防止高溫金屬材料泄漏的加熱容器及其制造方法
【專利摘要】本發(fā)明涉及一種防止高溫金屬材料泄漏的加熱容器及其制造方法。該加熱容器包括：用于容納金屬材料的內(nèi)部加熱容器，用于接受加熱裝置加熱的外部加熱容器，以及設(shè)有用于金屬材料蒸發(fā)后逸出的氣孔的上蓋；該內(nèi)部加熱容器完全容納于該外部加熱容器中并且位置相對該外部加熱容器固定，該內(nèi)部加熱容器側(cè)壁與該外部加熱容器側(cè)壁之間設(shè)有空隙，該上蓋固定于該內(nèi)部加熱容器與外部加熱容器的上方以覆蓋該內(nèi)部加熱容器與外部加熱容器的開口。本發(fā)明還提供了該加熱容器的制造方法。本發(fā)明克服了加熱容器在日常使用中出現(xiàn)裂痕引起的材料異常流失和生產(chǎn)進(jìn)度中斷的問題，有效的提高了加熱裝置連續(xù)穩(wěn)定運(yùn)行的周期、保證了產(chǎn)品的品質(zhì)。
【專利說明】防止高溫金屬材料泄漏的加熱容器及其制造方法
【技術(shù)領(lǐng)域】
[0001]本發(fā)明涉及加熱容器，尤其涉及一種防止高溫金屬材料泄漏的加熱容器及其制造方法。
【背景技術(shù)】
[0002]OLED(有機(jī)發(fā)光二極管，Organic Light Emitting Diode)具有全固態(tài)、超薄、無視角限制、快速響應(yīng)、室溫工作、易于實(shí)現(xiàn)柔性顯示和3D顯示等優(yōu)點(diǎn)，一致被公認(rèn)為是下一代顯示的主流技術(shù)。目前OLED器件制作的主要方式是加熱蒸發(fā)鍍膜，主要是使用加熱容器在真空環(huán)境下加熱蒸鍍材料，使升華型或者熔融型的蒸鍍材料在高溫狀態(tài)下氣化，沉積在有TFT結(jié)構(gòu)或者陽極結(jié)構(gòu)的基板上。
[0003]現(xiàn)有蒸鍍制程中，對于蒸發(fā)容器普遍采用單層容器加熱蒸發(fā)的模式，但是在升降溫的過程中，加熱容器側(cè)面與底部交界處常常因?yàn)楦邷亟饘僖后w冷凝收縮導(dǎo)致發(fā)生微裂紋，從而引發(fā)材料異常流失，而且，微裂紋會導(dǎo)致高溫液體流出進(jìn)入加熱裝置引發(fā)內(nèi)部電路短路，損壞整個(gè)加熱裝置，進(jìn)而造成OLED產(chǎn)品生產(chǎn)中斷和產(chǎn)品品質(zhì)下降。因?yàn)槲⒘鸭y在冷卻狀態(tài)不容易發(fā)現(xiàn)，所以判斷加熱容器破裂泄漏的難度大而且難預(yù)知。
[0004]參見圖1A及圖1B，圖1A為現(xiàn)有技術(shù)中一種OLED加熱容器的結(jié)構(gòu)示意圖，圖1B為圖1A的剖面圖，該OLED加熱容器用于現(xiàn)有的OLED蒸鍍制程。加熱容器上方設(shè)有上蓋2，上蓋2上設(shè)有氣孔I，加熱容器內(nèi)盛放的材料3經(jīng)加熱蒸發(fā)后可由氣孔I按箭頭方向逸出，當(dāng)加熱容器破損時(shí)， 材料3由破裂處4溢出進(jìn)入加熱裝置，一方面造成材料3大量流失和蒸發(fā)速率下降，中斷生產(chǎn)，另一方面在不知情的情況下添加材料3進(jìn)入加熱裝置有損壞加熱裝置可能。

【發(fā)明內(nèi)容】

[0005]因此，本發(fā)明的目的在于提供一種防止高溫金屬材料泄漏的加熱容器，克服加熱容器損壞導(dǎo)致材料流失問題，保護(hù)加熱裝置。
[0006]本發(fā)明的另一目的在于提供一種防止高溫金屬材料泄漏的加熱容器的制造方法，使該加熱容器能夠克服加熱容器損壞導(dǎo)致材料流失問題，保護(hù)加熱裝置。
