一種聚對(duì)二甲苯有機(jī)靶的制備方法
【專利摘要】本發(fā)明涉及鍍膜工藝【技術(shù)領(lǐng)域】，尤其是涉及一種聚對(duì)二甲苯有機(jī)靶的制備方法，該制備方法采用真空氣相沉積，通過(guò)在真空條件下,將粉體聚對(duì)二甲苯粉升華，沉積在低溫靶座上，獲得聚對(duì)二甲苯有機(jī)靶，本發(fā)明制備的聚對(duì)二甲苯有機(jī)靶，表面致密光滑，密度達(dá)到聚對(duì)二甲苯的理論密度，含氧量小于0.05%，孔隙率小于0.5%，材料吸附率低，因此在150℃升華時(shí)，靶材中的氧及水份的影響極小，用于鍍膜生產(chǎn)，生產(chǎn)品質(zhì)穩(wěn)定，并且一次更換靶材可以使用1個(gè)月左右時(shí)間，無(wú)需頻繁換靶，節(jié)約鍍膜周期；工藝簡(jiǎn)單，投資成本低，節(jié)能、環(huán)保。
【專利說(shuō)明】一種聚對(duì)二甲苯有機(jī)靶的制備方法

【技術(shù)領(lǐng)域】
[0001] 本發(fā)明涉及鍍膜工藝【技術(shù)領(lǐng)域】，尤其是涉及鍍膜使用的靶材制作。

【背景技術(shù)】
[0002] 聚對(duì)二甲苯膜具有極其優(yōu)良的電性能、耐熱性、耐候性和化學(xué)穩(wěn)定性，主要用于電 子元器件的電絕緣介質(zhì)、保護(hù)性涂料和包封材料等。目前的真空沉積防水膜裝置，一般是采 用化學(xué)氣相沉積聚對(duì)二甲苯膜。其制作過(guò)程如下：首先，將粉末狀的聚對(duì)二甲苯置于蒸發(fā) 室中，并加熱到150°C，使粉末狀的聚對(duì)二甲苯汽化；然后，將聚對(duì)二甲苯氣體傳送至裂解 室，并加熱到650°C以進(jìn)行裂解；之后，將聚對(duì)二甲苯單體傳送沉積室，并沉積在基板上。上 述工藝使用的是粉體聚對(duì)二甲苯粉，利用加熱電阻絲加熱粉體，然而粉體的聚對(duì)二甲苯松 散不致密，占用空間較大，因此一次藥劑的裝載量較少，這導(dǎo)致鍍一爐產(chǎn)品就要添加一次粉 體，并且需要對(duì)加藥室由150°C降到室溫，加藥完后，重新再升到150°C，操作過(guò)于頻繁，反 復(fù)升降溫，嚴(yán)重影響鍍膜周期。
[0003] 此外，聚對(duì)二甲苯粉體易吸水氣及空氣，不易保存，當(dāng)高溫加熱升華時(shí)，就會(huì)導(dǎo)致 聚對(duì)二甲苯氧化，裂解不徹底，從而影響鍍膜質(zhì)量，甚至?xí)?dǎo)致產(chǎn)品防水失效。因而，目前粉 體聚對(duì)二甲苯很難加工成型制成塊狀靶材，也沒(méi)有有關(guān)聚對(duì)二甲苯有機(jī)靶制備方法。
[0004] 在此背景下，本 申請(qǐng)人:迎合市場(chǎng)發(fā)展的需求及新材料的應(yīng)用，秉持著研究創(chuàng)新、精 益求精之精神，利用其專業(yè)眼光和專業(yè)知識(shí)，研究出一種適宜產(chǎn)業(yè)利用的聚對(duì)二甲苯有機(jī) 靶的制備方法。


