241 —端連接公轉(zhuǎn)導(dǎo)軌24下表面，另一端安裝在鍍膜機(jī)腔4內(nèi)頂面使公轉(zhuǎn)導(dǎo)軌24固定在鍍膜機(jī)腔4內(nèi)；所述的自轉(zhuǎn)系統(tǒng)3主要包括三個(gè)自轉(zhuǎn)導(dǎo)輪31，自轉(zhuǎn)導(dǎo)輪31上半部分為凸起的連接塊32，下半部分為滑輪33，自轉(zhuǎn)導(dǎo)輪31的滑動(dòng)輪廓與公轉(zhuǎn)導(dǎo)軌24的輪廓相匹配，自轉(zhuǎn)導(dǎo)輪31架設(shè)在公轉(zhuǎn)導(dǎo)軌24的表面，當(dāng)公轉(zhuǎn)支架22轉(zhuǎn)動(dòng)時(shí)，與分支架222連接的自轉(zhuǎn)導(dǎo)輪31同步繞公轉(zhuǎn)支架22中心軸轉(zhuǎn)動(dòng)，當(dāng)自轉(zhuǎn)導(dǎo)輪31由于轉(zhuǎn)動(dòng)而發(fā)生位置偏移時(shí)，架設(shè)在公轉(zhuǎn)導(dǎo)軌24上的自轉(zhuǎn)導(dǎo)輪31由于與公轉(zhuǎn)導(dǎo)軌24外輪廓相貼合而沿公轉(zhuǎn)導(dǎo)軌24運(yùn)動(dòng)從而產(chǎn)生自轉(zhuǎn)，自轉(zhuǎn)導(dǎo)輪31通過連接塊32與公轉(zhuǎn)支架分支架222的連接使其與公轉(zhuǎn)系統(tǒng)2相連接，連接塊32的形狀為兩端凸起中間下凹的階梯軸狀，連接塊32的中間軸段套設(shè)在公轉(zhuǎn)支架的分支架222通孔中，且自轉(zhuǎn)導(dǎo)輪31的中軸處開設(shè)有貫穿連接塊32與滑輪33的中軸孔，所述治具盤11的連接柱12套裝在自轉(zhuǎn)導(dǎo)輪31的中軸孔內(nèi)，與自轉(zhuǎn)導(dǎo)輪31和公轉(zhuǎn)支架分支架222軸向配合安裝，在鍍膜機(jī)腔4中，以一治具盤11與一自轉(zhuǎn)導(dǎo)輪31、一公轉(zhuǎn)支架分支架222形成一組并配合安裝，三個(gè)治具盤11分別與三個(gè)自轉(zhuǎn)導(dǎo)輪31、三個(gè)公轉(zhuǎn)支架分支架222對(duì)應(yīng)成組并配合安裝；治具盤11安裝在公轉(zhuǎn)支架22的內(nèi)側(cè)，自轉(zhuǎn)導(dǎo)輪31繞中心軸旋轉(zhuǎn)時(shí)帶動(dòng)治具盤11繞中心軸旋轉(zhuǎn)；
所述的自轉(zhuǎn)導(dǎo)輪31的連接塊32與公轉(zhuǎn)支架分支架222之間安裝有軸承34，通過軸承34作用使連接塊32在公轉(zhuǎn)支架分支架222通孔內(nèi)旋轉(zhuǎn)，即自轉(zhuǎn)導(dǎo)輪31旋轉(zhuǎn)，而治具盤11的連接柱12套裝在自轉(zhuǎn)導(dǎo)輪31的中軸孔內(nèi)，治具盤11同時(shí)旋轉(zhuǎn)，實(shí)現(xiàn)自轉(zhuǎn)系統(tǒng)3的轉(zhuǎn)動(dòng)以實(shí)現(xiàn)治具盤11的自轉(zhuǎn)；所述的