[0007]為實(shí)現(xiàn)上述目的，本發(fā)明提供一種防止高溫金屬材料泄漏的加熱容器，包括:用于容納金屬材料的內(nèi)部加熱容器，用于接受加熱裝置加熱的外部加熱容器，以及設(shè)有用于金屬材料蒸發(fā)后逸出的氣孔的上蓋；該內(nèi)部加熱容器完全容納于該外部加熱容器中并且位置相對該外部加熱容器固定，該內(nèi)部加熱容器側(cè)壁與該外部加熱容器側(cè)壁之間設(shè)有空隙，該上蓋固定于該內(nèi)部加熱容器與外部加熱容器的上方以覆蓋該內(nèi)部加熱容器與外部加熱容器的開口。
[0008]其中，該內(nèi)部加熱容器及外部加熱容器材質(zhì)相同。
[0009]其中，該加熱容器為用于OLED蒸鍍制程的加熱容器。
[0010]其中，該內(nèi)部加熱容器的底部與該外部加熱容器的底部相互接觸。[0011]其中，該內(nèi)部加熱容器的底部與該外部加熱容器的底部之間設(shè)有空隙。
[0012]其中，該內(nèi)部加熱容器及外部加熱容器為坩堝。
[0013]其中，該內(nèi)部加熱容器的頂部及外部加熱容器的頂部焊接成為一體。
[0014]其中，該上蓋同時(shí)與該內(nèi)部加熱容器的頂部及外部加熱容器的頂部卡緊固定。
[0015]本發(fā)明還提供了所述加熱容器的制造方法，包括:
[0016]步驟1、量取內(nèi)部加熱容器的外圍和內(nèi)部尺寸；
[0017]步驟2、選取內(nèi)徑可包覆該內(nèi)部加熱容器的外部加熱容器；
[0018]步驟3、根據(jù)該內(nèi)部加熱容器的高度對該外部加熱容器的高度進(jìn)行截??；
[0019]步驟4、將該內(nèi)部加熱容器完全容納于該外部加熱容器中并且位置相對該外部加熱容器固定。
[0020]本發(fā)明還提供了所述加熱容器的另一制造方法，包括:
[0021]步驟11、量取外部加熱容器的外圍和內(nèi)部尺寸；
[0022]步驟21、選取外徑可容納于該外部加熱容器中的內(nèi)部加熱容器；
[0023]步驟31、根據(jù)該外部加熱容器的高度對該內(nèi)部加熱容器的高度進(jìn)行截??；
[0024]步驟41、將該內(nèi)部加熱容器完全容納于該外部加熱容器中并且位置相對該外部加熱容器固定。
[0025]綜上所述，本發(fā)明防止高溫金屬材料泄漏的加熱容器克服了加熱容器在日常使用中出現(xiàn)裂痕引起的材料異常流失和生產(chǎn)進(jìn)度中斷的問題，有效的提高了加熱裝置連續(xù)穩(wěn)定運(yùn)行的周期、保證了產(chǎn)品的品質(zhì)；同時(shí)，該加熱容器的制造方法方便快捷，成本低廉。
【專利附圖】

【附圖說明】
[0026]下面結(jié)合附圖，通過對本發(fā)明的【具體實(shí)施方式】詳細(xì)描述，將使本發(fā)明的技術(shù)方案及其他有益效果顯而易見。
[0027]附圖中，
[0028]圖1A為現(xiàn)有技術(shù)中一種OLED加熱容器的結(jié)構(gòu)示意圖；
[0029]圖1B為圖1A的剖面圖；
[0030]圖2為本發(fā)明防止高溫金屬材料泄漏的加熱容器第一較佳實(shí)施例的剖面示意圖；
[0031]圖3為本發(fā)明防止高溫金屬材料泄漏的加熱容器第二較佳實(shí)施例的剖面示意圖；
[0032]圖4為本發(fā)明防止高溫金屬材料泄漏的加熱容器第三較佳實(shí)施例的剖面示意圖；