【發(fā)明內(nèi)容】

[0005] 本發(fā)明的目的在于提供一種工藝簡(jiǎn)單，操作簡(jiǎn)便，聚對(duì)二甲苯有機(jī)靶的制備方法， 可制備出致密無(wú)孔的有機(jī)靶材。
[0006] 為達(dá)到上述目的，本發(fā)明采用如下技術(shù)方案： 一種聚對(duì)二甲苯有機(jī)靶的制備方法，該制備方法采用真空氣相沉積，通過(guò)在真空條件 下，將粉體聚對(duì)二甲苯粉升華，沉積在低溫靶座上，獲得聚對(duì)二甲苯有機(jī)靶，具體步驟如 下： 步聚1)、將聚對(duì)二甲苯粉稱重并加入真空爐中的加熱槽里； 步驟2)、將加工好的靶座安裝在真空爐中； 步驟3)、將真空爐抽真空到達(dá)ITorr，進(jìn)行真空等離子清洗，將靶座表面的水汽及氧去 除，并產(chǎn)生一定粗化效果，增加靶座表面的結(jié)合力； 步驟4)、將真空爐抽真空到達(dá)0. ITorr，然后通入lOsccm的氬氣保護(hù)，真空爐升溫至 150攝氏度，將粉體聚對(duì)二甲苯粉升華，同時(shí)將靶座通過(guò)水冷控制在35攝氏度以內(nèi)，以便升 華的聚對(duì)二甲苯沉積在靶座上，真空沉積時(shí)間40小時(shí)，制備出聚對(duì)二甲苯有機(jī)靶。
[0007] 上述方案中，所述步驟3)的真空等離子清洗是通入500sccm的氦氣，偏壓1000V， 時(shí)間lOmin。
【權(quán)利要求】
1. 一種聚對(duì)二甲苯有機(jī)靶的制備方法，其特征在于：該制備方法采用真空氣相沉積， 通過(guò)在真空條件下，將粉體聚對(duì)二甲苯粉升華，沉積在低溫靶座上，獲得聚對(duì)二甲苯有機(jī) 靶，具體步驟如下： 步聚1)、將聚對(duì)二甲苯粉稱重并加入真空爐中的加熱槽里； 步驟2)、將加工好的靶座安裝在真空爐中； 步驟3)、將真空爐抽真空到達(dá)ITorr，進(jìn)行真空等離子清洗，將靶座表面的水汽及氧去 除，并產(chǎn)生一定粗化效果，增加靶座表面的結(jié)合力； 步驟4)、將真空爐抽真空到達(dá)0. ITorr，然后通入lOsccm的氬氣保護(hù)，真空爐升溫至 150攝氏度，將粉體聚對(duì)二甲苯粉升華，同時(shí)將靶座通過(guò)水冷控制在35攝氏度以內(nèi)，以便升 華的聚對(duì)二甲苯沉積在靶座上，真空沉積時(shí)間40小時(shí)，制備出聚對(duì)二甲苯有機(jī)靶。
2. 根據(jù)權(quán)利要求1所述的一種聚對(duì)二甲苯有機(jī)靶的制備方法，其特征在于：所述步驟 3)的真空等離子清洗是通入500sccm的氦氣，偏壓1000V，時(shí)間lOmin。
3. 根據(jù)權(quán)利要求1所述的一種聚對(duì)二甲苯有機(jī)靶的制備方法，其特征在于：所述聚對(duì) 二甲苯粉包括N型、C型、D型及HT型。
4. 根據(jù)權(quán)利要求1所述的一種聚對(duì)二甲苯有機(jī)靶的制備方法，其特征在于：所述靶座 為不銹鋼材質(zhì)制成，所得的聚對(duì)二甲苯有機(jī)靶的形狀是矩形、圓形或棒形。
【文檔編號(hào)】C23C16/448GK104087911SQ201410289903
【公開(kāi)日】2014年10月8日 申請(qǐng)日期:2014年6月26日 優(yōu)先權(quán)日:2014年6月26日
【發(fā)明者】吳子豹 申請(qǐng)人:廣東易能納米科技有限公司