公轉(zhuǎn)系統(tǒng)2的回轉(zhuǎn)驅(qū)動(dòng)裝置設(shè)置有軸承34，軸承34安裝在公轉(zhuǎn)中軸23與鍍膜機(jī)腔4之間，通過軸承34作用帶動(dòng)公轉(zhuǎn)中軸23在鍍膜機(jī)腔4通孔內(nèi)旋轉(zhuǎn)，即帶動(dòng)公轉(zhuǎn)支架的主支架221和分支架222同時(shí)旋轉(zhuǎn)，實(shí)現(xiàn)公轉(zhuǎn)系統(tǒng)2的轉(zhuǎn)動(dòng)。
[0019]一種可自轉(zhuǎn)公轉(zhuǎn)的仿行星式鍍膜治具的使用方法，所述的使用方法包括以下步驟:
1)公轉(zhuǎn)系統(tǒng)2裝配:打開鍍膜機(jī)的外殼使操作員能在鍍膜機(jī)腔4內(nèi)進(jìn)行裝配工作，首先將公轉(zhuǎn)支架的主支架221安裝在鍍膜機(jī)腔4內(nèi)頂面，安裝時(shí)先將公轉(zhuǎn)中軸23套設(shè)在主支架221的中軸孔內(nèi)并加以固定，固定完成后使公轉(zhuǎn)中軸23從鍍膜機(jī)腔4內(nèi)頂面穿過外頂面，再在鍍膜機(jī)腔4的通孔處安裝與公轉(zhuǎn)中軸23適配的軸承34，公轉(zhuǎn)中軸23頂端安裝在連接座21之內(nèi)；然后將其中一個(gè)分支架222安裝在主支架221邊緣，分支架222與主支架221邊緣的凸出端連接，分支架222的傾斜度可為與主支架221呈100-130度相交，用螺釘將主支架221和分支架222連接后再在主支架221和分支架222之間加上加強(qiáng)肋使分支架222固定安裝，重復(fù)上述步驟，將另外兩個(gè)分支架222安裝在主支架221上；最后安裝公轉(zhuǎn)導(dǎo)軌24，將三根“L “形支撐架焊接在公轉(zhuǎn)導(dǎo)軌24的下表面，隨即用螺釘螺母將支撐架固定在鍍膜機(jī)腔4的內(nèi)壁；
2)自轉(zhuǎn)系統(tǒng)3裝配:將軸承34安裝在自轉(zhuǎn)導(dǎo)輪31的連接塊32的中軸段，接著將裝配好軸承34的自轉(zhuǎn)導(dǎo)輪31套設(shè)在公轉(zhuǎn)支架分支架222的通孔中并加以固定，將治具盤11的連接柱12套設(shè)在自轉(zhuǎn)導(dǎo)輪31的中軸孔中以完成治具盤11、自轉(zhuǎn)導(dǎo)輪31和公轉(zhuǎn)支架分支架222的軸向安裝，在公轉(zhuǎn)支架22的另一側(cè)安裝回轉(zhuǎn)驅(qū)動(dòng)裝置并鎖緊裝置，自轉(zhuǎn)導(dǎo)輪31的滑動(dòng)輪廓底端架設(shè)在公轉(zhuǎn)導(dǎo)軌24之上，治具盤11的盤口朝內(nèi)；