[0033]圖5為本發(fā)明防止高溫金屬材料泄漏的加熱容器第四較佳實(shí)施例的剖面示意圖；
[0034]圖6為本發(fā)明防止高溫金屬材料泄漏的加熱容器第五較佳實(shí)施例的剖面示意圖；
[0035]圖7為本發(fā)明防止高溫金屬材料泄漏的加熱容器第六較佳實(shí)施例的剖面示意圖；
[0036]圖8為本發(fā)明防止高溫金屬材料泄漏的加熱容器第七較佳實(shí)施例的剖面示意圖；
[0037]圖9為本發(fā)明防止高溫金屬材料泄漏的加熱容器第八較佳實(shí)施例的剖面示意圖。
【具體實(shí)施方式】
[0038] 參見圖2，其為本發(fā)明防止高溫金屬材料泄漏的加熱容器第一較佳實(shí)施例的剖面示意圖，該較佳實(shí)施例及后面實(shí)施例中的加熱容器形狀均以圓柱形作為舉例，所示剖面圖為沿柱形直徑方向所作。該較佳實(shí)施例的防止高溫金屬材料泄漏的加熱容器主要包括:用于容納金屬材料的內(nèi)部加熱容器27，用于接受加熱裝置加熱的外部加熱容器25，以及設(shè)有用于金屬材料蒸發(fā)后逸出的氣孔21的上蓋22 ;該內(nèi)部加熱容器27完全容納于該外部加熱容器25中并且位置相對該外部加熱容器27固定，該內(nèi)部加熱容器27側(cè)壁與該外部加熱容器25側(cè)壁之間設(shè)有空隙，該上蓋22固定于該內(nèi)部加熱容器27與外部加熱容器25的上方以覆蓋該內(nèi)部加熱容器27與外部加熱容器25的開口
[0039]該加熱容器可以作為用于OLED蒸鍍制程的加熱容器，加熱容器內(nèi)外兩部分可以由相同材質(zhì)的容器組成，但是尺寸不同，內(nèi)部加熱容器27及外部加熱容器25均可以為坩堝。其中頂端無焊接，僅通過上蓋22卡緊，上蓋22可以采用卡扣結(jié)構(gòu)與內(nèi)部加熱容器27和外部加熱容器25的上部邊緣進(jìn)行卡扣連接。上蓋22中央有供材料23逸出的氣孔21，兩容器底部無接觸，加熱裝置通過加熱外部加熱容器25，外部加熱容器25通過輻射內(nèi)部加熱容器27傳熱，僅有內(nèi)部加熱容器27才裝有材料23，內(nèi)部加熱容器27受熱使材料23蒸發(fā)，材料23蒸汽通過上蓋22的氣孔21導(dǎo)出。當(dāng)內(nèi)部加熱容器27破損產(chǎn)生破裂處24時(shí)，材料23通內(nèi)部加熱容器27和夾縫中的泄漏材料26共同蒸出，經(jīng)過氣孔21混合后蒸出。
[0040]上述OLED蒸鍍裝置，通過對加熱容器的改進(jìn)，使其在內(nèi)部加熱容器破損情況下，加熱容器仍可繼續(xù)維持正常生產(chǎn)的狀態(tài)，不會造成材料異常流失和損壞加熱裝置。該雙層的OLED材料蒸發(fā)容器，有效的降低了容器破損后材料流失和規(guī)避了加熱裝置損壞的風(fēng)險(xiǎn)，同時(shí)提高了 OLED生產(chǎn)設(shè)備的連續(xù)穩(wěn)定運(yùn)行的周期。
[0041]本發(fā)明對傳統(tǒng)加熱容器的改進(jìn)，由傳統(tǒng)的單層容器改進(jìn)為雙層加熱容器，讓加熱容器在交界面處出現(xiàn)裂痕和破損時(shí)，能有效抑制材料外泄和流失，保護(hù)整個(gè)加熱裝置，保證產(chǎn)品品質(zhì)和生產(chǎn)進(jìn)度。
[0042]參見圖3，其為本發(fā)明防止高溫金屬材料泄漏的加熱容器第二較佳實(shí)施例的剖面示意圖。加熱容器由內(nèi)外兩部分相同材質(zhì)的內(nèi)部加熱容器37及外部加熱容器35組成，其中頂端無焊接，僅通過上蓋32卡緊，上蓋32中央有供材料33逸出的氣孔31，兩容器底部相互接觸,加熱裝置通過加熱外部加熱容器35，外部加熱容器35通過輻射內(nèi)部加熱容器37側(cè)壁和通過底部將熱量傳遞給內(nèi)部加熱容器37，內(nèi)部加熱容器37受熱使材料33蒸發(fā)，材料33蒸汽通過上蓋32的氣孔31導(dǎo)出。當(dāng)內(nèi)部加熱容器37破損產(chǎn)生破裂處34時(shí)，材料33通內(nèi)部加熱容器37和夾縫中的泄漏材料36共同蒸出，經(jīng)過氣孔31混合后蒸出。
[0043]參見圖4，其為本發(fā)明防止高溫金屬材料泄漏的加熱容器第三較佳實(shí)施例的剖面示意圖。加熱容器由內(nèi)外兩部分相同材質(zhì)的內(nèi)部加熱容器47及外部加熱容器45組成，其中頂端部分焊接熔融在一起，兩容器底部無接觸，加熱裝置通過加熱外部加熱容器45，外部加熱容器45通過輻射內(nèi)部加熱容器47，內(nèi)部加熱容器47受熱使材料43蒸發(fā)，材料43蒸汽通過上蓋42的氣孔41導(dǎo)出。當(dāng)內(nèi)部加熱容器47破損產(chǎn)生破裂處44時(shí)，僅有材料43通內(nèi)部加熱容器47經(jīng)氣孔41蒸出，而泄漏材料46保留于夾縫中。
[0044]參見圖5，其為本發(fā)明防止高溫金屬材料泄漏的加熱容器第四較佳實(shí)施例的剖面示意圖。加熱容器由內(nèi)外兩部分相同材質(zhì)的內(nèi)部加熱容器57及外部加熱容器55組成，其中頂端部分焊接熔融在一起，兩容器底部相互接觸，加熱裝置通過加熱外部加熱容器55，外部加熱容器55通過輻射內(nèi)部加熱容器57側(cè)壁和通過底部將熱量傳遞給內(nèi)部加熱容器57，內(nèi)部加熱容器57受熱使材料53蒸發(fā)，材料53蒸汽通過上蓋52的氣孔51導(dǎo)出。當(dāng)內(nèi)部加熱容器57破損產(chǎn)生破裂 處54時(shí)，僅有材料53通內(nèi)部加熱容器57經(jīng)氣孔51蒸出，而泄漏材料56保留于夾縫中。
[0045]參見圖6，其為本發(fā)明防止高溫金屬材料泄漏的加熱容器第五較佳實(shí)施例的剖面示意圖。加熱容器由內(nèi)外兩部分相同材質(zhì)的內(nèi)部加熱容器67及外部加熱容器65組成，其中頂端無焊接，僅通過上蓋62卡緊，上蓋62中央有材料63的氣孔61，兩容器底部無接觸，加熱裝置通過加熱外部加熱容器65，外部加熱容器65通過輻射內(nèi)部加熱容器67，內(nèi)部加熱容器67受熱使材料63蒸發(fā)，材料63蒸汽通過上蓋62的氣孔61導(dǎo)出。當(dāng)內(nèi)部加熱容器67破損產(chǎn)生破裂處64時(shí)，材料63通內(nèi)部加熱容器67蒸出，然后經(jīng)過氣孔61蒸出。
[0046]參見圖7，其為本發(fā)明防止高溫金屬材料泄漏的加熱容器第六較佳實(shí)施例的剖面示意圖。加熱容器由內(nèi)外兩部分相同材質(zhì)的內(nèi)部加熱容器77及外部加熱容器75組成，其中頂端無焊接，僅通過上蓋72卡緊，上蓋72中央有材料73的氣孔71，兩容器底部相互接觸，加熱裝置通過加熱外部加熱容器75，外部加熱容器75通過輻射內(nèi)部加熱容器77側(cè)壁和通過底部將熱量傳遞給內(nèi)部加熱容器77，內(nèi)部加熱容器77受熱使材料73蒸發(fā)，材料73蒸汽通過上蓋72的氣孔71導(dǎo)出。當(dāng)內(nèi)部加熱容器77破損產(chǎn)生破裂處74時(shí)，材料73通內(nèi)部加熱容器77蒸出，然后經(jīng)過氣孔71蒸出。