3)鍍膜治具運(yùn)行:完成機(jī)組裝配后，當(dāng)啟動(dòng)公轉(zhuǎn)系統(tǒng)2的回轉(zhuǎn)驅(qū)動(dòng)裝置時(shí)，以三個(gè)治具盤11為一個(gè)整體式的治具本體1，治具本體1繞公轉(zhuǎn)系統(tǒng)2的中軸轉(zhuǎn)動(dòng)，且由于自轉(zhuǎn)導(dǎo)輪31架設(shè)在公轉(zhuǎn)導(dǎo)軌24的表面，治具本體1轉(zhuǎn)動(dòng)后，自轉(zhuǎn)導(dǎo)輪31隨即沿公轉(zhuǎn)導(dǎo)軌24運(yùn)行，當(dāng)自轉(zhuǎn)導(dǎo)輪31被帶動(dòng)而運(yùn)行時(shí)，與自動(dòng)導(dǎo)輪連接的治具盤11也同時(shí)繞中心軸轉(zhuǎn)動(dòng)，從而實(shí)現(xiàn)了治具盤11在作公轉(zhuǎn)運(yùn)動(dòng)時(shí)同時(shí)作自轉(zhuǎn)運(yùn)動(dòng)；
4)蒸發(fā)鍍膜:啟動(dòng)蒸發(fā)器，通過蒸發(fā)源5使蒸發(fā)物質(zhì)經(jīng)加熱后汽化從而產(chǎn)生膜材蒸氣，膜材蒸氣從下往上直線飛行運(yùn)動(dòng)到待鍍膜產(chǎn)品表面，氣態(tài)粒子在產(chǎn)品表面凝聚形核后生長(zhǎng)成固相薄膜，即在待鍍膜產(chǎn)品表面沉積一層固態(tài)薄膜形成保護(hù)膜層。
[0020]鍍膜作業(yè)在真空環(huán)境下進(jìn)行，在鍍膜作業(yè)進(jìn)行時(shí)不適宜對(duì)設(shè)備零部件或待鍍膜產(chǎn)品進(jìn)行維護(hù)或更換等工作，本發(fā)明以嚴(yán)謹(jǐn)?shù)墓ぷ飨到y(tǒng)使鍍膜產(chǎn)品在設(shè)備就緒后無需其他操作便可一步到位地完成鍍膜工作，達(dá)到可觀的工作效率；使用本發(fā)明時(shí)，在完成零部件裝配后需要將鍍膜產(chǎn)品裝載到鍍膜治具上，同時(shí)需要將鍍膜機(jī)腔4達(dá)到密封的真空狀態(tài)，使用本發(fā)明進(jìn)行鍍膜時(shí)，先啟用蒸發(fā)源5，系統(tǒng)同時(shí)需要滿足蒸發(fā)條件，再驅(qū)動(dòng)鍍膜治具作公轉(zhuǎn)運(yùn)動(dòng)同時(shí)利用公轉(zhuǎn)運(yùn)動(dòng)帶動(dòng)自轉(zhuǎn)運(yùn)動(dòng)，然后膜材蒸氣從蒸發(fā)源5往機(jī)腔內(nèi)的鍍膜治具方向飛行并凝聚在鍍膜治具上的鍍膜產(chǎn)品表面，在膜材蒸氣直線飛行以及鍍膜治具勻速轉(zhuǎn)動(dòng)的前提條件下，達(dá)到鍍膜產(chǎn)品的膜層均勻涂覆的效果。
[0021]以上所述，僅是本發(fā)明的較佳實(shí)施例，并非對(duì)本發(fā)明的技術(shù)范圍作任何限制，本行業(yè)的技術(shù)人員，在本技術(shù)方案的啟迪下，可以做出一些變形與修改，凡是依據(jù)本發(fā)明的技術(shù)實(shí)質(zhì)對(duì)以上的實(shí)施例所作的任何修改、等同變化與修飾，均仍屬于本發(fā)明技術(shù)方案的范圍內(nèi)。
【權(quán)利要求】
1.一種可自轉(zhuǎn)公轉(zhuǎn)的仿行星式鍍膜治具，所述的鍍膜治具安裝在鍍膜機(jī)腔內(nèi)部上方，其特征在于:所述的鍍膜治具主要包括治具本體、公轉(zhuǎn)系統(tǒng)和自轉(zhuǎn)系統(tǒng)，所述的治具本體包括三個(gè)治具盤，治具盤為傘形，傘形治具盤中部的尖端處設(shè)置有連接柱； 所述的公轉(zhuǎn)系統(tǒng)主要包括連接座、公轉(zhuǎn)支架、公轉(zhuǎn)中軸和公轉(zhuǎn)導(dǎo)軌，連接座安裝在鍍膜機(jī)腔的外頂面，公轉(zhuǎn)中軸穿過鍍膜機(jī)腔頂面貫通的通孔分別與連接座、公轉(zhuǎn)支架軸向安裝，并使公轉(zhuǎn)支架安裝在鍍膜機(jī)腔內(nèi)頂面；連接座內(nèi)部安裝有回轉(zhuǎn)驅(qū)動(dòng)裝置，可驅(qū)動(dòng)公轉(zhuǎn)中軸繞中心軸水平旋轉(zhuǎn)；公轉(zhuǎn)支架的主支架為類輪轂的鏤空?qǐng)A盤狀，且在中軸處開設(shè)有中軸孔，公轉(zhuǎn)支架的分支架連接在主支架邊緣，公轉(zhuǎn)支架包括三個(gè)分支架，三個(gè)分支架均為一端連接主支架邊緣處，另一端從主支架邊緣處向下傾斜延展，三個(gè)分支架以主支架為基面呈圓周陣列分布，分支架與主支架邊緣的凸出端為固定裝配，且分支架末端開設(shè)有通孔；公轉(zhuǎn)中軸下端軸套安裝在與之匹配的主支架所開設(shè)的中軸孔內(nèi)，公轉(zhuǎn)中軸上端與連接座內(nèi)部的回轉(zhuǎn)驅(qū)動(dòng)裝置電性連接，當(dāng)回轉(zhuǎn)驅(qū)動(dòng)裝置驅(qū)動(dòng)公轉(zhuǎn)中軸旋轉(zhuǎn)時(shí)可帶動(dòng)公轉(zhuǎn)支架旋轉(zhuǎn)；公轉(zhuǎn)導(dǎo)軌為環(huán)繞在自轉(zhuǎn)系統(tǒng)外的圓形軌道，公轉(zhuǎn)導(dǎo)軌處于公轉(zhuǎn)系統(tǒng)的底端，由三根“L”形支撐柱一端連接公轉(zhuǎn)導(dǎo)軌下表面，另一端安裝在鍍膜機(jī)腔內(nèi)頂面使公轉(zhuǎn)導(dǎo)軌固定在鍍膜機(jī)腔內(nèi)； 所述的自轉(zhuǎn)系統(tǒng)主要包括三個(gè)自轉(zhuǎn)導(dǎo)輪，自轉(zhuǎn)導(dǎo)輪上半部分為凸起的連接塊，下半部分為滑輪，自轉(zhuǎn)導(dǎo)輪的滑動(dòng)輪廓與公轉(zhuǎn)導(dǎo)軌的輪廓相匹配，自轉(zhuǎn)導(dǎo)輪通過連接塊與公轉(zhuǎn)支架分支架的連接使其與公轉(zhuǎn)系統(tǒng)相連接，連接塊的形狀為兩端凸起中間下凹的階梯軸狀，連接塊的中間軸段套設(shè)在公轉(zhuǎn)支架的分支架通孔中，且自轉(zhuǎn)導(dǎo)輪的中軸處開設(shè)有貫穿連接塊與滑輪的中軸孔，所述治具盤的連接柱套裝在自轉(zhuǎn)導(dǎo)輪的中軸孔內(nèi)，與自轉(zhuǎn)導(dǎo)輪和公轉(zhuǎn)支架分支架軸向配合安裝，治具盤安裝在公轉(zhuǎn)支架的內(nèi)側(cè)，自轉(zhuǎn)導(dǎo)輪繞中心軸旋轉(zhuǎn)時(shí)帶動(dòng)治具盤繞中心軸旋轉(zhuǎn)。