[0047]參見圖8，其為本發(fā)明防止高溫金屬材料泄漏的加熱容器第七較佳實(shí)施例的剖面示意圖。加熱容器由內(nèi)外兩部分相同材質(zhì)的內(nèi)部加熱容器87及外部加熱容器85組成，其中頂端部分焊接熔融在一起，兩容器底部無接觸，加熱裝置通過加熱外部加熱容器85，外部加熱容器85通過輻射內(nèi) 部加熱容器87，內(nèi)部加熱容器87受熱使材料83蒸發(fā)，材料83蒸汽通過上蓋82的氣孔81導(dǎo)出。當(dāng)內(nèi)部加熱容器87破損產(chǎn)生破裂處84時(shí)，僅有材料83通過內(nèi)部加熱容器87由氣孔81蒸出。
[0048]參見圖9，其為本發(fā)明防止高溫金屬材料泄漏的加熱容器第八較佳實(shí)施例的剖面示意圖。加熱容器由內(nèi)外兩部分相同材質(zhì)的內(nèi)部加熱容器97及外部加熱容器95組成，其中頂端部分焊接熔融在一起，兩容器底部相互接觸，加熱裝置通過加熱外部加熱容器95，外部加熱容器95通過輻射內(nèi)部加熱容器97側(cè)壁和通過底部將熱量傳遞給內(nèi)部加熱容器97，內(nèi)部加熱容器97受熱使材料93蒸發(fā)，材料93蒸汽通過上蓋92的氣孔91導(dǎo)出。當(dāng)內(nèi)部加熱容器97破損產(chǎn)生破裂處94時(shí)，僅有材料93通過內(nèi)部加熱容器97由氣孔91蒸出。
[0049]本發(fā)明還提供了相應(yīng)加熱容器的制造方法，包括:
[0050]步驟1、量取內(nèi)部加熱容器的外圍和內(nèi)部尺寸；
[0051]步驟2、選取內(nèi)徑可包覆該內(nèi)部加熱容器的外部加熱容器；
[0052]步驟3、根據(jù)該內(nèi)部加熱容器的高度對該外部加熱容器的高度進(jìn)行截?。粚⑼獠考訜崛萜鞲叨冗M(jìn)行截取，使其高度與內(nèi)部加熱容器的高度持平；
[0053]步驟4、將該內(nèi)部加熱容器完全容納于該外部加熱容器中并且位置相對該外部加熱容器固定；可以將兩者上部部分進(jìn)行熔融焊合，使其成為一體，或采用上蓋將兩者通過上蓋卡緊，使其相對位置固定。
[0054]制成后，可加入相應(yīng)的材料放入加熱裝置中，加熱升溫；根據(jù)蒸鍍制程進(jìn)行膜厚參數(shù)校正。制得的加熱容器一方面克服了加熱容器損壞導(dǎo)致材料流失問題，另一方面保護(hù)了加熱裝置。
[0055]另一種制造方法包括:
[0056]步驟11、量取外部加熱容器的外圍和內(nèi)部尺寸；[0057]步驟21、選取外徑可容納于該外部加熱容器中的內(nèi)部加熱容器；
[0058]步驟31、根據(jù)該外部加熱容器的高度對該內(nèi)部加熱容器的高度進(jìn)行截??；將內(nèi)部加熱容器的高度進(jìn)行截取，使其高度與外部加熱容器持平；
[0059]步驟41、將該內(nèi)部加熱容器完全容納于該外部加熱容器中并且位置相對該外部加熱容器固定；可以將兩者上部部分進(jìn)行熔融焊合，使其成為一體，或采用上蓋將兩者通過上蓋卡緊，使其相對位置固定。
[0060]制成后，可加入相應(yīng)的材料放入加熱裝置中，加熱升溫；根據(jù)蒸鍍制程進(jìn)行膜厚參數(shù)校正。