2.根據(jù)權(quán)利要求1所述的一種可自轉(zhuǎn)公轉(zhuǎn)的仿行星式鍍膜治具，其特征在于:所述鍍膜治具中，以一治具盤與一自轉(zhuǎn)導(dǎo)輪、一公轉(zhuǎn)支架分支架形成一組并配合安裝，三個(gè)治具盤分別與三個(gè)自轉(zhuǎn)導(dǎo)輪、三個(gè)公轉(zhuǎn)支架分支架對(duì)應(yīng)成組并配合安裝。
3.根據(jù)權(quán)利要求1所述的一種可自轉(zhuǎn)公轉(zhuǎn)的仿行星式鍍膜治具，其特征在于:所述的自轉(zhuǎn)導(dǎo)輪的連接塊與公轉(zhuǎn)支架分支架之間安裝有軸承，通過軸承作用使連接塊在公轉(zhuǎn)支架分支架通孔內(nèi)旋轉(zhuǎn)，即自轉(zhuǎn)導(dǎo)輪旋轉(zhuǎn)，而治具盤的連接柱套裝在自轉(zhuǎn)導(dǎo)輪的中軸孔內(nèi)，治具盤同時(shí)旋轉(zhuǎn)，實(shí)現(xiàn)自轉(zhuǎn)系統(tǒng)的轉(zhuǎn)動(dòng)以實(shí)現(xiàn)治具盤的自轉(zhuǎn)。
4.根據(jù)權(quán)利要求1所述的一種可自轉(zhuǎn)公轉(zhuǎn)的仿行星式鍍膜治具，其特征在于:所述的公轉(zhuǎn)系統(tǒng)的回轉(zhuǎn)驅(qū)動(dòng)裝置設(shè)置有軸承，軸承安裝在公轉(zhuǎn)中軸與鍍膜機(jī)腔之間，通過軸承作用帶動(dòng)公轉(zhuǎn)中軸在鍍膜機(jī)腔通孔內(nèi)旋轉(zhuǎn)，即帶動(dòng)公轉(zhuǎn)支架的主支架和分支架同時(shí)旋轉(zhuǎn)，實(shí)現(xiàn)公轉(zhuǎn)系統(tǒng)的轉(zhuǎn)動(dòng)。
5.根據(jù)權(quán)利要求1所述的一種可自轉(zhuǎn)公轉(zhuǎn)的仿行星式鍍膜治具，其特征在于:所述的自轉(zhuǎn)導(dǎo)輪架設(shè)在公轉(zhuǎn)導(dǎo)軌的表面，當(dāng)公轉(zhuǎn)支架轉(zhuǎn)動(dòng)時(shí)，與分支架連接的自轉(zhuǎn)導(dǎo)輪同步繞公轉(zhuǎn)支架中心軸轉(zhuǎn)動(dòng)，當(dāng)自轉(zhuǎn)導(dǎo)輪由于轉(zhuǎn)動(dòng)而發(fā)生位置偏移時(shí)，架設(shè)在公轉(zhuǎn)導(dǎo)軌上的自轉(zhuǎn)導(dǎo)輪由于與公轉(zhuǎn)導(dǎo)軌外輪廓相貼合而沿公轉(zhuǎn)導(dǎo)軌運(yùn)動(dòng)從而產(chǎn)生自轉(zhuǎn)。
6.一種可自轉(zhuǎn)公轉(zhuǎn)的仿行星式鍍膜治具的使用方法，其特征在于:所述的使用方法包括以下步驟: O公轉(zhuǎn)系統(tǒng)裝配:打開鍍膜機(jī)的外殼使操作員能在鍍膜機(jī)腔內(nèi)進(jìn)行裝配工作，首先將公轉(zhuǎn)支架的主支架安裝在鍍膜機(jī)腔內(nèi)頂面，安裝時(shí)先將公轉(zhuǎn)中軸套設(shè)在主支架的中軸孔內(nèi)并加以固定，固定完成后使公轉(zhuǎn)中軸從鍍膜機(jī)腔內(nèi)頂面穿過外頂面，再在鍍膜機(jī)腔的通孔處安裝與公轉(zhuǎn)中軸適配的軸承，公轉(zhuǎn)中軸頂端安裝在連接座之內(nèi)；然后將其中一個(gè)分支架安裝在主支架邊緣，分支架與主支架邊緣的凸出端連接，分支架的傾斜度可為與主支架呈100-130度相交，用螺釘將主支架和分支架連接后再在主支架和分支架之間加上加強(qiáng)肋使分支架固定安裝，重復(fù)上述步驟，將另外兩個(gè)分支架安裝在主支架上；最后安裝公轉(zhuǎn)導(dǎo)軌，將三根“L “形支撐架焊接在公轉(zhuǎn)導(dǎo)軌的下表面，隨即用螺釘螺母將支撐架固定在鍍膜機(jī)腔的內(nèi)壁； 2)自轉(zhuǎn)系統(tǒng)裝配:將軸承安裝在自轉(zhuǎn)導(dǎo)輪的連接塊的中軸段外圍，接著將裝配好軸承的自轉(zhuǎn)導(dǎo)輪套設(shè)在公轉(zhuǎn)支架分支架的通孔中并加以固定，將治具盤的連接柱套設(shè)在自轉(zhuǎn)導(dǎo)輪的中軸孔中以完成治具盤、自轉(zhuǎn)導(dǎo)輪和公轉(zhuǎn)支架分支架的軸向安裝，自轉(zhuǎn)導(dǎo)輪的滑動(dòng)輪廓底端架設(shè)在公轉(zhuǎn)導(dǎo)軌之上，治具盤的盤口朝內(nèi)； 3)鍍膜治具運(yùn)行:完成機(jī)組裝配后，當(dāng)啟動(dòng)公轉(zhuǎn)系統(tǒng)的回轉(zhuǎn)驅(qū)動(dòng)裝置時(shí)，以三個(gè)治具盤為一個(gè)整體式的治具本體，治具本體繞公轉(zhuǎn)系統(tǒng)的中軸轉(zhuǎn)動(dòng)，且由于自轉(zhuǎn)導(dǎo)輪架設(shè)在公轉(zhuǎn)導(dǎo)軌的表面，治具本體轉(zhuǎn)動(dòng)后，自轉(zhuǎn)導(dǎo)輪隨即沿公轉(zhuǎn)導(dǎo)軌運(yùn)行，當(dāng)自轉(zhuǎn)導(dǎo)輪被帶動(dòng)而運(yùn)行時(shí)，與自動(dòng)導(dǎo)輪連接的治具盤也同時(shí)繞中心軸轉(zhuǎn)動(dòng)，從而實(shí)現(xiàn)了治具盤在作公轉(zhuǎn)運(yùn)動(dòng)時(shí)同時(shí)作自轉(zhuǎn)運(yùn)動(dòng)； 4)蒸發(fā)鍍膜:啟動(dòng)蒸發(fā)器，通過蒸發(fā)源使蒸發(fā)物質(zhì)經(jīng)加熱后汽化從而產(chǎn)生膜材蒸氣，膜材蒸氣直線飛行運(yùn)動(dòng)到待鍍膜產(chǎn)品表面，氣態(tài)粒子在待鍍膜產(chǎn)品表面凝聚形核后生長(zhǎng)成固相薄膜，即在待鍍膜產(chǎn)品表面沉積一層固態(tài)薄膜形成保護(hù)膜層。
【文檔編號(hào)】C23C14/24GK104294234SQ201410488795
【公開日】2015年1月21日 申請(qǐng)日期:2014年9月23日 優(yōu)先權(quán)日:2014年9月23日
【發(fā)明者】劉雙良 申請(qǐng)人:東莞市華星鍍膜科技有限公司, 東莞市華星納米科技有限公司