[0061]本發(fā)明防止高溫金屬材料泄漏的加熱容器采用雙層加熱容器的設(shè)計(jì)，克服了加熱容器在日常使用中出現(xiàn)裂痕引起的材料異常流失和生產(chǎn)進(jìn)度中斷的問題，有效的提高了加熱裝置連續(xù)穩(wěn)定運(yùn)行的周期、保證了產(chǎn)品的品質(zhì)。同時(shí)，該加熱容器的制造方法方便快捷，成本低廉。
[0062]以上所述，對于本領(lǐng)域的普通技術(shù)人員來說，可以根據(jù)本發(fā)明的技術(shù)方案和技術(shù)構(gòu)思作出其他各種相應(yīng)的改變和變形，而所有這些改變和變形都應(yīng)屬于本發(fā)明后附的權(quán)利要求的保護(hù)范圍。
【權(quán)利要求】
1.一種防止高溫金屬材料泄漏的加熱容器，其特征在于，包括:用于容納金屬材料的內(nèi)部加熱容器，用于接受加熱裝置加熱的外部加熱容器，以及設(shè)有用于金屬材料蒸發(fā)后逸出的氣孔的上蓋；該內(nèi)部加熱容器完全容納于該外部加熱容器中并且位置相對該外部加熱容器固定，該內(nèi)部加熱容器側(cè)壁與該外部加熱容器側(cè)壁之間設(shè)有空隙，該上蓋固定于該內(nèi)部加熱容器與外部加熱容器的上方以覆蓋該內(nèi)部加熱容器與外部加熱容器的開口。
2.如權(quán)利要求1所述的防止高溫金屬材料泄漏的加熱容器，其特征在于，該內(nèi)部加熱容器及外部加熱容器材質(zhì)相同。
3.如權(quán)利要求1所述的防止高溫金屬材料泄漏的加熱容器，其特征在于，該加熱容器為用于OLED蒸鍍制程的加熱容器。
4.如權(quán)利要求1所述的防止高溫金屬材料泄漏的加熱容器，其特征在于，該內(nèi)部加熱容器的底部與該外部加熱容器的底部相互接觸。
5.如權(quán)利要求1所述的防止高溫金屬材料泄漏的加熱容器，其特征在于，該內(nèi)部加熱容器的底部與該外部加熱容器的底部之間設(shè)有空隙。
6.如權(quán)利要求1所述的防止高溫金屬材料泄漏的加熱容器，其特征在于，該內(nèi)部加熱容器及外部加熱容器為坩堝。
7.如權(quán)利要求1所述的防止高溫金屬材料泄漏的加熱容器，其特征在于，該內(nèi)部加熱容器的頂部及外部加熱容器的頂部焊接成為一體。
8.如權(quán)利要求1所述的防止高溫金屬材料泄漏的加熱容器，其特征在于，該上蓋同時(shí)與該內(nèi)部加熱容器的頂部及外部加熱容器的頂部卡緊固定。
9.一種如權(quán)利要求1所述的加熱容器的制造方法，其特征在于，包括: 步驟1、量取內(nèi)部加熱容器的外圍和內(nèi)部尺寸； 步驟2、選取內(nèi)徑可包覆該內(nèi)部加熱容器的外部加熱容器； 步驟3、根據(jù)該內(nèi)部加熱容器的高度對該外部加熱容器的高度進(jìn)行截?。? 步驟4、將該內(nèi)部加熱容器完全容納于該外部加熱容器中并且位置相對該外部加熱容器固定。
10.如權(quán)利要求9所述的加熱容器的制造方法，其特征在于，包括: 步驟11、量取外部加熱容器的外圍和內(nèi)部尺寸； 步驟21、選取外徑可容納于該外部加熱容器中的內(nèi)部加熱容器； 步驟31、根據(jù)該外部加熱容器的高度對該內(nèi)部加熱容器的高度進(jìn)行截?。?步驟41、將該內(nèi)部加熱容器完全容納于該外部加熱容器中并且位置相對該外部加熱容器固定。
【文檔編號】C23C14/24GK104018121SQ201410204621
【公開日】2014年9月3日 申請日期:2014年5月14日 優(yōu)先權(quán)日:2014年5月14日
【發(fā)明者】匡友元, 鄒清華, 張鑫狄, 吳泰必, 吳聰原 申請人:深圳市華星光電技術(shù)有限公司